JP2016508599A - 試験対象の位置を定めるシステム - Google Patents

Abstract

本発明は、試験対象（４００）の位置を定めるシステム（１００）に関するものであって、以下の特徴を有する：光束を送出するためのビーム源（２１０）、ビームスプリッタ（２２０）、検出器ユニット（２３０）及び対物レンズ（２４０）を備えたオートコリメーションテレスコープ（２００）；合焦装置（１１０）として形成された光学エレメントを有し、その場合に試験対象（４００）、ビーム源（２１０）及び合焦装置（１１０）が共通の光学軸（ｚ）に沿って配置されており、かつ合焦装置を制御するための制御装置（３００）を有し、その合焦装置が次のように、すなわち光束が座標（ｘ１、ｙ１）を有する試験対象（４００）の第１の試験面（４０１）の曲率中心点上に、かつ少なくとも、座標（ｘ２、ｙ２）を有する試験対象（４００）の第２の試験面（４０２）の曲率中心点上に、合焦可能であるように、形成されている。【選択図】図１

Description

本発明は、特許請求項１に記載の試験対象の位置を定めるシステム及び特許請求項７に記載の、このシステムを用いて試験対象の位置を定める方法に関する。

従来技術からは、レンズとレンズシステムの場所、角度及び角度変化もしくはセンタリングエラーを測定するための合焦装置と自動コリメーションテレスコープ（ＡＫＦ）が知られており、それにおいてビーム部分と、コリメータ及びテレスコープとして作用する対物レンズとを用いて、調査すべき面での反射後の、投影された適切なイメージが評価される。
評価ユニットとしては、たとえば二次元のセンサユニットが知られており、あるいは古典的な場合においては人の目である。
調査される面（球）の曲率中心点が正確に参照軸上にない場合には、照射ビームは試験体表面へ垂直に当らない。その結果、照射ビームは試験体表面で反射した後にそれ自体内で戻らずに、表面に対して９０°からずれた反射角度で戻る。
偏差は、調査すべき面（球）のセンタリングエラーに直接比例する。

その場合に、レンズ又は接合部材（Kittglieds)あるいは要素群(Gruppe von Elementen)の位置を記述するために、２つの面が測定されなければならない。他の面に対する参照を形成しようとする場合には、この他の面も測定されなければならない。
この課題は、各任意の場所上に光学軸に沿ってマークの像を結像させる課題と意味が等しい。
この課題を解決するために、従来技術からは、交換可能なオプティカルヘッドを使用すること、あるいはＡＫＦの結像距離を内部の合焦を介して変化させること（たとえば光学軸に沿って摺動可能なレンズまたはレンズグループを介して）、あるいはオートコリメーションテレスコープと調査すべき面（試験体又は試験対象）との間の間隔の変化（リニアガイド）を介して、オートコリメーションテレスコープからのマークの調査すべき面の反射から、イメージが再びマークの平面内に現れるので、それを検出器ユニットが受信できるようにすることが、知られている。

特許文献１は、たとえば二次元のセンサユニットを有する、センタリングエラー測定のためのオートコリメーションヘッドを開示している。
オートコリメーションヘッドは、センサユニットの他に、さらにビームスプリッタープレート、照明されるバープレート、対物レンズ及び合焦するための付加的なレンズを有している。二次元のセンサユニットは、オートコリメーション対物レンズのイメージ平面内に正確に位置決めされている。
構造全体が、フレームに取り付けられている。リニアガイドを含めた上方の測定ヘッドは、テーブルの上方に取り付けられており、リニアガイドを有する下方の測定ヘッドは、テーブルの下方にある。そして、２つの測定ヘッドは、然るべきリニアガイドを介して、大体において参照軸と一致する軸線に沿って案内することができる。試験体は、参照軸を中心に回転させることができる。

独国特許出願公開第１０２００５０１３７５５Ｂ４号明細書

したがって本発明の課題は、特にリニアガイドと交換可能な光学系なしで充分であって、さらに試験対象の表面の迅速な測定を提供して、さらには、センタリングエラーがあればそれを導き出すことができる、改良されたシステムを提供することである。

この課題は、請求項１に記載の試験対象の位置を定めるシステムと、請求項７に記載の、本発明に係るシステムによって試験対象の位置を定める方法によって、解決される。
好ましい展開が、従属請求項によって詳しく定義される。

本発明の基本的なコンセプトにおいて、
試験対象の位置を定めるシステムは、以下の特徴を有している：光束を送出するためのビーム源、ビームスプリッタ、検出器ユニット及び対物レンズを備えたオートコリメーションテレスコープ；合焦装置として形成された光学エレメントを具備し、その場合に試験対象、ビーム源及び合焦装置が共通の光学軸（ｚ）に沿って配置されており、かつ、
合焦装置を制御するための制御装置を具備し、その合焦装置が、光束が座標（ｘ１、ｙ１）を有する試験対象の第１の試験面の曲率中心点上に、かつ少なくとも、座標（ｘ２、ｙ２）を有する試験対象の第２の試験面の曲率中心点上に、合焦可能であるように、形成されている。

試験面は、好ましくは球状に形成されている。 しかし、本発明に係る考えは、特殊ケースの「平面」及び「非球面」にも有効である。
平面の特殊ケースにおいて、曲率中心点の等価性は、同様に座標ｘ１とｙ１を有する平面の法線の方向として存在する。
第２の特殊ケースにおいて、非球面は、局所的に球面と見なされる。この局所的な見方によって、ここでも局所的な曲率中心点が存在し、それは、この考え方のために、通常の球面の曲率中心点のように処理される。

したがって、距離をおいて試験面の前または後ろに位置する、曲率中心点が存在する。この点は、マーク又は測定機構の実際の、あるいは仮想の結像のために有効である。
したがって試験面は、そのパラメータである「曲率中心点の位置」と「球の半径」によって記述される。
以下において、「試験面」の概念は、その標準的なパラメータの同義語としても使用される。

少なくとも２つの試験面上に合焦装置が時間的に素早く連続して合焦させることによって、「ほぼ同時に」２つの試験面の位置ないし位置の変化を定めることができる。したがって全体として、試験対象の位置を定めることが、可能である。
本発明によれば、付加的な光学系又はリニアガイドは、省くことができる。
したがって試験対象、たとえば光学的な構成部品の調整は、迅速化することができるだけでなく、質的に改良することもできる。
さらに、必要な構成部品は、好ましくは回転対称であり、かつ小さい。
その結果、他の利点として組み込み空間が制限される。

システムを小型化し、かつ回転させないようにする可能性は、試験対象が、たとえばその大きさにより、あるいは、ＡＫＦを外部から除くための接近性を制限する、ビームの折り畳みに基づいて、回転テーブル上に取り付けることができない場合でも、センタリング方法を適用することを、可能にする。

したがって従来技術とは異なり、合焦装置を制御するための制御装置によって、合焦装置はそれ自体として移動されない。
それとは異なり、制御装置によって光学的特性、特に合焦装置の屈折力が変化され、それによって試験すべき面の種々の曲率中心点上に合焦させることができる。

本発明によれば、試験対象は、唯一の試験対象であり、あるいは複数の部分試験対象をまとめた統合試験対象である。
たとえば、後者の場合には、それがアクロマート・レンズであり得る、そのアクロマート・レンズは、平面的に互いに接着され、あるいはマウントを介して互いに結合されている、２つ、３つあるは多数のレンズエレメントからなる。

好ましい実施形態において、オートコリメーションテレスコープは、さらに、測定機構を有している。したがって、測定機構を用いて評価可能なイメージを検出ユニット上へ結像させることが可能である。
検出ユニットとは、本発明によれば、電磁放射を測定する各構成部品（たとえばＣＣＤセンサ又はカメラ）と考えることができる。

試験対象が個別レンズである場合に、以下のことを意味している：
ほぼ同時に、あるいは照射のために２色の光を使用する場合には、実際にも同時に、カメラ上で見られる２つのイメージの位置から、レンズ中心の位置とレンズ軸の傾きを同様に迅速に計算して、測定信号又は制御信号として提供することができる。

他の好ましい実施形態において、制御ユニットは、計算器ユニット及び／又は表示ユニットを有している。したがってユニットによって、合焦装置を制御することも、獲得された測定値から計算器ユニットを用いて試験対象の位置を導き出し、かつ表示ユニット内に試験対象の位置を表示することも可能である。

他の好ましい実施形態においては、合焦装置は、調節可能な屈折力を有するレンズとして、特に電気的なレンズとして形成されている。この種のレンズの屈折力は、然るべき制御装置によって極めて高速で変化させることができる。

この実施形態において合焦装置は、レンズ又はレンズシステムを機械的に動かすことなしで充分であることにより、既知の従来技術から区別される。
電気的なやり方で直接変化させることのできる焦点距離を有する光学エレメントを使用することによって、個々の合焦状態の間の切り替え時間を短くすることができる。

したがってこの装置は、従来知られているものよりも簡単に構成されており、より少ない反復サイクルしか必要とされないことにより、より迅速に作動し、かつ、調整シーケンスのために、調整期間をさらに減少させることができ、他のアルゴリズムを使用することが可能である。

試験対象が共通の光学軸上に位置する場合に、試験面の曲率中心点内に、実際の、あるいは仮想のイメージが生じる。
試験対象がまだ正確に方向付けされていない間は、オートコリメーションテレスコープからの光束は試験面に垂直に当らない。
その場合に実際の、あるいは仮想のイメージは、同一の距離において、しかしオートコリメーションテレスコープの光学軸に対して側方に変位して、生じる。
本発明に従って２つの試験面についてｄ１とｄ２と称される、この側方変位は、検出器ユニット上でオートコリメーションテレスコープによって観察されて、それによって測定情報として存在する。
この情報は、試験目的で評価することができ、あるいはこの情報を用いて試験面を適切に調節し、すなわち移動させ、ないしは傾けることができるので、試験面の曲率中心点は、共通の光学軸上に来る。
すなわち後で示す図面に表示される理想場合を達成することができる。
このようにして試験面の位置の許容誤差を最小限に抑えることができる。
それによって、焦点の位置又は曲率中心点の位置を記載することのできる、誤りのある座標（ｘ１、ｙ１、ｚ１）から、焦点及び曲率中心点について一致する座標（０、０、ｚ１）が得られる。

この変換が、本発明の本質的な適用を記述している。
しかし、異なる距離内で曲率中心点の位置をほぼ並列に表示する可能性は、調整の新しい可能性を拓く。
面の位置の変化が、見かけの、すなわちオートコリメーションテレスコープによって見た、その後方に見える曲率中心点の位置を変化させる。
したがって古典的な組み立てのためには、オートコリメーションテレスコープの側から組み立てを開始すると、効果的である。
オートコリメーションテレスコープからずっと離れた面を分析するためには、常に全ての面が新たに測定されなければならない。
その場合に、測定期間は、焦点距離の変化によるだけでなく、特にすべての面の完全な測定ないし調整目標の新たな計算の必要性によっても、延長される。

種々の曲率中心点をほぼ同時に表示することによって、測定シーケンスないし組み立てシーケンスが促進されるだけではない。
他のシーケンスも有意義に適用し、それに伴ってシーケンスをさらに簡略化することができる。
変化が曲率中心点の見かけの位置へ作用するのが、実際に同時に「見られる」。
面の位置の計算は、必ずしも必要ではない。
たとえば、単純なアルゴリズムを適用することができ、その目的は、「測定機構のすべてのイメージを互いに近づける」ことである。
そのために、試験対象の構造の認識に関する正確な計算は、不要である。

他の好ましい実施形態において、他の補助レンズが光学軸（ｚ）に沿って設けられており、その補助レンズは対物レンズと合焦装置の間に配置されている。
特にこの補助レンズは、合焦装置の最小の屈折力がゼロとは異なる場合に、使用される。
したがって、補助レンズによって合焦領域を予め調節することができる。
好ましくは、補助レンズは、他の実施形態においては、光学軸（ｚ）に沿って移動可能に配置されている。

代替的に、少なくとも２つの補助レンズが評価ユニット内に配置されており、それぞれ適用場合に応じて第１又は第２の補助レンズが使用され、その場合に第１と第２の補助レンズが異なる屈折力を有していることも、考えられる。

他の好ましい実施形態において、試験対象は回転テーブル上に配置されており、回転テーブルは光学軸（ｚ）を中心に回転可能に支承されている。
試験対象が参照軸、たとえば光学軸（ｚ）、に対して完璧に方向付けされている場合に、光束の個々の光ビームは常に同一の角度で試験対象の表面へ当る。
すなわち、参照軸を中心に試験対象が回転した場合でも、検出器ユニット、たとえばＣＣＤセンサ上で、イメージは常に同一の箇所に現れる。

他の好ましい実施形態において、合焦装置とオートコリメーションテレスコープは、１つの構成ユニットとして形成されている。
したがって追加的な構造スペースを省くことができる。

他の好ましい実施形態において、ビーム源は、第１の色を有する光を放射する第１の発光ダイオードと、第１の色とは異なる色を有する光を放射する第２の発光ダイオードとを有している。他の色を有する他の発光ダイオードの使用は、好ましくは、複数の境界面を有する複数の試験対象を測定するために、効果的であり得る。

好ましくは、第１と第２の試験面への光束の合焦は、１〜５０Ｈｚの範囲の、好ましくは２０〜３０Ｈｚの範囲の、特に好ましくは２５Ｈｚの周波数を有するビデオクロックで行われる。制御装置によって制御される合焦装置のこの迅速な切り替えによって、以降の推移において表示ユニットによってほぼ「リアルタイム」で試験対象の位置を表示することができる。

多色の光源を使用する場合に、適合された回路図によって複数の試験面の位置を実際に同時に得ることができる。
２つの試験面を有する単独レンズの例においては、この回路図は、次のように記述される：ビデオイメージの露光時間の開始によって、まず、照明色、たとえば緑がオンにされて、試験面の１つへの合焦が調節される。
露光時間の半分が経過した後に、照明が第２の光色、たとえば赤へ調節されて、同時に第２の試験面のための合焦がオンにされる。
したがってカラーカメラからカメライメージを読み出す場合に、２つのカラーチャネル内で２つの異なる測定イメージが準備され、それらは並列に評価することができる。したがってビデオイメージは、レンズの完全な位置決定のために充分である。複数の試験面のためには、それに応じてシーケンスが適合される。

本発明は、さらに、以下の特徴を有する、本発明に係るシステムによって試験対象の位置を定める方法にも係る：
試験対象を準備し；
第１の試験面の曲率中心点上へ合焦装置によって光束を合焦させ；
第１の測定値を生成し；
第２の試験面の曲率中心点上へ合焦装置によって光束を合焦させ；
第２の測定値を生成し；
計算器ユニットによって第１と第２の測定値を評価する。

本発明によれば、好ましい実施形態において、第１の試験面が第１の発光ダイオードによって、そして第２の試験面が第２の発光ダイオードによって照射される。
その場合に好ましくは、合焦装置による第１の試験面と第２の試験面への合焦と、第１の発光ダイオードから第２のそれへの切り替えが、同期して行われる。
したがって、測定機構のイメージが検出器ユニット上に異なる色で結像され、したがって全体として表示が人間工学的にも、改良される。

本発明によれば、第１と第２の測定値の生成のステップが、以下の特徴を有している： 検出器ユニットによって第１のイメージが記録され、そのイメージは、第１の試験面（ｘ１、ｙ１）における測定機構の反射に相当し；
検出器ユニットによって第２のイメージが記録され、そのイメージは、第２の試験面（ｘ２、ｙ２）における測定機構の反射に相当する。

本発明によれば、さらに、評価のステップが以下の特徴を有している：
検出器ユニットによって求められ、かつ測定された間隔（ｄ１、ｄ２）を用いて計算器ユニットによって試験対象（ｘＬ、ｙＬ）の位置を導き出す。
その場合に、求められた間隔（ｄ１、ｄ２）ないし偏差から試験対象の位置をこのように導き出すことは、当業者には知られている。

そして、試験対象を調整するステップが行われ、そのステップが座標（ｘ１、ｙ１）と
（ｘ２、ｙ２）を有する曲率中心点を、ｚ軸上の曲率中心点へ移行させる。

本発明の特に好ましい実施形態において、かつ特に、複数の相前後して配置された部分試験対象からなる試験対象において、以下の補足的な方法が適用される。
第１の方法ステップにおいて、第１の試験面（ｘ１、ｙ１）のセンタリグエラーが求められる。
それに続く第２の方法ステップにおいて、その後方に位置する第２の試験面のセンタリングエラーが、第１の試験面のセンタリングエラーを考慮しながら求められる。
計算には、特に付加的に、内側に位置する第２の試験面に合焦させなければならない場合に、先行面における屈折を考慮しなければならないことが、算入される。

付加的な他の実施例が、それぞれの下位請求項の対象である。
なお、説明される実施形態は単独で、あるいは互いに組み合わせて示すことができるものである。

以下、本発明の好ましい実施例を、添付の図面を参照して詳細に説明する。

試験対象の位置を定めるための、本発明に係るシステムの図式的な構造を示している。 試験対象の位置を定めるための、本発明に係るシステムの他の実施例の図式的な構造を示している。

図１は、試験対象４００の位置を定めるための本発明に係るシステム１００を示している。このシステムは、従来技術からずっと知られていたような、従来のオートコリメーションテレスコープ２００を有している。この種のオートコリメーションテレスコープ２００は、少なくとも１つのビーム源２１０、ビームスプリッタ２２０、検出器ユニット２３０および対物レンズ２４０を有している。

対物レンズ２４０は、コリメータ対物レンズとしても、テレスコープ対物レンズとしても、作用する。
対物レンズ２４０の焦点距離内に、ビームスプリッタが配置されている。このビームスプリッタは、光路を、焦点面を有するコリメータビーム光路と、その焦点面に対して共役のテレスコープ焦点面を有するテレスコープビーム光路とに分割する。
コリメータ焦点面内には、測定機構２６０を有するプレートが配置されており、その測定機構が光源２１０の照明ビームによって、集光器２５０を介して、均質に照明される。
測定機構は、対物レンズを介して無限遠へ投影されて、オートコリメーションテレスコープの前段に配置された、試験対象４００の試験面で反射されて、対物レンズ２４０を通して戻されてテレスコープ平面内へ結像される。

試験面がオートコリメーションテレスコープの光学軸に対して傾いていない、すなわちその面法線が軸方向に延びている、限りにおいて、測定機構２６０はそれ自体ほぼ検出器ユニット２３０上に結像される。
傾き角度アルファに従って、検出器ユニット２３０上の測定機構２６０の結像が、変位する。
測定機構の位置の変化は、本発明によれば、間隔ｄと称される。

本発明のコア部分は、合焦装置１１０であって、その合焦装置は、図１からはっきりと読み取ることができるように、オートコリメーションテレスコープの前に配置されている。その場合に合焦装置１１０、試験対象４００及びビーム源は、共通の光学軸（ｚ）に沿って配置されている。この軸は、ｘ−ｙ平面に垂直である。

合焦装置１１０は、光学エレメントとして形成された電気的なレンズ１１０を有している。したがってこのレンズは、可変の屈折力を有している。
このレンズによって、光束を制御ユニットによって試験対象４００の座標（ｚ１、ｙ１）を有する第１の試験面４０１の曲率中心点上に、そして時間的にそれに続いて座標（ｘ２、ｙ２）を有する第２の試験面４０２の曲率中心点上に合焦させることが、可能となる。
なお、図１は、試験対象をすでに調節された状態で示していることを、指摘しておく。
したがって２つの曲率中心点４０１ａと４０２ａの位置は、ｚ軸上にある。
座標（ｘ１、ｙ１）と（ｘ２、ｙ２）を有する元の曲率中心点の位置は、見やすくするために、図１と２には示されていない。

制御ユニット３００によって、２つの試験面の間の迅速な切り替えを行うことができる。２つの試験面の間のこの種の切り替えは、２５Ｈｚの周波数を有するビデオクロックで行われる。したがってこの種のシステムによって、それぞれの試験面４０１と４０２の２つの曲率中心点の位置をほぼ同時に測定して、測定値から試験対象４００の位置を定めることが、可能である。
位置は、計算器ユニット３００によって定められ、その計算器ユニットが第１と第２の試験面の曲率中心点の測定値を評価して、そこから試験対象４００の位置を導き出す。
試験対象の実際の位置は、たとえば、表示ユニットとして形成されているモニタを介して表示することができる。
この情報を用いて試験対象を移動させ、ないしは傾けることができるので、試験面の曲率中心点が、図１に示されるように、共通の光学軸上に来る。

電気的なレンズは、しばしばゼロとほんの少しだけ異なる屈折力を有するので、システム１００内にはさらに補助レンズ１２０が設けられており、その補助レンズは評価ユニット１２５内に配置されている。この補助レンズによって、光束を「大まかに」試験対象上へ前もって調節することができる。
実施例によれば、補助レンズ１２０は、さらに大きい合焦領域をカバーするために、光学軸に沿って移動可能に配置されている。

図２に示す第２の実施例は、第１の実施例とは異なり、一方で、試験対象は、光学軸（ｚ）を中心に回転可能に支承された回転テーブル５００上に配置されている。
したがって、試験対象が光学軸を中心に回転する場合に、複数の測定値を生成して、試験対象の位置決定に関連づけることが、可能である。
たとえば、試験対象が完璧に参照軸、たとえば光学軸（ｚ）に方向づけされている場合に、光束の個々の光ビームは常に同一の角度で試験対象の表面へ当る。
すなわち、試験対象が参照軸を中心に回転した場合でも、検出器ユニット３００上でイメージは常に同一の箇所に現れる。
さらに、図２に示す実施例は、図１に示す第１の実施例から、制御ユニットが付加的にさらに光源２１０と測定機構２６０を制御することによっても、区別される。

すなわち、制御ユニット３００によって、２つの試験面の間で極めて高速で切り替えが行われる場合に、２つの試験面で反射された測定機構のイメージが、もはや区別できなくなる、という問題が生じることがある。
この問題は、本発明によれば、光源２１０が赤い色を有する第１の発光ダイオードと青い色を有する第２の発光ダイオードとを有し、それらが同期して切り替えられるようにすることによって解決される。
したがって、２つの測定機構の間に色彩的な違いが生じる。

色の異なる光源の接続を介しての表示の視覚的な改良は、ＡＫＦにおいて視覚認識を使用する場合、あるいはカラーカメラ又は表示ユニット３００としてのカラーモニタを使用する場合に、機能する。したがって、たとえば同一の測定機構が、直接的な重なりの近傍でよく区別できないことが、克服される。
しかし、この課題は、表示ユニット３００としての計算器モニタ上で合成表示によって行うこともできる。この場合においては、単色の光源と、検出器ユニット２３０としてのモノクロームカメラとを使用することができる。
この実施例においては、測定機構２６０は、ソフトウェアによって計算器ユニット３００を用いてその時間的な発生によって区別される。

計算器ユニット３００によって直接評価する場合の他の利点は、（少なくとも）２つの測定機構２６０の位置（２つの試験面の（少なくとも）２つの曲率中心点の位置と同義）を表示できることだけにあるのではない。
試験対象の位置の既知の計算を介して、その後わかった試験対象の特性「偏心」と「傾き」をビデオクロックで同時に出力することも、また可能である。

代替的に、他の実施形態においては、測定機構２６０が２つの試験面のために異なる形状を有し、かつ同様に同期して切り替えられることも、可能である。
種々の測定機構の準備は、好ましくはイメージジェネレータによって行われる。

本発明は、特許請求項１に記載の試験対象の位置を定めるシステムに関する。

この課題は、請求項１に記載の試験対象の位置を定めるシステムによって解決される。
好ましい展開が、従属請求項によって詳しく定義される。

Claims (15)

1. 試験対象（４００）の位置を定めるシステム（１００）であって、
   光束を送出するビーム源（２１０）と、ビームスプリッタ（２２０）と、検出器ユニット（２３０）と、対物レンズ（２４０）と、を備えたオートコリメーションテレスコープ（２００）、と、合焦装置（１１０）として形成された光学エレメント、と、
   を具備し、
   前記試験対象（４００）、ビーム源（２１０）及び合焦装置（１１０）が共通の光学軸（ｚ）に沿って配置されており、かつ
   合焦装置を制御するための制御装置（３００）、を具備し、
   前記合焦装置が次のように、すなわち光束が座標（ｘ１、ｙ１）を有する試験対象（４００）の第１の試験面（４０１）の曲率中心点上及び少なくとも、座標（ｘ２、ｙ２）を有する試験対象（４００）の第２の試験面（４０２）の曲率中心点上へ合焦可能であるように、形成されている、
   ことを特徴とする試験対象の位置を定めるシステム。
2. オートコリメーションテレスコープ（２００）が、さらに、測定機構（２６０）を有している、ことを特徴とする請求項１に記載のシステム（１００）。
3. 合焦装置（１１０）が、調節可能な屈折力を有するレンズとして、特に電気的なレンズとして形成されている、ことを特徴とする請求項１又は２のいずれか１項に記載のシステム。
4. 光学軸（ｚ）に沿って他の補助レンズ（１２０）が設けられており、前記補助レンズが対物レンズ（２４０）と合焦装置（１１０）の間に配置されている、ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のシステム。
5. 補助レンズ（１２０）が、評価ユニット（１２５）内に配置されており、かつ評価ユニット（１２５）が少なくとも１つの他の第２の補助レンズを有し、第１と第２の補助レンズが異なる屈折力を有している、ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のシステム。
6. ビーム源（２１０）が、第１の色を有する光を放射する第１の発光ダイオードと、第１の色とは異なる第２の色を有する光を放射する第２の発光ダイオードとを有している、ことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のシステム。
7. 請求項１から６のいずれか１項に記載のシステム（１００）によって試験対象（４００）の位置を定める方法であって、
   ａ）試験対象（４００）を準備するステップと、
   ｂ）第１の試験面（４０１）の曲率中心点上へ合焦装置（１１０）によって光束を合焦させるステップと、
   ｃ）第１の測定値を生成するステップと、
   ｄ）第２の試験面（４０２）の曲率中心点上へ合焦装置（１１０）によって光束を合焦させるステップと、
   ｅ）第２の測定値を生成し、
   ｆ）計算器ユニット（３００）によって第１と第２の測定値を評価するステップと、
   を含む、
   ことを特徴とする試験対象の位置を定める方法。
8. ステップａ）とステップｂ）の間で、少なくとも１つの補助レンズ（１２０）によって予備合焦が行われる、ことを特徴とする請求項７に記載の方法。
9. 第１の試験面が第１の発光ダイオードによって、そして第２の試験面が第２の発光ダイオードによって照射される、ことを特徴とする請求項７又は８に記載の方法。
10. ステップｂ）とステップｄ）及び第２の発光ダイオードへの第１の発光ダイオードの切り替えが同期して行われる、ことを特徴とする請求項７から９のいずれか１項に記載の方法。
11. 第１と第２の試験面への光束の合焦が、１と５０Ｈｚの間の領域内の、好ましくは２０と３０Ｈｚの間の領域内の、特に好ましくは２５Ｈｚまでの、周波数を有するビデオクロックで行われる、ことを特徴とする請求項７から１０のいずれか１項に記載の方法。
12. 第１と第２の測定値を生成するステップｃ）とｅ）が、以下の特徴を有する：
    ｃ１）検出器ユニット（２３０）によって第１のイメージを記録し、前記イメージが第１の試験面（ｘ１、ｙ１）における測定機構（２６０）の反射に相当し、
    ｅ１）検出器ユニット（２３０）によって第２のイメージを記録し、前記イメージが第２の試験面（ｘ２、ｙ２）における測定機構（２６０）の反射に相当する、
    ことを特徴とする請求項７から１１のいずれか１項に記載の方法。
13. 評価のステップｆ）が、以下の特徴を有する：
    ｆ１）検出器ユニットによって求められた間隔（ｄ１、ｄ２）を用いて計算器ユニット（３００）によって試験対象（ｘＬ、ｙＬ）の位置を導き出し、
    ｆ２）表示ユニット（３００）によって試験対象の位置を表示する、
    ことを特徴とする請求項７から１２のいずれか１項に記載の方法。
14. 第１の試験面のために第１の測定機構（２６０）が使用され、第２の試験面のために、第１のものとは異なる第２の測定機構（２６０）が使用され、かつステップｂ）とｄ）及び第２の測定機構への第１の測定機構の切り替えが同期して行われる、ことを特徴とする請求項７から１３のいずれか１項に記載の方法。
15. 第１と第２の測定機構（２６０）が、イメージジェネレータによって準備される、ことを特徴とする請求項１４に記載の方法。

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