JP2016207942A - ウエーハの乾燥方法及び加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施形態に係るウエーハの乾燥方法及び加工装置を図面に基いて説明する。図1は、実施形態に係る加工装置の一例としての研削研磨装置の概略構成を示す斜視図である。図2は、実施形態に係るウエーハの乾燥方法の乾燥ステップを示す研削研磨装置の断面図である。図3は、実施形態に係るウエーハの乾燥方法の研削ステップ、研磨ステップを示す研削研磨装置の断面図である。図4は、実施形態に係るウエーハの乾燥方法の乾燥ステップを示す平面図である。図5は、実施形態に係るウエーハの乾燥方法の乾燥ステップを示す他の平面図である。図6は、実施形態に係るウエーハの乾燥方法の乾燥ステップのエアー噴射ノズルの位置とチャックテーブルの回転数との関係を示す図である。図7は、実施形態に係るウエーハの乾燥方法のフローの一例を示す図である。
10 チャックテーブル
10a 保持面
20a 粗研削手段(研削手段)
20b 仕上げ研削手段(研削手段)
20c 乾式研磨手段
23c 乾式研磨パッド(研磨パッド)
92 エアー噴射ノズル
100 制御手段
D 研磨領域
W ウエーハ
ST3 位置付けステップ
ST4 乾燥ステップ
Claims (3)
- ウエーハを保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハに研削液を供給しながら研削する研削手段と、該ウエーハにエアーを噴射して付着した該研削液を除去するエアー噴射ノズルと、該チャックテーブルに保持され研削されたウエーハを乾式研磨する研磨パッドが装着された乾式研磨手段と、を備える加工装置を用い、乾式研磨加工の前にウエーハに付着した研削液を除去して乾燥するウエーハの乾燥方法であって、
研削後のウエーハを保持したチャックテーブルを、該エアー噴射ノズル及び該乾式研磨手段が配設される研磨領域に位置付ける位置付けステップと、
該位置付けステップを実施した後、該チャックテーブルを回転させるとともに、エアーを噴射しながら該エアー噴射ノズルを保持面に沿って径方向に移動させ、ウエーハに付着した該研削液を除去する乾燥ステップと、を備え、
該乾燥ステップでは、
該チャックテーブルの回転数が、該エアー噴射ノズルの位置がウエーハの中心付近に位置付けられている時は100rpm以下、ウエーハの外周付近に位置付けられている時は300rpm以上800rpm以下に制御され、飛散した該研削液が研磨パッドへ付着することを防ぐことを特徴とするウエーハの乾燥方法。 - 該乾燥ステップでは、ウエーハの中心付近からウエーハの外周付近へ該エアー噴射ノズルの位置を移動させるに伴い、該チャックテーブルの回転数を徐々に増加させていくことを特徴とする請求項1に記載のウエーハの乾燥方法。
- ウエーハを保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハに研削液を供給しながら研削する研削手段と、該ウエーハにエアーを噴射して付着した該研削液を除去するエアー噴射ノズルと、該チャックテーブルに保持され研削されたウエーハを乾式研磨する研磨パッドが装着された乾式研磨手段と、各構成要素を制御する制御手段と、を備える加工装置であって、
該制御手段は、
該チャックテーブルを回転させるとともに、エアーを噴射しながら該エアー噴射ノズルを保持面に沿って径方向に移動させウエーハから研削液を除去する際、該チャックテーブルの回転数を、該エアー噴射ノズルの位置がウエーハの中心付近に位置付けられている時は100rpm以下、ウエーハの外周付近に位置付けられている時は300rpm以上800rpm以下に制御する事を特徴とする加工装置。
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