JP2016206313A - 光デバイスパッケージ - Google Patents

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Abstract

【課題】光デバイスの受光部分に異物が付着する、もしくはこの受光部分上を異物が浮遊することに起因する、光デバイスの誤動作または受光量の低下を抑制することができる光デバイスパッケージを提供する。【解決手段】光デバイス１１と、光デバイス１１を収納するハウジング２と、光非透過性材料からなり開口３３が形成されている光非透過部３１と、光透過性材料からなり開口３３を塞ぐ光学窓部３２とを有する蓋部、を備えており、光非透過部３１は、光デバイス１１の側に突出する突出部３４を少なくとも１つ有している。【選択図】図１

Description

本発明は、光デバイスを気密封止してなる光デバイスパッケージに関するものである。特に、本発明は、光非透過性材料からなり、開口が形成されている光非透過部と、光透過性材料からなり、上記開口を塞ぐ光学窓部と、を有する蓋部を備えた光デバイスパッケージに関するものである。
従来、光デバイスに対する湿度等の影響を抑制するための技術として、光デバイスを気密封止してなる光デバイスパッケージが知られている。特に、光非透過性材料からなり、開口が形成されている光非透過部と、光透過性材料からなり、上記開口を塞ぐ光学窓部と、を有する蓋部を備えた光デバイスパッケージが知られている（特許文献１参照）。
図１０は、従来技術に係る光デバイスパッケージ２００の概略構成を示す断面図である。図１０に示す光デバイスパッケージ２００は、光デバイス１０１、光デバイス１０１を収納するハウジング１０２、およびハウジング１０２に適合する蓋部１０３を備えている。蓋部１０３は、開口１０４が形成されている金属フレーム（光非透過部）１０５、およびこの開口１０４を塞ぐ光学窓部１０６を有している。光学窓部１０６は例えば、ガラス単体、もしくは、ガラスの縁およびその近傍に金属層等の光非透過性材料を形成したものである。
また、光デバイスパッケージ２００は、不活性ガス（図示しない）を充填した状態で光デバイス１０１をハウジング１０２に収納して、ハウジング１０２および蓋部１０３によって光デバイス１０１を気密封止したものである。
特開平９−１４８４６９号公報（１９９７年６月６日公開）
図１０に示す光デバイスパッケージ２００では、蓋部１０３によってハウジング１０２に蓋をする前に、ハウジング１０２内に異物１０７が入り込む虞がある。
従来、ハウジング１０２内に異物１０７が入り込むことを避けるため、クリーンルームにて光デバイスパッケージ２００を製造する等の手法が採られてきた。しかしながら、このような手法を用いたとしても、ハウジング１０２内に異物１０７が入り込むことを完全に防ぐことは難しい。
また、ハウジング１０２に蓋をする直前に、ハウジング１０２内を観察して、ハウジング１０２内に入り込んだ異物１０７を検出および除去するという手法も考えられる。しかしながら、この手法においては、観察に際して金属フレーム１０５の裏側１０８等が死角となりやすく、この死角にある異物１０７（すなわち、異物１０７ａ）を検出および除去することは難しい。
この結果、図１０に示す光デバイスパッケージ２００では、ハウジング１０２内に入り込んだ異物１０７が、光デバイス１０１の上面に配置された光デバイス１０１の受光部分に付着する、もしくはこの受光部分上を浮遊する虞がある。そしてこれにより、光デバイス１０１が光スイッチングデバイスである場合、異物１０７にて光が屈折されることでクロストークが発生し、このクロストークによって、光デバイスパッケージ２００では、光デバイス１０１の誤動作が生じるという問題が発生する。また、光デバイス１０１が固体撮像素子である場合、異物１０７にて光が反射または屈折されることで受光量が著しく低下するという問題が発生する。
本発明は、上記の課題に鑑みて為されたものであり、その目的は、光デバイスの受光部分に異物が付着する、もしくはこの受光部分上を異物が浮遊することに起因する、光デバイスの誤動作または受光量の低下を抑制することを可能とする光デバイスパッケージを提供することにある。
上記の課題を解決するために、本発明の光デバイスパッケージは、光デバイスと、上記光デバイスを収納するハウジングと、光非透過性材料からなり開口が形成されている光非透過部と、光透過性材料からなり上記開口を塞ぐ光学窓部とを有する蓋部と、を備えており、上記光非透過部は、上記光デバイスの側に突出する突出部を少なくとも１つ有していることを特徴としている。
上記の構成によれば、ハウジング内に入り込み光デバイスの側方に残留した異物が、光デバイスの上面に配置された光デバイスの受光部分に向けて移動することを、突出部により抑制することができる。これにより、光デバイスの受光部分に異物が付着する、もしくはこの受光部分上を異物が浮遊することを防止することができるので、光デバイスの誤動作または受光量の低下を抑制することが可能となる。
また、本発明の光デバイスパッケージは、少なくとも１つの上記突出部と、上記光デバイスとが離間されていることが好ましい。
上記の構成によれば、突出部と光デバイスとが離間されているため、突出部が光デバイスと接触したり、光デバイスを圧迫したりすることを防ぐことができる。従って、突出部の接触または圧迫によって、光デバイスが損傷したり誤動作または受光量の低下を生じたりすることを防ぐことができる。
ところで、光デバイスが画素構造を有するものである場合、１画素に相当する面積以上のサイズを有する異物は、誤動作または受光量の低下の直接的な原因となりやすい。
この場合、上記少なくとも１つの突出部と、上記光デバイスとの離間距離は、上記光デバイスの画素サイズ未満であることが好ましい。
上記の構成によれば、光デバイスの誤動作または受光量の低下の直接的な原因となる異物が、光デバイスの受光部分に向けて移動することを効果的に抑制することができる。
また、本発明の光デバイスパッケージは、少なくとも１つの上記突出部と、上記ハウジングの側壁とが離間されていることが好ましい。
上記の構成によれば、突出部とハウジングの側壁とが離間されているため、突出部とハウジングの側壁との間において、突出部の製造公差に対するマージンを確保することができる。また、上記の構成によれば、突出部とハウジングの側壁との間にて、異物を捕捉することが可能となる。
また、本発明の光デバイスパッケージは、上記少なくとも１つの突出部の少なくとも一部が、この突出部の先端に近づく程上記ハウジングの側壁に近づくように延びていることが好ましい。
上記の構成によれば、突出部におけるハウジングの側壁側にて、異物を捕捉することが可能となる。
また、本発明の光デバイスパッケージにおいて、少なくとも１つの上記突出部は、上記光デバイスの側方にまで延びていることがより好ましい。
また、本発明の光デバイスパッケージにおいて、上記光非透過部は、上記突出部を複数有していることが好ましい。
上記の構成によれば、光デバイスの受光部分に異物が付着する、もしくはこの受光部分上を異物が浮遊することを、より確実に防止することができる。
また、本発明の光デバイスパッケージにおいて、少なくとも１つの上記突出部は、上記光非透過部に取り付けられた、上記光非透過部とは別体の部材であることが好ましい。
上記の構成によれば、突出部を有する光非透過部を一体成形する場合と比べて、加工コストを抑え、突出部の形状の自由度を上げることができる。
また、本発明の光デバイスパッケージにおいて、少なくとも１つの上記突出部は、上記光非透過部に形成された溝に嵌め込まれた、上記光非透過部とは別体の部材であることが好ましい。
上記の構成によれば、光非透過部に形成された溝に突出部を嵌め込む深さに応じて、突出部の高さを調整することができる。これにより、突出部と光デバイスとの間において、突出部の製造公差に対するマージンを確保することができる。
また、本発明の光デバイスパッケージにおいて、上記光学窓部は、上記光非透過部における上記光デバイスと対向する面に接合されていることが好ましい。
上記の構成によれば、光学窓部の縁が光デバイスパッケージの外部に露出しないので、光学窓部に対する光デバイスパッケージの外部からのダメージを低減することができる。
本発明によれば、光デバイスの受光部分に異物が付着する、もしくはこの受光部分上を異物が浮遊することに起因する、光デバイスの誤動作または受光量の低下を抑制することが可能となる。
本発明の実施の形態１に係る光デバイスパッケージの分解斜視図、および光非透過部における光デバイス側の面を示す斜視図である。 図１に示す光デバイスパッケージのＡ−Ａ線矢視断面図である。 （ａ）〜（ｄ）はそれぞれ、本発明の実施の形態１の第１変形例に係る光デバイスパッケージの断面図である。 （ａ）および（ｂ）はそれぞれ、本発明の実施の形態１の第２変形例に係る、光非透過部における光デバイス側の面を示す平面図である。 本発明の実施の形態２に係る光デバイスパッケージの分解斜視図である。 図５に示す光デバイスパッケージのＢ−Ｂ線矢視断面図である。 （ａ）〜（ｃ）はそれぞれ、本発明の実施の形態２の変形例に係る光デバイスパッケージの断面図である。 突出部がハウジングの側壁側に延びる構成の別の例を示す断面図である。 突出部がハウジングの側壁側に延びる構成のさらに別の例を示す断面図である。 従来技術に係る光デバイスパッケージの概略構成を示す断面図である。
本発明を実施するための形態について、以下に説明する。なお、以下に説明する各実施の形態に係る光デバイスパッケージは、ＬＣＯＳ（Liquid Crystal On Silicon）素子を気密封止してなる光デバイスパッケージなので、以下ではこれを「ＬＣＯＳパッケージ」という。また、以下、先に説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
〔実施の形態１〕
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るＬＣＯＳ（Liquid Crystal On Silicon）パッケージ２０１の分解斜視図である。また、図２は、図１に示すＬＣＯＳパッケージ２０１のＡ−Ａ線矢視断面図である。なお、図１には、ＬＣＯＳパッケージ２０１が備える蓋部３を裏面側から見た斜視図を併せて示している。
図１および図２に示すＬＣＯＳパッケージ（光デバイスパッケージ）２０１は、光デバイスユニット１、ハウジング２、および蓋部３を備えている。
光デバイスユニット１は、ＬＣＯＳ素子（光デバイス）１１およびヒーター１２を有している。また、ＬＣＯＳ素子１１は、シリコン基板部１１ａおよび液晶部１１ｂを有している。シリコン基板部１１ａは、ＬＣＯＳ素子１１を駆動するための駆動回路をシリコン基板に形成したものである。液晶部１１ｂは、ＬＣＯＳ素子１１の上面に設けられたＬＣＯＳ素子１１の受光部分であり、液晶に加え、透明電極、配向膜等を有している。また、ＬＣＯＳ素子１１は、その温度が精緻に管理される必要があり、この温度の制御をヒーター１２が担っている。なお、ＬＣＯＳ素子１１のかわりに固体撮像素子を用いる場合、ヒーター１２を省略することができる。
ハウジング２は、ＬＣＯＳ素子１１を収納するものであり、セラミック基板２１および封止枠体２２を有している。封止枠体２２は、ＬＣＯＳ素子１１を囲むようにセラミック基板２１上に設けられた枠体であり、光非透過性のセラミック、金属等からなる。
蓋部３は、ＬＣＯＳ素子１１の上方に設けられており、ハウジング２に適合する蓋部である。蓋部３は、金属フレーム（光非透過部）３１およびガラス基板（光学窓部）３２を有している。
金属フレーム３１は、非透過性の金属材料からなり、ＬＣＯＳ素子１１の上方に開口３３が形成されている。そして、ガラス基板３２は開口３３を塞ぐ。これにより、ＬＣＯＳパッケージ２０１外部からの光は、ガラス基板３２を透過して、ＬＣＯＳ素子１１の液晶部１１ｂに導かれる。
なお、封止枠体２２と金属フレーム３１とは、ハンダまたはロウからなる接合層４１によって接合されている。また、ガラス基板３２におけるＬＣＯＳ素子１１側の面における縁およびその近傍はメタライズされており、このメタライズされている部分がメタライズ層４２である。さらに、金属フレーム３１とメタライズ層４２とは、ハンダからなる接合層４３によって接合されている。
ここで、金属フレーム３１には、突出部３４が形成されている。突出部３４は、金属フレーム３１におけるＬＣＯＳ素子１１側の面において、ＬＣＯＳ素子１１の側に突出している。
突出部３４により、シリコン基板部１１ａと金属フレーム３１との間隔を小さくことができるので、ハウジング２内に入り込みＬＣＯＳ素子１１の側方に残留した異物が、ＬＣＯＳ素子１１の上面に配置されたＬＣＯＳ素子１１の液晶部１１ｂ（受光部分）に向けて移動することを抑制することができる。これにより、ＬＣＯＳ素子１１の液晶部１１ｂに異物が付着する、もしくはこの液晶部１１ｂ上を異物が浮遊することを防止することができるので、ＬＣＯＳ素子１１の誤動作を抑制することが可能となる。
また、突出部３４と、ＬＣＯＳ素子１１とが離間されている。突出部３４とＬＣＯＳ素子１１とが離間されているため、突出部３４がＬＣＯＳ素子１１と接触したり、ＬＣＯＳ素子１１を圧迫したりすることを防ぐことができる。従って、突出部３４の接触または圧迫によって、ＬＣＯＳ素子１１が損傷したり誤動作したりすることを防ぐことができる。
ところで、ＬＣＯＳ素子１１をはじめとする、画素構造を有する光デバイスでは総じて、この光デバイスにおける１画素に相当する面積以上のサイズを有する異物は、この光デバイスの誤動作または受光量の低下の直接的な原因となりやすい。
この場合、突出部３４と、上記画素構造を有する光デバイスとの離間距離は、この光デバイスの画素サイズ未満であることが好ましい。例えば、この光デバイスの１ピクセルが１０μｍ角である場合、１０μｍ×１０μｍ以上のサイズの異物が上記原因となり得るので、この場合、上記離間距離は１０μｍ未満であることが好ましい。
これにより、上記画素構造を有する光デバイスの誤動作または受光量の低下の直接的な原因となる異物が、この光デバイスの受光部分に向けて移動することを効果的に抑制することができる。
（実施の形態１の第１変形例）
図３の（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ、ＬＣＯＳパッケージ２０１の第１変形例に係るＬＣＯＳパッケージ２０２〜２０５の断面図である。
図３の（ａ）に示すＬＣＯＳパッケージ２０２は、突出部３４と、封止枠体（ハウジングの側壁）２２とが離間されている点が、ＬＣＯＳパッケージ２０１と異なっている。ＬＣＯＳパッケージ２０２のその他の構成は、ＬＣＯＳパッケージ２０１の構成と同様である。
突出部３４と封止枠体２２とが離間されているため、突出部３４と封止枠体２２との間において、突出部３４の製造公差に対するマージンを確保することができる。また、突出部３４と封止枠体２２との間にて、異物を捕捉することが可能となる。
図３の（ｂ）に示すＬＣＯＳパッケージ２０３は、下記の点が、ＬＣＯＳパッケージ２０１と異なっている。ＬＣＯＳパッケージ２０３のその他の構成は、ＬＣＯＳパッケージ２０１の構成と同様である。
ＬＣＯＳパッケージ２０３には、突出部３４の替わりに、突出部３４と同様の機能を有する突出部３５が、金属フレーム３１と別部材として設けられている。なお、突出部３５の材質は、低アウトガスであり、一般的な気密封止パッケージに適したものであればよく、金属、エポキシ樹脂、またはアクリル樹脂等が挙げられる。これにより、突出部３４を有する金属フレーム３１を一体成形する場合と比べて、加工コストを抑え、突出部の形状の自由度を上げることができる。
また、ＬＣＯＳパッケージ２０３において、突出部３５は、ＬＣＯＳ素子１１の直上から、ＬＣＯＳ素子１１の側方にまで延びている。これにより、異物がＬＣＯＳ素子１１の側方から液晶部１１ｂ上に到達するまでの距離を長くとることができるため、ＬＣＯＳ素子１１の誤動作の直接的な原因となる異物が、液晶部１１ｂに向けて移動することを効果的に抑制することができる。
さらに、突出部３５は、その一部または全部が、突出部３５の先端に近づく程封止枠体２２に近づくように延びており、これにより、突出部３５における封止枠体２２側にて、異物を捕捉することが可能となる。この構成については、図３の（ｂ）の例の他、図８および９の例も考えられる。図８は、ＬＣＯＳパッケージ２０３に対して、突出部３５を短くした（突出部３５の先端がＬＣＯＳ素子１１の直上に位置する）ＬＣＯＳパッケージ２１０である。図９は、ＬＣＯＳパッケージ２０３に対して、突出部３５を段型に形成したＬＣＯＳパッケージ２１１である。ＬＣＯＳパッケージ２１０および２１１共に、それら各々の隙間３７にて、異物を捕捉することができる。
図３の（ｃ）に示すＬＣＯＳパッケージ２０４は、下記の点が、ＬＣＯＳパッケージ２０３と異なっている。ＬＣＯＳパッケージ２０４のその他の構成は、ＬＣＯＳパッケージ２０３の構成と同様である。
ＬＣＯＳパッケージ２０４には、突出部３５が複数設けられている。突出部３５のうち、最もＬＣＯＳ素子１１側に設けられた突出部３５ａは、ＬＣＯＳ素子１１の上面に向けて延びている。突出部３５のうち、最もＬＣＯＳ素子１１から遠い側に設けられた突出部３５ｃは、ＬＣＯＳ素子１１の側方に向けて延びている。突出部３５のうち、突出部３５ａと突出部３５ｃとの間に設けられた突出部３５ｂは、ＬＣＯＳ素子１１の上面および側方に向けて延びている。
複数の突出部３５を設けることにより、ＬＣＯＳ素子１１の液晶部１１ｂに異物が付着する、もしくはこの液晶部１１ｂ上を異物が浮遊することを、より確実に防止することができる。すなわち、異物がどのように移動するかを自在に制御することは困難であるが、複数の突出部３５を設けることにより、異物を２つの突出部３５間にて捕捉して留まらせることが可能となるので、結果として異物が液晶部１１ｂの上方にまで移動することを抑制することができる。
図３の（ｄ）に示すＬＣＯＳパッケージ２０５は、下記の点が、ＬＣＯＳパッケージ２０４と異なっている。ＬＣＯＳパッケージ２０５のその他の構成は、ＬＣＯＳパッケージ２０４の構成と同様である。
ＬＣＯＳパッケージ２０５は、金属フレーム３１に、突出部３５ａ〜３５ｃと１対１に対応する溝３６ａ〜３６ｃが形成されている。溝３６ａ〜３６ｃには、それぞれ、突出部３５ａ〜３５ｃが嵌め込まれる。
溝３６ａ〜３６ｃに、それぞれ、突出部３５ａ〜３５ｃが嵌め込まれる構造とすることによって、溝３６ａ〜３６ｃに突出部３５ａ〜３５ｃを嵌め込む深さに応じて、突出部３５ａ〜３５ｃの高さを調整することができる。これにより、突出部３５ａ〜３５ｃとＬＣＯＳ素子１１との間において、突出部３５ａ〜３５ｃの製造公差に対するマージンを確保することができる。
（実施の形態１の第２変形例）
図４の（ａ）および（ｂ）はそれぞれ、本実施の形態の第２変形例に係る、金属フレーム３１におけるＬＣＯＳ素子１１側の面を示す平面図である。ここでは、金属フレーム３１および突出部３５の組み合わせについて説明を行うが、金属フレーム３１および突出部３４の組み合わせについても同様である。
図４の（ａ）および（ｂ）のそれぞれに示す金属フレーム３１には、突出部３５ａ〜３５ｃ（図３の（ｃ）および（ｄ）参照）が設けられている。
図４の（ａ）に示す金属フレーム３１において、突出部３５ａ〜３５ｃの各々は、金属フレーム３１の開口３３を囲むように、枠状かつ連続的に設けられているので、ＬＣＯＳ素子１１の全周に亘って、異物が液晶部１１ｂに向けて移動することを抑制することができる。一方、図４の（ｂ）に示す金属フレーム３１において、突出部３５ａ〜３５ｃの各々は、金属フレーム３１の開口３３を囲むように、枠状かつ断続的に設けられている。図４の（ｂ）に示す金属フレーム３１の構成によれば、突出部３５ａ〜３５ｃと金属フレーム３１とが異なる材料であった場合、金属フレーム３１に生じる応力を抑制することができる。
（付記事項）
本実施の形態では、ＬＣＯＳ素子を収納した光デバイスパッケージ（ＬＣＯＳパッケージ）について説明したが、本発明は、これに限定されない。すなわち、本発明に係る光デバイスパッケージに収納される光デバイスは、光が入力される、又は、光を出力する光デバイスであればよく、例えば、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）ミラーであってもよい。また、この光デバイスは、固体撮像素子であってもよく、この場合、本発明に係る光デバイスパッケージの構成により、光デバイスの誤動作に係る効果に替えて、光デバイスにおける受光量の低下に係る効果を享受することができる。
また、上述したとおり、ガラス基板３２にはメタライズ層４２が形成されているが、このメタライズ層４２は省略されてもよい。換言すれば、光学窓部がガラス（光透過性材料）単体でさえあれば、このガラスの縁およびその近傍に金属層等の光非透過性材料を形成したものであってもよい。
また、ＬＣＯＳ素子１１と突出部３４との離間距離が小さい程、異物の移動の抑制効果が高まる一方、突出部３４がＬＣＯＳ素子１１を接触および／または圧迫する虞が高まる。突出部３４がＬＣＯＳ素子１１を接触または圧迫する虞をできるだけ低減したい場合、ＬＣＯＳ素子１１と突出部３４との離間距離を１００μｍ程度としても、ある程度の上記抑制効果が見込める。突出部３５についても同様である。
さらに、ＬＣＯＳパッケージ２０１〜２０５では、説明を簡潔にするために、突出部３４を設ける形態と突出部３５を設ける形態とを明確に区別したが、実際は、ＬＣＯＳパッケージ２０１〜２０５の全てにおいてこれらの両形態を適用することが可能である。
〔実施の形態２〕
図５は、本発明の第２の実施の形態に係るＬＣＯＳパッケージ２０６の分解斜視図である。また、図６は、図５に示すＬＣＯＳパッケージ２０６のＢ−Ｂ線矢視断面図である。
図５および図６に示すＬＣＯＳパッケージ２０６は、蓋部３の替わりに蓋部５を備えている点が、ＬＣＯＳパッケージ２０１と異なっている。ＬＣＯＳパッケージ２０６のその他の構成は、ＬＣＯＳパッケージ２０１の構成と同様である。
蓋部５は、ＬＣＯＳ素子１１の上方に設けられており、ハウジング２に適合する蓋部である。蓋部５は、金属フレーム（光非透過部）５１、ガラス基板（光学窓部）５２、および突出部（光非透過部）５５を有している。
金属フレーム５１は、光非透過性の金属材料からなり、ＬＣＯＳ素子１１の上方に開口５３が形成されている。そして、ガラス基板５２は開口５３を塞ぐ。これにより、ＬＣＯＳパッケージ２０６外部からの光は、ガラス基板５２を透過して、ＬＣＯＳ素子１１の液晶部１１ｂに導かれる。
なお、封止枠体２２と金属フレーム５１とは、ハンダまたはロウからなる接合層６１によって接合されている。また、ガラス基板５２におけるＬＣＯＳ素子１１と反対側の面における縁およびその近傍はメタライズされており、このメタライズされている部分がメタライズ層６２である。さらに、金属フレーム５１とメタライズ層６２とは、ハンダからなる接合層６３によって接合されている。
金属フレーム５１およびガラス基板５２の材質は、それぞれ、金属フレーム３１およびガラス基板３２の材質と同じである。
金属フレーム５１は、突出部５５が、金属フレーム５１と別部材として設けられている。突出部５５は、金属フレーム５１におけるＬＣＯＳ素子１１側の面から、ＬＣＯＳ素子１１の側に突出している。突出部５５によっても、突出部３４および３５と同様の、異物の移動の抑制効果を得ることができる。
ＬＣＯＳパッケージ２０６において、ガラス基板５２は、金属フレーム５１におけるＬＣＯＳ素子１１と対向する面（すなわち、ＬＣＯＳ素子１１側）に接合されている。これにより、ガラス基板５２の縁がＬＣＯＳパッケージ２０６の外部に露出しないので、ガラス基板５２に対するＬＣＯＳパッケージ２０６の外部からのダメージを低減することができる。
（実施の形態２の変形例）
図７の（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ、ＬＣＯＳパッケージ２０６の変形例に係るＬＣＯＳパッケージ２０７〜２０９の断面図である。
図７の（ａ）〜（ｃ）にそれぞれ示すＬＣＯＳパッケージ２０７〜２０９は、下記の点が、ＬＣＯＳパッケージ２０６と異なっている。ＬＣＯＳパッケージ２０７〜２０９のその他の構成は、ＬＣＯＳパッケージ２０６の構成と同様である。
図６に示すＬＣＯＳパッケージ２０６の突出部５５は、図６の断面において斜線状に設けられていたが、ＬＣＯＳパッケージ２０７〜２０９の突出部５５は、それぞれ、図７の（ａ）〜（ｃ）の断面においてＬ字形に設けられている。
図７の（ｂ）に示すＬＣＯＳパッケージ２０８は、図７の（ａ）に示すＬＣＯＳパッケージ２０７と比較して、ガラス基板５２と突出部５５との間隔が小さくなっている。また、図７の（ｃ）に示すＬＣＯＳパッケージ２０９は、図７の（ｂ）に示すＬＣＯＳパッケージ２０８と比較して、封止枠体２２と突出部５５の先端との離間距離が小さくなっている。
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
本発明は、光デバイスを気密封止してなる光デバイスパッケージに利用することができる。特に、本発明は、光非透過性材料からなり、開口が形成されている光非透過部と、光透過性材料からなり、上記開口を塞ぐ光学窓部と、を有する蓋部を備えた光デバイスパッケージに利用することができる。
１ 光デバイスユニット
２ ハウジング
３ 蓋部
５ 蓋部
１１ ＬＣＯＳ素子（光デバイス）
２２ 封止枠体（ハウジングの側壁）
３１ 金属フレーム（光非透過部）
３２ ガラス基板（光学窓部）
３３ 開口
３４および３５ 突出部（光非透過部）
３５ａ〜３５ｃ 突出部（光非透過部）
５１ 金属フレーム（光非透過部）
５２ ガラス基板（光学窓部）
５３ 開口
５５ 突出部（光非透過部）
２０１〜２１１ ＬＣＯＳパッケージ（光デバイスパッケージ）

Claims (10)

  1. 光デバイスと、
    上記光デバイスを収納するハウジングと、
    光非透過性材料からなり開口が形成されている光非透過部と、光透過性材料からなり上記開口を塞ぐ光学窓部とを有する蓋部と、を備えており、
    上記光非透過部は、上記光デバイスの側に突出する突出部を少なくとも１つ有していることを特徴とする光デバイスパッケージ。
  2. 少なくとも１つの上記突出部と、上記光デバイスとが離間されていることを特徴とする請求項１に記載の光デバイスパッケージ。
  3. 上記光デバイスは、画素構造を有するものであり、
    上記少なくとも１つの突出部と、上記光デバイスとの離間距離は、上記光デバイスの画素サイズ未満であることを特徴とする請求項２に記載の光デバイスパッケージ。
  4. 少なくとも１つの上記突出部と、上記ハウジングの側壁とが離間されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の光デバイスパッケージ。
  5. 上記少なくとも１つの突出部の少なくとも一部が、この突出部の先端に近づく程上記ハウジングの側壁に近づくように延びていることを特徴とする請求項４に記載の光デバイスパッケージ。
  6. 少なくとも１つの上記突出部は、上記光デバイスの側方にまで延びていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の光デバイスパッケージ。
  7. 上記光非透過部は、上記突出部を複数有していることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の光デバイスパッケージ。
  8. 少なくとも１つの上記突出部は、上記光非透過部に取り付けられた、上記光非透過部とは別体の部材であることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の光デバイスパッケージ。
  9. 少なくとも１つの上記突出部は、上記光非透過部に形成された溝に嵌め込まれた、上記光非透過部とは別体の部材であることを特徴とする請求項８に記載の光デバイスパッケージ。
  10. 上記光学窓部は、上記光非透過部における上記光デバイスと対向する面に接合されていることを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の光デバイスパッケージ。
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