JP2016195333A - 探触子、及びそれを用いた被検体情報取得装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】探触子は、基板100に設けられた第1の電極と第1の電極の上に間隙を隔てて設けられた第2の電極を含む振動膜とを含むセルを1つ以上有するエレメント101と、エレメントの上に配置された音響インピーダンス整合層102と、を備える。音響インピーダンス整合層102のエレメントがある側の面とは反対側の面に、音響インピーダンス整合層102を覆う光反射層103が設けられ、光反射層103と基板100とを固定する第1の接着層104が設けられている。
【選択図】図1
Description
以下、図と共に本発明の第1の実施形態を説明する。図1は、本発明の第1の実施形態を説明する断面図である。基板100には、セルを1以上有するエレメント101が配置されている。エレメント101の直上には、音響インピーダンス整合層102が配置されている。音響インピーダンス整合層102に対向して、光反射層103は音響インピーダンス整合層102を覆っている。光反射層103と基板101とは、接着層104を介して固定されている。光反射層103の主面(基板100の面と平行ないし略平行な面)を、音響インピーダンス整合層102の主面よりも広くしておくことで、音響インピーダンス整合層102を介さずに、光反射層103と基板100とを接着することが可能になる。こうした構成において、音響インピーダンス整合層102、光反射層103、接着層104の全てまたは一部が、エレメント101の保護層としての役割を担っている。
以下、より具体的な実施例1を示す。本実施例では、厚さ300μmのシリコンウエハ上に、半導体プロセスによってエレメント101を作製した。エレメント101は、上から見ると円形であり、直径を2mmとした。次にエレメントを有するシリコンウエハから、ダイシングによって縦6mm、横5mmの基板100を切り出した。
上記探触子は、超音波診断装置などの被検体情報取得装置に適用することができる。被検体からの音響波をトランスデューサで受信し、出力される電気信号を用い、光吸収係数などの被検体の光学特性値を反映した被検体情報や音響インピーダンスの違いを反映した被検体情報を取得できる。
Claims (14)
- 基板に設けられた第1の電極と前記第1の電極の上に間隙を隔てて設けられた第2の電極を含む振動膜とを含むセルを1つ以上有するエレメントと、前記エレメントの上に配置された音響インピーダンス整合層と、を備える探触子であって、
前記音響インピーダンス整合層の前記エレメントがある側の面とは反対側の面に、前記音響インピーダンス整合層を覆う光反射層が設けられ、前記光反射層と前記基板とを固定する第1の接着層が設けられていることを特徴とする探触子。 - 前記エレメントと前記音響インピーダンス整合層との間に第2の接着層を有することを特徴とする請求項1に記載の探触子。
- 前記光反射層と前記音響インピーダンス整合層との間に第3の接着層を有することを特徴とする請求項1または2に記載の探触子。
- 前記第1の接着層と前記音響インピーダンス整合層とは同じ厚さを有することを特徴とする請求項1に記載の探触子。
- 前記第1の接着層と前記音響インピーダンス整合層とは異なる厚さを有することを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の探触子。
- 前記音響インピーダンス整合層はシリコーン樹脂系接着剤を含むことを特徴とする請求項1から5の何れか1項に記載の探触子。
- 前記接着層はシリコーン樹脂系接着剤であることを特徴とする請求項6に記載の探触子。
- 前記光反射層は、樹脂フィルムの上に金属薄膜を形成した層であることを特徴とする請求項1から7の何れか1項に記載の探触子。
- 請求項1または2に記載の探触子の製造方法であって、
前記第1の接着層と、前記第2の接着層または前記第3の接着層と、を同じ工程で形成することを特徴とする製造方法。 - 前記光反射層において、反射膜を形成した面の反対側の面に、前記音響インピーダンス整合層を形成する工程、
前記基板に形成されたエレメントの直上に前記第2の接着層となる材料を塗布し、前記エレメントの直上以外である領域の基板に前記第1の接着層となる材料を塗布する工程、
前記エレメントの直上に対向させるようにして、前記光反射層に形成された音響インピーダンス整合層を配置する工程、
前記光反射層の反射膜が形成された面を加圧することで、前記第1の接着層と前記第2の接着層の材料をそれぞれ前記反対側の面と前記音響インピーダンス整合層に密着させ、第1の接着層と第2の接着層とを形成する工程、
を有することを特徴とする請求項9に記載の製造方法 - 前記光反射層の反射膜を形成した面の反対側の面において、前記基板に形成されたエレメントの直上にくる領域に前記第3の接着層となる材料を塗布し、前記エレメントの直上以外にくる領域に前記第1の接着層となる材料を塗布する工程、
前記基板に形成されたエレメントの直上に前記音響インピーダンス整合層を形成する工程、
前記音響インピーダンス整合層に対向させるようにして、前記第3の接着層となる材料を配置する工程、
前記光反射層の反射膜が形成された面を加圧することで、前記第1の接着層と前記第3の接着層の材料をそれぞれ前記基板のエレメントの直上以外の領域と前記音響インピーダンス整合層に密着させ、第1の接着層と第3の接着層とを形成する工程、
を有することを特徴とする請求項9に記載の製造方法 - 請求項1から8の何れか1項に記載の探触子の製造方法であって、
前記光反射層の反射膜を形成した面の反対側の面と前記基板との一方に、前記音響インピーダンス整合層を形成する工程、
前記光反射層の反射膜を形成した面の反対側の面と前記基板との他方に、前記第1の接着層となる材料を塗布する工程、
前記エレメントの直上に前記音響インピーダンス整合層を配置した状態で前記光反射層と前記基板を重ねる工程、
前記光反射層の反射膜が形成された面を加圧することで、前記第1の接着層の材料を密着させ、前記第1の接着層を形成する工程、
を有することを特徴とする製造方法。 - 請求項1から8の何れか1項に記載の探触子の製造方法であって、
前記音響インピーダンス整合層を、スクリーン印刷、オフセット印刷、ステンシルマスク印刷、マスク材を適用したスキージ法のうちの何れか1つによって形成することを特徴とする製造方法 。 - 光源と、前記光源から出射した光が被検体に照射されることにより発生する音響波を受信して電気信号に変換する探触子と、前記電気信号を用いて被検体の情報を取得する処理部と、を有する被検体情報取得装置であって、
前記探触子は請求項1から8の何れか1項に記載の探触子であることを特徴とする被検体情報取得装置。
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