JP2013226390A - 探触子、及びそれを用いた被検体情報取得装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】光反射部材において支持層の高い気体透過性を補うためのガスバリア層を形成することで、気体流入による光反射層と支持層間の密着性劣化を防ぎ、剥離などを低減した探触子を提供する。
【解決手段】探触子は、間隙を挟んで設けられた2つの電極のうちの一方の電極を含む振動膜が振動可能に支持されたセル構造を少なくとも1つ含む素子と、前記素子より被検体側に設けられた光反射層108と、光反射層108を支持する支持層104と、支持層104の両面の少なくとも一方の側に、支持層より高いガスバリア性を有するガスバリア層106を有する。
【選択図】図1
【解決手段】探触子は、間隙を挟んで設けられた2つの電極のうちの一方の電極を含む振動膜が振動可能に支持されたセル構造を少なくとも1つ含む素子と、前記素子より被検体側に設けられた光反射層108と、光反射層108を支持する支持層104と、支持層104の両面の少なくとも一方の側に、支持層より高いガスバリア性を有するガスバリア層106を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、光音響探触子などとして用いられ光反射部材付き静電容量型電気機械変換装置等を備える探触子、及びそれを用いた被検体情報取得装置に関する。
近年、疾患の早期発見技術として超音波診断、特に光音響を用いた光音響画像診断(PAT:Photo−Acoustic−Tomography)が注目される様になっている。これは、生体に対して非侵襲で、且つ透過率の高い近赤外光を用いて、生体内の情報を可視化する技術であり、近赤外光を照射した時に生体が光エネルギーを吸収し、瞬間的に熱膨張して発生する音響波を検知することで生体内のイメージングを行なう。尚、本明細書において、音響波とは、音波、超音波、光音響波と呼ばれるものを含む。例えば、被検体内部に可視光線や赤外線等の光(電磁波)を照射して被検体内部で発生する光音響波を含む。以下では、超音波という用語を音響波の代表として用いることもある。
図7に光音響画像診断の概略図を示す。生体などの診断対象(被検体)504にレーザー光502を照射し、被検体504から発生する超音波506を探触子508で検知する。超音波は気体中では減衰が激しく、又、音響インピーダンスが異なる物質の界面で強く反射されてしまう。そのため、被検体504と探触子508の間には、音響インピーダンスが被検体や探触子と同じ程度の音響媒体500で満たしておくことが普通である。レーザー光502と探触子508を同期走査して被検体504の所望領域の診断を行なうが、レーザー光502が被検体504から外れた場合には直接探触子508に照射され、大きな音響ノイズが発生し、診断に悪影響を及ぼすことがある。レーザー光502を探触子508と同じ側から入射する構成もあるが、その場合でも、散乱光などが探触子508に入射して吸収されるとノイズが発生してしまうことがある。このため、探触子508の表面にはレーザー光502を反射する光反射部材を設置することが好ましい。
この光反射部材が有するべき特徴として、1)使用する光の波長領域での高い反射率、2)被検体から発生する信号(超音波)に対する高い透過性、3)周囲の音響媒体に対する音響インピーダンス整合性、が求められる。金属膜などは光に対して高い反射率を有するが、音響インピーダンスが大きく、音響インピーダンス整合を考えると金属中の音の波長の1/30程度以下の厚さにする必要がある。非特許文献1には、樹脂フォイル上に8μm厚のアルミニウムをコーティングした光反射部材が記載されている。10MHzの超音波のアルミニウム中の波長(642μm)に対して約1/100と十分に薄く、音響インピーダンス的には問題ないと思われる。しかしながら、アルミニウムの支持層である樹脂部分に関しては何ら詳細な記載がされていない。この樹脂部分に関しては前述の2)及び3)の特性が要求される。非特許文献1においては超音波センサーとしてPZTなどの圧電体からなるセンサーを用いている。しかし、近年、静電容量型トランスデューサー(CMUT:Capacitive−Micromachined−Ultrasonic−Transducer)も広く用いられる様になってきている。
CMUTはその音響インピーダンスが生体に近いため、インピーダンス整合層が本質的には不要であり、帯域も広いため、特に生体診断用の超音波センサーとして好適である。超音波は空気中では減衰が激しく、又、空気は極端に音響インピーダンスが小さく他の物体との界面でほぼ100%の超音波の反射が生じる。そのため、通常は、人体に対して安全かつ音響インピーダンスが生体(音響インピーダンス約1.5×106[kg・m-2・s-1])に近い媒質(音響媒体)を生体と超音波センサーの間に入れる。水(音響インピーダンス約1.5×106[kg・m-2・s-1])、ポリエチレングリコール(音響インピーダンス約1.8×106[kg・m-2・s-1])などを好適に用いることが出来る。光反射部材の支持層(非特許文献1では樹脂フォイル)は、これらの音響媒体と近い低音響インピーダンス(例えば約2×106[kg・m-2・s-1]以下)を持つ材料を用いることが好ましい。例えばポリカーボネート樹脂などは音響インピーダンスが約2.6×106[kg・m-2・s-1]であり、音響インピーダンス不整合による超音波の反射が発生し感度低下及び帯域悪化を引き起こすことがあるため、あまり適当ではない。特許文献1では、好ましい条件を満たす光反射部材として、ポリメチルペンテン樹脂(音響インピーダンス約1.8×106[kg・m-2・s-1])に金属膜をコートした光反射部材が開示されている。
「Combined Ultrasound and Optoacoustic System for Real-TimeHigh-Contrast Vascular Imaging in Vivo」 IEEETRANSACTIONSON MEDICAL IMAGING, VOL.24, NO. 4, APRIL 2005 pp436-440
上記理由により、光音響探触子における光反射部材は、低音響インピーダンス(2×106[kg・m-2・s-1]以下)の樹脂などの支持層と金属薄膜などの光反射層の組み合わせが好ましい。しかし、実際にこの組み合わせを光反射部材として用いる場合、本発明者らは以下の点を見出した。すなわち、支持層として用いるオレフィン系樹脂などは、その密度の低さから気体透過性が高く、密着界面へ気体が流入することにより密着性が劣化することである。樹脂などの表面に光反射層となる金属薄膜を形成しても樹脂などの側からの気体の流入により、表面の状態が変化し、光反射層の密着性が劣化し剥離する恐れがあった。
本発明は、上記課題を解決する為、光反射層と支持層との密着性が十分な光反射部材を有する探触子などを提供することを目的とする。
本発明の探触子は、被検体からの音響波を受信する探触子であって、
間隙を挟んで設けられた2つの電極のうちの一方の電極を含む振動膜が前記音響波により振動可能に支持されたセル構造を少なくとも1つ含む素子と、
前記素子より被検体側に設けられた光反射層と、
前記光反射層よりも前記素子側に設けられ、前記光反射層を支持する支持層と、
前記支持層の前記光反射層側の面と、前記支持層の前記素子側の面と、のうち少なくとも一方に設けられた、前記支持層より高いガスバリア性を有するガスバリア層と、
を有する。
間隙を挟んで設けられた2つの電極のうちの一方の電極を含む振動膜が前記音響波により振動可能に支持されたセル構造を少なくとも1つ含む素子と、
前記素子より被検体側に設けられた光反射層と、
前記光反射層よりも前記素子側に設けられ、前記光反射層を支持する支持層と、
前記支持層の前記光反射層側の面と、前記支持層の前記素子側の面と、のうち少なくとも一方に設けられた、前記支持層より高いガスバリア性を有するガスバリア層と、
を有する。
本発明によれば、低音響インピーダンスの樹脂(例えばメチルペンテン樹脂などのオレフィン系樹脂)などである支持層上に、SiO2などからなるガスバリア性の高いガスバリア層を形成し、その上に金属薄膜などの光反射層を形成する。或いは、支持層と音響整合層などとの間に、ガスバリア性の高いガスバリア層を形成する。このことで、支持層として用いる樹脂などの気体透過性の高さによる密着界面への気体流入を抑制することができる。そのため、界面状態の変化などによる光反射層の密着性劣化が抑制され、光反射層の剥離を抑制できる。この効果を、低音響インピーダンスの樹脂などである支持層を用いることで音響インピーダンス不整合による探触子の感度低下を抑えつつ、実現できる。
本発明の一実施形態の探触子は、被検体からの音響波を受信する検知手段として静電容量型の電気機械変換装置を備える。そして、振動膜の上(つまり素子よりも被検体側)に設けられた光反射部材が、支持層、光反射層、支持層より高いガスバリア性を有するガスバリア層を備える。ガスバリア層は、支持層の光反射層側の面と、支持層の素子側の面と、のうち少なくとも一方に設けられている。これらの構成において、ガスバリア性とは、気体(典型的には酸素)の透過性のことで、この透過率が低いことをガスバリア性が高いという。具体的には、支持層上にガスバリア層を形成した状態で、酸素透過率が1×10−15cm3・cm/(cm2・s・Pa)以下であることが好ましい。また、音響波透過性とは、音響波の透過率であり、これが高いとは、例えば90%以上音響波が透過する性質である。光反射性とは、光反射率であり、これが高いとは、例えば使用する光の波長帯域において、80%以上、より好ましくは90%以上反射する性質である。電気機械変換装置のセル構造は、例えば、基板と接して形成された第一の電極の上に間隙を介して形成された第二の電極と、第二の電極を備える振動膜と、第一の電極と振動膜との間に間隙が形成される様に振動膜を支持する振動膜支持部と、で構成される。セル構造は、所謂犠牲層型、接合型の製法などで作製することができる。後述の図5の例は犠牲層型の製法で作製することができる構造を有し、後述の図6の例は接合型の製法で作製することができる構造を有する。本発明の探触子と光源とデータ処理装置を用いて被検体情報取得装置を構成することができる。ここでは、探触子は、光源から発振した光が被検体に照射されることにより発生する音響波を受信して電気信号に変換し、データ処理装置は、電気信号を用いて被検体の情報を取得する。
次に、本発明による光音響探触子の一例について説明する。図8は光音響探触子の概略図である。探触子は、超音波センサーとしてCMUT(つまり、図5に記載の素子)を備えたデバイス基板600、CMUTの保護及び超音波616の伝達機能を持つ音響整合層602をケース606内に収めている。また、レーザー光614を高い反射率で反射するための光反射部材604をケース606内に収めている。ケース606と光反射部材604は接着剤608によって封止されており、音響媒体610がケース606内に侵入しない様になっている。
本発明の探触子の実施形態が備える静電容量型の電気機械変換装置を説明する。図5に、セル構造を複数含む素子(エレメント)を有したCMUTを用いる探触子の一例を示す。図5(a)は上面図を示し、図5(b)は、図5(a)のA−B断面図である。本探触子は、セル構造7を有する素子8を複数個有している。図5では、4個の素子8がそれぞれ9個のセル構造7を有しているが、それぞれの素子8は1つ以上のセルを有していれば幾つであっても構わない。
本実施形態のセル構造7は、図5(b)に示す様に、基板1、第一の電極2、第一の電極2上の絶縁膜3、絶縁膜3と間隙5(空隙など)を介して設けられた振動膜4、振動膜4上の第二の電極6で構成されている。セル構造7では、間隙を挟んで設けられた2つの電極のうちの一方の電極を含む振動膜が振動可能に支持されている。基板1は、Siで構成されているが、ガラスなどの絶縁性基板を用いても構わない。第一の電極2はチタンやアルミニウムなどの金属薄膜で形成される。基板1を低抵抗のシリコンで形成する場合には、基板自体を第一の電極2とすることも可能である。絶縁膜3は、酸化シリコンなどの薄膜を堆積することで形成できる。振動膜4を振動可能に支持する部分である振動膜支持部9は、窒化シリコンなどの薄膜を堆積することで形成される。第二の電極6は、チタンやアルミニウムなどの金属薄膜で構成することができる。本明細書では、窒化シリコン膜や単結晶シリコン膜からなるメンブレン部分の振動膜と、第二の電極部分と、をあわせて振動膜と表現する場合もある。
また、本実施形態の探触子は、接合型の製法を用いても形成することができる。図6に示す接合型の構成でのセル構造7は、シリコン基板1の上に、間隙5を介して設けられた振動膜4、振動膜4を振動可能に支持する振動膜支持部9、第二の電極6、を備える。ここでは、低抵抗のシリコン基板1が、第一の電極を兼ねているが、基板として、絶縁性のガラス基板を用いることも可能であり、その場合は基板1上に第一の電極2となる金属薄膜(チタン、アルミニウムなど)を形成する。振動膜4は、接合されたシリコン基板などから形成される。ここでは、振動膜支持部9は、酸化シリコンから形成されるが、窒化シリコンなどの薄膜を堆積形成することも可能である。第二の電極6は、アルミニウムなどの金属薄膜で形成される。図5と図6において、10は音響整合層であり、11は、ガスバリア層を含む光反射部材である。
本実施形態の探触子の駆動原理を説明する。セル構造は、間隙5を挟んで設けられた第一の電極2と振動膜とで形成されているので、音響波を受信するためには、第一の電極2もしくは第二の電極6に直流電圧を印加する。音響波を受信すると、音響波により振動膜が振動して間隙の距離(高さ)が変化するため、電極間の静電容量が変化する。この静電容量変化を第一の電極2もしくは第二の電極6から検出することで、音響波を検出することができる。また、素子は、第一の電極2もしくは第二の電極6に交流電圧を印加して振動膜を振動させることで、音響波を送信することもできる。
図1を用いて更に詳細に、本発明の特徴である電気機械変換装置上の層構成を説明する。図1は探触子を示す断面図である。図1において、100はCMUT基板、102は、CMUT基板100と支持層104の間に形成される音響整合層、106はガスバリア層、108は光反射層である。110は、支持層104、ガスバリア層106、光反射層108からなる光反射部材である。これらのCMUT基板100、音響整合層102、光反射部材110から光音響探触子112が構成される。光音響探触子112は通常、生体に音響インピーダンスが近い音響媒体、例えば水やポリエチレングリコールなどの中にて使用される。
CMUT基板100は、Si基板上に形成されたキャビティ上にSiやSiNなどからなるメンブレンを備えたセルと呼ばれる静電容量型センサーが2次元的に配列された構成がよく用いられるが、その用途によりその配列構成は適宜選択される。音響整合層102は、CMUT基板100上のメンブレンなどの保護の役割、及び光反射部材110からCMUT基板100へ効率良く超音波116を伝達させる役割を有する。つまり、音響整合層102は、振動膜上に形成され、メンブレンのばね定数などの機械特性を大きく変化させないようなヤング率の小さいものが好ましい。具体的には、ヤング率が50MPa以下がよい。50MPa以下のヤング率を有することにより、光反射層108の応力による振動膜への影響を緩和し、且つ、剛性(ヤング率)も十分に小さいため、振動膜7の機械特性をほぼ変化させない。さらに、音響整合層102は、その音響インピーダンスがメンブレンと同程度の材料が好ましい。具体的には、音響インピーダンスが1MRayls以上2MRayls以下であることが好ましい(1MRayls=1×106kg・m-2・s-1である)。音響整合層102に用いる材料は、CMUTのメンブレンの機械的特性に対する影響が少ないものが好ましく、例えばポリジメチルシロキサン(PDMS)を架橋させたシリコンゴムなどが好ましい。PDMSには種々のものがあり、その一部をフッ素で置換したフロロシリコーン系のものや、またフィラー等の添加物を混合させたものなどがあり、音響媒体や光反射部材との音響特性の整合性により適宜選択することができる。
光反射層108は、レーザー光114を反射するための層であり、素子8よりも被検体側に設けられている。具体的には、被検体への照射光またはその散乱光を反射する。生体を診断する場合、レーザー光114としては波長700nmから1000nm近辺の近赤外領域が用いられることが多い。光反射層108は、使用する波長領域(例えば700nm〜1000nm)で高い反射率(好ましくは80%、より好ましくは90%)を有する金属膜であることが好ましい。具体的には、AuやAg、それらの合金などの膜を好適に用いることが出来る。また、光反射層108の膜厚は、音響インピーダンスを考慮して、10μm以下であることが好ましい。例えばAuの場合、音響インピーダンスが約63×106[kg・m-2・s-1]と高いため、音響インピーダンス不整合による超音波の反射を防ぐためには十分薄くする必要がある。よって、膜厚は、材料中の超音波の波長の1/30以下であることが望ましい。Auの厚さとしては10μm以下が好適であり、更にコスト等も考慮し、0.1μmから1μmの間が好ましい。また、Auなどの金属膜の上に誘電体多層膜を形成して積層構造とし、反射率を更に向上させることも可能である。光反射層は、誘電体多層膜でもよい。
支持層104は、このような光反射層を支持するための層であり、光反射層108より素子8側に設けられている。支持層104は、超音波伝達媒体と同等の音響インピーダンスを持ち、かつ、良好な超音波透過性を有する材質が好ましい。光反射層108は、音響整合層102の上に直接形成することもできるが、支持層104上に形成するのがより好ましい。なぜなら、音響整合層102はヤング率が小さい材料であるため、光反射層108を直接音響整合層に形成した場合には、光反射層の応力で音響整合層が変形する可能性があるからである。また、音響整合層102はヤング率が小さい材料であるため、表面粗さを小さくすることが難しく、音響整合層上の光反射層の反射率を高くすることが難しい。そのため、光反射層108は音響整合層102よりも剛性の高い支持層104上に形成するのが好ましい。具体的には支持層104の音響インピーダンスは1MRayls以上5MRayls以下程度が好ましい。また、支持層104のヤング率は音響整合層102よりも大きく(高く)、具体的には、100MPa以上20GPa以下が好ましい。支持層104の音響インピーダンスを音響整合層102の音響インピーダンスの値に近くすることによって、支持層104と音響整合層102との界面での音響波の反射量を低減することができる。生体に近い音響特性を有するものとして、オレフィン系樹脂が好ましく、例えばポリメチルペンテン樹脂、ポリエチレンなどを好適に用いることが出来る。光反射層108の形成や、CMUT基板100への接着などを考慮すると適当な柔軟性を有することが好ましく、10μmから150μm程度の厚さのものを好適に用いることが出来る。オレフィン系樹脂は音響インピーダンスが生体に近い半面、その密度が小さく、気体透過性が大きい(ガスバリア性が小さい)という特徴がある。支持層側からの酸素等のガス透過は、例えばAu膜の密着層として利用されるCr層を酸化させ、その密着性を劣化させる。
支持層104よりガスバリア性が大きいガスバリア層106は、気体流入による支持層104と光反射層108の密着性劣化を防ぐために設けられる層であり、支持層104として用いられるオレフィン系樹脂より低い酸素透過性をもつ材料が好適である。そのような材料としては無機材料を挙げることができ、SiO2(酸化シリコン)やSiNなどを用いることができる。SiO2膜やSiN膜はスパッタ法により形成することができる。また、本実施形態では光反射層108と支持層104の間(つまり、支持層104の光反射層108側の面)にガスバリア層106が配置されている。しかし、これは、例えば図3(c) のように、支持層300と音響整合層303の間(つまり、支持層の素子側の面)に配置されてもよい。また図4(d) のように、光反射層402と支持層400との間と支持層400と音響整合層404との間の両方に配置されてもよい。また、ガスバリア層106は、音響インピーダンスを考慮して、薄いほうが好ましく、具体的には、10μm以下であることが好ましく、1μm以下であることがより好ましい。
以下、本発明の実施例を説明する。
(実施例1)
図2は、実施例1の光音響探触子の製造方法の工程フローを示す断面図である。まず、図2(a)に示すように100μm厚のポリメチルペンテン樹脂である支持層となる支持基体200の上に、ガスバリア層201としてSiO2をスパッタ法により200nm積層する。次に、図2(b)に示すように、このガスバリア層201の上に、スパッタ法を用いてCr(厚さ10nm)、Au(厚さ200nm)を順次積層し、光反射層202を形成する。ここで、Auの成膜前にCrを成膜しているのはガスバリア層201に対する密着性を向上させる為である。こうして、ガスバリア層201、光反射層202を支持層200の上に形成した後、支持層200の裏面に音響整合層203としてフロロシリコーン樹脂(信越シリコーン製X-32-1619)を印刷法にて40μmの厚さに塗布する。そして、これを接着剤としてCMUT基板204上に図2(c)に示すように接着する。支持層200に音響整合層203を塗布する前には、支持層200の音響整合層203の塗布面に酸素プラズマ処理を行って、支持層200と音響整合層203の密着力を向上させている。このように形成された光音響探触子の光反射層は、膜剥がれ等を発生することなく、良好に動作した。
(実施例1)
図2は、実施例1の光音響探触子の製造方法の工程フローを示す断面図である。まず、図2(a)に示すように100μm厚のポリメチルペンテン樹脂である支持層となる支持基体200の上に、ガスバリア層201としてSiO2をスパッタ法により200nm積層する。次に、図2(b)に示すように、このガスバリア層201の上に、スパッタ法を用いてCr(厚さ10nm)、Au(厚さ200nm)を順次積層し、光反射層202を形成する。ここで、Auの成膜前にCrを成膜しているのはガスバリア層201に対する密着性を向上させる為である。こうして、ガスバリア層201、光反射層202を支持層200の上に形成した後、支持層200の裏面に音響整合層203としてフロロシリコーン樹脂(信越シリコーン製X-32-1619)を印刷法にて40μmの厚さに塗布する。そして、これを接着剤としてCMUT基板204上に図2(c)に示すように接着する。支持層200に音響整合層203を塗布する前には、支持層200の音響整合層203の塗布面に酸素プラズマ処理を行って、支持層200と音響整合層203の密着力を向上させている。このように形成された光音響探触子の光反射層は、膜剥がれ等を発生することなく、良好に動作した。
(実施例2)
図3は本発明の別の実施例を説明する図である。まず、図3(a)に示すように100μm厚のポリメチルペンテン樹脂である支持層300の上に、スパッタ法を用いてCr(厚さ10nm)、Au(厚さ200nm)を順次積層し、光反射層301を形成した。次に図3(b)に示すように、支持層300の裏面に、ガスバリア層302としてSiO2をスパッタ法を用いて200nm積層する。こうして、光反射層301を支持層300の上に形成し、ガスバリア層302を支持層300の裏面に形成する。そして、その後、ガスバリア層302の上に音響整合層303としてフロロシリコーン樹脂(信越シリコーン製X-32-1619)を印刷法にて40μmの厚さに塗布する。そして、これを接着剤としてCMUT基板304上に図3(c)に示すように接着した。このように形成された光音響探触子の光反射層は、膜剥がれ等の劣化を発生することなく、良好に動作した。
図3は本発明の別の実施例を説明する図である。まず、図3(a)に示すように100μm厚のポリメチルペンテン樹脂である支持層300の上に、スパッタ法を用いてCr(厚さ10nm)、Au(厚さ200nm)を順次積層し、光反射層301を形成した。次に図3(b)に示すように、支持層300の裏面に、ガスバリア層302としてSiO2をスパッタ法を用いて200nm積層する。こうして、光反射層301を支持層300の上に形成し、ガスバリア層302を支持層300の裏面に形成する。そして、その後、ガスバリア層302の上に音響整合層303としてフロロシリコーン樹脂(信越シリコーン製X-32-1619)を印刷法にて40μmの厚さに塗布する。そして、これを接着剤としてCMUT基板304上に図3(c)に示すように接着した。このように形成された光音響探触子の光反射層は、膜剥がれ等の劣化を発生することなく、良好に動作した。
(実施例3)
図4は本発明の別の実施例を説明する図である。まず、図4(a)に示すように100μm厚のポリメチルペンテン樹脂である支持層となる支持基体400の上に、ガスバリア層401としてSiO2をスパッタ法により200nm積層する。このガスバリア層にはSiNなども好適に用いることができる。次に、図4(b)に示すように、このガスバリア層401の上にスパッタ法を用いてCr(厚さ10nm)、Au(厚さ200nm)を順次積層し、光反射層402を形成する。ここで、Auの成膜前にCrを成膜しているのはガスバリア層401に対する密着性を向上させる為である。こうして、ガスバリア層401、光反射層402を支持層400の上に形成した後、図4(c)に示すように、支持層400の裏面にも、ガスバリア層403としてSiO2をスパッタ法を用いて200nm積層する。このようにして、ガスバリア層401、光反射層402を支持層400の上に形成し、ガスバリア層403を支持層400の裏面に形成する。その後、ガスバリア層403の上に音響整合層404としてフロロシリコーン樹脂(信越シリコーン製X-32-1619)を印刷法にて40μmの厚さに塗布し、これを接着剤としてCMUT基板405上に図4(d)に示すように接着した。このように形成された光音響探触子の光反射層は、膜剥がれ等を発生することなく、良好に動作した。
図4は本発明の別の実施例を説明する図である。まず、図4(a)に示すように100μm厚のポリメチルペンテン樹脂である支持層となる支持基体400の上に、ガスバリア層401としてSiO2をスパッタ法により200nm積層する。このガスバリア層にはSiNなども好適に用いることができる。次に、図4(b)に示すように、このガスバリア層401の上にスパッタ法を用いてCr(厚さ10nm)、Au(厚さ200nm)を順次積層し、光反射層402を形成する。ここで、Auの成膜前にCrを成膜しているのはガスバリア層401に対する密着性を向上させる為である。こうして、ガスバリア層401、光反射層402を支持層400の上に形成した後、図4(c)に示すように、支持層400の裏面にも、ガスバリア層403としてSiO2をスパッタ法を用いて200nm積層する。このようにして、ガスバリア層401、光反射層402を支持層400の上に形成し、ガスバリア層403を支持層400の裏面に形成する。その後、ガスバリア層403の上に音響整合層404としてフロロシリコーン樹脂(信越シリコーン製X-32-1619)を印刷法にて40μmの厚さに塗布し、これを接着剤としてCMUT基板405上に図4(d)に示すように接着した。このように形成された光音響探触子の光反射層は、膜剥がれ等を発生することなく、良好に動作した。
(実施例4)
上記実施形態や実施例で説明した電気機械変換装置を備える探触子は、音響波を用いた被検体情報取得装置に適用することができる。被検体からの音響波を電気機械変換装置で受信し、出力される電気信号を用い、光吸収係数などの被検体の光学特性値を反映した被検体情報を取得することができる。
上記実施形態や実施例で説明した電気機械変換装置を備える探触子は、音響波を用いた被検体情報取得装置に適用することができる。被検体からの音響波を電気機械変換装置で受信し、出力される電気信号を用い、光吸収係数などの被検体の光学特性値を反映した被検体情報を取得することができる。
図9は、光音響効果を利用した本実施例の被検体情報取得装置を示したものである。光源51から発生したパルス光52は、レンズ、ミラー、光ファイバー等の光学部材54を介して、被検体53に照射される。被検体53の内部にある光吸収体55は、パルス光のエネルギーを吸収し、音響波である光音響波56を発生する。電気機械変換装置を収納する筺体を備えるプローブ(探触子)57は、光音響波56を受信して電気信号に変換し、信号処理部59に出力する。信号処理部59は、入力された電気信号に対して、A/D変換や増幅等の信号処理を行い、データ処理部50へ出力する。データ処理部50は、入力された信号を用いて被検体情報(光吸収係数などの被検体の光学特性値を反映した被検体情報)を画像データとして取得する。表示部58は、データ処理部50から入力された画像データに基づいて、画像を表示する。なお、プローブは、機械的に走査するものであっても、医師や技師等のユーザが被検体に対して移動させるもの(ハンドヘルド型)であってもよい。
100:CMUT基板(静電容量型電気機械変換装置)、102:音響整合層、104:支持層、106:ガスバリア層、108:光反射層、110:光反射部材
Claims (15)
- 被検体からの音響波を受信する探触子であって、
間隙を挟んで設けられた2つの電極のうちの一方の電極を含む振動膜が前記音響波により振動可能に支持されたセル構造を少なくとも1つ含む素子と、
前記素子より被検体側に設けられた光反射層と、
前記光反射層よりも前記素子側に設けられ、前記光反射層を支持する支持層と、
前記支持層の前記光反射層側の面と、前記支持層の前記素子側の面と、のうち少なくとも一方に設けられた、前記支持層より高いガスバリア性を有するガスバリア層と、
を有することを特徴とする探触子。 - 前記支持層と前記素子との間に音響整合層を有することを特徴とする請求項1に記載の探触子。
- 前記ガスバリア層は、前記支持層よりも酸素透過率が低いことを特徴とする請求項1又は2に記載の探触子。
- 前記ガスバリア層の厚みは、10μm以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の探触子。
- 前記ガスバリア層を前記支持層に形成した状態での酸素透過率が1×10−15cm3・cm/(cm2・s・Pa)以下であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の探触子。
- 前記ガスバリア層は、SiO2膜又はSiN膜であることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の探触子。
- 前記素子は、前記被検体に光を照射することにより発生する音響波を受信し、
前記光反射層の光反射率は、前記光の波長領域において80%以上であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の探触子。 - 前記光反射層の厚みは、前記音響波の波長の1/30以下であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の探触子。
- 前記光反射層は、金属膜、又は誘電体多層膜、又は金属膜と誘電体多層膜の積層構造であることを特徴とする請求項1乃至8の何れか1項に記載の探触子。
- 前記支持層は、音響インピーダンスが1MRayls以上5MRayls以下であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の探触子。
- 前記支持層は、前記音響整合層よりもヤング率が高いことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の探触子。
- 前記支持層は、ヤング率が100MPa以上20GPa以下であることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の探触子。
- 前記音響整合層は、音響インピーダンスが1MRayls以上2MRayls以下であることを特徴とする請求項2乃至12のいずれか1項に記載の探触子。
- 前記音響整合層は、ヤング率が50MPa以下であることを特徴とする請求項2乃至13のいずれか1項に記載の探触子。
- 請求項1及至14のいずれか1項に記載の探触子と、光源と、データ処理装置と、を有し、前記探触子は、前記光源から発振した光が被検体に照射されることにより発生する音響波を受信して電気信号に変換し、
前記データ処理装置は、前記電気信号を用いて被検体の情報を取得することを特徴とする被検体情報取得装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013040132A JP2013226390A (ja) | 2012-03-31 | 2013-02-28 | 探触子、及びそれを用いた被検体情報取得装置 |
US13/795,837 US20130261425A1 (en) | 2012-03-31 | 2013-03-12 | Probe and object information acquisition apparatus using the same |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012083417 | 2012-03-31 | ||
JP2012083417 | 2012-03-31 | ||
JP2013040132A JP2013226390A (ja) | 2012-03-31 | 2013-02-28 | 探触子、及びそれを用いた被検体情報取得装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013226390A true JP2013226390A (ja) | 2013-11-07 |
Family
ID=49235917
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013040132A Pending JP2013226390A (ja) | 2012-03-31 | 2013-02-28 | 探触子、及びそれを用いた被検体情報取得装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20130261425A1 (ja) |
JP (1) | JP2013226390A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015142629A (ja) * | 2014-01-31 | 2015-08-06 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイスおよびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置 |
JP2015207995A (ja) * | 2014-04-12 | 2015-11-19 | キヤノン株式会社 | 静電容量型トランスデューサ、その製造方法、及び被検体情報取得装置 |
JP2017514556A (ja) * | 2014-03-31 | 2017-06-08 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | Icダイ、超音波プローブ、超音波診断システム及び方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015112326A (ja) * | 2013-12-12 | 2015-06-22 | キヤノン株式会社 | プローブ、被検体情報取得装置 |
CN109171660A (zh) * | 2018-10-09 | 2019-01-11 | 深圳先进技术研究院 | 光声成像探头及应用 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5157916B2 (ja) * | 2007-01-26 | 2013-03-06 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子、表示装置及び照明装置 |
US20090082673A1 (en) * | 2007-09-26 | 2009-03-26 | Xuanming Lu | Semiconductor matching layer in a layered ultrasound transducer array |
JP5376982B2 (ja) * | 2008-06-30 | 2013-12-25 | キヤノン株式会社 | 機械電気変換素子と機械電気変換装置および機械電気変換装置の作製方法 |
JP4900979B2 (ja) * | 2008-08-27 | 2012-03-21 | キヤノン株式会社 | 光音響装置および光音響波を受信するための探触子 |
JP5511260B2 (ja) * | 2009-08-19 | 2014-06-04 | キヤノン株式会社 | 容量型電気機械変換装置、及びその感度調整方法 |
JP5709368B2 (ja) * | 2009-11-04 | 2015-04-30 | キヤノン株式会社 | 生体情報取得装置 |
-
2013
- 2013-02-28 JP JP2013040132A patent/JP2013226390A/ja active Pending
- 2013-03-12 US US13/795,837 patent/US20130261425A1/en not_active Abandoned
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JP2015207995A (ja) * | 2014-04-12 | 2015-11-19 | キヤノン株式会社 | 静電容量型トランスデューサ、その製造方法、及び被検体情報取得装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
US20130261425A1 (en) | 2013-10-03 |
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