JP2016190767A - カーボンナノチューブ集合体およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
本発明は、高導電率と、高熱伝導率を有するCNT集合体を提供する。また、合成したカーボンナノチューブ構造体やそれを加工したカーボンナノチューブシートなどのバルク体のカーボンナノチューブに対してカーボンナノチューブ構造、特に層数や直径、分散性などを変化させずに、欠陥を修復することで(結晶性を向上させることで)導電率、熱伝導率等の様々な特性を向上させるカーボンナノチューブの製造方法を提供する。
【解決手段】
カーボンナノチューブ集合体であって、カーボンナノチューブ集合体は、導電率が60S/cm以上150S/cm以下であり、熱伝導率が10W m-1K-1以上25W m-1K-1以下であり、G/D比が8以上25以下であり、カーボンナノチューブ集合体を分散させた分散液に対するカーボンナノチューブの濃度が1.50mg/l以上4.00mg/l以下となるカーボンナノチューブ集合体。
【選択図】図1
Description
cm2以下の所定の電流値まで上昇させて行ってもよい。
図1は、本発明に係るカーボンナノチューブの構造式の概念図であり、(a)が欠陥を有するカーボンナノチューブ101の構造式であり、(b)が欠陥が修復されたカーボンナノチューブ102の構造式である。本実施形態に係る製造方法は、図1(b)に模式的に示すように、欠陥の修復されたカーボンナノチューブを提供する。本実施形態によると、導電率が60S/cm以上150S/cm以下であり、熱伝導率が10W m-1K-1以上25W m-1K-1以下であり、G/D比が8以上25以下であり、分散液に対してCNT濃度が1.50mg/l以上4.00mg/l以下となるCNT集合体(たとえば、CNT構造体、CNTシート等)が提供される。
図2は、本実施形態における加熱通電処理に用いる処理装置の模式図である。
図2に示した処理装置においては、チャンバー1は、排気部2、ガス導入部3、加熱部4、サンプルホルダ5、通電用電源6、上部電極7、および、下部電極8を有している。ガス導入部3には各種ガスボンベ(H2およびAr、N2、He等の不活性ガス)からガス流量調整用のマスフローコントローラーを経由してチャンバー1に接続してもよい。排気部2にはチャンバー内減圧用および排気用の真空ポンプを接続してもよい。チャンバー1内の加熱部4は、たとえば、電気炉に接続した加熱コイル、好ましくは高周波誘導加熱装置等を備えてもよい。
本発明に係るCNT集合体の製造方法により加熱通電処理するCNTは、多層CNTと単層CNTとを問わず行うことができる。また、本発明に係るCNT集合体の製造方法により加熱通電処理するCNTは、例えば、国際公開第2006/011655号(単層CNT)、国際公開第2012/060454号(多層CNT)、特表2004−526660号公報(多層CNT)に開示された方法により製造することができるが、これらに限定されるものではない。
で、1000A/cm2以下の所定の電流値まで上昇させてから通電させてもよい。所定の電流値は、好ましくは100A/cm2以上750A/cm2である。ここで、A/cm2とは、通電時の電力値と処理サンプルの面積(1cm2)から単面積当たりの電流値(電流密度)として定義する。なお、このような単位を用いて比較を行うのは、従来技術では、CNT1本に対する通電であったために、面積を考慮する必要がなかったが、本発明はCNT集合体に対して通電処理を行うことから、面積当たりの値によって評価をする必要があるためである。
本発明の他の実施形態として、CNT構造体をシート状にしたカーボンナノチューブシートの製造方法について説明する。公知の方法で作成したカーボンナノチューブ構造体を、プレス(たとえば、ローラープレス等)して面方向の一方向に配向性のあるカーボンナノチューブシート(以下、CNTシートとも称す)を作成する。
で、1000A/cm2以下の所定の電流値まで上昇させてから通電させてもよい。所定の電流値は、好ましくは100A/cm2以上750A/cm2である。
まず、下記加熱通電処理において、第2の処理温度を300℃、600℃、750℃、800℃、850℃、900℃、1000℃、1200℃、として、8通りの実施例を作成し、最適温度条件を探索した。
シリコン基板にアルミナ薄膜(厚さ40nm)とFe薄膜(厚さ1.8nm)を真空スパッタリング装置(芝浦メカトロニクス製、CFS-4EP-LL)を用いて順次蒸着し、触媒層を形成した。次に、触媒層を形成したシリコン基板を80mmφの石英管内に導入し、ヘリウム/水素(混合比10:90)の混合ガス中で775℃まで15分で上昇させた後、785℃まで温度を上昇させながらヘリウム/成長賦活剤(水分)(混合比10:3)を管内に5分間流通させ、その後ヘリウム/成長賦活剤(水分)/エチレン(混合比92:35:8)を10分間流通させることで、カーボンナノチューブ構造体を得た。カーボンナノチューブ構造体をローラープレスして一方向に配向性のあるカーボンナノチューブシートを調製し、これを10mm角にカットしたサンプルを処理サンプルとした。
サンプルホルダ設置後にチャンバー内を密閉し、加熱開始前に処理するガス(H2、Ar、N2ガス、流量:1000sccm)で約5分間置換することでチャンバー1内を処理するガス雰囲気とした。
真空雰囲気における処理では、処理雰囲気(1)と同様にチャンバー内を密閉後、真空ポンプで10分間以上真空引きし、チャンバー1内を5.0×10-2Pa以下の真空雰囲気とした。
加熱による上部及び下部カーボン電極やカーボンナノチューブの熱膨張により、処理試料と電極の接触が低下し、サンプルホルダ5と同様に電極−処理試料11間で放電が起きるため、正しくカーボンナノチューブに通電できない。この問題点を解決するために、本実施例では、加熱プロセスではチャンバー内の温度を段階的(2段階)に上昇させた。本発明における加熱プロセスを図4に示す。上部電極を電極ホルダーの上部電極から5mm以上離して(接触させることなく)それぞれのサンプルの第2の処理温度から約30℃低い温度まで55℃/minの昇温速度で加熱した。
図4に示す同様の加熱プロセスにより所定の処理温度後5分後(接触抵抗測定後)に、直流電源の電流値を約240A/minの速度で180Aまで上昇させた。所定の電流値到達後に、カーボンナノチューブ構造体またはシートに300秒間通電した。通電時の電力値と処理サンプルの面積(1cm2)から単面積当たりの電流値(電流密度)を算出した。
所定時間通電処理した後に高周波誘導加熱装置を停止すると同時に上部電極を上昇させて電極とサンプルホルダ上部電極7を離してArガス雰囲気もしくは真空雰囲気で100℃以下まで炉冷した。
処理後のカーボンナノチューブシートは、抵抗率計(株式会社三菱化学アナリテック製、LORESTA-EPMCP-T360)を用いて4端子法で1サンプルあたり異なる場所を5回以上測定し、その平均値をサンプルの表面抵抗率とした。導電率は、測定した平均表面抵抗率とサンプルの厚さから算出した。
処理前後のカーボンナノチューブシートは、そのままの形態で、熱物性測定装置サーモウェーブアナライザ(株式会社ベテル製、TA3)を用いた距離変化法で測定した。熱伝導率は、既知の比熱容量(定圧モル比熱)と評価サンプルの厚さや面積から求めたサンプルの密度を用いて算出した。
(処理するカーボンナノチューブ構造体の合成)
シリコン基板にアルミナ薄膜(厚さ40nm)とFe薄膜(厚さ1.8nm)を真空スパッタリング装置(芝浦メカトロニクス製、CFS-4EP-LL)を用いて順次蒸着し、触媒層を形成した。次に、触媒層を形成したシリコン基板を80mmφの石英管内に導入し、ヘリウム/水素(混合比10:90)の混合ガス中で775℃まで15分で上昇させた後、785℃まで温度を上昇させながらヘリウム/成長賦活剤(水分)(混合比10:3)を管内に5分間流通させ、その後ヘリウム/成長賦活剤(水分)/エチレン(混合比92:35:8)を10分間流通させることで、カーボンナノチューブ構造体を得た。これを10mm角にカットした。この処理前のカーボンナノチューブ構造体を以下、比較例1と呼ぶ。
図2のように処理装置を構成した。ガス導入部に3は各種ガスボンベ(H2、Ar、N2ガス)からガス流量調整用のマスフローコントローラーを経由してチャンバー1に接続した。排気部2にはチャンバー内減圧用および排気用の真空ポンプを接続した。チャンバー内の加熱部4には高周波誘導加熱装置(島田理化工業株式会社製 SBT-100)に接続した加熱コイルを設置した。また、通電用電源7として、直流電源(菊水電子工業株式会社製、PAT60-133T、2台直列接続)と接続したカーボン電極5をチャンバー上下から、チャンバーに対して垂直になるように配置した。本装置では上部電極7を正極、下部電極8を負極とした。
上部電極7と処理試料11間に空隙がある状態で高電流(高電圧)をカーボンナノチューブに印加すると上部電極7と処理試料11間で放電し、カーボンナノチューブにダメージを与えるなど正しくカーボンナノチューブに通電できない。この問題点を解決し、カーボンナノチューブと電極の接触を向上させるために、処理時においては、図3に示すような上部電極7、下部電極8と絶縁体10(アルミナもしくはジルコニア)とを含むサンプルホルダ5を使用した。上部電極7と、下部電極8とは、カーボンを用いた(以下、それぞれ上部カーボン電極、下部カーボン電極、とも称す)。サンプルホルダ5における下部電極8は通電用電源6(電極直流電源を用いた)に直接接続している。カーボンナノチューブ構造体は、下部電極ステージ上に配置し、処理試料11上に上部電極7、下部電極8、ピストン電極9を、アルミナとカーボンとを含むガイド12に沿って配置した(なお、以下では、ピストン電極9と上部電極7とをあわせて上部電極7とも称する)。
一実施例において、サンプルホルダ5設置後にチャンバー1内を密閉し、加熱開始前に処理するガス(H2、Ar、N2ガス、流量:1000sccm)で約5分間置換することでチャンバー1内を処理するガス雰囲気とした。なお、ガスの流量について、sccmとは、standard(標準状態)cc/minを意味するものであり、1atm、0℃の数値で規格化した値である。
一実施例において、真空雰囲気における処理では、処理雰囲気(2)と同様にチャンバー1内を密閉後、真空ポンプで10分間以上真空引きし、チャンバー1内を5.0×10-2Pa以下の真空雰囲気とした。
加熱による上部及び下部カーボン電極やカーボンナノチューブの熱膨張により、処理試料と電極の接触が低下し、サンプルホルダ5と同様に電極−処理試料11間で放電が起きるため、正しくカーボンナノチューブに通電できない。この問題点を解決するために、本実施例では、加熱プロセスではチャンバー内の温度を段階的(2段階)に上昇させた。本発明における加熱プロセスを図4に示す。上部電極を電極ホルダーの上部電極から5mm以上離して(接触させることなく)第2の処理温度から約30℃低い温度720℃まで55℃/minの昇温速度で加熱した。チャンバー内の温度が安定するまで温度を約5分保持し、上部電極を下降してサンプルホルダ5の上部電極8と接触させた。接触後にデジタルマルチメーターで電極−サンプル間の接触程度を確認するために、(接触)抵抗が1Ω以下であることを確認した。
図4に示す加熱プロセスにより所定の処理温度後5分後(接触抵抗測定後)に、直流電源の電流値を約240A/minの速度で0〜240Aまで上昇させた。所定の電流値到達後を通電時間(10秒〜300秒)としてカーボンナノチューブ構造体またはシートに通電した。通電時の電力値と処理サンプルの面積(1cm2)から単面積当たりの電流値(電流密度)を算出した。
所定時間通電処理した後に高周波誘導加熱装置を停止すると同時に上部電極を上昇させて電極とサンプルホルダ上部電極7を離してArガス雰囲気もしくは真空雰囲気で100℃以下まで炉冷した。
カーボンナノチューブ構造体は、測定の際の形状依存性の可能性を排除するため、ローラープレスして一方向に配向性のあるカーボンナノチューブシート(カーボンナノチューブ構造体シート)として導電性を評価した。処理前後のカーボンナノチューブ構造体シートの表面抵抗を、抵抗率計(株式会社三菱化学アナリテック製、LORESTA-EPMCP-T360)を用いて4端子法で1サンプルあたり異なる場所を5回以上測定し、その平均値をサンプルの表面抵抗率とした。導電率は、測定した平均表面抵抗率とサンプルの厚さから算出した。
カーボンナノチューブ構造体の熱拡散率の測定では、導電性の評価(2)と同様にローラープレスして一方向に配向性のあるカーボンナノチューブシート(カーボンナノチューブ構造体シート)を評価サンプルとした。処理前後のカーボンナノチューブ構造体シートの熱拡散率は、熱物性測定装置サーモウェーブアナライザ(株式会社ベテル製、TA3)を用いた距離変化法で測定した。熱伝導率は、既知の比熱容量(定圧モル比熱)と評価サンプルの厚さや面積から求めたサンプルの密度を用いて算出した。
処理前後のカーボンナノチューブ構造体とカーボンナノチューブシートは、その形状のまま顕微レーザーラマン(サーモエレクトロン社製、顕微レーザーラマンNicolet AlmegaXR)用いて532nmのレーザー波長でラマン測定を行った。処理によるカーボンナノチューブの結晶性は、測定したラマンスペクトルにおけるGバンドとDバンドの比(G/D比)で評価した。
実施例及び比較例のカーボンナノチューブ構造体に関する直径分布図を図7に、と層数分布図を図8に示す。処理前後のカーボンナノチューブの直径と層数(分布)は、高分解能透過型電子顕微鏡で測定した。約0.5mgのカーボンナノチューブ構造体を約5mlのエタノール中に分散させ、超音波洗浄器で超音波分散(200W)をカーボンナノチューブが良好に分散するまで(約30分)行った。分散液は透過型電子顕微鏡用のグリッドに滴下し、一昼夜以上真空乾燥したものを透過型電子顕微鏡観察用サンプルとした。観察用サンプルを透過型電子顕微鏡(TOPCOM製 EM-002B)に設置し、加速電圧120kVで5万倍から30万倍の倍
率で観察した。処理前後それぞれで50本以上のカーボンナノチューブを15万倍以上で観察し、観察像から処理前後のカーボンナノチューブの直径と層数(分布)を求めた。
図9に、実施例及び比較例のカーボンナノチューブ構造体に関する分散保持力評価時の分散液の外観写真を示す。カーボンナノチューブの分散保持力は、分散処理後に静置した分散液の上澄み液に含まれるカーボンナノチューブ濃度で評価した。処理前後の1mgのカーボンナノチューブ構造体を30mlのメチルイソブチルケトン(MIBK)に分散し、ジェットミル(株式会社常光製 JN-5)用いて60MPaで分散後、さらに超音波洗浄器で超音波分散(200W)を30分行った。分散液は3時間静置し、上澄み液の500nmの波長における透過率を紫外可視近赤外分光光度計(島津製作所製、UV-3600)で測定した。上澄み液に含まれるカーボンナノチューブ濃度は、ランベルト・ベールの法則から算出した。この式におけるモル吸光係数は、あらかじめ既知の濃度のカーボンナノチューブ分散液を用いて作成した濃度と吸光度の関係を示す検量線から求めたモル吸光係数は2.06×104 cmg-1と決定し、モル吸光係数、測定した吸光度と光路長(1cm)から上澄み液に含まれるカーボンナノチューブ濃度を算出した。
実施例2として、CNTシートを作成し、本発明に係る加熱通電処理を行った。カーボンナノチューブ構造体をローラープレスして一方向に配向性のあるカーボンナノチューブシートを調製し、これを10mm角にカットしたサンプルを処理サンプルとした。以下、このサンプルは比較例3とした。
実施例1と処理装置は同一である。もっとも、カーボンナノチューブシート処理用サンプルホルダ(サンプルホルダーB)は、処理中においてカーボン電極の熱膨張などの影響でサンプルの厚さは変化しない、すなわち、潰れないために、スペーサとしての絶縁体10を配置せずに処理を行った。
サンプルホルダ設置後にチャンバー内を密閉し、加熱開始前に処理するガス(H2、Ar、N2ガス、流量:1000sccm)で約5分間置換することでチャンバー1内を処理するガス雰囲気とした。
真空雰囲気における処理では、処理雰囲気(2)と同様にチャンバー内を密閉後、真空ポンプで10分間以上真空引きし、チャンバー1内を5.0×10-2Pa以下の真空雰囲気とした。
加熱プロセスは、実施例1と同一である。アルゴン雰囲気中で処理温度750℃、通電時の電流密度240A/cm2、処理時間300秒の処理を行ったカーボンナノチューブ構造体を実施例1と呼ぶ。アルゴン雰囲気中で処理温度750℃、通電時の電流密度150A/cm2、処理時間300秒の処理を行ったカーボンナノチューブシートを実施例2とする。
また、処理前後のカーボンナノチューブシートは、導電性の評価(1)と同じ方法で平均表面抵抗率を測定し、導電率を算出した。
処理前後のカーボンナノチューブシートは、熱伝導性の評価(1)と同じ方法で熱拡散率を測定し、熱伝導率を算出した。
実施例及び比較例のカーボンナノチューブシートに関する直径分布と、層数分布とは、カーボンナノチューブ構造体と同一の方法で評価した。結果として、図8に示すカーボンナノチューブ構造体と同様の結果となった。
カーボンナノチューブシートの分散保持力は、カーボンナノチューブ構造体と同じ方法で、分散保持力を評価した。結果として、図10に示したカーボンナノチューブ構造体の結果と同様の結果となった。
2 排気部
3 ガス導入部
4 加熱部
5 サンプルホルダ
6 通電用電源
7 上部電極
8 下部電極
9 ピストン電極
10 絶縁体
11 カーボンナノチューブ構造体(処理試料)
12 アライメント調整用カーボンガイド
13 欠陥
14 絶縁体スペーサ
101 欠陥を有するカーボンナノチューブ
102 (欠陥の修復した)カーボンナノチューブ
Claims (8)
- カーボンナノチューブ集合体であって、前記カーボンナノチューブ集合体は、導電率が60S/cm以上150S/cm以下であり、熱伝導率が10W m-1K-1以上25W m-1K-1以下であり、G/D比が8以上25以下であり、
前記カーボンナノチューブ集合体を分散させた分散液に対するカーボンナノチューブの濃度が1.50mg/l以上4.00mg/l以下となるカーボンナノチューブ集合体。 - カーボンナノチューブ集合体を上部電極と下部電極とを備えたチャンバー内で下部電極上に載置し、
前記カーボンナノチューブ集合体に2段階の加熱処理し、
前記加熱処理されたカーボンナノチューブ集合体に通電処理する
カーボンナノチューブ集合体の製造方法。 - 前記2段階の加熱処理は、前記上部電極を接触させずに第1の処理温度まで昇温させる第1昇温工程と、前記上部電極を接触させて第2の処理温度まで昇温させる第2昇温工程とを含み、
前記第2の処理温度は、200℃以上1000℃以下であり、
前記第1の処理温度は、前記第2の処理温度よりも10℃以上50℃以下低い温度であることを特徴とする請求項2に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。 - 前記上部電極と前記下部電極間の接触抵抗が、前記第2昇温工程以前に1Ω以下である、ことを特徴とする請求項2又は3に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
- 前記通電処理は、0.5A/min以上240A/min以下の速度で、1000
A/cm2以下の所定の電流値まで上昇させて行うことを特徴とする請求項2に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。 - 前記下部電極上に設置するサンプルホルダが、絶縁体スペーサを含むことを特徴とする請求項2に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
- 前記通電処理が、前記カーボンナノチューブ集合体の配向方向と同一方向に通電して行われることを特徴とする請求項2に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
- 請求項2から7の何れか一に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法により製造されたカーボンナノチューブ集合体であって、
前記カーボンナノチューブ集合体は、導電率が60S/cm以上150S/cm以下であり、熱伝導率が10W m-1K-1以上25W m-1K-1以下であり、G/D比が8以上25以下であり、前記カーボンナノチューブ集合体を分散させた分散液に対するカーボンナノチューブの濃度が1.50mg/l以上4.00mg/l以下となるカーボンナノチューブ集合体。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018066233A1 (ja) * | 2016-10-03 | 2018-04-12 | 日東電工株式会社 | カーボンナノチューブ集合体 |
JP2018058750A (ja) * | 2016-10-03 | 2018-04-12 | 日東電工株式会社 | カーボンナノチューブ集合体 |
JP2018131343A (ja) * | 2017-02-13 | 2018-08-23 | 日立造船株式会社 | カーボンナノチューブ高密度集合体の製造方法およびカーボンナノチューブ高密度集合体 |
WO2022149913A1 (ko) * | 2021-01-08 | 2022-07-14 | 주식회사 엘지에너지솔루션 | 황-탄소 복합체, 이의 제조방법, 및 이를 포함하는 리튬-황 전지 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007123657A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Nec Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2007242253A (ja) * | 2006-03-06 | 2007-09-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 先鋭化カーボンナノチューブ及びそれを用いた電子源 |
WO2008084788A1 (ja) * | 2007-01-09 | 2008-07-17 | Osaka Industrial Promotion Organization | カーボンナノチューブ及びカーボンナノチューブ集合体の改質方法 |
JP2009256189A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-11-05 | Tohoku Univ | カーボンナノチューブおよびその製造方法 |
WO2012060454A1 (ja) * | 2010-11-05 | 2012-05-10 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | Cnt分散液、cnt成形体、cnt組成物、cnt集合体及びそれらの製造方法 |
JP2012126635A (ja) * | 2010-11-22 | 2012-07-05 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 凝集紡糸構造体の製造方法および凝集紡糸構造体 |
WO2016136826A1 (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-01 | 日立造船株式会社 | カーボンナノチューブ高密度集合体およびカーボンナノチューブ高密度集合体の製造方法 |
-
2015
- 2015-03-31 JP JP2015072350A patent/JP6425245B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007123657A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Nec Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2007242253A (ja) * | 2006-03-06 | 2007-09-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 先鋭化カーボンナノチューブ及びそれを用いた電子源 |
WO2008084788A1 (ja) * | 2007-01-09 | 2008-07-17 | Osaka Industrial Promotion Organization | カーボンナノチューブ及びカーボンナノチューブ集合体の改質方法 |
JP2009256189A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-11-05 | Tohoku Univ | カーボンナノチューブおよびその製造方法 |
WO2012060454A1 (ja) * | 2010-11-05 | 2012-05-10 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | Cnt分散液、cnt成形体、cnt組成物、cnt集合体及びそれらの製造方法 |
JP2012126635A (ja) * | 2010-11-22 | 2012-07-05 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 凝集紡糸構造体の製造方法および凝集紡糸構造体 |
WO2016136826A1 (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-01 | 日立造船株式会社 | カーボンナノチューブ高密度集合体およびカーボンナノチューブ高密度集合体の製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018066233A1 (ja) * | 2016-10-03 | 2018-04-12 | 日東電工株式会社 | カーボンナノチューブ集合体 |
JP2018058750A (ja) * | 2016-10-03 | 2018-04-12 | 日東電工株式会社 | カーボンナノチューブ集合体 |
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