JP2016186528A5 - - Google Patents

Description

（第２金属部８１の構成）
本形態の電気光学装置１００には、基板９０と透光性カバー２５とに接する第２金属部８１が設けられている。本形態において、第２金属部８１は、透光性カバー２５の平板部２５２のミラー５０と対向する面とは反対側の面２５２ｓ（表面）に接着剤層１０１によって固定された金属フレーム８５である。金属フレーム８５は、基板９０と対向する端板部８６と、端板部８６の外縁から基板９０に向けて突出した角形の胴部８７とを有しており、胴部８７の基板９０側の端部８７６が接着剤層によって基板９０に接着されている。従って、第２金属部８１（金属フレーム８５）は、基板９０に接している。かかる接着剤層としては、例えば銀ペーストを用いる。また、金属フレーム８５は、コバール製や銅製である。

Claims (17)

1. 基板と、
   前記基板に搭載された素子基板と、
   前記素子基板の第１面側に設けられたミラーと、
   前記素子基板の前記第１面側に設けられ、前記ミラーを駆動する駆動素子と、
   透光性を有する透光性カバーであって、前記ミラーが前記透光性カバーと前記素子基板の間に位置するように設けられた前記透光性カバーと、
   前記素子基板と前記透光性カバーとに接する第１金属部と、
   を有することを特徴とする電気光学装置。
2. 請求項１に記載の電気光学装置において、
   前記第１金属部は、平面視で前記ミラーの周りを囲む枠状に設けられていることを特徴とする電気光学装置。
3. 請求項１または２に記載の電気光学装置において、
   前記基板と前記透光性カバーとに接する第２金属部を有することを特徴とする電気光学装置。
4. 請求項３に記載の電気光学装置において、
   前記第２金属部は、前記透光性カバーおよび前記基板に固定された金属フレームであることを特徴とする電気光学装置。
5. 請求項３または４に記載の電気光学装置において、
   前記第２金属部は、さらに前記第１金属部と接していることを特徴とする電気光学装置。
6. 請求項１乃至５の何れか一項に記載の電気光学装置において、
   前記第１金属部は、前記透光性カバーの前記素子基板側の端部と前記素子基板とに接していることを特徴とする電気光学装置。
7. 請求項１乃至５の何れか一項に記載の電気光学装置において、
   前記第１金属部は、前記透光性カバーの側面と前記素子基板とに接していることを特徴とする電気光学装置。
8. 請求項１乃至６の何れか一項に記載の電気光学装置において、
   前記第１金属部は、前記素子基板の前記第１面から突出した樹脂部を覆う金属層からなることを特徴とする電気光学装置。
9. 請求項４に記載の電気光学装置において、
   前記第２金属部と前記基板との間に、前記素子基板の側面および前記透光性カバーの側面に接する封止樹脂を有していることを特徴とする電気光学装置。
10. 請求項１または２に記載の電気光学装置において、
    前記素子基板の側面および前記透光性カバーの側面に接する封止樹脂と、
    前記透光性カバーの前記ミラーと対向する面とは反対側の面、および前記封止樹脂の前記基板と対向する面とは反対側の面に積層され、前記基板に接する透光性の無機材料層と、
    を有していることを特徴とする電気光学装置。
11. 第１面にミラー、および前記ミラーを駆動する駆動素子を備えた素子基板に対して、透光性を有する透光性カバーを設ける配置工程であって、前記ミラーが前記透光性カバーと前記素子基板の間に位置し、前記透光性カバーと前記素子基板とに第１金属部が接触するように前記透光性カバーを設ける前記配置工程と、
    基板に前記素子基板を搭載する搭載工程と、
    を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
12. 請求項１１に記載の電気光学装置の製造方法において、
    前記配置工程の前に前記素子基板に前記第１金属部を設けておき、
    前記配置工程では、前記透光性カバーを設ける際、前記透光性カバーと前記第１金属部とを接触させることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
13. 請求項１１に記載の電気光学装置の製造方法において、
    前記配置工程の前に前記透光性カバーに前記第１金属部を設けておき、
    前記配置工程では、前記透光性カバーを設ける際、前記素子基板と前記第１金属部とを接触させることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
14. 請求項１１乃至１３の何れか一項に記載の電気光学装置の製造方法において、
    前記透光性カバーと前記基板とに第２金属部が接触した状態とする工程を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
15. 請求項１１乃至１３の何れか一項に記載の電気光学装置の製造方法において、
    前記配置工程の前に前記透光性カバーに第２金属部を設けておき、
    前記配置工程では、前記透光性カバーを設ける際、前記基板と前記第２金属部とが接する状態とすることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
16. 請求項１４または１５に記載の電気光学装置の製造方法において、
    前記基板と前記第２金属部とが接する状態とする際、前記第１金属部と前記第２金属部とが接する状態となることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
17. 請求項１乃至１０の何れか一項に記載の電気光学装置を備えた電子機器であって、
    前記ミラーに光源光を照射する光源部を有することを特徴とする電子機器。