JPH09166790A - 表示装置 - Google Patents

表示装置

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JPH09166790A
JPH09166790A JP23570096A JP23570096A JPH09166790A JP H09166790 A JPH09166790 A JP H09166790A JP 23570096 A JP23570096 A JP 23570096A JP 23570096 A JP23570096 A JP 23570096A JP H09166790 A JPH09166790 A JP H09166790A
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JP
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display device
semiconductor substrate
jig
irradiation light
liquid crystal
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JP23570096A
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Mamoru Miyawaki
守 宮脇
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Original Assignee
Canon Inc
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133382Heating or cooling of liquid crystal cells other than for activation, e.g. circuits or arrangements for temperature control, stabilisation or uniform distribution over the cell
    • G02F1/133385Heating or cooling of liquid crystal cells other than for activation, e.g. circuits or arrangements for temperature control, stabilisation or uniform distribution over the cell with cooling means, e.g. fans

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  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Transforming Electric Information Into Light Information (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 照射光のロスによる発熱の影響を防止し、高
輝度、高精細、高コントラスト、低コスト、コンパクト
な表示装置を提供する。 【解決手段】 液晶パネルを用いた表示装置において、
照射光を反射する画素電極10と画素スイッチ用トラン
ジスタ、周辺駆動回路をシリコン半導体基板1上に作り
込み、該シリコン半導体基板1を固定支持する治具15
の接続部16表面の角度を上記画素電極10の表面の角
度と異なるように形成し、さらにシリコン半導体基板1
に冷却装置を取りつける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明が属する技術分野】本発明は、画像・文字等を表
示する表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】マルチメディア自体の到来により、より
人間の感性による情報交換手段である表示装置が注目を
集めている。中でも、携帯性、省エネルギー特性を有す
る液晶表示装置は、半導体に次ぐ花形産業となりつつあ
る。
【0003】液晶表示装置は現在、ノート型パソコンの
表示装置として広く普及している以外にも、プロジェク
タ用ライトバルブとして使用し、大画面表示を実現しよ
うとする試みが精力的に進められている。
【0004】プロジェクタ用ライトバルブにおいては、
より高精細化を図るため、周辺回路をパネルに内蔵で
き、一画素当たりのトランジスタも小型で高駆動力が得
られる多結晶SiTFT(薄膜トランジスタ)が石英基
板上に設けられている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】大画面に高精度な表示
を行なうためには、小さいライトバルブに強い光量の光
束を照射しなければならない。通常の液晶パネルでは、
パネルを両側から挟むように偏光板が設けられている
が、この偏光板を通過する光量は約35%に過ぎず、液
晶パネル内部でも開口率が30〜50%であり、さらに
カラーフィルターが設けられているものであれば該フィ
ルターによる光りロスがあり、全体として通過できない
光量が多く、その結果熱が生じる。
【0006】液晶パネルの温度が上昇すると、液晶特性
のみならず、例えば画素スイッチである多結晶SiTF
Tのリーク電流が増大し、誤動作による画質の劣化とい
う問題を引き起こしていた。
【0007】また、液晶パネルを固定する治具から反射
した光が、表示画像に混じり、表示特性が悪くなる問題
がある。
【0008】本発明の目的は、上記問題点を解決し、高
輝度、高精細、高コントラスト、低コスト、コンパクト
な表示装置を提供することであり、具体的には、液晶パ
ネルに限らず、発熱による画質の劣化を簡易な手段によ
り防止し、高品位な画像表示を実現することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記した画素
スイッチとしてTFTを設けた半導体基板を有する表示
装置において、該半導体基板の裏面に冷却装置を備え、
光を反射する部材を用いて反射型の液晶パネルを構成
し、さらに、上記半導体基板を固定支持する治具の表面
の角度を上記反射部材の表面の角度と異なるように設定
することにより、液晶パネル内で損失される光により生
じた熱を冷却装置により外部に発散して液晶パネル内部
への影響を防止し、且つ、治具による反射光が反射部材
において反射された光に混同されるのを防止し、所望の
反射光のみを照射領域へ導くものである。
【0010】即ち本発明は、表面より照射された光を画
素毎に制御して表示を行なう表示装置であって、照射光
の反射部材と該部材を制御するトランジスタ及び周辺駆
動回路を設けた半導体基板と、該半導体基板を固定支持
する治具と、該半導体基板の裏面に位置する冷却装置と
を有し、上記半導体基板周辺部の治具の表面の角度が、
上記反射部材の表面の角度と異なることを特徴とする表
示装置である。
【0011】本発明においては、上記半導体基板に温度
測定用のpnダイオードを設けることにより、表示装置
の温度制御をよりスムーズに行なうことができる。
【0012】また、本発明は前記液晶表示装置に限ら
ず、デジタルマイクロミラー装置(DMD;Digit
al Micro−mirror device)など
に応用することができるが、液晶表示装置に用いる場合
には、画素電極を反射部材として、反射型の液晶表示装
置を構成すれば良い。
【0013】また、前記半導体基板周辺部の治具の裏面
に良熱伝導材が設けられているのが好ましい。
【0014】本発明は次の表示装置も包含する。即ち、
本発明の表示装置は、表面より照射された光を画素毎に
制御して表示を行なう表示装置であって、照射光の反射
部材と該部材を制御するトランジスタ及び周辺駆動回路
を設けた半導体基板と、該半導体基板を固定支持する治
具と、該半導体基板の裏面に位置する冷却装置とを有
し、上記治具の表面が、黒く塗られていることを特徴と
する。
【0015】ここで、前記半導体基板上に、温度測定用
のpnダイオードを設けることが好ましい。
【0016】また、前記表示装置が、前記照射光の反射
部材が画素電極となる反射型の液晶表示装置であること
が好ましい。
【0017】さらにまた、前記表示装置が、前記照射光
の反射部材が反射ミラーとなるDMDであることが好ま
しい。
【0018】また、本発明は次の表示装置も包含する。
即ち、本発明の表示装置は、表面より照射された光を画
素毎に制御して表示を行なう表示装置であって、照射光
の反射部材と該部材を制御するトランジスタ及び周辺駆
動回路を設けた半導体基板と、該半導体基板を固定支持
する治具と、該半導体基板の裏面に位置する冷却装置と
を有し、上記半導体基板周辺部の治具の表面が、凹凸形
状を有していることを特徴とする。
【0019】ここで、前記半導体基板上に、温度測定用
のpnダイオードを設けることが好ましい。
【0020】また、前記表示装置が、前記照射光の反射
部材が画素電極となる反射型の液晶表示装置であること
が好ましい。
【0021】さらにまた、前記表示装置が、前記照射光
の反射部材が反射ミラーとなるDMDであることが好ま
しい。
【0022】
【発明の実施の形態】
[実施形態1]本発明の第1の実施形態について、図1
にその断面図を示して説明する。
【0023】図1において1はSi半導体基板で本実施
形態ではp型基板である。2はフィールド酸化膜、3、
4、5は液晶パネルの周辺駆動回路を構成するトランジ
スタのソース、ゲート、ドレインであり、6、7、8は
表示部に設けられた画素スイッチ用TFTのソース、ゲ
ート、ドレインで、該ソース6は信号線へ、ゲート7は
駆動線に接続されている。9は配線層で、画素スイッチ
用TFTのドレインはこの配線層を介して画素電極10
に接続されている。11は導電材からなる遮光層で、画
素電極10との間で画素信号を保持する容量を形成して
いる。12は液晶層で、偏光を制御するゲスト・ホスト
型液晶、強誘電液晶(FLC)や、散乱・非散乱で階調
を表す高分子分散型液晶等が好適に用いられる。13は
対向ガラス基板、14は共通電位となる透明な共通電極
である。
【0024】15は上記液晶パネルと光学部品20とを
固定支持する治具で、熱伝導特性に優れた金属板が望ま
しく、Si半導体基板1には銀ペースト等で接着されて
いる。16は上記治具15に接続されたヒートパイプ
で、治具15のSi半導体基板1との接続部18にパイ
プ状に、或いはSi半導体基板1の裏面全体に板状容器
の形態で取り付けられている。
【0025】上記ヒートパイプ16の内壁面には、ウィ
ッグと呼ばれる毛細管構造が構成されており、該毛細管
中には作動液が適当量封入されている。液晶パネルの裏
面の温度が上昇すると、その熱を奪って上記作動液が蒸
発し、放熱フィン17に達する。そこで気体は凝縮し、
熱を放出すると共に液化し、元の作動液に戻る。作動液
は再び毛細管現象により加熱端に戻り、循環を形成す
る。
【0026】以上述べたヒートパイプ型による冷却装置
以外にも、液体を用いる冷却方式、空冷方式、ベルチェ
素子を用いる方式等を用いることができる。
【0027】治具15の接続部18は、その表面の角度
が画素電極10の表面と異なる角度に設定されている。
従って、液晶パネル周辺に照射した光は、画素電極10
からの反射光とは異なる角度に反射するため、表示には
一切影響せず、従来反射型の液晶パネルで見られたパネ
ル周辺からの反射光の混入によるコントラストの低下が
防止される。
【0028】また、冷却装置を備えていること、及びパ
ネルが熱伝導率の高いSi基板を用いていることから、
液晶パネルの温度上昇が抑えられるため、温度上昇によ
る表示特性の劣化が防止され、さらに強い照明光を利用
することができる。
【0029】またさらに、周辺駆動回路が単結晶のSi
基板上に作り込まれているため、小ピッチ・小面積で高
速駆動回路が実現でき、高精細、低コストな液晶パネル
が構成される。
【0030】[実施形態2]本発明第2の実施形態につ
いて、図2にその断面図を示して説明する。
【0031】図2において、図1と同等・同一箇所には
同一番号を記し、その説明を省略する。
【0032】図2において、31は半導体基板32を固
定する治具であり、45に示す如く、半導体基板32の
周辺部では画素電極10の表面とは異なる角度になるよ
うに表面にテーパーが付けられている。さらに該表面に
は光の反射率を低下させるコーティング材を設けている
ことが望ましい。
【0033】32はn型Si半導体基板、33はpウェ
ル層、34はn+ 拡散層、35はp+ 拡散層で、このp
nダイオードによりパネルの温度がモニターされ、パネ
ル裏面に設けられた冷却装置をコントロールすることが
できる。36、37、38は表示領域に設けられたn型
MOSFETのソース、ゲート、ドレインで、39、4
0、41は同様にp型MOSFETのドレイン、ゲー
ト、ソースで、両者のMOSFETにより画素スイッチ
をトランスミッション型で構成している。これにより、
MOSFETの閾値によらず、画素信号を画素電極に書
き込むことが可能になり、液晶パネルの低電圧化を図る
ことができる。
【0034】また、本実施形態では、42に示すように
対向ガラス基板13表面にはテーパーが付けられてお
り、その表面に共通電極43が設けられている。さら
に、対向ガラス基板13の液晶層13側には反射防止コ
ーティング材44が設けられている。
【0035】このように、画素電極10以外に反射光を
生じる領域には画素電極10とは異なる角度を持たせ、
熱伝導率の高いSi半導体基板32の裏面に冷却装置を
備え、さらに、Si半導体基板32上にダイオードを設
けて温度上昇をモニターし、上記冷却装置を制御するこ
とにより、いかなる環境であっても良好なコントラスト
の表示が実現する。
【0036】[実施形態3]次に本発明第3の実施形態
について、図3にその断面図を示して説明する。本実施
形態は、液晶表示装置ではなく、本発明をミラーを振る
DMDなどのデバイスに応用したものである。
【0037】図3において、51はパネルを付ける表面
側に52に示す如く凹凸を設けた熱伝導特性の良い素材
からなる治具、53はパネルと治具51との接着材、5
4はSi半導体基板、55はミラーを振る下地回路とな
るCMOSセル、56は電位を与える電極、57は反射
ミラーである。
【0038】図3の上方からの照明光は、反射ミラー5
7に反射されて散乱されて戻る。一方、パネルの周辺に
照射された光は、52に示された凹凸により散乱され、
ここからの反射光は反射ミラー57からの反射光と異な
る角度に出射される。従って、反射ミラー以外の光を分
離することができ、高コントラストが実現される。ま
た、パネルは治具を介して冷却装置により温度調節され
ており、安定した動作が実現する。
【0039】[実施形態4]図4に本発明の表示装置を
用いてリア型プロジェクタを構成した模式図を示す。表
示装置としては先に示した実施形態1〜3のいずれも好
適に用いることができる。
【0040】図4中、101は表示装置及び光源制御用
ボード、102は光源電源ユニット、103は光源、1
04は非球面ミラー、105は色分解用プリズム、10
6は本発明の表示装置、107はマイクロミラー、10
8はアパーチャー、109は自由曲面プリズム光学系、
110はスクリーン、118はレンズ、111〜11
3、115〜117は光束である。
【0041】光源103から出た光束111は、非球面
ミラー104で集光され、マイクロミラー107に結像
する。マイクロミラー107からの反射光は色分解プリ
ズム105で、R(赤)、G(緑)、B(青)に分解さ
れ、表示装置106に平行光となって入射する。即ちレ
ンズ118はテレセントリック系に配置されている。
【0042】表示用信号に応じて変調された反射光11
5がレンズ118に再び入射すると、暗表示光のみアパ
ーチャー108を通り抜け、自由曲面プリズム光学系1
09に入射する。この自由曲面プリズム光学系を用いる
ことにより、薄型で収差の少ない像をスクリーン110
に結像できる。
【0043】本発明の表示装置を用いたリア型プロジェ
クタは高コントラスト、高輝度で非常に鮮明な表示が可
能となる。
【0044】[実施形態5]実施形態5は、図1で説明
した表示装置の接続部18の内側と治具15の表面を黒
く塗ることによって光を吸収する形態である。この形態
では、接続部18の表面の角度は必ずしも反射部材の角
度と異ならなくても良い。この形態により、接続部18
と治具15に当たった光は、接続部18と治具15に吸
収され、乱反射を起こさない。よって、本形態の表示装
置はコントラストが大きい。
【0045】[実施形態6]実施形態6は、図1で説明
した表示装置の接続部18の裏面と治具15の側壁にA
l、Cuなどの良熱伝導体を設ける形態である。この形
態によれば、液晶パネルや治具18内にたまった熱を効
率的に逃すことができ、本形態の表示装置は誤動作のな
い信頼性の高いものになる。
【0046】
【発明の効果】本発明によれば、温度による影響が防止
されるため、より強い照射光を利用することができ、且
つ、表示領域以外からの反射光が除かれるため、高輝
度、高コントラストな表示が実現し、また、単結晶半導
体基板上に周辺回路まで一体で作り込むため、低コス
ト、コンパクトな表示装置が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明第1の実施形態の断面図である。
【図2】本発明第2の実施形態の断面図である。
【図3】本発明第3の実施形態の断面図である。
【図4】本発明の表示装置をリア型プロジェクタに用い
た第4の実施形態の模式図である。
【符号の説明】
1 Si半導体基板(p型) 2 フィールド酸化膜 3 ソース 4 ゲート 5 ドレイン 6 ソース 7 ゲート 8 ドレイン 9 配線層 10 画素電極 11 遮光層 12 液晶層 13 対向ガラス基板 14 共通電極 15 治具 16 ヒートパイプ 17 放熱フィン 18 接続部 20 光学部品 31 治具 32 Si半導体基板(n型) 33 pウェル層 34 n+ 拡散層 35 p+ 拡散層 36 ソース 37 ゲート 38 ドレイン 39 ドレイン 40 ゲート 41 ソース 43 共通電極 44 反射防止コーティング材 51 治具 52 凹凸 53 接着材 54 半導体基板 55 CMOSセル 56 電極 57 反射ミラー 101 表示装置及び光源制御用ボード 102 光源電源ユニット 103 光源 104 非球面ミラー 105 色分解用プリズム 106 本発明の表示装置 107 マイクロミラー 108 アパーチャー 109 自由曲面プリズム光学系 110 スクリーン 118 レンズ 111〜113、115〜117 光束
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 29/786 H04N 5/74 B H04N 5/74 H01L 29/78 612B

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 表面より照射された光を画素毎に制御し
    て表示を行なう表示装置であって、照射光の反射部材と
    該部材を制御するトランジスタ及び周辺駆動回路を設け
    た半導体基板と、該半導体基板を固定支持する治具と、
    該半導体基板の裏面に位置する冷却装置とを有し、上記
    半導体基板周辺部の治具の表面の角度が、上記反射部材
    の表面の角度と異なることを特徴とする表示装置。
  2. 【請求項2】 前記半導体基板上に、温度測定用のpn
    ダイオードを設けた請求項1記載の表示装置。
  3. 【請求項3】 前記照射光の反射部材が画素電極となる
    反射型の液晶表示装置である請求項1または2記載の表
    示装置。
  4. 【請求項4】 前記照射光の反射部材が反射ミラーとな
    るデジタルマイクロミラー装置である請求項1または2
    記載の表示装置。
  5. 【請求項5】 前記半導体基板周辺部の治具の裏面に良
    熱伝導材が設けられている請求項1〜4のいずれか1項
    に記載の表示装置。
  6. 【請求項6】 表面より照射された光を画素毎に制御し
    て表示を行なう表示装置であって、照射光の反射部材と
    該部材を制御するトランジスタ及び周辺駆動回路を設け
    た半導体基板と、該半導体基板を固定支持する治具と、
    該半導体基板の裏面に位置する冷却装置とを有し、上記
    治具の表面が、黒く塗られていることを特徴とする表示
    装置。
  7. 【請求項7】 前記半導体基板上に、温度測定用のpn
    ダイオードを設けた請求項6記載の表示装置。
  8. 【請求項8】 前記照射光の反射部材が画素電極となる
    反射型の液晶表示装置である請求項6または7記載の表
    示装置。
  9. 【請求項9】 前記照射光の反射部材が反射ミラーとな
    るデジタルマイクロミラー装置である請求項6または7
    記載の表示装置。
  10. 【請求項10】 表面より照射された光を画素毎に制御
    して表示を行なう表示装置であって、照射光の反射部材
    と該部材を制御するトランジスタ及び周辺駆動回路を設
    けた半導体基板と、該半導体基板を固定支持する治具
    と、該半導体基板の裏面に位置する冷却装置とを有し、
    上記半導体基板周辺部の治具の表面が、凹凸形状を有し
    ていることを特徴とする表示装置。
  11. 【請求項11】 前記半導体基板上に、温度測定用のp
    nダイオードを設けた請求項10記載の表示装置。
  12. 【請求項12】 前記照射光の反射部材が画素電極とな
    る反射型の液晶表示装置である請求項10または11記
    載の表示装置。
  13. 【請求項13】 前記照射光の反射部材が反射ミラーと
    なるデジタルマイクロミラー装置である請求項10また
    は11記載の表示装置。
JP23570096A 1995-09-13 1996-09-06 表示装置 Pending JPH09166790A (ja)

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JP23570096A JPH09166790A (ja) 1995-09-13 1996-09-06 表示装置
US08/915,663 US5793452A (en) 1995-09-13 1997-08-21 Display device with jig and cooling means

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JP25958395 1995-09-13
JP7-259583 1995-09-13
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