JP2016181659A - 拡張装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】拡張装置(2)であって、フレームユニット(1)の環状フレーム(25)を保持するフレーム保持手段(26,28)と、フレーム保持手段に保持された環状フレームの開口を塞ぐ保護テープ(23)を拡張するテープ拡張手段(18,20)と、フレームユニットの通過を許容する搬出入口(4a)と、搬出入口を遮蔽する遮蔽手段(8)と、を有し、フレーム保持手段とテープ拡張手段とを内部に収容するチャンバー(4)と、チャンバーの内部を冷却する冷却手段(6,36)と、を備え、遮蔽手段は、チャンバーの搬出入口を覆う遮蔽扉(10)と、搬出入口を遮蔽する遮蔽位置と、搬出入口を開放する開放位置との間で遮蔽扉を移動させる移動手段(12)と、を備え、遮蔽扉は、内部に中空領域(42d)を有する樹脂製の板状物(42)で構成されている。
【選択図】図1
Description
4 チャンバー
4a 搬出入口
6 冷気供給管(冷却手段)
8 遮蔽ユニット(遮蔽手段)
10 遮蔽扉
12 移動ユニット(移動手段)
14 突き当て部材
16 基台
18 拡張ドラム(テープ拡張手段)
20 昇降ユニット(テープ拡張手段)
22 シリンダケース
24 ピストンロッド
26 テーブル(フレーム保持手段)
26a 開口
28 プレート(フレーム保持手段)
28a 開口
30 加熱冷却ユニット
32 ガイド構造
34 ヒーター
36 冷気供給管(冷却手段)
42 板状物
42a 表板
42b 裏板
42c 横板
42d 中空領域
44,46,48,50 補強材
48a,50a 角材
48b,50b 密閉材
64 シール構造(シール手段)
66 カバー部材
66a 空間
68 ブラシ
1 フレームユニット
11 ウェーハ
13 デバイス
21 フィルム状接着剤(接着フィルム)
23 保護テープ
25 環状フレーム
Claims (2)
- 表面の分割予定ラインで区画された領域にデバイスが形成されたウェーハの裏面に貼着された接着フィルムを、環状フレームの開口を塞ぐ保護テープに貼着したフレームユニットの状態で、該保護テープを拡張し該分割予定ラインに沿って該接着フィルムを破断する拡張装置であって、
該フレームユニットの該環状フレームを保持するフレーム保持手段と、
該フレーム保持手段に保持された該環状フレームの該開口を塞ぐ該保護テープを拡張するテープ拡張手段と、
該フレームユニットの通過を許容する搬出入口と、該搬出入口を遮蔽する遮蔽手段と、を有し、該フレーム保持手段と該テープ拡張手段とを内部に収容するチャンバーと、
該チャンバーの内部を冷却する冷却手段と、を備え、
該遮蔽手段は、
該チャンバーの該搬出入口を覆う遮蔽扉と、
該搬出入口を遮蔽する遮蔽位置と、該搬出入口を開放する開放位置との間で該遮蔽扉を移動させる移動手段と、を備え、
該遮蔽扉は、
内部に中空領域を有する樹脂製の板状物で構成されていることを特徴とする拡張装置。 - 該搬出入口の近傍には、該遮蔽位置に位置付けられた該遮蔽板と該搬出入口との隙間を埋めるブラシを含むシール手段が設けられていることを特徴とする請求項1記載の拡張装置。
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