JP2016178109A - ノズルおよび液体供給装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】液垂れし難い新規な構成のノズルおよび液体供給装置を得る。【解決手段】実施形態のノズルは、ボディを備える。前記ボディに、液体が供給される供給口と、前記液体を下方に向けて吐出する吐出口と、前記供給口と前記吐出口とに亘った流路と、が設けられている。前記流路に、前記吐出口に向かう前記液体が下方に向かって流れる第一部分と、前記第一部分の下流側に設けられ、前記吐出口に向かう前記液体が上方に向かって流れる第二部分と、を含む貯留部と、前記吐出口から前記液体が吐出されていない状態であって前記貯留部に前記液体が貯留された状態で、前記第二部分の上流側の気体を排気可能な排気部と、が設けられている。【選択図】図２

Description

本発明の実施形態は、ノズルおよび液体供給装置に関する。
従来、ノズルによってウェハ等の被処理物の上方から被処理物上に薬液を吐出する液体供給装置が知られている。
特開平８−２８１１８４号公報 特開２００５−４４８３６号公報 特開平１０−１１９７７５号公報
上記液体供給装置では、薬液の吐出が終了した後にノズルから被処理物上に薬液が垂れると、被処理物の品質が低下してしまう場合がある。そこで、液垂れし難い新規な構成のノズルが得られれば有意義である。
実施形態のノズルは、ボディを備える。前記ボディに、液体が供給される供給口と、前記液体を下方に向けて吐出する吐出口と、前記供給口と前記吐出口とに亘った流路と、が設けられている。前記流路に、前記吐出口に向かう前記液体が下方に向かって流れる第一部分と、前記第一部分の下流側に設けられ、前記吐出口に向かう前記液体が上方に向かって流れる第二部分と、を含む貯留部と、前記吐出口から前記液体が吐出されていない状態であって前記貯留部に前記液体が貯留された状態で、前記第二部分の上流側の気体を排気可能な排気部と、が設けられている。
図１は、第１実施形態の薬液塗布装置を概略的に示す図である。 図２は、第１実施形態のノズルの断面図である。 図３は、第１実施形態の配管の一部の断面図である。 図４は、第２実施形態のノズルの断面図である。 図５は、第２実施形態のノズルの断面図であって、排気部に液体が貯留された状態の断面図である。 図６は、第３実施形態のノズルの断面図である。 図７は、第３実施形態のノズルの断面図であって、排気部に液体が貯留された状態の断面図である。 図８は、第４実施形態のノズルの断面図である。 図９は、第５実施形態のノズルの断面図である。 図１０は、図９のX-X断面図である。 図１１は、第６実施形態のノズルの断面図である。 図１２は、第７実施形態のノズルの断面図である。 図１３は、第８実施形態のノズルの断面図である。 図１４は、第９実施形態のノズルの断面図である。 図１５は、第１０実施形態のノズルの断面図である。 図１６は、第１１実施形態のノズルの断面図である。
以下、図面を参照して、実施形態について説明する。なお、以下の例示的な複数の実施形態には、同様の機能を有する構成要素が含まれている。同様の機能を有する構成要素には共通の符号が付されるとともに、重複する説明が省略される場合がある。
＜第１実施形態＞
第１実施形態を図１〜図３に基づいて説明する。図１に示す薬液塗布装置１は、ウェハ等の基板１００上にレジスト液等の薬液２００（図２）を塗布する。薬液塗布装置１は、液体供給装置の一例であり、基板１００は、対象物（被処理物）の一例であり、薬液２００は、液体の一例である。
図１に示すように、薬液塗布装置１は、支持装置１０と、ノズル１１と、供給部１２と、回収部１３と、カバー１４と、を備える。
支持装置１０は、基板１００を着脱可能に支持する。支持装置１０は、支持した基板１００をモータ等の駆動源によって回転させる。支持装置１０は、カバー１４内に配置されている。
ノズル１１は、支持装置１０に支持された基板１００の上方に基板１００と間隔を空けて配置されている。ノズル１１は、供給部１２から供給された薬液２００を、基板１００の上方から基板１００に吐出する。
供給部１２は、タンク２０と、ポンプ２１と、弁２２と、配管２３と、を有する。タンク２０は、薬液２００を貯留する。タンク２０は、配管２３を介してノズル１１に接続されている。ポンプ２１および弁２２は、配管２３の途中、すなわちタンク２０とノズル１１との間に設けられている。ポンプ２１は、タンク２０に貯留された薬液２００をノズル１１に供給可能である。薬液２００は、配管２３内を通ってノズル１１に供給される。弁２２は、ポンプ２１とノズル１１との間に設けられ、配管２３中の流路を開閉可能である。
回収部１３は、タンク３０と、ポンプ３１と、弁３２と、配管３３と、を有する。配管３３は、配管２３におけるノズル１１と弁２２との間の部分と、タンク２０と、に接続されている。タンク３０、ポンプ３１、および弁３２は、配管３３の途中に設けられている。タンク３０、ポンプ３１、および弁３２は、配管３３のタンク２０側からタンク３０、ポンプ３１、弁３２の順で配置されている。ポンプ３１は、当該ポンプ３１のノズル１１側に対して吸引力が発生するように吸引動作を行う。これにより、ノズル１１および配管２３中の薬液２００が吸引される。ポンプ３１によって吸引された薬液２００は、タンク３０に貯留される。弁３２は、配管３３中の流路を開閉可能である。
薬液塗布装置１は、基板１００に薬液２００を塗布する場合、弁２２を開くとともに弁３２を閉じる。そして、支持装置１０が基板１００を回転させた状態で、ポンプ２１がタンク２０に貯留された薬液２００をノズル１１に供給する。ノズル１１に供給された薬液２００は、ノズル１１から基板１００上に吐出される。基板１００上に吐出された薬液２００は、遠心力によって基板１００の表面全体に広がる。
薬液２００の塗布が終了すると、薬液塗布装置１は、サックバック処理を行う。サックバック処理では、薬液塗布装置１は、弁２２を閉じるとともに弁３２を開く。そして、ポンプ３１が吸引動作を行う。これにより、ノズル１１や、配管２３におけるノズル１１と弁２２との間の部分２３ａの薬液２００が吸引される。ポンプ３１によって吸引された薬液２００は、ポンプ３１からタンク３０へ排出され、タンク３０に貯留される。このようにして、薬液２００の吸引を行った後、薬液塗布装置１は、弁３２を閉じる。このようにサックバック処理が行われることにより、ノズル１１からの液垂れが抑制される。
次に、ノズル１１について詳細に説明する。以下では、説明の便宜上、Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向が規定される。Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向は、互いに直交する。Ｚ方向は、ノズル１１のボディ４０の上下方向（鉛直方向）に沿う。
図２に示すように、ノズル１１は、ボディ４０を備える。ボディ４０は、細長い形状を有し、例えば、セラミックス材料や、フッ素系樹脂、塩ビ系樹脂等、耐薬性の高い材料で構成される。ボディ４０の長手方向（軸方向）は、ボディ４０の上下方向（Ｚ方向）に沿う。ボディ４０の短手方向（幅方向）は、Ｘ方向およびＹ方向に沿う。ボディ４０は、略円柱状の外観を呈している。ボディ４０は、外面（面）としての、上面４１、下面４２および側面４３を有する。上面４１は、ボディ４０の長手方向の一端部（上端部）に位置され、端面とも称されうる。上面４１は、円形の平面状に形成されている。下面４２は、ボディ４０の長手方向の他端部（下端部）に位置され、端面とも称されうる。下面４２は、円形の平面状に形成されている。下面４２は、支持装置１０や基板１００と面する。側面４３は、ボディ４０の短手方向の端部に位置され、周面とも称され得る。側面４３は、上面４１と下面４２とに亘っている。側面４３は、円柱面状に形成されている。
また、ボディ４０には、供給口４４と、吐出口４５と、流路４６と、が設けられている。供給口４４は、上面４１に設けられている。供給口４４には、配管２３が接続されている。供給口４４には、供給部１２から薬液２００が供給される。吐出口４５は、下面４２に設けられている。吐出口４５は、流路４６を介して吐出口４５に接続されている。吐出口４５は、供給口４４に供給され流路４６を通った薬液２００を下方に向かって吐出する。
流路４６は、供給口４４と吐出口４５とに亘っている。流路４６では、供給口４４側が上流側であり、吐出口４５側が下流側である。流路４６では、供給口４４から供給された薬液２００は、吐出口４５に向けて流れる。
流路４６には、貯留部４７が設けられている。貯留部４７は、薬液２００を貯留可能である。貯留部４７は、略Ｕ字状に形成されている。貯留部４７の深さが図２中に寸法ｈで示されている。貯留部４７は、第一部分４８と、第二部分４９と、第三部分５０と、を含む。第一部分４８は、ボディ４０の上下方向に沿って延びている。第一部分４８では、吐出口４５に向かう薬液２００が下方に向かって流れる。第二部分４９は、第一部分４８の下流側に設けられている。第二部分４９は、ボディ４０の上下方向に沿って延びている。第二部分４９では、吐出口４５に向かう薬液２００が上方に向かって流れる。第三部分５０は、第一部分４８の下流側の端部と第二部分４９の上流側の端部との間に介在し、第一部分４８と第二部分４９とを接続している。第三部分５０は、上方に折り返された屈曲形状（湾曲形状）に形成されている。第二部分４９は、第一部分の一例であり、第一部分４８は、第二部分の一例である。貯留部４７は、液溜部や室とも称され得る。また、第一部分４８は、下り部や下り流路とも称され得る。また、第二部分４９は、上り部や上り流路とも称され得る。また、第三部分５０は、屈曲部や屈曲部とも称され得る。
また、第一部分４８の上流側の端部は、流路５１を介して供給口４４に接続されている。流路５１は、ボディ４０の上下方向に沿って延びている。また、第二部分４９の下流側の端部は、流路５２を介して吐出口４５に接続されている。流路５２は、第二部分４９の下流側に設けられ、吐出口４５に至る。流路５２は、接続部５３と、延部５４と、を含む。接続部５３は、第二部分４９の下流側の端部に接続されている。接続部５３は、下方に折り返された屈曲形状（湾曲形状）に形成されている。延部５４は、接続部５３の下流側の端部から下方に延びて、吐出口４５に接続されている。延部５４は、下り部や下り流路とも称され得る。
また、ボディ４０には、排気部５５が設けられている。排気部５５は、バイパス流路５６を含む。バイパス流路５６は、流路４６における第三部分５０の上流側の部分、すなわち流路５１と、流路４６における第三部分５０の下流側の部分、すなわち流路５２とに通じている。詳細には、バイパス流路５６は、流路５２のうち接続部５３に通じている。すなわち、バイパス流路５６は、流路５１と接続部５３とを接続している。バイパス流路５６は、流路４６における第一部分４８の上流側と流路４６における第二部分４９の上方とに接続されている。バイパス流路５６の径は、一例として、流路４６の径よりも小さい。なお、バイパス流路５６の径は、流路４６の径と同じであってもよいし、大きくてもよい。バイパス流路５６は、吐出口４５から薬液２００が吐出されていない状態であって貯留部４７に薬液２００が貯留された状態（図２に示す状態）で、貯留部４７の第二部分４９の上流側の気体を貯留部４７の第二部分４９の下流側に排気可能である。流路５１は、流路４６における第三部分５０の上流側の部分の一例であり、流路５２は、流路４６における第三部分５０の下流側の部分の一例である。
また、本実施形態では、ボディ４０に設けられ流路４６を形成する面５７の算術平均粗さは、１０μｍよりも大きい。以上の構成のボディ４０は、例えば３Ｄプリンタ等の積層造形装置によって製造可能である。
以上の構成のノズル１１では、供給部１２から供給口４４に供給された薬液２００は、流路４６を通って吐出口４５から下方に向けて吐出される。また、サックバック処理が行われると、流路４６中の薬液２００は、供給口４４からタンク３０に戻される。ただし、サックバック処理が行われても、例えば、図３に示すように、配管２３内やノズル１１内等に、薬液２００が液滴状態で残留する場合がある。この場合、貯留部４７の上流側に残留し重力によって下方に移動する液滴状態の薬液２００は、貯留部４７に貯留される（図２）。よって、ノズル１１からの液だれが抑制される。
図２では、貯留部４７に貯留された薬液２００が流路４６を塞いだ状態が示されている。貯留部４７に貯留された薬液２００中に溶存している気体が顕在化して貯留部４７の上流側に移動すると、貯留部４７の上流側の気体がバイパス流路５６を通って貯留部４７の下流側に流れる。よって、貯留部４７の上流側の圧力が上昇しにくい。
以上、説明したように、本実施形態では、排気部５５は、吐出口４５から薬液２００が吐出されていない状態であって貯留部４７に薬液２００が貯留された状態で、第二部分４９の上流側の気体を排気可能である。これにより、貯留部４７の上流側の気体の圧力の上昇を抑制することができるので、貯留部４７内の薬液２００が貯留部４７の上流側の気体によって貯留部４７から押し出されることを抑制することができる。よって、ノズル１１からの液だれがし難い。
また、本実施形態では、貯留部４７は、第一部分４８と第二部分４９とを接続した第三部分５０を含み、排気部５５は、流路４６における第三部分５０の上流側の流路５１と、流路４６における第三部分５０の下流側の流路５２とに通じたバイパス流路５６を含む。よって、排気部５５は、バイパス流路５６によって、第二部分４９の上流側の気体を第二部分４９の下流側に排気することができる。
また、本実施形態では、バイパス流路５６は、流路４６における第二部分４９の上方に接続されている。よって、薬液２００が流路５１からバイパス流路５６に移動してバイパス流路５６を通過した場合でも、バイパス流路５６を通過した薬液２００は、第二部分４９に向かって流れ、貯留部４７に貯留される。よって、ノズル１１からの液だれがし難い。
また、本実施形態では、ボディ４０に設けられ流路４６を形成する面５７の算術平均粗さが１０μｍよりも大きい。よって、面５７の凹凸が比較的大きいので、面５７に残留した薬液２００と面５７との接触面積が大きくなりやすい。したがって、面５７に残留した薬液２００が移動し難いので、ノズル１１からの液だれがし難い。
＜他の実施形態＞
次に、図４〜図１６を参照して他の実施形態（第２実施形態〜第１１実施形態）のノズル１１を説明する。これら他の実施形態のノズル１１は、第１実施形態のノズル１１の一部と同様の構成を備える。よって、これら他の実施形態によっても、第１実施形態と同様の構成に基づく同様の効果が得られる。以下、第１実施形態のノズル１１に対する他の実施形態のノズル１１の相違点を主に説明する。
＜第２実施形態＞
図４に示すように、本実施形態のノズル１１は、流路４６に第四部分６０が設けられている。第四部分６０は、第二部分４９に含まれる。第四部分６０の、流路４６の延び方向と直交する断面は、貯留部４７の他の部分の、流路４６の延び方向と直交する断面よりも大きい。第四部分６０は、方形や円柱状に形成されている。第四部分６０は、排気部５５に含まれる。本実施形態では、排気部５５には、バイパス流路５６は含まれていない。なお、排気部５５に第四部分６０とバイパス流路５６との両方が含まれていてもよい。第四部分６０は、大断面部や貯留部とも称され得る。
上記構成のノズル１１において、貯留部４７内の薬液２００が流路４６を塞いだ状態（図４）で、貯留部４７内の薬液２００中に溶存している気体が顕在化して貯留部４７の上流側に移動すると、貯留部４７の上流側の圧力が上昇し、貯留部４７の上流側の気体によって貯留部４７内の薬液２００が下流側に押される。図５には、貯留部４７に貯留された薬液２００が、所定の圧力以上の貯留部４７の上流側の気体によって下流側に押されて第四部分６０内に移動した状態であって、第四部分６０の上部に、気体が存在して薬液２００が存在しない領域が形成された状態が示されている。この状態では、第四部分６０に貯留された薬液２００の上面の表面張力は、第四部分６０以外の貯留部４７に貯留された状態の薬液２００（図４）の上面の表面張力よりも小さい。このように第四部分６０に貯留された薬液２００の上面の表面張力が小さくなっているので、第四部分６０の下流側の気体は、第四部分６０を通過して第四部分６０の下流側に移動することができる。すなわち、第四部分６０は、吐出口４５から薬液２００が吐出されていない状態であって貯留部４７に薬液２００が貯留された状態で、貯留部４７の第二部分４９の上流側の気体を貯留部４７の第二部分４９の下流側に排気可能である。
以上、説明したように、本実施形態では、第四部分６０の、流路４６の延び方向と直交する断面は、貯留部４７の他の部分の、流路４６の延び方向と直交する断面よりも大きい。よって、排気部５５は、第四部分６０によって、貯留部４７の第二部分４９の上流側の気体を貯留部４７の第二部分４９の下流側に排気することができる。
＜第３実施形態＞
図６に示すように、本実施形態のノズル１１は、流路４６に第四部分６０が設けられている。ただし、本実施形態の第四部分６０は、流路４６の延び方向と直交する断面が上方に向かうにつれて大きくなっている点が、第２実施形態の第四部分６０と異なる。
図７には、貯留部４７に貯留された薬液２００が、所定の圧力以上の貯留部４７の上流側の気体によって下流側に押されて第四部分６０内に移動した状態であって、第四部分６０の上部に、気体が存在して薬液２００が存在しない領域が形成された状態が示されている。この状態では、第２実施形態と同様に、第四部分６０に貯留された薬液２００の上面の表面張力は、第四部分６０以外の貯留部４７に貯留された状態の薬液２００（図４）の上面の表面張力よりも小さい。このように第四部分６０に貯留された薬液２００の上面の表面張力が小さくなっているので、第四部分６０の下流側の気体は、第四部分６０を通過して第四部分６０の下流側に移動することができる。よって、本実施形態でも、第２実施形態と同様の効果を奏することができる。
＜第４実施形態＞
図８に示すように、本実施形態のノズル１１には、排気部５５が設けられていない。ただし、本実施形態のノズル１１は、第１実施形態と同様に流路４６を形成する面５７の算術平均粗さが１０μｍよりも大きい。よって、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、面５７に残留した薬液２００が移動し難いので、ノズル１１からの液だれがし難い。
＜第５実施形態＞
図９，１０に示すように、本実施形態のノズル１１は、流路４６に複数（一例として、二つ）の貯留部４７が設けられている。また、本実施形態のノズル１１には、第４実施形態と同様に、排気部５５が設けられていない。
複数の貯留部４７は、ボディ４０の上下方向と交差（一例として直交）する方向に並べられている。本実施形態では、複数の第一部分４８および複数の第二部分４９は、ボディ４０の上下方向と交差（一例として直交）する一方向に一列に並べられている。複数の貯留部４７は、接続部６５によって接続されている。詳細には、隣り合う二つの貯留部４７のうち上流側の貯留部４７の第二部分４９の下流側の端部と、隣り合う二つの貯留部４７のうち下流側の貯留部４７の第一部分４８の上流側の端部と、が接続部６５によって接続されている。接続部６５は、下方に折り返された屈曲形状（湾曲形状）に形成されている。また、本実施形態では、複数の貯留部４７のうち最上流に位置された貯留部４７の第一部分４８が、流路５１を介して供給口４４に接続され、複数の貯留部４７のうち最下流に位置された貯留部４７の第二部分４９が、流路５２を介して吐出口４５に接続されている。
以上の構成のノズル１１では、例えば、複数の貯留部４７には、最上流側から順に薬液２００が貯留される。図９では、最上流側の貯留部４７が薬液２００で満たされ、当該貯留部４７から溢れた薬液２００が下流側の貯留部４７に貯留された状態が示されている。
以上、説明したように、本実施形態では、ボディ４０に複数の貯留部４７が設けられている。よって、貯留部４７が一つの場合に比べて、より多くの薬液２００を貯留することができる。
また、本実施形態では、複数の貯留部４７は、ボディ４０の上下方向と交差する方向に並べられている。よって、複数の貯留部４７がボディ４０の上下方向に並べられた場合に比べて、各貯留部４７の上下方向の長さを長くしやすい。
＜第６実施形態＞
図１１に示すように、本実施形態のノズル１１には、複数の貯留部４７が設けられている。ただし、本実施形態は、複数の第一部分４８および複数の第二部分４９が流路５２の周囲に配置されている点が第５実施形態と異なる。よって、複数の第一部分４８および複数の第二部分４９がボディ４０の上下方向と交差する一方向に一列に並べられている場合に比べて、第一部分４８の径および第二部分４９の径を大きくしやすい。
＜第７実施形態＞
図１２に示すように、本実施形態のノズル１１では、貯留部４７の少なくとも一部（一例として、一部）の、流路４６の延び方向と直交する断面は、流路５２の、流路４６の延び方向と直交する断面よりも大きい。具体的には、第一部分４８の一部と第二部分４９の一部と第三部分５０とのそれぞれの、流路４６の延び方向と直交する断面が、流路５２の、流路４６の延び方向と直交する断面よりも大きい。流路５２は、貯留部４７の下流側に設けられ吐出口４５に至る部分の一例である。また、本実施形態のノズル１１には、第４実施形態と同様に、排気部５５が設けられていない。
以上、説明したように、本実施形態では、本実形態の貯留部４７の少なくとも一部（一例として、一部）の、流路４６の延び方向と直交する断面は、流路５２の、流路４６の延び方向と直交する断面よりも大きい。よって、貯留部４７の、流路４６の延び方向と直交する断面が、流路５２の、流路４６の延び方向と直交する断面と同じ場合に比べて、貯留部４７により多くの薬液２００を貯留することができる。なお、貯留部４７の全体の、流路４６の延び方向と直交する断面が、流路５２の、流路４６の延び方向と直交する断面よりも大きくてもよい。
＜第８実施形態＞
図１３に示すように、本実施形態のノズル１１は、貯留部４７に螺旋状部７０が設けられている。螺旋状部７０は、第一部分４８と第二部分４９との少なくとも一方に設けられている。具体的には、本実施形態では、螺旋状部７０は、第二部分４９に設けられている。螺旋状部７０は、上下方向に延びる螺旋状に形成されている。螺旋状部７０の内側に、第一部分４８と流路５２とが配置されている。また、本実施形態のノズル１１には、第４実施形態と同様に、排気部５５が設けられていない。
以上、説明したように、本実施形態では、貯留部４７の第二部分４９に螺旋状部７０が設けられている。よって、第二部分４９が直線状の場合に比べて、貯留部４７により多くの薬液２００を貯留することができる。
＜第９実施形態＞
図１４に示すように、本実施形態のノズル１１には、螺旋状部７０が設けられている。ただし、本実施形態は、螺旋状部７０が貯留部４７の第一部分４８に設けられている点が第８実施形態と異なる。螺旋状部７０の内側に、第二部分４９と流路５２とが配置されている。また、本実施形態のノズル１１には、第４実施形態と同様に、排気部５５が設けられていない。
以上、説明したように、本実施形態では、貯留部４７の第一部分４８に螺旋状部７０が設けられている。よって、第一部分４８が直線状の場合に比べて、貯留部４７により多くの薬液２００を貯留することができる。
＜第１０実施形態＞
図１５に示すように、本実施形態のノズル１１は、第二部分４９に筒状部７５が設けられている。また、本実施形態のノズル１１には、第４実施形態と同様に、排気部５５が設けられていない。
筒状部７５は、筒軸心（中心線）がボディ４０の上下方向に沿う円筒状に形成されている。筒状部７５は、下方に向かうにつれ径が小さくなっている。筒状部７５の下端部は、第三部分５０を介して第一部分４８に接続され、筒状部７５の上端部は、流路５２の接続部５３を介して延部５４に接続されている。
また、本実施形態の延部５４は、筒状部７６を含む。筒状部７６は、筒状部７５の外側に配置されて、筒状部７５を囲っている。筒状部７６は、筒軸心（中心線）がボディ４０の上下方向に沿う円筒状に形成されている。筒状部７６は、下方に向かうにつれ径が小さくなっている。筒状部７６の下端部は、直線状部７７を介して吐出口４５に接続され、筒状部７５の上端部は、接続部５３を介して延部５４に接続されている。直線状部７７は、ボディ４０の上下方向に沿う。直線状部７７は、流路５２に含まれる。
また、ボディ４０は、基部７８と、壁部７９と、接続部８０と、を有する。壁部７９は、基部７８の内部に基部７８から離間した状態で設けられ、接続部８０によって基部７８に接続されている。壁部７９は、有底の筒状に形成されている。接続部８０は、筒状部７６内で壁部７９の筒軸心周りに部分的に設けられている。基部７８と壁部７９との間に、二つの筒状部７５，７６が形成されている。
以上、説明したように、本実施形態では、第二部分４９に筒状部７５が設けられている。よって、例えば、筒状部７５の筒軸心をボディ４０の軸心と一致させることにより、ボディ４０の重量バランスを良くすることができる。
＜第１１実施形態＞
図１６に示すように、本実施形態のノズル１１では、複数の貯留部４７がボディ４０の上下方向に並べられている。詳細には、隣り合う二つの貯留部４７のうち上流側の貯留部４７の第二部分４９と、隣り合う二つの貯留部４７のうち下流側の貯留部４７の第二部分４９とが、ボディ４０の上下方向で互いに間隔を空けて重ねられている。
以上、説明したように、本実施形態では、複数の貯留部４７は、ボディ４０の上下方向に並べられている。よって、複数の貯留部４７がボディ４０の上下方向と交差する方向に並べられた場合に比べて、第一部分４８の径および第二部分４９の径を大きくしやすい。
なお、以上の説明で、いくつかの構成要素に、「第一」、「第二」等の数字を付したが、これらの数字は説明の便宜上、付したものであり、これらの数字は適宜入れ替え等をすることができる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。例えば、第５実施形態〜第１１実施形態のノズル１１に、排気部５５を設けてもよい。また、薬液は、被処理物表面を処理する薬液のほか、薬液処理後の表面を洗浄するための水や塗料等であってもよい。
１…薬液塗布装置（液体供給装置）、１１…ノズル、４０…ボディ、４４…供給口、４５…吐出口、４６…流路、４７…貯留部、４８…第一部分、４９…第二部分、５０…第三部分、５１…流路（部分）、５２…流路（部分）、５５…排気部、５６…バイパス流路、５７…面、６０…第四部分、７０…螺旋状部、７５…筒状部、２００…薬液（液体）。

Claims (14)

  1. 液体が供給される供給口と、前記液体を下方に向けて吐出する吐出口と、前記供給口と前記吐出口とに亘った流路と、が設けられたボディを備え、
    前記流路に、
    前記吐出口に向かう前記液体が下方に向かって流れる第一部分と、前記第一部分の下流側に設けられ、前記吐出口に向かう前記液体が上方に向かって流れる第二部分と、を含む貯留部と、
    前記吐出口から前記液体が吐出されていない状態であって前記貯留部に前記液体が貯留された状態で、前記第二部分の上流側の気体を排気可能な排気部と、
    が設けられたノズル。
  2. 前記貯留部は、前記第一部分と前記第二部分とを接続した第三部分を含み、
    前記排気部は、前記流路における前記第三部分の上流側の部分と前記流路における前記第三部分の下流側の部分とに通じたバイパス流路を含む、請求項１に記載のノズル。
  3. 前記バイパス流路は、前記流路における前記第一部分の上流側と前記流路における前記第二部分の上方とに接続された、請求項２に記載のノズル。
  4. 前記排気部は、前記第二部分に含まれた第四部分を含み、
    前記第四部分の、前記流路の延び方向と直交する断面は、前記貯留部の他の部分の前記断面よりも大きい、請求項１に記載のノズル。
  5. 前記流路を形成する面の算術平均粗さが１０μｍよりも大きい、請求項１ないし４のいずれか一項に記載のノズル。
  6. 液体が供給される供給口と、前記液体を下方に向けて吐出する吐出口と、前記供給口と前記吐出口とに亘った流路と、が設けられたボディを備え、
    前記流路に、前記吐出口に向かう前記液体が下方に向かって流れる第一部分と、前記第一部分の前記下流側に設けられ、前記吐出口に向かう前記液体が上方に向かって流れる第二部分と、を含む貯留部が設けられ、
    前記流路を形成する面の算術平均粗さが１０μｍよりも大きい、ノズル。
  7. 複数の前記貯留部が設けられた、請求項１ないし６のいずれか一項に記載のノズル。
  8. 前記ボディの上下方向と交差する方向に並べられた複数の前記貯留部が設けられた、請求項７に記載のノズル。
  9. 前記ボディの上下方向に並べられた複数の前記貯留部が設けられた、請求項７または８に記載のノズル。
  10. 前記流路は、前記貯留部の下流側に設けられ前記吐出口に至る部分を含み、
    前記貯留部の少なくとも一部の、前記流路の延び方向と直交する断面は、前記吐出口に至る前記部分の前記断面よりも大きい、請求項１ないし９のいずれか一項に記載のノズル。
  11. 前記流路は、前記貯留部の下流側に設けられ前記吐出口に至る部分を含み、
    前記貯留部の少なくとも一部は、前記流路の延び方向と直交する断面が、前記吐出口に至る前記部分よりも大きい、請求項１ないし１０のいずれか一項に記載のノズル。
  12. 前記第一部分と第二部分との少なくとも一方は、螺旋状部を含む、請求項１ないし１１のいずれか一項に記載のノズル。
  13. 前記第二部分は、前記ボディの上下方向に延びる筒状部を含む、請求項１ないし１２のいずれか一項に記載のノズル。
  14. 請求項１ないし１３のいずれか一項に記載のノズルと、
    前記供給口に前記液体を供給する供給部と、
    を備えた液体供給装置。
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