JP2016167675A - 圧電振動子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基部1から延出する振動脚2に、その延出方向に形成された溝部5を備える圧電振動子であって、溝部5はその延出方向に対して先端側に位置する第1溝領域5aと後端側に位置する第2溝領域5bとを分ける壁部6を有し、壁部6は、第2溝領域5bにおける壁部6の側面の位置が基部1と振動脚2との境界位置から振動脚2の全長に対して5%〜20%の位置となるように形成される。
【選択図】 図1
Description
特許文献1の代表的な図面である図1及び図3の主要部のみを抽出して、それぞれ本願の図4及び図5に掲げる(各部に付した符号は変更してある)。以下、両図を用いて説明する。また、用語等や説明を若干補った部分もある。
の正面側から掘り込んだ溝100、110と、裏面側から掘り込んだ溝120、130を有する。振動腕40は、表裏に溝内面電極330、360を、両側面に側面電極340、350をそれぞれ有し、振動腕50は、表裏に溝内面電極270、280を、両側面に側面電極260、290をそれぞれ有する。
図1(a)は、本発明の実施例1である圧電振動子の正面図である。この振動子は、圧電基板、例えば水晶から結晶軸に対して所定の角度を与えて切り出された板材から、フォトエッチング手法によって打ち抜き形成されている。圧電振動子は基部1から平行な向き(図1の上方)に向かって延出する一対の振動脚2(図4,5の従来例では振動腕なる名称を用いている)を備える。振動脚2の先端にはそれぞれ錘部3を有している。錘部3は所定の共振周波数(例えば32768Hz)を与えるように、振動脚2の自由端の質量を増す膨大部である。
9を設け、これらを第1溝領域5aの溝内面電極8、側面電極9とそれぞれ接続して用いても良い。
図2は、圧電振動子の数種のモデルにおける、基部1と振動脚2との境界位置を基準とした壁部6の位置によるZTC温度の変化を表すグラフであり、図3は、グラフの各線に対応するモデルの概形を示した説明図である。
以上、実施例1について述べたが、本発明における圧電振動子の形状、寸法は自由に変更することができる。例えば形状については、壁部6の厚さhは増減があってもよい。また、第2溝領域における壁部の側面と対向する面の位置は、境界位置であってもよい。さらに、第2溝領域5bの下端(第2溝領域5bにおける壁部6の側面と対向する面)は、基部1の内側まで延出してもよい。またテ―パ部4の斜面を直線状とせず、曲線状又は折れ線状としてもよい。また基部1の端面は一直線上でなく、凹凸があってもよい。その場合は、基部1の端面として、一対の振動脚2を分けている溝部5の底端をとってもよい。また、基部1内の端部から離れた位置に、緩衝のためのくびれ部分を設けてもよい。
また、圧電材料として水晶以外の材料、例えばタンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムやランがサイト等を用いてもよい。もとより、他の材料においては、その性質に基づいて、振動子の形状、切り出し角度、調整部位の位置、調整量などは適宜変更される。
2、40,50 振動脚(又は振動腕)
3 錘部
4 テーパ部
5 溝部
5a 第1溝領域
5b 第2溝領域
6 壁部
7 側壁
8、270、280、330、360 溝内面電極
8a 平面電極
9、260、290、340、350 脚側面電極
21、22、23、24、25 グラフ線
31 振動脚の全長に対する5%位置
32 振動脚の全長に対する20%位置
100、110、120、130 溝
H 壁部の位置
h 壁部の厚さ
L 振動脚の全長
Lm 溝部の全長
Claims (3)
- 基部と、
前記基部から延出する振動脚と、
前記振動脚に形成された溝部と、を備える圧電振動子であって、
前記溝部は、前記振動脚の延出方向に対して、前記振動脚の先端側に位置する第1溝領域と前記振動脚の後端側に位置する第2溝領域とに領域を分ける壁部を有し、
前記壁部は、前記第2溝領域における前記壁部の側面の位置が前記基部と前記振動脚との境界位置から、前記振動脚の全長に対して5%〜20%の位置となるように形成される、
ことを特徴とする圧電振動子。 - 前記第2溝領域における前記壁部の側面と対向する面の位置は、前記境界位置である
ことを特徴とする請求項1に記載の圧電振動子。 - 前記第2溝領域における前記壁部の側面と対向する面の位置は、前記境界位置より前記基部の内側に延出した位置である
ことを特徴とする請求項1に記載の圧電振動子。
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