JP2012010253A - 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 音叉型圧電振動片(30)は、圧電材料により形成された基部(31)と、基部から所定方向に伸びる一対の振動腕(32)と、を備え、振動腕の表面及び裏面には、基部側に第1励振溝部(33)と、振動腕の先端側に第2励振溝部(34)と、第1励振溝部と第2励振溝部とを仕切る仕切部(35)とが形成され、第1励振溝部の基部側から第2励振溝部の先端までの所定方向の長さL1と第1励振溝部の所定方向の長さL2との比L2/L1が0.51から0.65である。
【選択図】 図2
Description
第4観点の音叉型圧電振動片は、第3観点において、一対の支持腕及び基部を囲むようにして形成された枠体と、支持腕の先端側の一部に接続し一対の支持腕と枠体とを接続する接続腕と、を備える。
<圧電デバイス100>
図1(a)は、圧電デバイス100の斜視図である。圧電デバイス100は、リッド10、パッケージ20、及びパッケージ20内に載置されている音叉型圧電振動片30(図1(b)参照)により構成されている。以下、パッケージ20の長辺方向であり音叉型圧電振動片30の振動腕32(図1(c)参照)が伸びている方向をY軸方向、パッケージ20の短辺方向であり一対の振動腕32が並んでいる方向をX軸方向、X軸方向とY軸方向とに垂直な方向をZ軸方向として説明する。
図2(a)は、音叉型圧電振動片30の平面図である。また、図2(b)は図2(a)のC−C断面図である。以下、図2(a)及び図2(b)を参照して音叉型圧電振動片30について説明する。
振動腕32に形成される第1励振溝部33及び第2励振溝部34は、その長さの比によってCI値が大きく変わってくる。そのため、実験として、第1励振溝部33、第2励振溝部34及び仕切部35を含めた全体のY軸方向への長さをL1、第1励振溝部33のY軸方向への長さをL2とし、様々な比L2/L1の値におけるCI値を実測した。
<音叉型圧電振動片230>
音叉型圧電振動片30では、第1励振溝部33の基部31側の端部は基部31と振動腕32との境界に位置していた。しかし、第1励振溝部の基部側の端部は、基部側に入り込んで存在していても良い。以下に、第1励振溝部の一部分が基部に形成されている音叉型圧電振動片230について説明する。
<音叉型圧電振動片330>
音叉型圧電振動片30には、支持腕が形成されていても良い。以下、支持腕が形成された音叉型圧電振動片330について説明する。
<音叉型圧電振動片430>
音叉型圧電振動片330には、支持腕336及び基部331を囲むようにして枠体が形成されていても良い。以下に、枠体が形成された音叉型圧電振動片430及び音叉型圧電振動片430を備える圧電デバイス400について説明する。
例えば、音叉型圧電振動片330及び音叉型圧電振動片430では、音叉型圧電振動片230で示したように第1励振溝部が、基部内に入り込んで形成されていても良い。
また仕切部35のY方向寸法dを15μmとしたが、これも変更できる。ただしこの出願に係る発明者の知見によればd/L1=0.01〜0.018が良い。
20、320 パッケージ
21、421 外部電極
22、322、422 接続電極
23 導通部
24、324、424 キャビティ
30、230、330、430 音叉型圧電振動片
31、231、331、431 基部
32、232、332、432 振動腕
33、233、333、433 第1励振溝部
34、234、334、434 第2励振溝部
35、235、335、435 仕切部
36 第1層
37 第2層
40 封止材
41 導電性接着剤
100、400 圧電デバイス
336、436 支持腕
420 ベース
437 枠体
438 接続腕
439 引出電極
CR 圧電材料
Claims (6)
- 圧電材料により形成された基部と、
前記基部から所定方向に伸びる一対の振動腕と、を備え、
前記振動腕の表面及び裏面には、前記基部側に第1励振溝部と、前記振動腕の先端側に第2励振溝部と、前記第1励振溝部と第2励振溝部とを仕切る仕切部とが形成され、
前記第1励振溝部の基部側から前記第2励振溝部の先端までの所定方向の長さL1と前記第1励振溝部の前記所定方向の長さL2との比L2/L1が0.51から0.65である音叉型圧電振動片。 - 前記振動腕の前記所定方向への長さが1300μmから1700μmである請求項1または請求項2に記載の音叉型圧電振動片。
- 前記一対の振動腕の両外側で前記基部から前記所定方向に伸びる一対の支持腕、を備える請求項1または請求項2に記載の音叉型圧電振動片。
- 前記一対の支持腕及び前記基部を囲むようにして形成された枠体と、
前記支持腕の先端側の一部に接続し、前記一対の支持腕と前記枠体とを接続する接続腕と、を備えた請求項3に記載の音叉型圧電振動片。 - 請求項1から請求項3に記載の音叉型圧電振動片と、
前記音叉型圧電振動片を内に載置するパッケージと、
前記パッケージ内を密封するリッドと、を備える圧電デバイス。 - 請求項4に記載の音叉型圧電振動片と、
前記枠体の裏面と接合されるベースと、
前記枠体の表面と接合されるリッドと、を備え、
前記一対の振動腕と、前記基部と、前記一対の支持腕と、前記接続腕と、を前記枠体と、前記ベースと、前記リッドと、により密封している圧電デバイス。
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