JP2016166789A - 検査装置および検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査装置100は、光源105の光量変動に基づいて光学画像データを補正する階調値補正部131と、補正後の光学画像データからパターンの線幅を求め、この線幅と、この光学画像データに対応する参照画像データのパターンの線幅との差である線幅誤差を取得する線幅誤差取得部119とを有する。透過用TDIセンサ113は、マスクMaを透過した光が入射する第1の領域と、光源105からの光であってマスクMaを照明する光とは分岐された光が入射する第2の領域とを備えている。階調値補正部131は、第2の領域に入射した光から取得された光学画像データの階調値の変動を求めて、第1の領域に入射した光から取得された光学画像データの階調値を補正する。
【選択図】図1
Description
前記被検査対象を透過した光または前記被検査対象で反射した光をセンサに入射させて、前記被検査対象に設けられたパターンの光学画像データを取得する撮像部と、
前記パターンの設計データから前記光学画像データに対応する参照画像データを作成する参照画像データ生成部と、
前記光源の光量変動に基づいて前記光学画像データを補正する補正部と、
前記補正後の光学画像データから前記パターンの線幅を求め、該線幅と、該光学画像データに対応する参照画像データのパターンの線幅との差である線幅誤差を取得する線幅誤差取得部とを有し、
前記センサは、前記被検査対象を透過した光または前記被検査対象で反射した光が入射する第1の領域と、前記光源からの光であって前記被検査対象を照明する光とは分岐された光が入射する第2の領域とを備えており、
前記補正部は、前記第2の領域に入射した光から取得された光学画像データの階調値の変動を求めて前記第1の領域に入射した光から取得された光学画像データの階調値を補正することを特徴とする検査装置に関する。
前記反射照明する光路を進む光を前記被検査対象の手前で分割する第2の光分割手段とを有し、
前記第2の光分割手段に入射した光の一部は前記被検査対象を照明し、他の一部は前記被検査対象を照明することなく前記センサの前記第2の領域に入射することが好ましい。
前記第2の領域は、電荷が蓄積される積算方向に前記第1の領域と同じ長さを有していて、前記積算方向と直交する方向の端部に設けられることが好ましい。
前記テーブルの位置座標を測定する位置測定部と、
前記位置測定部から出力された前記テーブルの位置座標の情報を用いて、前記線幅誤差を前記被検査対象上の位置座標と対応させた線幅誤差マップを作成するマップ作成部とを有することが好ましい。
光源からの光をテーブル上に載置された前記被検査対象に照明し、前記被検査対象を透過した光または前記被検査対象で反射した光を前記センサの前記第1の領域に入射させて、前記被検査対象に設けられたパターンの光学画像データを取得するとともに、前記光源からの光であって前記被検査対象を照明する光とは分岐された光を前記第2の領域に入射させて光学画像データを取得する工程と、
前記第2の領域に入射した光から取得された光学画像データの階調値の変動を求めて前記第1の領域に入射した光から取得された光学画像データの階調値を補正する工程と、
前記パターンの設計データから、前記光学画像データに対応する参照画像データを生成する工程と、
前記補正後の光学画像データから前記パターンの線幅を求め、該線幅と、該光学画像データに対応する参照画像データのパターンの線幅との差である線幅誤差を取得する工程と、
前記テーブルの位置座標を測定する工程と、
前位置座標の情報を用いて、前記線幅誤差を前記被検査対象上の位置座標と対応させた線幅誤差マップを作成する工程とを有することを特徴とする検査方法に関する。
TDIセンサは、多数のセンサ素子が集合して構成されており、これらの間でセンサの特性にばらつきがあると誤動作の原因になることから、全てのセンサ素子が電気的に等しい特性(ゲインおよびオフセット特性)を有している必要がある。さらに、本実施の形態の透過用TDIセンサ113は、マスクMaの光学像を撮像するための領域(撮像領域A1)と、光源105の光量変動を検出するための領域(光量変動検出領域A2)とを有し、光量変動検出領域A2で検出した光量の変動値に基づいて、撮像領域A1で撮像された光学像の階調値を補正する。したがって、撮像領域A1におけるセンサの特性と、光量変動検出領域A2におけるセンサの特性とを整合させることが重要である。そこで、検査用の光学画像データを取得する前に、透過用TDIセンサ113のキャリブレーションを行う。具体的には、次の通りである。
キャリブレーション工程S1を終えると、撮像工程S2において、マスクMaのパターンの光学像が撮像される。
光量変動検出工程S3は、透過用TDIセンサ113の画素の一部を用いて光源105の光量変動を検出する工程であり、具体的には、透過用TDIセンサ113の光量変動検出領域A2で光学画像データを取得する工程である。この工程は、透過用TDIセンサ113でマスクMaのパターンの光学像を撮像する工程と併行して行われる。
第2の光分割手段111で反射された光が、透過用TDIセンサ113の光量変動検出領域A2に入射すると、透過用TDIセンサ113は、入射光を画像電気信号に変換して出力する。また、透過用TDIセンサ113は、撮像領域A1に入射したマスクMaのパターンの光学像も同時に画像信号に変換して出力する。光源105から出射された光が、マスクMaを透過し透過用TDIセンサ113に入射するまでの時間と、ミラー107で分岐され第2の光分割手段111で反射されてから透過用TDIセンサ113に入射するまでの時間との差は無視できるほど小さいので、本実施の形態によれば、マスクMaのパターンの光学像を撮像する光の光量変化をリアルタイムで検出することができる。つまり、光源105の光量に変動が生じると、光量変動検出領域A2で撮像された光学像の階調値が変化するので、撮像領域A1で撮像され、光量変動検出領域A2の光学像と同時に出力された光学像の階調値に対して、光量の変動量に応じた補正をすることにより、マスクMaのパターンの線幅を正確に測定することが可能となる。
であるので、上式より、
となって、撮像領域A1における光学像の階調値に対する補正は不要である。
図3の参照画像データ生成工程S5では、図1の参照画像データ生成部121において、マスクMaの設計パターンデータを基に参照画像データが生成される。参照画像データは、線幅誤差取得工程S6において、マスクMaのパターンの線幅誤差を取得する際の基準となる線幅の算出に用いられる。また、比較工程S8のダイ−トゥ−データベース比較方式による検査において、光学画像データにおける欠陥判定の基準ともなる。
マスクMaにおけるパターンの線幅(CD)の測定に際しては、測定の基準位置となるエッジ位置を決める必要がある。本実施の形態では、公知の閾値法によってエッジ位置を定めることができる。例えば、まず、参照画像データの黒レベルの信号量(輝度)と白レベルの信号量(輝度)との間で任意の値(閾値)を指定する。閾値は、信号量の最小値と最大値を所定の比率で内分する値である。そして、参照画像データにおいて、閾値の信号量に対応する位置をエッジ位置とする。また、光学画像データにおいても、この閾値と一致する信号量の位置をエッジ位置とする。例えば、ライン・アンド・スペースパターンの場合、閾値は、ラインパターンとスペースパターンの境界になる。
図3のΔCDマップ作成工程S7は、図1のマップ作成部120で行われる。具体的には、線幅誤差取得部119からマップ作成部120へ、線幅誤差(ΔCD)の値と、(位置情報部104から送られた)テーブル101の位置座標の測定値が送られる。マップ作成部120では、線幅誤差(ΔCD)を、マスクMa上の位置座標と対応させてプロットすることにより、ΔCDマップが作成される。
図3の比較工程S8では、階調値が補正された光学画像データと、参照画像データとを用い、図1の比較部122において、マスクMaのパターンの欠陥検出検査が行われる。
101 テーブル
102 レーザ測長システム
103 テーブル制御部
104 位置情報部
105 光源
106 拡大光学系
107 第1の光分割手段
108,109,110,116,117,118 ミラー
111 第2の光分割手段
112 対物レンズ
113 透過用TDIセンサ
114 反射用TDIセンサ
115 センサ回路
119 線幅誤差取得部
120 マップ作成部
121 参照画像データ生成部
121a 展開回路
121b 参照回路
122 比較部
123 磁気ディスク装置
130 全体制御部
131 階調値補正部
Ma マスク
St ストライプ
F フレーム
A1 撮像領域
A2 光量変動検出領域
Claims (5)
- 光源からの光で被検査対象を照明する照明光学系と、
前記被検査対象を透過した光または前記被検査対象で反射した光をセンサに入射させて、前記被検査対象に設けられたパターンの光学画像データを取得する撮像部と、
前記パターンの設計データから前記光学画像データに対応する参照画像データを作成する参照画像データ生成部と、
前記光源の光量変動に基づいて前記光学画像データを補正する補正部と、
前記補正後の光学画像データから前記パターンの線幅を求め、該線幅と、該光学画像データに対応する参照画像データのパターンの線幅との差である線幅誤差を取得する線幅誤差取得部とを有し、
前記センサは、前記被検査対象を透過した光または前記被検査対象で反射した光が入射する第1の領域と、前記光源からの光であって前記被検査対象を照明する光とは分岐された光が入射する第2の領域とを備えており、
前記補正部は、前記第2の領域に入射した光から取得された光学画像データの階調値の変動を求めて前記第1の領域に入射した光から取得された光学画像データの階調値を補正することを特徴とする検査装置。 - 前記照明光学系は、前記光源からの光を、前記被検査対象を透過照明する光路と反射照明する光路とに分割する第1の光分割手段と、
前記反射照明する光路を進む光を前記被検査対象の手前で分割する第2の光分割手段とを有し、
前記第2の光分割手段に入射した光の一部は前記被検査対象を照明し、他の一部は前記被検査対象を照明することなく前記センサの前記第2の領域に入射することを特徴とする請求項1に記載の検査装置。 - 前記センサは、前記被検査対象の光学像を電気的に蓄積し電気信号に変換して出力するものであって、
前記第2の領域は、電荷が蓄積される積算方向に前記第1の領域と同じ長さを有していて、前記積算方向と直交する方向の端部に設けられることを特徴とする請求項1または2に記載の検査装置。 - 前記被検査対象が載置されるテーブルと、
前記テーブルの位置座標を測定する位置測定部と、
前記位置測定部から出力された前記テーブルの位置座標の情報を用いて、前記線幅誤差を前記被検査対象上の位置座標と対応させた線幅誤差マップを作成するマップ作成部とを有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の検査装置。 - 被検査対象の光学像を電気的に蓄積し電気信号に変換して出力するセンサにおいて、第1の領域の特性と、電荷が蓄積される積算方向に前記第1の領域と同じ長さを有していて、前記積算方向と直交する方向の端部に設けられた第2の領域の特性とを整合させるキャリブレーションを行う工程と、
光源からの光をテーブル上に載置された前記被検査対象に照明し、前記被検査対象を透過した光または前記被検査対象で反射した光を前記センサの前記第1の領域に入射させて、前記被検査対象に設けられたパターンの光学画像データを取得するとともに、前記光源からの光であって前記被検査対象を照明する光とは分岐された光を前記第2の領域に入射させて光学画像データを取得する工程と、
前記第2の領域に入射した光から取得された光学画像データの階調値の変動を求めて前記第1の領域に入射した光から取得された光学画像データの階調値を補正する工程と、
前記パターンの設計データから、前記光学画像データに対応する参照画像データを生成する工程と、
前記補正後の光学画像データから前記パターンの線幅を求め、該線幅と、該光学画像データに対応する参照画像データのパターンの線幅との差である線幅誤差を取得する工程と、
前記テーブルの位置座標を測定する工程と、
前位置座標の情報を用いて、前記線幅誤差を前記被検査対象上の位置座標と対応させた線幅誤差マップを作成する工程とを有することを特徴とする検査方法。
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