JP2016164656A - 除塵装置及びこれを備えた露光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1に示すように、露光装置EXは、図1中の左側から右側に向けて順に、投入部1、第1露光部2、反転部3、第2露光部4、及び排出部5を備えている。
第1露光部2及び第2露光部4にはそれぞれ同一構成の除塵装置(クリーニングユニット)12が設けられている。図2、図3では、第1露光部2に設けられた除塵装置12のみを描いており、第2露光部4の構成要素に対応する符号を括弧書きで示している。
図8ないし図14を参照して、本実施形態の露光装置EXの除塵装置12の動作を説明する。ここでは、第1露光部2のマスク10と露光テーブル8を除塵対象物として、マスク10を除塵した後に露光テーブル8を除塵する場合を例示して説明する。
W ワーク(感光性基板、除塵対象物)
WS 除塵表面
WS1 第1除塵表面(分割除塵表面)
WS2 第2除塵表面(分割除塵表面)
1 投入部
1a ステージ
2 第1露光部
3 反転部
4 第2露光部
5 排出部
5a ステージ
6 第1ハンドラ(ワーク移動機構)
6a 搬入ハンドラ
6b 搬出ハンドラ
7 第2ハンドラ(ワーク移動機構)
7a 搬入ハンドラ
7b 搬出ハンドラ
8 露光テーブル(除塵対象物)
8S 除塵表面
8S1 第1除塵表面(分割除塵表面)
8S2 第2除塵表面(分割除塵表面)
9 反転装置
10 マスク(除塵対象物)
10S 除塵表面
10S1 第1除塵表面(分割除塵表面)
10S2 第2除塵表面(分割除塵表面)
12 除塵装置(クリーニングユニット)
12a 第1除塵装置
12b 第2除塵装置
14 光源
16a 第1除塵ローラ(第1除塵部材、除塵部材)
16ar 第1除塵ローラの周長(有効径)
16b 第2除塵ローラ(第2除塵部材、除塵部材)
16br 第2除塵ローラの周長(有効径)
16c 制御部
17 フレーム
18 転写ローラ(集塵装置)
19 ガイドレール
20 搬送フレーム(移動機構、ワーク移動機構)
21 ガイドレール
22 y方向移動テーブル
23 接続フレーム
24 ガイドレール
25 z方向移動テーブル
26 ステー
27 駆動モータ
28 除電器
Claims (5)
- 除塵対象物の除塵表面を除塵する除塵装置であって、
前記除塵対象物の前記除塵表面を複数に分割した分割除塵表面に対応する複数の除塵部材と、
前記複数の除塵部材が対応する前記分割除塵表面を除塵するように、前記複数の除塵部材と前記除塵対象物を相対移動させる移動機構と、
を備えることを特徴とする除塵装置。 - 請求項1記載の除塵装置において、
前記複数の除塵部材は、前記除塵対象物の前記除塵表面を2つに分割した第1、第2の分割除塵表面を除塵する第1、第2の除塵部材を有する除塵装置。 - 請求項2記載の除塵装置において、
前記第1の除塵部材による前記第1の分割除塵表面の除塵と、前記第2の除塵部材による前記第2の分割除塵表面の除塵とを交互に行わせる制御部をさらに備えている除塵装置。 - 除塵対象物の除塵表面を除塵する除塵装置であって、
周面により、前記除塵対象物の前記除塵表面に接離可能な除塵ローラと、
前記除塵ローラの周面を前記除塵対象物の前記除塵表面に接触させながら、前記除塵ローラが回転するように、前記除塵ローラと前記除塵対象物とを相対移動させる移動機構と、
を備え、
前記除塵ローラの周長は、前記移動機構による前記除塵ローラの周面と前記除塵対象物の前記除塵表面との接触移動距離よりも長く設定されている、
ことを特徴とする除塵装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1項記載の除塵装置を備え、且つ、感光性基板に対してパターンを露光する露光装置であって、
前記露光装置内の前記除塵対象物として、前記感光性基板、露光テーブル及びマスクの1つ以上を含んでいる露光装置。
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