JP2016161654A - 補強部材を用いた基板加工方法、及び補強部材により補強された基板より成る機能素子 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の他の態様によると、前記基板は、線膨張係数が異方性を有する材料で構成されており、前記補強部材を構成する前記素材は、等方性の線膨張係数を有するものである。
本発明の他の態様によると、前記基板はニオブ酸リチウムから成り、前記所定の歪量は、110ppmである。
本発明の他の態様によると、前記基板の表面に発生する歪の種類は、前記基板の線膨張係数と前記補強部材を構成する素材の線膨張係数との差により特定される。
本発明の他の態様によると、前記加工は、前記基板の厚さを薄くするための加工である。
本発明の他の態様は、基板に形成される機能素子であって、前記基板の一の面に貼り合わされた補強部材を備え、前記補強部材の素材は、当該機能素子の動作温度範囲内の温度変動において、当該温度変動により前記基板と前記補強部材との境界面に応力が生ずることで発生する前記基板の表面における歪が、圧縮歪又は予め定めた所定の歪量以下の引張歪となるように選択される。
本発明の他の態様は、ニオブ酸リチウム基板の表面に形成された光導波路により構成される光導波路素子であって、前記基板の一の面に貼り合わされた補強部材を備え、前記補強部材の素材は、当該光導波路素子の動作温度範囲内の温度変動において、当該温度変動により前記基板と前記補強部材との境界面に応力が生ずることで発生する前記基板の表面における歪が、圧縮歪又は予め定めた所定の歪量以下の引張歪となるように選択される。
図1は、本発明の一実施形態に係る光導波路素子の製造工程の概略を示すフロー図である。
との知見を得た。
Claims (7)
- 一の表面に機能素子が形成される基板を加工する方法であって、
当該基板のいずれかの表面を、補強部材を介して機械的構造物に張り合わせる工程を有し、
前記補強部材を構成する素材は、前記加工を行うための任意の工程において生じ得る前記基板の温度変動の範囲内において、当該温度変動により前記基板と前記補強部材との境界面に応力が生ずることで発生する当該基板の表面における歪が、圧縮歪又は予め定めた所定の歪量以下の引張歪となるように選択される、
方法。 - 前記基板は、線膨張係数が異方性を有する材料で構成されており、
前記補強部材を構成する前記素材は、等方性の線膨張係数を有するものである、
請求項1に記載の方法。 - 前記基板はニオブ酸リチウムから成り、
前記所定の歪量は、110ppmである、
請求項2に記載の方法。 - 前記基板の表面に発生する歪の種類は、前記基板の線膨張係数と前記補強部材を構成する素材の線膨張係数との差により特定される、
請求項1ないし3のいずれか一項に記載の方法。 - 前記加工は、前記基板の厚さを薄くするための加工である、
請求項1ないし4のいずれか一項に記載の方法 - 基板に形成される機能素子であって、
前記基板の一の面に貼り合わされた補強部材を備え、
前記補強部材の素材は、当該機能素子の動作温度範囲内の温度変動において、当該温度変動により前記基板と前記補強部材との境界面に応力が生ずることで発生する前記基板の表面における歪が、圧縮歪又は予め定めた所定の歪量以下の引張歪となるように選択される、
機能素子。 - ニオブ酸リチウム基板の表面に形成された光導波路により構成される光導波路素子であって、
前記基板の一の面に貼り合わされた補強部材を備え、
前記補強部材の素材は、当該光導波路素子の動作温度範囲内の温度変動において、当該温度変動により前記基板と前記補強部材との境界面に応力が生ずることで発生する前記基板の表面における歪が、圧縮歪又は予め定めた所定の歪量以下の引張歪となるように選択される、
光導波路素子。
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JP2018097159A (ja) * | 2016-12-14 | 2018-06-21 | 住友大阪セメント株式会社 | 薄板ln光制御デバイス |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080144997A1 (en) * | 2006-12-14 | 2008-06-19 | Jds Uniphase Corporation | Small Optical Package Having Multiple Optically Aligned Soldered Elements Therein |
JP2013190723A (ja) * | 2012-03-15 | 2013-09-26 | Ricoh Co Ltd | 電気光学素子、その製造方法および電気光学装置 |
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