JP2016157841A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016157841A5 JP2016157841A5 JP2015035309A JP2015035309A JP2016157841A5 JP 2016157841 A5 JP2016157841 A5 JP 2016157841A5 JP 2015035309 A JP2015035309 A JP 2015035309A JP 2015035309 A JP2015035309 A JP 2015035309A JP 2016157841 A5 JP2016157841 A5 JP 2016157841A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- center position
- angle
- exposure
- shot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 31
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015035309A JP6308958B2 (ja) | 2015-02-25 | 2015-02-25 | 基板処理装置、基板処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
| US15/015,254 US9810989B2 (en) | 2015-02-25 | 2016-02-04 | Edge exposure apparatus, edge exposure method and non-transitory computer storage medium |
| KR1020160016401A KR102560788B1 (ko) | 2015-02-25 | 2016-02-12 | 주변 노광 장치, 주변 노광 방법, 프로그램, 및 컴퓨터 기억 매체 |
| TW105105198A TWI637241B (zh) | 2015-02-25 | 2016-02-23 | 邊緣曝光裝置、邊緣曝光方法、程式及電腦記錄媒體 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015035309A JP6308958B2 (ja) | 2015-02-25 | 2015-02-25 | 基板処理装置、基板処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016157841A JP2016157841A (ja) | 2016-09-01 |
| JP2016157841A5 true JP2016157841A5 (enExample) | 2017-01-12 |
| JP6308958B2 JP6308958B2 (ja) | 2018-04-11 |
Family
ID=56693581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015035309A Active JP6308958B2 (ja) | 2015-02-25 | 2015-02-25 | 基板処理装置、基板処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9810989B2 (enExample) |
| JP (1) | JP6308958B2 (enExample) |
| KR (1) | KR102560788B1 (enExample) |
| TW (1) | TWI637241B (enExample) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019021747A (ja) * | 2017-07-14 | 2019-02-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板位置調整方法、記憶媒体及び基板処理システム |
| JP7379104B2 (ja) | 2019-03-04 | 2023-11-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板検査装置、基板処理装置、基板検査方法、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
| CN111650813B (zh) * | 2019-03-04 | 2024-04-16 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置、基板检查装置及方法、以及记录介质 |
| TWI848121B (zh) * | 2019-06-10 | 2024-07-11 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 基板處理裝置、基板檢查方法及記錄媒體 |
| CN112599463B (zh) * | 2019-10-02 | 2024-01-19 | 佳能株式会社 | 晶片卡盘、其生产方法和曝光装置 |
| CN113433799B (zh) * | 2020-03-23 | 2023-01-20 | 长鑫存储技术有限公司 | 晶圆边缘曝光方法、晶圆边缘曝光装置及掩膜板 |
| JP7648304B2 (ja) * | 2021-05-11 | 2025-03-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板検査方法及び基板検査装置 |
| US20240319615A1 (en) * | 2023-03-20 | 2024-09-26 | Onto Innovation Inc. | Substrate edge patterning techniques |
| CN120972464A (zh) * | 2024-05-15 | 2025-11-18 | 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 | 基板处理装置及方法 |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2593831B2 (ja) * | 1991-03-20 | 1997-03-26 | ウシオ電機株式会社 | ウエハ上の不要レジスト露光装置および露光方法 |
| JPH053153A (ja) * | 1991-06-24 | 1993-01-08 | Ushio Inc | ウエハ上の不要レジスト露光装置 |
| TW316322B (enExample) * | 1995-10-02 | 1997-09-21 | Ushio Electric Inc | |
| JP3237522B2 (ja) * | 1996-02-05 | 2001-12-10 | ウシオ電機株式会社 | ウエハ周辺露光方法および装置 |
| JP3439932B2 (ja) * | 1996-10-28 | 2003-08-25 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 周辺露光装置 |
| JP3383166B2 (ja) * | 1996-09-10 | 2003-03-04 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 周辺露光装置 |
| JP3525976B2 (ja) * | 1996-06-06 | 2004-05-10 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板の周辺部露光装置 |
| JPH10256121A (ja) | 1997-03-11 | 1998-09-25 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 周辺露光装置および周辺露光方法 |
| KR100256121B1 (ko) | 1997-06-20 | 2000-05-15 | 김영환 | 동기식 메모리의 비-지속적 비트별 기록 모드 제어방법 및 그 제어신호 발생장치 |
| JP3356047B2 (ja) * | 1997-11-26 | 2002-12-09 | ウシオ電機株式会社 | ウエハ周辺露光装置 |
| JP4385699B2 (ja) * | 2003-09-25 | 2009-12-16 | オムロン株式会社 | 半導体ウェーハの方向調整方法および半導体ウェーハの方向調整装置 |
| US20090123874A1 (en) * | 2007-11-14 | 2009-05-14 | Tadashi Nagayama | Exposure method, exposure apparatus, and method for manufacturing device |
| JP2010021485A (ja) * | 2008-07-14 | 2010-01-28 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
| JP5479253B2 (ja) * | 2010-07-16 | 2014-04-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
| JP5575691B2 (ja) * | 2011-04-06 | 2014-08-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及びその基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 |
| JP5729326B2 (ja) * | 2012-02-14 | 2015-06-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 |
| JP5837150B2 (ja) * | 2014-07-01 | 2015-12-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及びその基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 |
-
2015
- 2015-02-25 JP JP2015035309A patent/JP6308958B2/ja active Active
-
2016
- 2016-02-04 US US15/015,254 patent/US9810989B2/en active Active
- 2016-02-12 KR KR1020160016401A patent/KR102560788B1/ko active Active
- 2016-02-23 TW TW105105198A patent/TWI637241B/zh active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2016157841A5 (enExample) | ||
| US10580163B2 (en) | Displacement detecting apparatus, displacement detecting method and substrate processing apparatus | |
| JP6308958B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
| CN105881102B (zh) | 使用了拍摄部的工件的定位装置 | |
| CN104005180B (zh) | 一种用于缝纫的视觉定位方法及系统 | |
| JP2011101056A5 (ja) | 露光装置、及び露光方法 | |
| JP2016157131A5 (enExample) | ||
| JP6298108B2 (ja) | アライメントマークの検出方法、アライメント方法及び蒸着方法 | |
| CN107808401A (zh) | 机械臂末端的单相机的手眼标定方法 | |
| JP5057489B2 (ja) | アライメント装置及びアライメント方法 | |
| US20150174763A1 (en) | Detection system and detection method | |
| TWI684500B (zh) | 機器人之診斷方法 | |
| JP2014060324A (ja) | 算出装置、搬送ロボットシステム、及び算出方法 | |
| JP2005005608A (ja) | 基板搬送ロボットのティーチング装置及びティーチング方法 | |
| JP2004276151A (ja) | 搬送用ロボットおよび搬送用ロボットの教示方法 | |
| JP2014233788A5 (enExample) | ||
| JP2016118445A5 (enExample) | ||
| JP2011018828A (ja) | 位置認識装置及び位置認識方法並びに位置決め装置 | |
| TW200717690A (en) | Vacuum processing method and vacuum processing apparatus | |
| JP6325507B2 (ja) | 嵌合部品と被嵌合部品とをロボットによって嵌合する方法 | |
| JP2018079549A (ja) | 板状体の加工方法、および板状体の加工装置 | |
| JP7146528B2 (ja) | 基板検査装置、基板処理装置、基板検査方法および基板処理方法 | |
| CN111052337B (zh) | 机器人的诊断方法 | |
| TWI879229B (zh) | 位置檢測方法及電腦可讀取之程式 | |
| CN106272487B (zh) | 机器手臂阶段移动方法 |