JP5479253B2 - 基板処理装置、基板処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 - Google Patents
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Description
42 ウェハ処理装置
70 ウェハ搬送装置
110 処理容器
120 保持部
121 駆動部
122 ガイドレール
130 位置検出センサ
140 露光部
141 ランプハウス
150 撮像部
152 照明部
153 方向変換部
154 第1の反射鏡
155 第2の反射鏡
156 第3の反射鏡
200 制御部
L 光路
P1 受渡位置
P2 周辺露光位置
W ウェハ
Claims (9)
- 基板の処理装置であって、
基板を保持する保持部と、
前記保持部に保持された基板を回転させる回転駆動部と、
外部との間で基板の受け渡しを行う受渡位置と、基板上に形成された塗布膜の周縁部に対して周辺露光処理を行う周辺露光位置との間で、前記保持部を移動させる移動機構と、
前記周辺露光位置側に設けられ、前記保持部に保持された基板上の塗布膜の周縁部を露光する露光部と、
前記周辺露光位置側であって前記露光部の上方に設けられ、前記保持部が前記受渡位置と前記周辺露光位置との間を移動する間に前記保持部に保持された基板を撮像する撮像部と、
前記受渡位置と前記周辺露光位置との間に設けられ、前記保持部に保持された基板と前記撮像部との間で形成される光路の方向を変更させる方向変換部と、を有し、
前記方向変換部は、
前記基板から鉛直方向上方に反射された光を、前記周辺露光位置側に水平方向に反射させる第1の反射鏡と、
前記第1の反射鏡からの光を、前記受渡位置側に所定の反射角で斜め上方に反射させる第2の反射鏡と、
前記第2の反射鏡からの光を、前記周辺露光位置側に水平方向に反射させ前記撮像部に送る第3の反射鏡と、を有することを特徴とする、基板処理装置。 - 前記保持部に保持された基板の周縁部の位置を検出する位置検出センサと、
前記位置検出センサの検出結果に基づいて、基板の周縁部の位置を調整するように前記回転駆動部を制御する制御部と、を有することを特徴とする、請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記所定の反射角は、45度より小さい角度であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の基板処理装置。
- 前記露光部は処理容器の内部に配置され、
前記露光部に設けられる光源装置は、前記処理容器の外部に配置されていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の基板処理装置。 - 基板処理装置を用いた基板処理方法であって、
前記基板処理装置は、
基板を保持する保持部と、前記保持部に保持された基板を回転させる回転駆動部と、外部との間で基板の受け渡しを行う受渡位置と、基板上に形成された塗布膜の周縁部に対して周辺露光処理を行う周辺露光位置との間で、前記保持部を移動させる移動機構と、前記周辺露光位置側に設けられ、前記保持部に保持された基板上の塗布膜の周縁部を露光する露光部と、前記周辺露光位置側であって前記露光部の上方に設けられ、前記保持部に保持された基板を撮像する撮像部と、前記基板から鉛直方向上方に反射された光を、前記周辺露光位置側に水平方向に反射させる第1の反射鏡と、前記第1の反射鏡からの光を、前記受渡位置側に所定の反射角で斜め上方に反射させる第2の反射鏡と、前記第2の反射鏡からの光を、前記周辺露光位置側に水平方向に反射させ前記撮像部に送る第3の反射鏡とを備えて、前記保持部に保持された基板と前記撮像部との間で形成される光路の方向を変更させ、且つ前記受渡位置と前記周辺露光位置との間に設けられた方向変換部とを有し、
前記基板処理方法は、
移動機構によって、前記保持部に保持された基板を前記周辺露光位置に移動させ、当該周辺露光位置において、前記回転駆動部よって基板を回転させつつ、前記露光部から基板上の塗布膜の周縁部に光を照射し、当該周縁部を露光する周辺露光工程と、
その後、移動機構によって、前記保持部に保持された基板を前記周辺露光位置から前記受渡位置に移動させる間であって、当該基板が前記方向変換部の下方を通過する際に、前記撮像部によって基板を撮像し、当該撮像された基板の撮像画像に基づいて、基板の欠陥を検査する検査工程と、を有することを特徴とする、基板処理方法。 - 前記基板処理装置は、前記保持部に保持された基板の周縁部の位置を検出する位置検出センサを備え、
前記周辺露光工程において、前記位置検出センサの検出結果に基づいて、前記回転駆動部によって基板を回転させ、当該基板の周縁部の位置を調整することを特徴とする、請求項5に記載の基板処理方法。 - 前記所定の反射角は、45度より小さい角度であることを特徴とする、請求項5又は6に記載の基板処理方法。
- 請求項5〜7のいずれかに記載の基板処理方法を基板処理装置によって実行させるように、当該基板処理装置を制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項8に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
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