JP2016153324A - シート供給装置および供給方法 - Google Patents
シート供給装置および供給方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016153324A JP2016153324A JP2015032239A JP2015032239A JP2016153324A JP 2016153324 A JP2016153324 A JP 2016153324A JP 2015032239 A JP2015032239 A JP 2015032239A JP 2015032239 A JP2015032239 A JP 2015032239A JP 2016153324 A JP2016153324 A JP 2016153324A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- unnecessary
- sticking
- release
- peeling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Labeling Devices (AREA)
- Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前側から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が図1中手前方向であるY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、作業者が原反RSを図1に示すようにセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、繰出手段20が回動モータ23Aおよび図示しない駆動機器を駆動し、原反RSを繰り出す。次いで、仮着強化手段40が直動モータ41を駆動し、時間的または距離的な所定の間隔で不要シートUSおよび剥離シートRLに凹部形成部材42を押圧し、凹部CCを形成する。これにより、不要シートUSと剥離シートRLとの仮着状態が強化されることとなる。そして、剥離板30上に位置する先頭の貼付用シートSSの繰出方向先端部が折曲部31によって所定量剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段20が回動モータ23Aおよび図示しない駆動機器の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。なお、仮着強化手段40で凹部CCを形成する所定の間隔は、作業者が任意に決定することができる。
ウエハWFに貼付用シートSSが貼付され、テーブル72が所定の位置に到達すると、支持手段70がリニアモータ71および図示しない減圧手段の駆動を停止し、人手または図示しない搬送手段によってウエハWFが次工程へ搬送され、テーブル72を初期位置に復帰させ、以降上述と同様の動作が繰り返される。
剥離手段は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
仮着強化手段40は、1体でもよいし、3体以上でもよく、凹部CCを形成する位置は、不要シートUSおよび剥離シートRLに凹部CCを形成できればどこでもよい。
仮着強化手段40が形成する凹部CCや凸部の形状は、平面視で円形、楕円形、三角形や四角形以上の多角形、X形状、+形状、V形状、波型形状、それら形状を適宜に組み合わせた形状等何ら限定されることはないし、側面視で三角形形状、台形形状、矩形形状、円弧形状、それら形状を適宜に組み合わせた形状等何ら限定されることもない。
仮着強化手段40は、上記実施形態における直動モータ41および凹部形成部材42の位置と、受け部材43との位置を入れ替えてもよい。
仮着強化手段40は、受け部材43側に駆動機器を設け、凹部形成部材42に対して受け部材43を離間接近させてもよいし、凹部形成部材42および受け部材43の両方を移動させて離間接近させてもよい。
仮着強化手段40を設ける位置は、支持ローラ21と折曲部31との間でもよいし、折曲部31と回収ローラ25との間でもよいし、支持ローラ21と回収ローラ25との間の原反繰出方向に沿う複数の位置に配置してもよく、トンネリング現象TPを防止できるのであれば(不要シートUSと剥離シートRLとの仮着状態を強化できるのであれば)どの位置に設けてもよい。
受け部材43は、凹部形成部材42の凸部42Aに対応した凹部を備えていてもよいし、凸部に対応していない凹部を備えていてもよいし、凹部がなくてもよいし、金属や陶器等の非弾性部材で構成してもよいし、樹脂やゴム等の弾性部材で構成してもよい。
仮着強化手段40は、凹部形成部材42と受け部材43との代わりに、または、それらと併用して、複数の凹部が設けられた凸部形成部材と、凸部形成部材の押圧を受け止める凸部が形成された受け部材とを備えてもよい。
仮着強化手段40は、外周に凹部形成部材や凸部形成部材が設けられた凸ローラや凹ローラを採用してもよく、このような凸ローラや凹ローラは、駆動機器で駆動してもよいし、原反RSの繰り出しに追従して回転する構成でもよいし、原反RSに離間接近する構成であってもよい。
凹部形成部材や凸部形成部材に設けられる凸部や凹部、不要シートUSおよび剥離シートRLに形成する凹部CCや凸部は、単数でも複数でもよいし、凹部形成部材や凸部形成部材に設けられる凸部や凹部は、不要シートUSおよび剥離シートRLを突き抜けることで凹部CCや凸部を形成してもよい。
検知手段50は、なくてもよく、この場合、トンネリング現象TPが発生したことを認識した作業者が仮着強化手段40を操作して、凹部CCを形成してもよい。
押圧手段は、ウエハWFの全面または一部に貼付用シートSSを貼付してもよい。
他の装置でウエハWFと繰出手段20および押圧ローラ60とを相対移動させる場合、本発明において支持手段70はなくてもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
30…剥離板(剥離手段)
40…仮着強化手段
50…検知手段
AS…接着シート
AS1…一方の面
CC…凹部
CU…切込
RL…剥離シート
RS…原反
SS…貼付用シート
TP…トンネリング現象
US…不要シート
Claims (3)
- 閉ループ状の切込の内側が貼付用シートとされ、当該切込の外側が帯状の不要シートとされた接着シートの一方の面に、帯状の剥離シートが仮着された原反を繰り出し可能な繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出される原反から前記貼付用シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記不要シートおよび剥離シートに凹部および凸部の少なくとも一方を形成し、これら不要シートと剥離シートとの仮着状態を強化させる仮着強化手段を有することを特徴とするシート供給装置。 - 前記不要シートが前記剥離シートから剥がれるトンネリング現象を検知可能な検知手段を有することを特徴とする請求項1に記載のシート供給装置。
- 閉ループ状の切込の内側が貼付用シートとされ、当該切込の外側が帯状の不要シートとされた接着シートの一方の面に、帯状の剥離シートが仮着された原反を繰り出す工程と、
前記不要シートおよび剥離シートに凹部および凸部の少なくとも一方を形成し、これら不要シートと剥離シートとの仮着状態を強化させる工程と、
前記繰り出される原反から前記貼付用シートを剥離する工程とを備えていることを特徴とするシート供給方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015032239A JP6420172B2 (ja) | 2015-02-20 | 2015-02-20 | シート供給装置および供給方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015032239A JP6420172B2 (ja) | 2015-02-20 | 2015-02-20 | シート供給装置および供給方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016153324A true JP2016153324A (ja) | 2016-08-25 |
JP6420172B2 JP6420172B2 (ja) | 2018-11-07 |
Family
ID=56760927
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015032239A Active JP6420172B2 (ja) | 2015-02-20 | 2015-02-20 | シート供給装置および供給方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6420172B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3169895A (en) * | 1957-04-01 | 1965-02-16 | Allen O Sohn | Label web rewinder |
JP2002530216A (ja) * | 1998-11-21 | 2002-09-17 | エルテーエス ローマン テラピー−ジステーメ アーゲー | 扁平形態物品を給送する方法および装置 |
JP2013074100A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法 |
JP2013143509A (ja) * | 2012-01-11 | 2013-07-22 | Lintec Corp | シート製造装置及びシート製造方法、並びに、シート貼付装置及びシート貼付方法 |
JP2013193405A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Lintec Corp | シート製造装置及び製造方法、並びに、シート貼付装置及び貼付方法 |
JP2014093314A (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-19 | Lintec Corp | シート貼付装置および貼付方法 |
-
2015
- 2015-02-20 JP JP2015032239A patent/JP6420172B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3169895A (en) * | 1957-04-01 | 1965-02-16 | Allen O Sohn | Label web rewinder |
JP2002530216A (ja) * | 1998-11-21 | 2002-09-17 | エルテーエス ローマン テラピー−ジステーメ アーゲー | 扁平形態物品を給送する方法および装置 |
JP2013074100A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法 |
JP2013143509A (ja) * | 2012-01-11 | 2013-07-22 | Lintec Corp | シート製造装置及びシート製造方法、並びに、シート貼付装置及びシート貼付方法 |
JP2013193405A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Lintec Corp | シート製造装置及び製造方法、並びに、シート貼付装置及び貼付方法 |
JP2014093314A (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-19 | Lintec Corp | シート貼付装置および貼付方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6420172B2 (ja) | 2018-11-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6412442B2 (ja) | シート供給装置および供給方法 | |
JP6473359B2 (ja) | シート剥離装置 | |
JP2014229636A (ja) | シート貼付装置及びシート貼付方法 | |
WO2016166927A1 (ja) | シート供給装置およびシート供給方法 | |
JP2021048378A (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP6292554B2 (ja) | シート供給装置 | |
JP2017022180A (ja) | シート供給装置および供給方法 | |
JP2017059581A (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP6420172B2 (ja) | シート供給装置および供給方法 | |
JP6600135B2 (ja) | シート供給装置および供給方法 | |
JP3220069U (ja) | シート貼付装置 | |
JP6216583B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP3212700U (ja) | シート貼付装置 | |
JP2017022178A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6577813B2 (ja) | 処理装置 | |
JP2016178245A (ja) | シート剥離装置および剥離方法、並びに、シート転写装置 | |
JP6442273B2 (ja) | シート供給装置および供給方法 | |
JP2020068249A (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP6226660B2 (ja) | シート供給装置および供給方法 | |
JP2015006908A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP7149059B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP2016117522A (ja) | シート供給装置および供給方法 | |
JP6203009B2 (ja) | シート貼付装置 | |
JP6471060B2 (ja) | シート供給装置および供給方法 | |
JP6216582B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180921 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181002 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181011 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6420172 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |