JP2016146286A - 光子又は荷電粒子の計数装置 - Google Patents

光子又は荷電粒子の計数装置 Download PDF

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Abstract

【課題】従来のようなアナログ回路を設けることなく、光電子増倍管への入射光量が過大となっているか否かを知ることのできる光子計数装置を提供する。【解決手段】光子計数装置において、光子を検出する検出器151と、検出器151からの出力信号上に現れるパルスの数を計数するパルス計数手段161と、前記パルスの幅を計測するパルス幅計測手段162と前記パルスの幅が予め定められた値を超えた場合に、検出器151への光子の入射量が過大であると判定する判定手段163とを設ける。【選択図】図1

Description

本発明は、光電子増倍管などの光検出器や電子増倍管などの荷電粒子検出器による検出信号をパルスカウンティング法(計数法)で処理することにより、分析対象試料から生じた光や荷電粒子(電子やイオン)の量(強度)を測定する機能を備えた光子又は荷電粒子の計数装置に関する。
上記のような光子計数装置を備えた分析装置としては、蛍光分光光度計などが知られている(例えば特許文献1を参照)。図4に従来の蛍光分光光度計の概略構成を示す。該蛍光分光光度計は、キセノン(Xe)アークランプ等から成る光源210と、励起側分光部220と、試料載置部230と、蛍光側分光部240と、光検出器である光電子増倍管(Photomultiplier Tube、PMT)251とを備えている。なお、励起側分光部220及び蛍光側分光部240は、それぞれ回折格子等の波長分散素子とその後段に設けられたスリットとを備えている。光源210から出た光は、まず励起側分光部220の波長分散素子によって波長分散され、そのうち所定の波長の光が前記スリットを通過して試料載置部230にセットされた試料231に照射される。すると、これにより励起された試料231中の成分から蛍光が発生し、PMT251に入射する。
PMT251は、光電面(光電陰極)と、複数のダイノード(二次電子増倍電極)と、陽極とを含んでいる。前記光電面に光が入射すると該光電面から電子(光電子)が放出され、該光電子が最初のダイノードに衝突する。これによりダイノードから多数の二次電子が叩き出され、該二次電子が後段に設けられた複数のダイノードと衝突を繰り返すことにより電子が増幅されていく。なお、このときの増幅率は高電圧電源回路254からPMT251に供給される駆動電圧によって決定される。増幅された電子は最終的に前記陽極に到達し、電荷パルスとして外部に取り出される。これによりPMT251からは入射した蛍光の光量に応じた電流が出力されることとなる。
このPMT251からの出力電流は、蛍光検出基板250に搭載された複数の回路にて処理される。すなわち、まずPMT251からの出力電流がI/V変換回路(電流電圧変換回路)252にて電圧に変換された後、パルス弁別回路253へと入力される。パルス弁別回路253では、予め定められた閾値(ノイズカットレベル)を基準として、信号とノイズとの弁別を行う。具体的には、I/V変換回路252から入力された電圧を、前記ノイズカットレベル以上であるか否かに応じてハイレベル(Hレベル)とローレベル(Lレベル)とに弁別し、HレベルとLレベルの二値から成るパルス信号に変換して出力する。得られたパルス信号は、例えばプログラマブルロジックデバイス(PLD)等のプログラマブルICから成る制御回路260に送られ、該制御回路260に設けられたパルス数カウント部261にて所定時間当たりのHレベルの出現回数が計数される。この計数結果(すなわちパルス数のカウント値)はCPU等を含んだデータ処理部270に送出され、該カウント値に基づいて、PMT251への入射光量が算出される。
このように検出器からの出力信号のパルス数をカウントすることにより該検出器に入射した光子や荷電粒子の量を求める手法は、一般的に「パルスカウンティング法」又は単に「カウンティング法」とよばれている(なお、検出対象が光子の場合には特に「フォトンカウンティング法」ともよばれる)。
上記のような蛍光分光光度計において、PMT251への入射光量が比較的小さい場合には、PMT251の陽極から出力される電荷パルスが離散的となるため、上記のパルスカウンティング法(フォトンカウンティング法)によりPMT251への入射光量(すなわち蛍光強度)を正確に求めることができる。
しかしながら、フォトンカウンティング法では、PMTへの入射光量が増加するにつれ、入射光量と前記パルス数のカウント値が比例しなくなるという問題がある。この点について図5、6を参照しつつ説明する。なお、図5は、PMTへの入射光量と前記カウント値の関係を概略的に示したグラフであり、図6は図5中の区間A、B、DにおけるPMTからの出力電流の波形を示す模式図である。図5に示すように、PMTへの入射光量が比較的小さい範囲(図中の区間A)では入射光量とカウント値がほぼ比例するが、入射光量が或る程度大きくなるとグラフの傾きが区間Aよりも小さくなる(図中の区間B)。更に光量が大きくなると信号強度が大きくなってもカウント値が変化しなくなり(図中の区間C)、更に大きくなると信号強度が大きくなるにつれてカウント値が小さくなっていく(図中の区間D)。これは、PMTへの入射光量が大きくなるにつれて、複数の光子が相次いでPMTの光電面に入射することになり、その結果、例えば図6(b)、(c)に示すように、PMTの陽極から出力される電荷パルスが時間的に重複するようになるためである。図6の例の場合、区間Dにおける入射光量は区間Aの4倍であるにもかかわらず、パルス数のカウント値は区間Aと同じ「3」となっている。
PMTには、強い光が入射すると内部に過大な電流が流れて劣化するという問題がある。そのため、上記のような蛍光分光光度計ではPMTへの入射光量が或る程度以上大きくなった場合に何らかの方法によりPMTの保護を図る必要がある。具体的には、PMT251への入射光量が所定の値以上になった時点で試料231の測定を自動的に停止し、ユーザにエラーを通知して高電圧電源回路254からPMT251に供給される駆動電圧を下げさせてPMT251における増倍率を下げることによりPMT251を流れる電流を小さくするなどの対応が考えられる。しかし上述の通り、パルスカウンティング法では、PMTへの入射光量が或る程度以上大きくなると、入射光量とパルス数のカウント値が比例しなくなると言う問題がある。例えば、上述した図5、6の例では、区間Aと区間Dにおける入射光量が大きく異なるにもかかわらず、パルスカウンティング法によるカウント値からはPMTが区間Aの状態であるのか区間Dの状態であるのかを区別することができない。そのため、パルスカウンティング法によるカウント値のみでは、PMTに過大な電流が流れてもその旨を知ることができず、PMTの適切な保護を図ることができないおそれがあった。
そこで、従来の蛍光分光光度計では、図4に示すように、I/V変換回路252からの出力(例えば複数のパルスが重複したもの)を平滑化するためのアナログ回路(平滑回路255)がパルス弁別回路253に併設されている。該アナログ回路から出力される直流電圧は制御回路260に入力され、該直流電圧の強度値が制御回路260からデータ処理部270へと送出される。データ処理部270では、該直流電圧の強度値に基づいてPMT251への入射光量が求められ、該入射光量が予め定められた基準値以上であるか否かが判定される。このような構成によれば、PMT251への入射光量が比較的大きくてパルスカウンティング法では正確な測定を行えない場合であっても、前記アナログ回路からの出力電圧の強度からPMTへの入射光量が過大となっているか否かを知ることができ、PMTの保護を図ることが可能となる。
特開2009-074877号公報
しかし、上記のような構成の蛍光分光光度計の場合、パルスカウンティング法による蛍光強度を測定するための回路に加えて、PMTの保護が必要な状態であるか否かを判定するためのアナログ回路を別途設ける必要があり、製造コストの増大を招来するという問題がある。
なお、こうした問題は上記のような蛍光分光光度計に限らず、光検出器や荷電粒子検出器からの出力信号をパルスカウンティング法で処理することにより分析対象試料から生じた光や荷電粒子の量(強度)を測定する光子計数装置や荷電粒子計数装置に共通するものである。
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、上記のようなアナログ回路を設けることなく、光検出器や荷電粒子検出器に入射する光や荷電粒子の量が過大となっているか否かを求めることができ、それにより適切に前記光検出器や前記荷電粒子検出器の保護を図ることのできる光子又は荷電粒子の計数装置を提供することにある。
上記課題を解決するために成された本発明に係る光子又は荷電粒子の計数装置は、
a)光子又は荷電粒子を検出する検出器と、
b)前記検出器からの出力信号上に現れるパルスの数を計数するパルス計数手段と、
c)前記パルスの幅を計測するパルス幅計測手段と、
d)前記パルスの幅が予め定められた値を超えた場合に、前記検出器への前記光子又は前記荷電粒子の入射量が過大であると判定する判定手段と、
を有することを特徴としている。
上述した通り、光子計数装置や荷電粒子計数装置において、検出器に入射する光子又は荷電粒子の数が増大すると、各光子又は荷電粒子に由来するパルスが時間的に重複してしまい、パルスカウンティング法によるパルス数のカウント値と入射量が比例しなくなるため、過剰量の光子や荷電粒子が検出器に入射していてもそれを知ることができなかった。
そこで、上記本発明に係る光子又は荷電粒子の計数装置は、従来のパルスカウンティング法による信号処理を行う手段(すなわちパルス計数手段)に加え、検出器からの出力信号上に現れる各パルスの幅を計測するためのパルス幅計測手段を備えている。通常、多数の光子又は荷電粒子が時間的に重複して検出器に入射すると、例えば図6(c)に示すように、各光子又は各荷電粒子に対応して該検出器から出力される電荷パルスが複数融合して幅広の一つのパルスのような形状となる。そのため、上記パルス幅計測手段によって前記出力信号上のパルスの幅を計測することにより、例えば図5及び図6で示した区間Aと区間Dの状態を区別することが可能となる。従って、前記の「予め定められた値」を適切に設定することにより、例えば前記パルス幅がその値を超えた場合には、検出器が前記区間Dの状態であって光子又は荷電粒子の入射量が過大となっていると判定することができる。
上記本発明に係る光子又は荷電粒子の計数装置は、
e)前記判定手段により前記検出器への前記光子又は前記荷電粒子の入射量が過大であると判定された場合に、その旨をユーザに通知する通知手段、
を更に備えたものとすることが望ましい。
これにより、前記通知を受けたユーザは、一旦測定を中止させ、検出器に印加する駆動電圧を下げて検出器の保護を図った上で再測定を行う、といった対応を取ることが可能となる。
上記本発明に係る光子又は荷電粒子の計数装置は、上記通知手段に加えて又は代えて、
f)前記判定手段により前記検出器への前記光子又は前記荷電粒子の入射量が過大であると判定された場合に、前記検出器に印加する駆動電圧を低減する駆動電圧低減手段、
を更に備えたものとしてもよい。
このような構成によれば、前記検出器への光子又は荷電粒子の入射量が過大であると判定された場合に、該検出器に印加される駆動電圧が自動的に低減されるため、検出器の保護に係るユーザの作業負担を軽減することができる。
なお、上記検出器としては、典型的には光検出器であるPMT(光電子増倍管)を用いることができるが、これに限らず、例えば、イオンや電子などの荷電粒子を検出する荷電粒子検出器であるEMT(電子増倍管、Electron Multiplier Tube)を用いることもできる。
以上の通り、本発明に係る光子又は荷電粒子の計数装置では、検出器からの出力信号上に現れるパルスの幅を計測し、その結果に基づいて該検出器への光や荷電粒子の入射量が過大になっているか否かを判定することができる。そのため、こうした判定のために従来のようなアナログ回路を設ける必要がなく、該アナログ回路による製造コストの増大を生じることなしに、適切に検出器の保護を図ることが可能となる。
本発明の一実施形態による蛍光分光光度計の概略構成図。 同実施形態における処理の流れを示すフローチャート。 同実施形態の蛍光分光光度計による信号処理の結果を示す図であり、(a)は図6の区間Aに対応した信号の処理結果を示し、(b)は図6の区間Dに対応した信号の処理結果を示している。 従来の蛍光分光光度計の概略構成図。 パルスカウンティング法における入射光量とパルス数のカウント値との関係を示すグラフ。 図5の各区間におけるPMTからの出力信号の一例を示す模式図であって、(a)は区間Aを、(b)は区間Bを、(c)は区間Dを示している。
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明を行う。図1は本発明に係る光子の計数装置を備えた蛍光分光光度計の概略構成図である。なお、上述の図4で示したものと同一又は対応する構成要素については、下二桁が共通する符号を付し、適宜説明を省略する。
本実施形態に係る蛍光分光光度計では、蛍光検出基板150上に従来のようなアナログ回路(図4の平滑回路255)が設けられておらず、これに代わり、特徴的な構成要素としてパルス幅計測部162及び判定部163を備えている。なお、図1中のパルス数カウント部161、パルス幅計測部162、及び判定部163は制御回路160によって実現される機能ブロックである。この制御回路160は、例えばプログラマブル・ロジック・デバイス(PLD)などのプログラマブルICによって構成される。
本実施形態による蛍光分光光度計の動作について図2のフローチャートを参照しつつ説明する。まず、ユーザが試料載置部130に試料131をセットし、キーボードやマウス等から成る入力部180で所定の操作を行って蛍光測定の開始を指示すると、制御回路160による制御の下で高電圧電源回路154からPMT151への駆動電圧の印加が開始される(ステップS11)。このときの駆動電圧の値はユーザにより予め指定された分析条件に基づいて決定される。
続いて、光源110からの光が励起側分光部120で分光され、予め指定された所定波長の光(励起光)が試料131に照射される。該励起光の照射により試料131から生じた光(蛍光)は、蛍光側分光部140で分光され、前記蛍光のうち予め指定された波長の光のみがPMT151の光電面(光電陰極)に到達する。
この光の入射に伴ってPMT151の光電面から電子(光電子)が放出され、該電子はPMT151内部において、前記駆動電圧の値によって決まる所定の増幅率で増幅される。そして、増幅された電子はPMT151の陽極に到達し、電流として出力される。この出力電流はI/V変換回路152にて電圧に変換され(ステップS12)、その後、パルス弁別回路153へと入力される。パルス弁別回路153では、制御回路160から与えられた閾値(ノイズカットレベル)を基準として、信号とノイズとの弁別を行う(ステップS13)。具体的には、I/V変換回路152から入力された電圧を、前記ノイズカットレベル以上であるか否かに応じてハイレベル(Hレベル)とローレベル(Lレベル)とに弁別し、HレベルとLレベルの二値から成るパルス信号に変換して出力する。
得られたパルス信号は、制御回路160のパルス数カウント部161及びパルス幅計測部162で処理される(ステップS14)。パルス数カウント部161では、前記パルス信号がLレベルからHレベルに上昇してから再びLレベルに戻るまでを一つのパルスとして、所定時間の間に前記パルス信号上に現れるパルスの数がカウントされる。
一方、パルス幅計測部162では、前記パルス信号上に現れる各パルスの幅が計測される。具体的には例えば、パルス弁別回路153から入力されるパルス信号の信号レベルを所定の時間間隔で確認し、Lレベルが続く限りは各時点におけるカウント数を0とし、Hレベルが続く限りは各時点におけるカウント数を1ずつ増加させていく。これにより、前記パルス信号がLレベルからHレベルに上昇してから再びLレベルに戻るまでの時間(すなわちパルス幅)が計測される。
上記のパルス数カウント部161及びパルス幅計測部162による処理結果について、図3に具体例を挙げて説明する。図3(a)は、上述の図6(a)に示した信号(区間Aにおける信号)を処理した結果を示し、図3(b)は、図6(c)に示した信号(区間Dにおける信号)を処理した結果を示している。また、図3(a)(b)の上段は、PMT151からの出力信号の波形を示しており、同図の下段はパルス弁別回路153からの出力信号の波形を示している。同図から明らかなように、本実施形態に係るパルス数カウント部161及びパルス幅計測部162による処理の結果、区間Aではパルスの数は「3」であり、各パルスのパルス幅を示すカウント値は「1」となっている。一方、区間Dではパルス数は区間Aと同じ「3」であるが、各パルスのパルス幅のカウント値は「5」となっている。すなわち、本実施形態に係る蛍光分光光度計によれば、パルスカウンティング法のみでは区別不能であった区間Aと区間Dとを、各パルスのパルス幅のカウント値を計測することで区別できることとなる。
パルス数カウント部161によるパルス数の計数結果は、CPU等を含んだデータ処理部170に送出され、該パルス数に基づいてPMT151への入射光量(すなわち蛍光強度)が算出される。
一方、パルス幅計測部162によるパルス幅の計測結果は制御回路160の判定部163で処理される。ここで、判定部163では前記パルス幅を示すカウント値が予め定められた基準値(例えば「5」)以上であるか否かが判定され(ステップS15)、該基準値未満であった場合(例えば図3(a)のような場合)には、ステップS14に戻ってパルス数のカウント及びパルス幅の計測が継続される。一方、前記パルス幅を示すカウント値が前記の基準値以上であった場合(例えば図3(b)のような場合)には、判定部163はPMT151への入射光量が過大であると判定し、制御回路160を介して高電圧電源回路154によるPMT151への駆動電圧の印加を中止させる(ステップS16)。また更に、前記判定結果をデータ処理部170に送出し、モニタ等から成る表示部190にエラーを示す情報を表示させる(ステップS17)。
以上の通り、本実施形態による光子計数装置を備えた蛍光分光光度計によれば、PMT151からの出力信号に由来するパルス信号のパルス幅を計測することにより、従来のようなアナログ回路を設けることなしにPMT151への入射光量が過大となっているか否かを知ることができる。また、入射光量が過大であると判断された場合に、自動的にPMT151への駆動電圧の印加が中止され、ユーザにエラーが通知されるため、ユーザは前記駆動電圧の設定値を下げた上で再度測定をやり直すなどの対応を取ることができ、PMT151を適切に保護することができる。
以上、本発明を実施するための形態について具体例を挙げて説明を行ったが、本発明は上記の例に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲で適宜変更が許容される。例えば、上記実施形態では本発明に係る計数装置(光子計数装置)を蛍光分光光度計に適用するものとしたが、本発明に係る計数装置は、こうした蛍光の測定に限らず微弱な光量を測定する装置全般に適用することができる。また、本発明における検出器として、上記のようなPMTなどの光検出器に代えて、EMT(電子増倍管、Electron Multiplier Tube)などの荷電粒子検出器を用いるようにしてもよい。この場合、本発明に係る計数装置(荷電粒子計数装置)は質量分析装置等において試料から生じたイオンを計数するものなどとすることができる。
110、210…光源
120、220…励起側分光部
130、230…試料載置部
131、231…試料
140、240…蛍光側分光部
150、250…蛍光検出基板
151、251…PMT
152、252…I/V変換回路
153、253…パルス弁別回路
154、254…高電圧電源回路
160、260…制御回路
161、261…パルス数カウント部
162…パルス幅計測部
163…判定部
170、270…データ処理部
180…入力部
190…表示部
255…平滑回路

Claims (5)

  1. a)光子又は荷電粒子を検出する検出器と、
    b)前記検出器からの出力信号上に現れるパルスの数を計数するパルス計数手段と、
    c)前記パルスの幅を計測するパルス幅計測手段と、
    d)前記パルスの幅が予め定められた値を超えた場合に、前記検出器への前記光子又は前記荷電粒子の入射量が過大であると判定する判定手段と、
    を有することを特徴とする光子又は荷電粒子の計数装置。
  2. e)前記判定手段により前記検出器への前記光子又は前記荷電粒子の入射量が過大であると判定された場合に、その旨をユーザに通知する通知手段、
    を更に有することを特徴とする請求項1に記載の光子又は荷電粒子の計数装置。
  3. f)前記判定手段により前記検出器への前記光子又は前記荷電粒子の入射量が過大であると判定された場合に、前記検出器に印加する駆動電圧を低減する駆動電圧低減手段、
    を更に有することを特徴とする請求項1又は2に記載の光子又は荷電粒子の計数装置。
  4. 前記検出器が光電子増倍管であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の計数装置。
  5. 前記検出器が電子増倍管であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の計数装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020041812A (ja) * 2018-09-06 2020-03-19 キヤノン株式会社 光電変換装置及び撮像システム
WO2021214312A1 (en) * 2020-04-24 2021-10-28 Leica Microsystems Cms Gmbh Method and apparatus configured to count n-photon events
US11818483B2 (en) 2020-07-10 2023-11-14 Canon Kabushiki Kaisha Photoelectric conversion device and method of driving photoelectric conversion device

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58147274A (ja) * 1982-02-26 1983-09-02 Fuji Photo Film Co Ltd 光電子増倍管の過電流検出保護方法
US5054494A (en) * 1989-12-26 1991-10-08 U.S. Medical Corporation Oscillometric blood pressure device
JPH046741A (ja) * 1990-04-25 1992-01-10 Hitachi Ltd 質量分析計のイオン検出器
JPH04175617A (ja) * 1990-11-08 1992-06-23 Nec Corp パルスレーザ光のモニタ装置
JPH05258714A (ja) * 1992-03-16 1993-10-08 Hitachi Ltd プラズマ質量分析装置
JPH06109842A (ja) * 1992-09-24 1994-04-22 Mazda Motor Corp 距離検出装置
JPH1137851A (ja) * 1997-07-22 1999-02-12 Hamamatsu Photonics Kk 光波形計測装置
JP2000357487A (ja) * 1999-06-14 2000-12-26 Shimadzu Corp 質量分析装置
US20070170353A1 (en) * 2006-01-26 2007-07-26 Chou Dennis Y Photoncounting methods and devices
JP2013096742A (ja) * 2011-10-28 2013-05-20 Denso Corp レーダ装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58147274A (ja) * 1982-02-26 1983-09-02 Fuji Photo Film Co Ltd 光電子増倍管の過電流検出保護方法
US5054494A (en) * 1989-12-26 1991-10-08 U.S. Medical Corporation Oscillometric blood pressure device
JPH046741A (ja) * 1990-04-25 1992-01-10 Hitachi Ltd 質量分析計のイオン検出器
JPH04175617A (ja) * 1990-11-08 1992-06-23 Nec Corp パルスレーザ光のモニタ装置
JPH05258714A (ja) * 1992-03-16 1993-10-08 Hitachi Ltd プラズマ質量分析装置
JPH06109842A (ja) * 1992-09-24 1994-04-22 Mazda Motor Corp 距離検出装置
JPH1137851A (ja) * 1997-07-22 1999-02-12 Hamamatsu Photonics Kk 光波形計測装置
JP2000357487A (ja) * 1999-06-14 2000-12-26 Shimadzu Corp 質量分析装置
US20070170353A1 (en) * 2006-01-26 2007-07-26 Chou Dennis Y Photoncounting methods and devices
JP2013096742A (ja) * 2011-10-28 2013-05-20 Denso Corp レーダ装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
金原節朗: "放射線測定における波形弁別技術", 応用物理, vol. 第40巻第12号, JPN6018020291, 10 December 1971 (1971-12-10), pages 1359 - 1366, ISSN: 0003818946 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020041812A (ja) * 2018-09-06 2020-03-19 キヤノン株式会社 光電変換装置及び撮像システム
US11172147B2 (en) 2018-09-06 2021-11-09 Canon Kabushiki Kaisha Photoelectric conversion device, method of driving photoelectric conversion device, imaging system, and movable object, generating a signal based on pulse width and pulse count
JP7152912B2 (ja) 2018-09-06 2022-10-13 キヤノン株式会社 光電変換装置及び撮像システム
WO2021214312A1 (en) * 2020-04-24 2021-10-28 Leica Microsystems Cms Gmbh Method and apparatus configured to count n-photon events
US11818483B2 (en) 2020-07-10 2023-11-14 Canon Kabushiki Kaisha Photoelectric conversion device and method of driving photoelectric conversion device

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