JPH04175617A - パルスレーザ光のモニタ装置 - Google Patents
パルスレーザ光のモニタ装置Info
- Publication number
- JPH04175617A JPH04175617A JP30343290A JP30343290A JPH04175617A JP H04175617 A JPH04175617 A JP H04175617A JP 30343290 A JP30343290 A JP 30343290A JP 30343290 A JP30343290 A JP 30343290A JP H04175617 A JPH04175617 A JP H04175617A
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- JP
- Japan
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- pulse
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- signal
- cpu
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- Pending
Links
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 title claims description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はパルスレーザ光のモニタ装置、特に出力パルス
のピーク値およびパルス幅を連続的に観測するパルスレ
ーザ光のモニタ装置に関する。
のピーク値およびパルス幅を連続的に観測するパルスレ
ーザ光のモニタ装置に関する。
従来、パルスレーザ光のピーク値およびパルス幅の観測
は、パルスレーザ光を分割してフォトディテクタに入射
し、光−電気変換後、オシロスコープ等によってパルス
波形を観測することにより、パルスのピーク値およびパ
ルス幅を測定しパルスレーザの変動を監視していた。
は、パルスレーザ光を分割してフォトディテクタに入射
し、光−電気変換後、オシロスコープ等によってパルス
波形を観測することにより、パルスのピーク値およびパ
ルス幅を測定しパルスレーザの変動を監視していた。
上述した従来のパルスレーザ光の観測方式では、パルス
のピーク値およびパルス幅の動的な変動を容易にしかも
連続的に観ｊｔ＋ｉすることが困難である上、パルスレ
ーザ光の劣化を容易に検出できないという欠点があった
。
のピーク値およびパルス幅の動的な変動を容易にしかも
連続的に観ｊｔ＋ｉすることが困難である上、パルスレ
ーザ光の劣化を容易に検出できないという欠点があった
。
本発明のパルスレーザ光のモニタ装置は、パルスレーザ
光を入射して電気信号のパルス信号に変換する０／Ｅ変
換手段と、前記パルス信号のピーク値を測定する手段と
、前記ピーク値の複数回前からの平均値を求める手段と
、前記パルス信号の値が前記平均値の半値より大きいと
きパルス幅信号を出力するコンパレータ手段と、前記パ
ルス幅信号が出力されている時間幅を計測するカウント
手段とを含んで構成される。
光を入射して電気信号のパルス信号に変換する０／Ｅ変
換手段と、前記パルス信号のピーク値を測定する手段と
、前記ピーク値の複数回前からの平均値を求める手段と
、前記パルス信号の値が前記平均値の半値より大きいと
きパルス幅信号を出力するコンパレータ手段と、前記パ
ルス幅信号が出力されている時間幅を計測するカウント
手段とを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例のブロック構成図である。
Ｑスイッチパルスレーザ発振器１より出力されるパルス
レーザ光２０はビームスプリッタ２により分割され、さ
らに光学アッテネータ３を通過して減衰されフォトディ
テクタ４に入射する。パルスレーザ光２０はフォトディ
テクタ４で光−電気変換され、電気信号のパルス信号２
１となる。パルス信号２１はピークホルダ５でピーク値
を検出され、そのピーク値はＡ／Ｄコンバータ６により
中央処理装置１１に入力される。同時にパルス信号２１
はコンパレータ７にも送られＤ／Ａコンバータ８の出力
信号と比較される。
レーザ光２０はビームスプリッタ２により分割され、さ
らに光学アッテネータ３を通過して減衰されフォトディ
テクタ４に入射する。パルスレーザ光２０はフォトディ
テクタ４で光−電気変換され、電気信号のパルス信号２
１となる。パルス信号２１はピークホルダ５でピーク値
を検出され、そのピーク値はＡ／Ｄコンバータ６により
中央処理装置１１に入力される。同時にパルス信号２１
はコンパレータ７にも送られＤ／Ａコンバータ８の出力
信号と比較される。
中央処理装置１１はｎ（ｎは自然数であらかじめ決めて
おく）回前からのピーク値の平均値を求め、その平均値
の１／２をＤ／Ａコンバータ８にセットする。これによ
りフンパレータ７からはパルス信号２１の半値幅の方形
波が出力される。この方形波はレーザ発振器１からのＱ
スイッチパルスレーザ光のパルス幅に相当し、カウンタ
９に入力される。
おく）回前からのピーク値の平均値を求め、その平均値
の１／２をＤ／Ａコンバータ８にセットする。これによ
りフンパレータ７からはパルス信号２１の半値幅の方形
波が出力される。この方形波はレーザ発振器１からのＱ
スイッチパルスレーザ光のパルス幅に相当し、カウンタ
９に入力される。
カウンタ９では方形波が出力されている間、クロック発
生器１０からのクロックをカウントし、カウント値をパ
ルス幅として中央処理装置１１に入力する。中央処理部
１１はピーク値及びパルス幅を表示部１３に出力すると
ともにピーク値およびパルス幅の規格値を、規格入力部
１２より入力して、測定値が規格以内に入っていない場
合、アラーム表示器１４にアラームを出力する。
生器１０からのクロックをカウントし、カウント値をパ
ルス幅として中央処理装置１１に入力する。中央処理部
１１はピーク値及びパルス幅を表示部１３に出力すると
ともにピーク値およびパルス幅の規格値を、規格入力部
１２より入力して、測定値が規格以内に入っていない場
合、アラーム表示器１４にアラームを出力する。
本発明のパルスレーザ光のモニタ装置は、パルスレーザ
光を光電変換したパルス信号のピーク値の平均値を求め
、そのパルス信号と平均値を比較することにより、レー
ザパルス光のピーク値の変動および半値パルス幅の変動
を動的に連続的に監視でき、パルスレーザ光の劣化等を
容易に検出できるという効果がある。
光を光電変換したパルス信号のピーク値の平均値を求め
、そのパルス信号と平均値を比較することにより、レー
ザパルス光のピーク値の変動および半値パルス幅の変動
を動的に連続的に監視でき、パルスレーザ光の劣化等を
容易に検出できるという効果がある。
また、基準値と比較するようにすれば、変動許容範囲を
越えた場合に警報を出力することができ、さらにパルス
レーザ光の劣化を容易に検出できるという効果がある。
越えた場合に警報を出力することができ、さらにパルス
レーザ光の劣化を容易に検出できるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す構成ブロック図である
。
。
Claims (1)
- パルスレーザ光を入射して電気信号のパルス信号に変換
するＯ／Ｅ変換手段と、前記パルス信号のピーク値を測
定する手段と、前記ピーク値の複数回前からの平均値を
求める手段と、前記パルス信号の値が前記平均値の半値
より大きいときパルス幅信号を出力するコンパレータ手
段と、前記パルス幅信号が出力されている時間幅を計測
するカウント手段とを含むことを特徴とするパルスレー
ザ光のモニタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30343290A JPH04175617A (ja) | 1990-11-08 | 1990-11-08 | パルスレーザ光のモニタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30343290A JPH04175617A (ja) | 1990-11-08 | 1990-11-08 | パルスレーザ光のモニタ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04175617A true JPH04175617A (ja) | 1992-06-23 |
Family
ID=17920935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30343290A Pending JPH04175617A (ja) | 1990-11-08 | 1990-11-08 | パルスレーザ光のモニタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04175617A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003098086A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-04-03 | Olympus Optical Co Ltd | 光量測定装置 |
| JP2016146286A (ja) * | 2015-02-09 | 2016-08-12 | 株式会社島津製作所 | 光子又は荷電粒子の計数装置 |
-
1990
- 1990-11-08 JP JP30343290A patent/JPH04175617A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003098086A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-04-03 | Olympus Optical Co Ltd | 光量測定装置 |
| JP2016146286A (ja) * | 2015-02-09 | 2016-08-12 | 株式会社島津製作所 | 光子又は荷電粒子の計数装置 |
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