JP2016145911A - 光配向用偏光光照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送機構15は、第1の搭載位置P1から照射開始位置P3まで第1のステージ11を搬送する第1の搬送路16と、第2の搭載位置P2から照射開始位置P3まで第2のステージ12を搬送する第2の搬送路17と、照射開始位置P3に一端が連結されると共に通過位置P4まで他端が延び、第1のステージ11及び第2のステージ12を搬送する第3の搬送路18と、を有する。搬送機構15は、第1の搭載位置P1と通過位置P4との間で、第1のステージ11を第1の搬送路16及び第3の搬送路18に沿って往復させると共に、第2の搭載位置P2と通過位置P4との間で、第2のステージ12を第2の搬送路17及び第3の搬送路18に沿って往復させる。
【選択図】図2
Description
また、以下で説明する実施形態に係る第1の搬送路と第2の搬送路は、上下方向に並んで配置される。
図1(a)は、第1の実施形態に係る偏光光照射装置を模式的に示す側面図である。図1(b)は、第1の実施形態に係る偏光光照射装置を模式的に示す側面図である。図2は、第1の実施形態に係る偏光光照射装置を模式的に示す平面図である。本実施形態に係る偏光光照射装置は、例えば、対象物である配向膜に直線偏光光等の偏光光を照射することで、光配向するために用いられる。本実施形態に係る偏光光照射装置は、例えば液晶パネルの配向膜や、視野角補償フィルムの配向膜等の製造に用いられる。
図1(a)及び(b)に示すように、第1の実施形態の偏光光照射装置1は、照射ユニット10と、第1のステージ11及び第2のステージ12と、搬送機構15と、を備える。
以上のように構成された偏光光照射装置1について、照射ユニット10に対して第1及び第2のステージ11,12を搬送し、基板9に偏光光を照射する動作について図面を参照して説明する。図3から図7は、第1の実施形態に係る偏光光照射装置における第1及び第2のステージの動作を説明するための模式的な平面図である。
第1の実施形態における搬送機構15は、第1の搭載位置P1から照射開始位置P3まで第1のステージ11を搬送する第1の搬送路16と、第2の搭載位置P2から照射開始位置P3まで第2のステージ12を搬送する第2の搬送路17と、を有する。また、搬送機構15は、照射開始位置P3に一端が連結されると共に、通過位置P4まで他端が延び、第1及び第2のステージ11,12を搬送する第3の搬送路18を有する。そして、搬送機構15は、第1の搭載位置P1と通過位置P4との間で、第1のステージ11を第1及び第3の搬送路16,18に沿って往復させると共に、第2の搭載位置P2と通過位置P4との間で、第2のステージ12を第2及び第3の搬送路17,18に沿って往復させる。
図8は、第2の実施形態に係る偏光光照射装置を模式的に示す平面図である。第2の実施形態は、第1のステージ11を搬送する第1の搬送路の配置、及び第2のステージ12を搬送する第2の搬送路の配置が、第1の実施形態と異なる。
第2の実施形態においても、第1の実施形態と同様に、タクトタイムの長大化を抑制すると共に、装置全体の設置スペースの増大を抑制することができる。
図9は、第2の実施形態の変形例に係る偏光光照射装置を模式的に示す平面図である。第2の実施形態の変形例は、第2のステージ12を搬送する第2の搬送路の配置が、第2の実施形態と異なる。
第2の実施形態の変形例においても、第2の実施形態と同様に、タクトタイムの長大化を抑制することができる。
図10(a)は、第3の実施形態に係る偏光光照射装置を模式的に示す側面図である。図10(b)は、第3の実施形態に係る偏光光照射装置を模式的に示す平面図である。第3の実施形態は、第1のステージ11を搬送する第1の搬送路の配置、及び第2のステージ12を搬送する第2の搬送路の配置が、第1及び第2の実施形態と異なる。
第3の実施形態は、第1の搬送路46と第2の搬送路47とが、上下方向に並んで配置されているので、第1及び第2の実施形態と比べて、装置全体の設置スペースを更に小さくし、設置スペースの増大を更に抑制ことができる。すなわち、第3の実施形態は、水平方向に対する設置スペースを確保することが難しい場合に好ましく、水平方向である設置面内方向に対して設置スペースの増大を更に抑制することが可能になる。
9 基板
10 照射ユニット
10a 光源
11 第1のステージ
12 第2のステージ
15 搬送機構
15a 第1のガイド軸
15b 第2のガイド軸
16 第1の搬送路
17 第2の搬送路
18 第3の搬送路
A 照射領域
P1 第1の搭載位置
P2 第2の搭載位置
P3 照射開始位置(照射終了位置)
P4 通過位置
Claims (3)
- 対象物に偏光光を照射する照射領域を有する照射ユニットと;
前記対象物が搭載される第1のステージ及び第2のステージと;
前記第1のステージに前記対象物を搭載する第1の搭載位置から、前記照射領域に隣接する照射開始位置まで前記第1のステージを搬送する第1の搬送路と、前記第2のステージに前記対象物を搭載する第2の搭載位置から前記照射開始位置まで前記第2のステージを搬送する第2の搬送路と、前記照射開始位置に一端が連結されると共に、前記照射領域を通過して前記照射領域に隣接する通過位置まで他端が延び、前記第1のステージ及び前記第2のステージを搬送する第3の搬送路と、を有し、前記第1の搭載位置と前記通過位置との間で、前記第1のステージを前記第1の搬送路及び前記第3の搬送路に沿って往復させると共に、前記第2の搭載位置と前記通過位置との間で、前記第2のステージを前記第2の搬送路及び前記第3の搬送路に沿って往復させる搬送機構と;
を具備する、光配向用偏光光照射装置。 - 前記第1の搬送路及び前記第2の搬送路の少なくとも一方の搬送路の搬送方向は、前記第3の搬送路の搬送方向と同一平面上で交差する、請求項1に記載の光配向用偏光光照射装置。
- 前記第1の搬送路と前記第2の搬送路は、上下方向に並んで配置される、請求項1に記載の光配向用偏光光照射装置。
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