JP2015169884A - 光配向用偏光光照射装置及び光配向用偏光光照射方法 - Google Patents
光配向用偏光光照射装置及び光配向用偏光光照射方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
複数のワイヤーグリッド偏光素子を並べた場合、各偏光素子の境界部分(端面の接触部分)からは無偏光光が照射され、各偏光子の境界部分の直下の位置では光配向処理を行うことができない。このような不均一な偏光光の分布の状態で光配向処理を行うと、ワーク(膜材)の表面のうち各偏光素子の境界部分の直下の位置を通過した領域では光配向が不十分な状態となり、光配向処理の面内均一性が低下する。
これら特許文献1や特許文献2の技術によってもある程度は均一な偏光光の照射は可能であるものの、高い生産性が要求されたり、より高い均一性が要求されたりする場合には十分に対応できない面がある。
本願の発明は、上記の点を考慮して為されたものであり、搬送機構を工夫することで露光量の面内均一性をより高くすることができる実用的な光配向技術を提供する意義を有している。
また、上記課題を解決するため、請求項2記載の発明は、前記請求項1の構成において、前記ワーク搬送機構による第一の方向への移動は、ワークを保持した前記ワーク保持体が光照射領域を通過するように前記ワーク保持体を往復移動させるものであり、前記偏光素子移動機構は、前記ワーク搬送機構によるワーク保持体の往路移動が完了した後の復路移動の前に偏光素子を前記第二の方向への移動を行うものであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項3記載の発明は、前記請求項1の構成において、前記ワーク搬送機構によるワーク保持体の前記第一の方向への移動を行っている際に、前記偏光素子移動機構による偏光素子の前記第二の方向への移動を行うものであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項4記載の発明は、前記光照射部は、第一・第二の複数の光照射部となっており、前記偏光素子は、複数の光照射部のそれぞれに設けられており、第一の光照射部における各偏光素子の境界線と、第二の光照射部における各偏光素子の境界線とは、前記第二の方向にお互いにずれているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項5記載の発明は、長尺な発光部を成す光源からの光を偏光素子を通して光照射領域に照射し、光照射領域を通過するようにしてワークを搬送することでワークに偏光光を照射する光配向用偏光光照射方法であって、偏光素子は、発光部の長手方向に沿って複数並べられており、発光部の長手方向に交差する第一の方向にワークを移動させることで光照射領域を通過するようにワークを搬送する工程と、偏光素子を各偏光素子の境界線の方向に交差する第二の方向に移動させる工程とを含むという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項6記載の発明は、前記請求項5の構成において、前記第一の方向への移動は、ワークが光照射領域を往復して通過するように移動させるものであって、ワークの往路移動が完了した後の復路移動の前に、偏光素子を前記第二の方向に移動するという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項7記載の発明は、前記請求項5の構成において、ワークの前記第一の方向への移動を行っている際に、偏光素子を前記第二の方向へ移動するという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項8記載の発明は、前記請求項5乃至7いずれかの構成において、前記偏光素子は、前記第一の方向に沿って複数列に並べられており、 第一の列の各偏光素子の境界線と、第二の列の各偏光素子の境界線とは、前記第二の方向にお互いにずれた状態であるという構成を有する。
また、請求項2又は6記載の発明によれば、上記効果に加え、ワークを往復動させるので、多くの露光量が必要な場合に好適となる。また、光照射領域の一方の側でワークの搭載と回収が行われるので、構造や動作が簡略化される。
また、請求項3又は7記載の発明によれば、上記効果に加え、偏光素子の第二の方向への移動が第一の方向への搬送の最中に行われるので、タクトタイムが短くなり、生産性が向上する。
また、請求項4又は8記載の発明によれば、上記効果に加え、光照射器が複数設けられているので、露光量を多くするのが容易であり、二つの偏光素子ユニットにおいて偏光素子の境界線がずれているので、露光量が均一になる。そして、偏光素子の第二の方向の移動を導入しているので、さらに露光量を均一にできる。
図1は、本願発明の実施形態に係る光配向用偏光光照射装置の斜視概略図である。図1に示す偏光光照射装置は、膜材付き液晶基板のような板状のワーク(以下、基板という)Sに対して光配向処理する装置となっている。
具体的には、図1の装置は、設定された光照射領域Rに偏光光を照射する光照射器1と、光照射領域Rを通過するようにして基板Sを搬送するワーク搬送機構2と、光照射器1を基板Sの搬送方向に対して直交する方向に移動する光照射器移動機構8を備えている。図1に示すように、光照射領域Rは、長方形の水平な領域として設定されている。光照射器1は、長尺な発光部を成す光源3を含んでいる。光源3の発光部の長手方向は、光照射領域Rの長辺の方向に一致している。
光源3としては、棒状の高圧水銀ランプが使用されている。この他、メタルハライドランプやLEDが使用されることもある。尚、棒状の光源3は長尺な発光部を成す光源3の一例であるが、点光源3を一列に並べたものも長尺な発光部を成すということができる。
尚、各境界線40を覆うようにして、遮光板43が設けられている。遮光板43は、境界線40の部分から無偏光光が出射されないようにするものである。
また、光源3及びミラー31は、ランプハウス32内に収容されている。偏光素子ユニット4は、ランプハウス32の光照射用開口に取り付けられている。
図1及び図3に示すように、ステージ5は方形であり、上側のほぼ中央で基板Sを保持するようになっている。ステージ5は、上面から少し浮いた位置で基板Sを保持するよう保持ピン51を備えている。保持ピン51は、ステージ5によって一体に保持されており、ステージ5が移動すると、保持した基板Sも一緒に移動するようになっている。
保持ピン51は、方形の角の位置に四つ設けられている。この他、基板Sのサイズに応じて、中央やその他の位置にも設けられることもある。各保持ピン51は、管状であり、不図示の真空排気系に接続されており、上端の開口から吸引して基板Sを真空吸着するものとなっている。
この実施形態において、ワーク搬送機構2は、第一の方向に基板Sを搬送するものとなっている。第一の方向は、光源3が成す発光部の長手方向に垂直な水平方向(図1におけるY方向)となっている。
この実施形態では、第二の方向は、各偏光素子41の境界線40の方向に垂直な水平方向である。前述したように、偏光素子ユニット4は、各境界線40の方向が発光部の長手方向に垂直な水平方向になるように配置されるから、第一の方向は各境界線40の方向に一致し、第二の方向は各境界線40の方向に垂直な水平方向となっている。
図1に示すように、ワーク搬送機構2は、第一の方向にステージ5を移動させるものである。ステージ5は、ベース板21上に搭載されており、ワーク搬送機構2は、ベース板21を移動させることでステージ5を移動させるものとなっている。
ベース板21の下面のほぼ中央には、第一のボールねじ611に螺合された(ねじが噛み合っている)第一の被駆動ブロック22が固定されている。また、ベース板21の下面には、一対の第一のガイドブロック23が固定されている。第一のガイドブロック23の固定位置は、両側の第一のリニアガイド612の位置に対応している。第一のガイドブロック23内にはベアリングが設けられており、両側のリニアガイドが第一のガイドブロック23を貫通している。
なお、光照射器1はワーク搬送機構2をまたぎ、その両側を2本の支柱11支持されるので、支柱台81はワーク搬送機構2両側に設けられる。光照射器1を第二の方向に移動させるためには、2つの支柱台81は同期して移動する必要がある。そのためには、一方の支柱台81にのみ第二のボールねじ621と第二の駆動源623を設け、他方の支柱台81には第二のリニアガイド622を設けるだけでよい。
第二の駆動源623がボールねじを回転させると、一対の第二のリニアガイド622にガイドされながら支柱台81は直線移動する。これにより、支柱台81に支柱11を介して支持された光照射器1が第二の方向に搬送される。
ワーク搬送機構2が第一の前進限度位置でステージ5を停止させた後、光照射器移動機構8が第二の駆動源623を動作させ、支柱台81を移動させることにより光照射器1を第二の方向(X方向)に移動させる。第二の駆動源623は、支柱台81が第二の前進限度位置に達したら停止する(図4(3))。
偏光光照射装置の制御部には、ワーク搬送機構2や光照射器移動機構8の各駆動源を含む各部を最適に制御するためのシーケンスプログラムが実装されている。シーケンスプログラムは、センサからの信号に従い、各部に制御信号を送り、図4に示すように搬送機構2を動作させる。
第二の方向への光照射器1の移動を行うのは、前述した偏光素子4の境界線40の直下の位置における照度低下に起因した露光量の不均一化の問題を回避するためである。 上述したように、実施形態の装置においてワーク搬送機構2はステージ5を第一の方向において往復動させる。この際、ステージ5が同じ経路を通って戻ってくるのではなく、光照射器1(偏光素子41)を少し横方向(X方向)にシフトさせ、ステージ5上の基板Sが、光照射領域Rに対して相対的に、異なる経路を通って戻ってくるようにしている。
一方、相対的に異なる経路を通って基板Sが戻ってくると、往路で照度低下の箇所を通過した基板S上の箇所は、復路では照度低下の箇所ではない箇所を通過して戻ってくるから、全体として露光量は均一になる。
図5(1)に示すように、照度分布の低下が境界線40の直下の位置のごく狭い領域に限られる場合、移動距離dmは、照度低下が生じている領域の片側の幅wを越える僅かな距離で足りる。
いずれにしても、移動距離dmは、予め装置の制御部に入力されて制御値として記憶部に記憶される。そして、第二の駆動源623に対して動作量として送られる。
装置の制御部は、光源3を点灯させる。光源3からの光は各偏光素子41を経ることで偏光光となり、光照射領域Rに照射される。ワーク搬送機構2は、ステージ5をスタンバイ位置である基板搭載位置に位置させる。
図6は、第二の実施形態に係る光配向用偏光光照射装置の斜視概略図である。図6に示す第二の実施形態の装置は、二つの光照射器1を備えている。各光照射器1の構造は、第一の実施形態の装置が備えるものとほぼ同様である。
図6に示すように、二つの光照射器1は、光源3の発光部の長手方向が第一の方向に対して垂直な水平方向となっている。そして、二つの光照射器1は、偏光素子ユニット4における各偏光素子41の配置が互いにずれたものとなっている。この点について、図7を使用して説明する。図7は、第二の実施形態における各偏光素子ユニット4の配置位置を概略的に示した平面図である。
尚、このようにずれた位置とするには、フレーム42や各偏光素子41の寸法形状、各偏光素子41の数は、二つの偏光素子ユニット4で同じとしておき、ランプハウス32に対する取付け位置をずらした位置としておけば良い。
図9(1)(2)において、第一の光照射器1による照度分布をI1で示し、第二の光照射器1による照度分布をI2で示す。I1及びI2は、図5と同様に、各境界線40の直下の位置を通る第二の方向の直線上での照度分布である。また、Eは、往復の搬送が終了した後の基板Sの面内の露光量の分布を示す。
そして、露光量が低下する領域の片側の幅wは、図5に示した場合と本質的に同様で、境界線40間距離daの1/2を越えることはない。従って、第一の実施形態の場合と同様で、移動距離dm=da/2=t/4(又はその自然数倍)としておけば最適ということになる。
第二の実施形態の場合も、照度低下領域の片側の幅wは、必要とされる露光量均一性の程度に応じて選択され、幅wが狭い場合、移動距離dmは、t/4よりも短い距離とされることもある。
第三の実施形態の装置は、光照射器移動機構8による光照射器1の移動のタイミングが第一第二の実施形態と異なっている。第一第二の実施形態では、第一の方向の基板Sの搬送は往復動であり、往路の搬送と復路の搬送との間で光照射器1(光照射領域R)の第二の方向の搬送が行われた。しかし、第三の実施形態では、ワーク搬送機構2による基板Sの第一の方向の搬送と、光照射器移動機構8による光照射器1の第二の方向の移動とが同時に行われるようになっている。
なお、光照射器1(光照射領域R)の第二の方向への移動が、基板Sが光照射領域Rを通過する時間帯を含む前後の時間帯にまたがって行われても良い。
図12に示すいずれの場合にも、光照射器1(光照射領域R)の第二の方向への移動距離dmは、前述した実施形態と同様とされる。尚、いずれの実施形態において、移動距離dmは、境界線間距離aの整数倍に一致しないことが必要とされるが、この他、光照射器1(光照射領域R)の第二の方向への移動により、基板Sが一部でも光照射領域Rを外れてしまうことがないようにしなければならない。
但し、第三の実施形態においても、往復の搬送を行って基板Sに偏光光を照射するようにしても良い。この場合、往路と復路との光照射領域Rを通過中に、光照射器1(光照射領域R)の第二の方向の搬送も同時に行うようにすることが好ましい。
尚、各実施形態及び実施例において、ステージ5は、搬送中に基板Sを保持する部材の一例として採用されたものであり、ステージ5以外の部材が採用されることもあり得る。
尚、磁気を利用した搬送機構と、前述したようなボールねじと駆動源とを利用した搬送機構とを併用しても良い。例えば、第一の方向の搬送にはリニアモータステージを利用した搬送機構を用い、第二の方向の搬送にはボールねじと駆動源を利用した搬送機構を使用することが考えられる。
また、繰り返しになるが、本実施例においては、偏光素子移動機構として光照射器移動機構8を利用したが、光照射器を移動させずに偏光素子自体をX方向に移動させるように構成してもよい。
この実験では、第二の方向で見た光照射領域Rの幅は1500mm、光源3は高圧水銀ランプであって光照射領域Rでの照度は約130mW/cm2であった。
一方、偏光素子41の約80mmの第二の方向への移動を導入した実施例では、図11(2)に示すように、均一性は大きく向上した。この例では、最小値は最大値に対して85%程度であった(±7.5%の均一性)。このように、第二の方向の移動を適宜導入することで、露光量の均一性は大きく向上することが判った。
2 ワーク搬送機構
21 ベース板
3 光源
4 偏光素子ユニット
40 境界線
41 偏光素子
43 遮光板
5 ステージ
611 第一のボールねじ
612 第一のリニアガイド
613 第一の駆動源
611 第二のボールねじ
622 第二のリニアガイド
623 第二の駆動源
8 光照射器移動機構
S 基板
R 光照射領域
Claims (8)
- 長尺な発光部を成す光源部と、該光源部から放射する光を偏光する、前記発光部の長手方向に沿って複数並べられた偏光素子と、該偏光素子を通過した光により形成された光照射領域を通過するようにワークを搬送するワーク搬送機構と、前記偏光素子を移動させる偏光素子移動機構とを備えた光配向用偏光光照射装置であって、
前記ワーク搬送機構は、前記ワークを保持したワーク保持体が、前記発光部の長手方向に交差する第一の方向に移動することで前記偏光照射領域を通過するように前記ワークを搬送するものであり、
前記偏光素子移動機構は、並べられた各偏光素子の境界線の方向に交差する第二の方向に前記偏光素子を移動させるものであることを特徴とする光配向用偏光光照射装置。 - 前記ワーク搬送機構による第一の方向への移動は、前記ワークを保持した前記ワーク保持体が前記光照射領域を通過するように前記ワーク保持体を往復移動させるものであり、
前記偏光素子移動機構は、前記ワーク搬送機構による前記ワーク保持体の往路移動が完了した後の復路移動の前に前記偏光素子を前記第二の方向への移動を行うものであることを特徴とする請求項1記載の光配向用偏光光照射装置。 - 前記ワーク搬送機構による前記ワーク保持体の前記第一の方向への移動を行っている際に、
前記偏光素子移動機構による前記偏光素子の前記第二の方向への移動を行うものであることを特徴とする請求項1記載の光配向用偏光光照射装置。 - 前記光照射部は、第一・第二の複数の光照射部となっており、
前記偏光素子は、該複数の光照射部のそれぞれに設けられており、
前記第一の光照射部における各偏光素子の境界線と、前記第二の光照射部における各偏光素子の境界線とは、前記第二の方向にお互いにずれていることを特徴とする請求項1に記載の光配向用偏光光照射装置。 - 長尺な発光部を成す光源からの光を偏光素子を通して光照射領域に照射し、光照射領域を通過するようにしてワークを搬送することでワークに偏光光を照射する光配向用偏光光照射方法であって、
前記偏光素子は、前記発光部の長手方向に沿って複数並べられており、
前記発光部の長手方向に交差する第一の方向にワークを移動させることで前記光照射領域を通過するようにワークを搬送する工程と、前記偏光素子を各偏光素子の境界線の方向に交差する第二の方向に移動させる工程とを含むことを特徴とする光配向用偏光光照射方法。 - 前記第一の方向への移動は、前記ワークが前記光照射領域を往復して通過するように移動させるものであって、前記ワークの往路移動が完了した後の復路移動の前に、前記偏光素子を前記第二の方向に移動することを特徴とする請求項5記載の光配向用偏光光照射方法。
- 前記ワークの前記第一の方向への移動を行っている際に、前記偏光素子を前記第二の方向へ移動することを特徴とする請求項5記載の光配向用偏光光照射方法。
- 前記偏光素子は、前記第一の方向に沿って複数列に並べられており、第一の列の各偏光素子の境界線と、第二の列の各偏光素子の境界線とは、前記第二の方向にお互いにずれた状態である特徴とする請求項5乃至7いずれかに記載の光配向用偏光光照射方法。
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