JP2018163232A - 光配向用偏光光照射装置及び液晶パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】タクトタイムの長大化を抑えると共に、装置全体の設置スペースの増大を抑える。【解決手段】実施形態の偏光光照射装置は、対象物が搭載される第１のステージ及び第２のステージと、第１のステージ及び第２のステージのそれぞれに対して対象物を搭載するための搭載空間部と、搭載空間部の周囲に配置され、第１のステージに搭載された対象物に偏光光を照射するための第１の照射部と、搭載空間部の周囲に配置され、第２のステージに搭載された対象物に偏光光を照射するための第２の照射部と、搭載空間部から第１の照射部を通過した第１のステージが待機する第１の待機空間部と、搭載空間部から第２の照射部を通過した第２のステージが待機する第２の待機空間部と、第１のステージを搭載空間部と第１の待機空間部との間で往復させると共に、第２のステージを搭載空間部と第２の待機空間部との間で往復させる搬送機構と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明の実施形態は、光配向用偏光光照射装置及び液晶パネルの製造方法に関する。

液晶パネル等の製造工程では、対象物としての液晶パネルの配向膜や視野角補償フィルムの配向層等の配向処理が行われている。配向処理では、配向膜に所定の波長の偏光光を照射することによって配向を行う、いわゆる光配向を行うために用いる光配向用偏光光照射装置が知られている。

この種の光配向用偏光光照射装置としては、例えば、偏光光を照射する照射部と、配向膜が形成された基板が搭載されるステージと、ステージが照射部の照射領域を通過するようにステージを搬送する搬送機構と、を備える構成がある。

また、偏光光照射装置としては、基板が搭載される第１のステージ及び第２のステージを搬送する搬送機構と、第１のステージ及び第２のステージのそれぞれに対して基板を搭載するための第１の搭載空間部及び第２の搭載空間部と、第１のステージ上の基板及び第２のステージ上の基板のそれぞれに偏光光を照射するための第１の照射部及び第２の照射部と、を有する構成が知られている。この構成では、第１の搭載空間部から移動されて第１の照射部を通過した第１のステージが待機する第１の待機空間部と、第２の搭載空間部から移動されて第２の照射部を通過した第２のステージが待機する第２の待機空間部と、を有する。

特許第５３４４１０５号公報

ところで、液晶パネル等の対象物が大型化する傾向にあり、それに伴って、光配向用偏光光照射装置での対象物に対する照射時間が増える。このため、１つの対象物あたりの処理時間（以下、タクトタイムと称する。）が長くなり、生産性の低下を招く問題がある。また、対象物の大型化に伴って、光配向用偏光光照射装置が大型化する問題がある。

そこで、本発明は、タクトタイムの長大化を抑えると共に、装置全体の設置スペースの増大を抑えることができる光配向用偏光光照射装置及び液晶パネルの製造方法を提供することを目的とする。

実施形態に係る光配向用偏光光照射装置は、対象物が搭載される第１のステージ及び第２のステージと、前記第１のステージ及び前記第２のステージのそれぞれに対して対象物を搭載するための搭載空間部と、前記搭載空間部の周囲に配置され、前記第１のステージに搭載された対象物に偏光光を照射するための第１の照射部と、前記搭載空間部の周囲に配置され、前記第２のステージに搭載された対象物に偏光光を照射するための第２の照射部と、前記搭載空間部から前記第１の照射部を通過した前記第１のステージが待機する第１の待機空間部と、前記搭載空間部から前記第２の照射部を通過した前記第２のステージが待機する第２の待機空間部と、前記第１のステージを前記搭載空間部と前記第１の待機空間部との間で往復させると共に、前記第２のステージを前記搭載空間部と前記第２の待機空間部との間で往復させる搬送機構と、を備える。

本発明によれば、タクトタイムの長大化を抑えると共に、装置全体の設置スペースの増大を抑えることができる。

実施形態に係る光配向用偏光光照射装置を示す平面図である。 実施形態に係る光配向用偏光光照射装置を示す側面図である。 参考形態に係る光配向用偏光光照射装置を示す平面図である。 実施形態に係る光配向用偏光光照射装置を用いた照射動作を説明するための平面図である。 実施形態に係る光配向用偏光光照射装置を用いた照射動作を説明するための平面図である。 実施形態における照射動作の変形例１を説明するための平面図である。 実施形態における照射動作の変形例１を説明するための平面図である。 実施形態における照射動作の変形例２を説明するための平面図である。 実施形態における照射動作の変形例２を説明するための平面図である。 実施形態における照射動作の変形例３を説明するための平面図である。 実施形態における照射動作の変形例３を説明するための平面図である。 実施形態に係る光配向用偏光光照射装置の変形例を示す平面図である。

以下で説明する実施形態に係る光配向用偏光光照射装置は、第１のステージ及び第２のステージと、搭載空間部と、第１の照射部と、第２の照射部と、第１の待機空間部と、第２の待機空間部と、搬送機構と、を備える。第１のステージ及び第２のステージには、対象物が搭載される。搭載空間部は、第１のステージ及び第２のステージのそれぞれに対して対象物を搭載するためのものである。第１の照射部は、第１のステージに搭載された対象物に偏光光を照射するためのものである。第１の照射部は、搭載空間部の周囲に配置されている。第２の照射部は、第２のステージに搭載された対象物に偏光光を照射するためのものである。第２の照射部は、搭載空間部の周囲に配置されている。第１の待機空間部には、搭載空間部から第１の照射部を通過した第１のステージが待機する。第２の待機空間部には、搭載空間部から第２の照射部を通過した第２のステージが待機する。搬送機構は、第１のステージを搭載空間部と第１の待機空間部との間で往復させる。また、搬送機構は、第２のステージを搭載空間部と第２の待機空間部との間で往復させる。

また、以下で説明する実施形態に係る光配向用偏光光照射装置が有する搭載空間部において、第１のステージ及び第２のステージは、対象物の載置面を回転可能に搬送機構に支持されている。

また、以下で説明する実施形態に係る光配向用偏光光照射装置が有する第１のステージ及び第２のステージは、矩形状の載置面を有する。第１の照射部と第２の照射部は、搭載空間部を挟んで対向して配置されている。搭載空間部は、第１の照射部と第２の照射部との間に、第１のステージ及び第２のステージのそれぞれの載置面の対角線の長さ以上の間隔を有する。

また、以下で説明する実施形態に係る光配向用偏光光照射装置が有する第１のステージ及び第２のステージは、矩形状の載置面を有する。第１の待機空間部及び第２の待機空間部は、第１のステージ及び第２のステージの搬送方向に対して、第１のステージ及び第２のステージの載置面の短辺の長さ以上の空間を有する。

また、以下で説明する実施形態に係る光配向用偏光光照射装置は、搬送機構は、第１のステージと第２のステージの一方のステージが搭載空間部に位置するときに、他方のステージが第１の待機空間部または第２の待機空間部に位置するように、第１のステージ及び第２のステージを搬送する。

また、以下で説明する実施形態に係る光配向用偏光光照射装置は、第１のステージ及び第２のステージと、第１の搭載空間部と、第２の搭載空間部と、第１の照射部と、第２の照射部と、待機空間部と、搬送機構と、を備える。第１のステージ及び第２のステージには、対象物が搭載される。第１の搭載空間部は、第１のステージに対して対象物を搭載するためのものである。第２の搭載空間部は、第２のステージに対して対象物を搭載するためのものである。第１の照射部は、第１のステージに搭載された対象物に偏光光を照射するためのものである。第２の照射部は、第２のステージに搭載された対象物に偏光光を照射するためのものである。待機空間部は、第１の照射部及び第２の照射部に隣接して配置されている。待機空間部は、第１の搭載空間部から第１の照射部を通過した第１のステージが待機する。また、待機空間部は、第２の搭載空間部から第２の照射部を通過した第２のステージが待機する。搬送機構は、第１のステージを第１の搭載空間部と待機空間部との間で往復させる。また、搬送機構は、第２のステージを第２の搭載空間部と待機空間部との間で往復させる。

また、以下で説明する実施形態に係る液晶パネルの製造方法は、液晶パネルに光配向を行うための偏光光を照射する液晶パネルの製造方法である。液晶パネルの製造方法では、搭載空間部で液晶パネルを第１のステージに搭載し、液晶パネルが搭載された第１のステージを搭載空間部から移動させて、液晶パネルに偏光光を照射する第１の照射部を通過した第１のステージを第１の待機空間部に停止させた後、第１の待機空間部から搭載空間部へ第１のステージを戻す。また、液晶パネルの製造方法では、搭載空間部で液晶パネルを第２のステージに搭載し、液晶パネルが搭載された第２のステージを搭載空間部から移動させて、液晶パネルに偏光光を照射する第２の照射部を通過した第２のステージを第２の待機空間部に停止させ後、第２の待機空間部から搭載空間部へ第２のステージを戻す。

以下、実施形態に係る光配向用偏光光照射装置（以下、単に偏光光照射装置と称する。）について、図面を参照して説明する。図１は、実施形態に係る偏光光照射装置を示す平面図である。図２は、実施形態に係る偏光光照射装置を示す側面図である。本実施形態に係る偏光光照射装置は、例えば、対象物である配向膜に直線偏光光等の偏光光を照射することで、光配向を行うために用いられる。本実施形態に係る偏光光照射装置は、例えば、液晶パネルの配向膜や、視野角補償フィルムの配向膜等の製造に用いられる。ここでは、対象物としての配向膜が形成された基板（以下、単に基板と称する。）に偏光光を照射するための偏光光照射装置について説明する。

（実施形態の偏光光照射装置の構成）
図１及び図２に示すように、実施形態の偏光光照射装置１は、基板５が搭載される第１のステージ１１及び第２のステージ１２と、第１のステージ１１及び第２のステージ１２のそれぞれに対して基板５を搭載するための搭載空間部（作業空間部）１３と、を備える。偏光光照射装置１は、第１のステージ１１上に搭載された基板５に偏光光を照射するための第１の照射部１４と、第２のステージ１２上に搭載された基板５に偏光光を照射するための第２の照射部１５と、搭載空間部１３から第１の照射部１４を通過した第１のステージ１１が待機する第１の待機空間部１６と、搭載空間部１３から第２の照射部１５を通過した第２のステージ１２が待機する第２の待機空間部１７と、を備える。また、偏光光照射装置１は、第１のステージ１１を搭載空間部１３と第１の待機空間部１６との間で搬送方向Ａ１、Ａ２に対して往復させると共に、第２のステージ１２を搭載空間部１３と第２の待機空間部１７との間で搬送方向Ａ１、Ａ２に対して往復させる搬送機構１８を備える。

第１のステージ１１及び第２のステージ１２は、外形が矩形状の板状に形成されている。第１のステージ１１は、矩形状の載置面１１ａを有する。第２のステージ１２は、矩形状の載置面１２ａを有する。載置面１１ａ、１２ａにおいて、図１に示すように、長辺の長さをＬとし、短辺の長さをＳとする。第１のステージ１１の載置面１１ａ及び第２のステージ１２の載置面１２ａには、基板５に形成された配向膜を上方へ向けて基板５が搭載される。第１のステージ１１及び第２のステージ１２は、搬送機構１８が有する後述の搬送路１９に沿って移動可能に設けられている。

搭載空間部１３は、第１の照射部１４と第２の照射部１５との間に挟まれた空間であり、第１のステージ１１または第２のステージ１２を収容可能な大きさを有する。搭載空間部１３は、図１に示すように、第１の照射部１４と第２の照射部１５との間に、第１のステージ１１及び第２のステージ１２のそれぞれの載置面１１ａ、１２ａの対角線の長さＤ以上の間隔を有する。このため、搭載空間部１３は、第１のステージ１１及び第２のステージ１２を搭載空間部１３内で回転可能な空間が確保されており、第１のステージ１１及び第２のステージ１２が回転機構（図示せず）を介して搬送機構１８に回転可能に支持されている。このため、第１のステージ１１及び第２のステージ１２に対して基板５を搬入及び搬出するときに第１のステージ１１及び第２のステージ１２を任意に回転可能になり、基板５の取り扱い時の作業性が高められている。

第１の照射部１４と第２の照射部１５は、搭載空間部１３の周囲にそれぞれ配置されており、搭載空間部１３を間に挟んで対向して配置されている。第１の照射部１４及び第２の照射部１５としては、基板５に偏光光を照射する照射領域を有する照射ユニットが用いられている。第１の照射部１４及び第２の照射部１５は、紫外線を含む光を発する管状の光源２１と、光源２１が発した光の配向を制御する反射板２２と、を有する。また、第１の照射部１４及び第２の照射部１５は、光源２１が発した光と、反射板２２で配向が制御された光とが入射して偏光光を出射する偏光素子（不図示）を有する。

光源２１は、例えば、紫外線透過性のガラス管内に、水銀、アルゴン、キセノンなどの希ガスが封入された高圧水銀ランプや、高圧水銀ランプに鉄やヨウ素等のメタルハライドが更に封入されたメタルハライドランプ等の管型ランプが用いられており、直線状の発光部を有する。光源２１は、発光部の長手方向が、第１の照射部１４に対する第１のステージ１１の搬送方向Ａ１、Ａ２及び第２の照射部１５に対する第２のステージ１１の搬送方向Ａ１、Ａ２とそれぞれ直交しており、発光部の長さが、基板５の一辺の長さよりも長くされている。光源２１は、直線状の発光部から、例えば波長が２００ｎｍ程度から４００ｎｍ程度までの紫外線を含む光を発することが可能なものが用いられている。光源２１が発する光は、さまざまな偏光軸成分を有する、いわゆる非偏光の光である。

反射板２２は、光源２１に対向する面に、光源２１が発した光を反射する反射面を有しており、反射面が楕円の一部をなす形状に形成されている。これにより、反射板２２は、光源２１が発した光を集光する、いわゆる集光型の反射板として構成されている。偏光素子は、光源２１が発し、一様にあらゆる方向に振動したさまざまな偏光軸成分を含む光から基準方向のみに振動した偏光軸の光を取り出すことが可能とされている。なお、基準方向のみに振動した偏光軸の光を、一般に直線偏光という。また、偏光軸とは、光の電場及び磁場の振動方向である。

第１の待機空間部１６は、第１の照射部１４を通過した第１のステージ１１を収容可能な大きさを有する。同様に、第２の待機空間部１７は、第２の照射部１５を通過した第２のステージ１２を収容可能な大きさを有する。すなわち、第１の待機空間部１６内に位置する第１のステージ１１上の基板５は、第１の照射部１４の照射領域から外れる。同様に、第２の待機空間部１７内に位置する第２のステージ１２上の基板５は、第２の照射部１５の照射領域から外れる。本実施形態において、第１の待機空間部１６及び第２の待機空間部１７は、搬送機構１８の搬送路１９に沿う第１のステージ１１及び第２のステージ１２の搬送方向Ａ１、Ａ２に対して、載置面１１ａ、１２ａの長辺の長さＬの空間を有する。

また、第１の待機空間部１６及び第２の待機空間部１７は、搬送機構１８の搬送路１９に沿う第１のステージ１１及び第２のステージ１２の搬送方向Ａ１、Ａ２に対して、第１のステージ１１及び第２のステージ１２の載置面１１ａ、１２ａの短辺の長さＳ以上の空間を有すればよい。例えば、搭載空間部１３内で第１のステージ１１及び第２のステージ１２を回転させ、第１のステージ１１及び第２のステージ１２を載置面１１ａ、１２ａの短辺方向に沿って搬送させることで、第１の待機空間部１６及び第２の待機空間部１７が、第１のステージ１１及び第２のステージ１２の搬送方向Ａ１、Ａ２に対して占める大きさを更に小さくすることができる。

搬送機構１８は、第１のステージ１１及び第２のステージ１２を搬送する直線状の搬送路１９を有する。搬送路１９には、両端部に第１の待機空間部１６と第２の待機空間部１７がそれぞれ位置しており、中央部に搭載空間部１３が位置している。搬送路１９には、搭載空間部１３に隣接して第１の待機空間部１６側に第１の照射部１４が配置されている。また、搬送路１９には、搭載空間部１３に隣接して第２の待機空間部１７側に第２の照射部１５が配置されている。言い換えると、第１の照射部１４は、搭載空間部１３と第１の待機空間部１６との間に配置されている。第２の照射部１５は、搭載空間部１３と第２の待機空間部１７との間に配置されている。したがって、搬送路１９には、第１の待機空間部１６が位置する一端側から、第２の待機空間部１７が位置する他端側に向かって、第１の待機空間部１６、第１の照射部１４、搭載空間部１３、第２の照射部１５、第２の待機空間部１７の順に並んでいる。

また、偏光光照射装置１は、搬送機構１８を駆動制御する制御部としての制御回路（図示せず）を有しており、制御回路によって第１のステージ１１及び第２のステージ１２の搬送動作が制御される。搬送機構１８は、基板５が載置された第１のステージ１１を搭載空間部１３から搬送し、第１の照射部１４を通過して第１の待機空間部１６に第１のステージ１１を停止させた後、第１の待機空間部１６から搭載空間部１３へ戻す。同様に、搬送機構１８は、基板５が載置された第２のステージ１２を搭載空間部１３から搬送し、第２の照射部１５を通過して第２の待機空間部１７に第２のステージ１２を停止させた後、第２の待機空間部１７から搭載空間部１３へ戻す。このように、偏光光照射装置１は、第１の照射部１４によって第１のステージ１１上の基板５に偏光光を照射する動作と、第２の照射部１５によって第２のステージ１２上の基板５に偏光光を照射する動作とを交互に繰り返すことが可能に構成されている。

また、搬送機構１８は、第１のステージ１１と第２のステージ１２の一方のステージが搭載空間部１３に位置するときに、他方のステージが第１の待機空間部１６または第２の待機空間部１７に位置するように、第１のステージ１１及び第２のステージ１２を搬送する。これにより、第１のステージ１１上の基板５に対する照射動作と第２のステージ１２上の基板５に対する照射動作とを交互に行うと共に、搭載空間部１３で第１のステージ１１及び第２のステージ１２に対して基板５を搬入及び搬出する搭載作業をスムースに行うことができる。

以上のように構成された実施形態の偏光光照射装置１について、第１のステージ１１及び第２のステージ１２の搬送方向Ａ１、Ａ２に対して装置全体が占める長さを説明する。図１及び図２に示すように、第１のステージ１１及び第２のステージ１２の搬送方向、すなわち搬送路１９の長さ方向に対する、第１の照射部１４の照射領域及び第２の照射部１５の照射領域の幅をＥとする。また、上述したように、第１のステージ１１及び第２のステージ１２の各載置面１１ａ、１２ａの長辺の長さをＬとし、各載置面１１ａ、１２ａの対角線の長さをＤとする。このとき、実施形態において、第１のステージ１１及び第２のステージ１２の搬送方向Ａ１、Ａ２に対して装置全体が占める長さは、Ｌ＋Ｅ＋Ｄ＋Ｅ＋Ｌ＝Ｄ＋２Ｅ＋２Ｌとなる。実施形態と参考形態とを比較して後述するが、このように実施形態では、第１のステージ１１及び第２のステージ１２の搬送距離が短縮されている。

また、上述したように、第１の待機空間部１６及び第２の待機空間部１７は、搬送機構１８の搬送路１９に沿う第１のステージ１１及び第２のステージ１２の搬送方向Ａ１、Ａ２に対して、第１のステージ１１及び第２のステージ１２の載置面１１ａ、１２ａの短辺の長さＳに設定することで、第１の待機空間部１６及び第２の待機空間部１７が、第１のステージ１１及び第２のステージ１２の搬送方向Ａ１、Ａ２に対して占める大きさが更に小さくなり、第１のステージ１１及び第２のステージ１２の搬送距離が更に短縮される。

（参考形態の偏光光照射装置の構成）
ここで、実施形態の偏光光照射装置１の構成と比較するために、参考形態の偏光光照射装置の構成ついて説明する。図３は、参考形態に係る偏光光照射装置を示す平面図である。

図３に示すように、参考形態の偏光光照射装置１０１は、基板１０５が搭載される第１のステージ１１１及び第２のステージ１１２と、第１のステージ１１１に対して基板１０５を搭載するための第１の搭載空間部１１３と、第２のステージ１１２に対して基板１０５を搭載するための第２の搭載空間部１１４と、を備える。偏光光照射装置１０１は、第１のステージ１１１上の基板１０５に偏光光を照射するための第１の照射部１１５と、第２のステージ１１２上の基板１０５に偏光光を照射するための第２の照射部１１６と、第１の搭載空間部１１３から移動されて第１の照射部１１５を通過した第１のステージ１１１が待機する第１の待機空間部１１７と、第２の搭載空間部１１４から移動されて第２の照射部１１６を通過した第２のステージ１１２が待機する第２の待機空間部１１８と、を備える。

また、偏光光照射装置１０１は、第１の搭載空間部１１３と第１の待機空間部１１７との間で搬送方向Ａ１、Ａ２に対して往復させると共に、第２の搭載空間部１１４と第２の待機空間部１１８との間で搬送方向Ａ１、Ａ２に対して往復させる搬送機構１１９を備える。搬送機構１１９は、第１のステージ１１１及び第２のステージ１１２を搬送する直線状の搬送路１２０を有する。

搬送路１２０には、両端部に第１の搭載空間部１１３と第２の搭載空間部１１４がそれぞれ位置しており、中央部に第１の照射部１１５及び第２の照射部１１６が隣接して配置されている。第１の照射部１１５は第１の搭載空間部１１３側に配置されており、第２の照射部１１６は第２の搭載空間部１１４側に配置されている。また、搬送路１２０には、第２の照射部１１６と第２の搭載空間部１１４との間に、第１の待機空間部１１７が位置しており、第１の照射部１１５と第１の搭載空間部１１３との間に、第２の待機空間部１１８が位置している。したがって、搬送路１２０には、第１の搭載空間部１１３が位置する一端側から、第２の搭載空間部１１４が位置する他端側に向かって、第１の搭載空間部１１３、第２の待機空間部１１８、第１の照射部１１５、第２の照射部１１６、第１の待機空間部１１７、第２の搭載空間部１１４の順に並んでいる。

搬送機構１１９は、基板１０５が載置された第１のステージ１１１を第１の搭載空間部１１３から搬送し、第１の照射部１１５を通過して第１の待機空間部１１７に第１のステージ１１１を停止させた後、第１の待機空間部１１７から第１の搭載空間部１１３へ戻す。同様に、搬送機構１１９は、基板１０５が載置された第２のステージ１１２を第２の搭載空間部１１４から搬送し、第２の照射部１１６を通過して第２の待機空間部１１８に第２のステージ１１２を停止させた後、第２の待機空間部１１８から第２の搭載空間部１１４へ戻す。このように、偏光光照射装置１０１は、第１の照射部１１５によって第１のステージ１１１上の基板１０５に偏光光を照射する動作と、第２の照射部１１６によって第２のステージ１１２上の基板１０５に偏光光を照射する動作とを交互に繰り返す。

以上のように構成された参考形態の偏光光照射装置１０１について、第１のステージ１１１及び第２のステージ１１２の搬送方向Ａ１、Ａ２に対して装置全体が占める長さを説明する。参考形態においても、第１のステージ１１１及び第２のステージ１１２、第１の照射部１１５及び第２の照射部１１６の大きさが実施形態とそれぞれ等しいものとして、実施形態と参考形態とを比較する。

図３に示すように、第１のステージ１１１及び第２のステージ１１２は、矩形状の載置面１１１ａ、１１２ａを有しており、載置面１１１ａ、１１２ａにおいて、長辺の長さをＬ、短辺の長さをＳ、対角線の長さをＤとする。また、第１のステージ１１１及び第２のステージ１１２の搬送方向、すなわち搬送路１２０の長さ方向に対する、第１の照射部１１５の照射領域及び第２の照射部１１６の照射領域の幅をＥとする。このとき、参考形態において、第１のステージ１１１及び第２のステージ１１２の搬送方向Ａ１、Ａ２に対して装置全体が占める長さは、Ｄ＋Ｌ＋Ｅ＋Ｅ＋Ｌ＋Ｄ＝２Ｄ＋２Ｅ＋２Ｌとなる。

このため、参考形態と実施形態とを比較すると、搬送方向Ａ１、Ａ２に対して装置全体が占める長さは、実施形態がＤ＋２Ｅ＋２Ｌ（図１）であるので、実施形態が参考形態よりも、第１のステージ１１（１１１）及び第２のステージ１２（１１２）の対角線の長さＤ分だけ短縮される。したがって、実施形態の偏光光照射装置１によれば、第１のステージ１１及び第２のステージ１２の搬送距離が短縮されるので、タクトタイムの長大化が抑えられると共に、装置全体の設置スペースの増大が抑えられる。

（偏光光照射装置の照射動作）
上述のように構成された偏光光照射装置１について、第１の照射部１４及び第２の照射部１５に対して第１のステージ１１及び第２のステージ１２を搬送し、基板５の配向膜に偏光光を照射する動作について図面を参照して説明する。

図４及び図５は、実施形態に係る偏光光照射装置１を用いた照射動作を説明するための平面図である。便宜上、図４以降では（図１２を除く）、搬送機構１８及び搬送路１９の図示を省略する。まず、図４（ａ）に示すように、第１のステージ１１が搭載空間部１３内に位置し、第２のステージ１２が第２の待機空間部１７内に位置する状態から説明を始める。搭載空間部１３では、第１のステージ１１に対して基板５が搭載される。続いて、図４（ｂ）に示すように、搬送機構１８は、搭載空間部１３で基板５が載置された第１のステージ１１を搬送方向Ａ１へ搬送し、第１の照射部１４の照射領域を通過させながら、第２のステージ１２を第２の待機空間部１７から搭載空間部１３へ向けて搬送方向Ａ１へ搬送する。このとき、第１の照射部１４は、照射領域を通過する第１のステージ１１上の基板５へ偏光光を照射する。

続いて、図４（ｃ）に示すように、搬送機構１８は、第１の照射部１４の照射領域を通過した第１のステージ１１を第１の待機空間部１６に停止させて待機させ、第２の待機空間部１７から搬送した第２のステージ１２を搭載空間部１３に停止させる。搭載空間部１３では、第２のステージ１２に対して基板５が搭載される。続いて、図５（ａ）に示すように、搬送機構１８は、搭載空間部１３で基板５が載置された第２のステージ１２を搬送方向Ａ２へ搬送し、第２の照射部１５の照射領域を通過させながら、第１のステージ１１を第１の待機空間部１６から搭載空間部１３へ向けて搬送方向Ａ２へ搬送する。このとき、第２の照射部１５は、照射領域を通過する第２のステージ１２上の基板５へ偏光光を照射する。

続いて、図５（ｂ）に示すように、搬送機構１８は、第２の照射部１５の照射領域を通過した第２のステージ１２を第２の待機空間部１７に停止させて待機させ、第１の待機空間部１６から搬送した第１のステージ１１を搭載空間部１３へ戻して停止させる。搭載空間部１３では、第１のステージ１１から基板５が取り外されると共に、第１のステージ１１に対して新たな基板５が搭載される。続いて、図５（ｃ）に示すように、搬送機構１８は、搭載空間部１３で新たな基板５が載置された第１のステージ１１を搬送方向Ａ１へ搬送し、第１の照射部１４の照射領域を通過させながら、第２のステージ１２を第２の待機空間部１７から搭載空間部１３へ向けて搬送方向Ａ１へ搬送する。このとき、第１の照射部１４は、照射領域を通過する第１のステージ１１上の基板５に偏光光を照射する。以降、図４（ｃ）に示した状態となり、搭載空間部１３において第１のステージ１１上に搭載された基板５と第２のステージ１２上に搭載された基板５とに対して、第１の照射部１４及び第２の照射部１５によって偏光光の照射動作を交互に繰り返す。

このように第１のステージ１１と第２のステージ１２とを同時に用いて、第１のステージ１１上の基板５と第２のステージ１２上の基板５とに対する偏光光の照射動作を交互に繰り返すことで、タクトタイムを効果的に短縮することが可能になる。なお、偏光光照射装置１を用いた照射動作は、上述の照射動作に限定されず、後述する照射動作の変形例１〜３が適用されてもよい。

（照射動作の変形例１）
図６及び図７は、実施形態における照射動作の変形例１を説明するための平面図である。上述した照射動作では、第１のステージ１１と第２のステージ１２とを同時に用いて、第１のステージ１１上の基板５と第２のステージ１２上の基板５とに対する照射動作を交互に行ったが、第１のステージ１１及び第２のステージ１２のうち、一方のステージのみを用いて照射動作を行ってもよい。ここでは、一例として第１のステージ１１のみを用いた照射動作について説明するが、第２のステージ１２のみを用いて照射動作を行ってもよい。

図６（ａ）に示すように、第１のステージ１１が搭載空間部１３内に位置し、第２のステージ１２が第２の待機空間部１７内に位置する状態から説明を始める。搭載空間部１３では、第１のステージ１１に対して基板５が搭載される。続いて、図６（ｂ）に示すように、搬送機構１８は、搭載空間部１３で基板５が載置された第１のステージ１１を搬送方向Ａ１へ搬送し、第１の照射部１４の照射領域を通過させると共に、第２のステージ１２を第２の待機空間部１７に待機させる。このとき、第１の照射部１４は、照射領域を通過する第１のステージ１１上の基板５へ偏光光を照射する。以降、搬送機構１８は、使用しない第２のステージ１２を第２の待機空間部１７に待機させ続ける。

図６（ｃ）に示すように、搬送機構１８は、第１の照射部１４の照射領域を通過した第１のステージ１１を第１の待機空間部１６に停止させる。第１のステージ１１を第１の待機空間部１６に停止させた後、図７（ａ）に示すように、搬送機構１８は、第１のステージ１１を第１の待機空間部１６から搭載空間部１３へ向けて搬送方向Ａ２へ搬送する。図７（ｂ）に示すように、搬送機構１８は、第１の待機空間部１６から搬送した第１のステージ１１を搭載空間部１３に戻して停止させる。搭載空間部１３では、第１のステージ１１から基板５が取り外されると共に、第１のステージ１１に対して新たな基板５が搭載される。引き続き、図７（ｃ）に示すように、搬送機構１８は、搭載空間部１３で新たな基板５が載置された第１のステージ１１を搬送方向Ａ１へ搬送し、図６（ｂ）に示した状態となり、以降、第１のステージ１１上に搭載された基板５に対して、第１の照射部１４によって偏光光の照射動作を繰り返す。

（照射動作の変形例２）
図８及び図９は、実施形態における照射動作の変形例２を説明するための平面図である。上述の変形例１では、第１のステージ１１のみまたは第２のステージ１２のみを単独で用いたが、第１のステージ１１と第２のステージ１２とをそれぞれを交互に単独で用いて照射動作を行ってもよい。図８（ａ）に示すように、第１の照射部１４によって基板５に偏光光を照射した後、基板５が載置された第１のステージ１１が第１の待機空間部１６から搭載空間部１３へ戻されて停止させた状態から説明する。このとき、使用していない第２のステージ１２は、第２の待機空間部１７に待機しており、搭載空間部１３において、第１のステージ１１から基板５が取り外されるが、新たな基板５は第１のステージ１１に搭載されない。

第１のステージ１１を単独で用いて照射動作を行った後、図８（ｂ）及び図８（ｃ）に示すように、使用しない第１のステージ１１を第１の待機空間部１６へ搬送して待機させ、次に使用する第２のステージ１２を第２の待機空間部１７から搭載空間部１３へ搬送して停止させる。搭載空間部１３では、第２のステージ１２に対して基板５が載置される。搬送機構１８は、第２のステージ１２を用いて照射動作を行っている間、使用しない第１のステージ１１を第１の待機空間部１６に待機させ続ける。

続いて、図９（ａ）及び図９（ｂ）に示すように、搬送機構１８は、基板５が載置された第２のステージ１２を搬送方向Ａ２へ搬送し、第２の照射部１５の照射領域を通過させて、第２のステージ１２を第２の待機空間部１７で停止させる。このとき、第２の照射部１５は、照射領域を通過する第２のステージ１２上の基板５へ偏光光を照射する。搬送機構１８は、第２のステージ１２を第２の待機空間部１７に停止させた後、図９（ｃ）に示すように、第２のステージ１２を第２の待機空間部１７から搭載空間部１３へ向けて搬送方向Ａ１へ搬送し、第２のステージ１２を搭載空間部１３に戻して停止させる。搭載空間部１３では、第２のステージ１２から基板５が取り外されるが、新たな基板５は第２のステージ１２に搭載されない。以降、使用しない第２のステージ１２を第２の待機空間部１７に待機させ、使用する第１のステージ１１を第１の待機空間部１６から搭載空間部１３へ搬送する。これにより、第１のステージ１１と第２のステージ１２とを交互に単独で用いて照射動作を行う。

（照射動作の変形例３）
図１０及び図１１は、実施形態における照射動作の変形例３を説明するための平面図である。変形例３では、実施形態における搭載空間部１３を待機空間部として利用する点で、実施形態における照射動作と異なる。また、第１の待機空間部１６を第１の搭載空間部として利用し、第２の待機空間部１７を第２の搭載空間部として利用する点で、実施形態における照射動作と異なる。このように各空間部の用途が異なっているが、説明の便宜上、変形例３においても、実施形態における各空間部の名称、符号を同一にして説明する。なお、図１及び図２に示した実施形態の偏光光照射装置１の構成を、変形例３の照射動作に対応するように言い換えた構成についても後述する。

図１０（ａ）に示すように、照射動作の変形例３では、第１のステージ１１が第１の待機空間部１６内に位置し、第２のステージ１２が第２の待機空間部１７内に位置する状態から説明を始める。第１の待機空間部１６では、第１のステージ１１に対して基板５が搭載される。続いて、図１０（b）に示すように、搬送機構１８は、第２のステージ１２を第２の待機空間部１７に待機させながら、基板５が載置された第１のステージ１１を搬送方向Ａ２へ搬送し、第１の照射部１４の照射領域を通過させる。第１の照射部１４は、照射領域を通過する第１のステージ１１上の基板５へ偏光光を照射する。図１０（ｃ）に示すように、搬送機構１８は、第１の待機空間部１６から搬送した第１のステージ１１を搭載空間部１３で停止させて待機させる。このとき、第２の待機空間部１７では、第２のステージ１２に対して基板５が載置される。

続いて、図１１（ａ）に示すように、搬送機構１８は、第１のステージ１１を搭載空間部１３から第１の待機空間部１６へ向けて搬送方向Ａ１へ搬送すると共に、基板５が載置された第２のステージ１２を第２の待機空間部１７から搭載空間部１３へ向けて搬送方向Ａ１へ搬送する。このとき、第２の照射部１５は、照射領域を通過する第２のステージ１２上の基板５へ偏光光を照射する。図１１（ｂ）に示すように、搬送機構１８は、第２の照射部１５の照射領域を通過した第２のステージ１２を搭載空間部１３に停止させて待機させ、搭載空間部１３から搬送した第１のステージ１１を第１の待機空間部１６へ戻して停止させる。第１の待機空間部１６では、第１のステージ１１から基板５が取り外されると共に、第１のステージ１１に対して新たな基板５が搭載される。

続いて、図１１（ｃ）に示すように、搬送機構１８は、第１の待機空間部１６で新たな基板５が載置された第１のステージ１１を搬送方向Ａ２へ搬送し、第１の照射部１４の照射領域を通過させながら、第２のステージ１２を搭載空間部１３から第２の待機空間部１７へ向けて搬送方向Ａ２へ搬送する。このとき、第１の照射部１４は、照射領域を通過する第１のステージ１１上の基板５に偏光光を照射する。以降、図１０（ｃ）に示した状態となり、第２の待機空間部１７において第２のステージ１２上に搭載された基板５と、第１の待機空間部１６において第１のステージ１１上に搭載された基板５とに対して、第１の照射部１４及び第２の照射部１５によって偏光光の照射動作を交互に繰り返す。

ここで、照射動作の変形例３に対応する偏光光照射装置１の構成について、図１及び図２に示す実施形態の偏光光照射装置１の構成を言い換えて記載する。変形例３に対応する偏光光照射装置１の構成において、実施形態における各空間部の符号と同一符号を付けて説明する。

図１及び図２に示すように、実施形態の偏光光照射装置１は、基板５が搭載される第１のステージ１１及び第２のステージ１２と、第１のステージ１１に対して基板５を搭載するための第１の搭載空間部１６（上述の第１の待機空間部１６に相当）と、第２のステージ１２に対して基板５を搭載するための第２の搭載空間部１７（上述の第２の待機空間部１７に相当）と、を備える。偏光光照射装置１は、第１のステージ１１に搭載された基板５に偏光光を照射するための第１の照射部１４と、第２のステージ１２に搭載された基板５に偏光光を照射するための第２の照射部１５と、第１の搭載空間部１６から第１の照射部１４を通過した第１のステージ１１が待機すると共に、第２の搭載空間部１７から第２の照射部１５を通過した第２のステージ１２が待機する待機空間部１３（上述の搭載空間部１３に相当）と、を備える。待機空間部１３は、第１の照射部１４及び第２の照射部１５に隣接して配置されている。また、偏光光照射装置１は、第１のステージ１１を第１の搭載空間部１６と待機空間部１３との間で搬送方向Ａ１、Ａ２に対して往復させると共に、第２のステージ１２を第２の搭載空間部１７と待機空間部１３との間で搬送方向Ａ１、Ａ２に対して往復させる搬送機構１８を備える。

（液晶パネルの製造方法）
偏光光照射装置１を用いた液晶パネルの製造方法は、液晶パネルとしての基板の配向膜に光配向を行うための偏光光を照射する製造方法であって、搭載空間部１３で基板５を第１のステージ１１上に搭載し、基板５が搭載された第１のステージ１１を搭載空間部１３から移動させて、基板５に偏光光を照射する第１の照射部１４を通過した第１のステージ１１を第１の待機空間部１６に停止させた後、第１の待機空間部１６から搭載空間部１３へ第１のステージ１１を戻す。また、この製造方法では、搭載空間部１３で基板５を第２のステージ１２上に搭載し、基板５が搭載された第２のステージ１２を搭載空間部１３から移動させて、基板５に偏光光を照射する第２の照射部１５を通過した第２のステージ１２を第２の待機空間部１７に停止させ後、第２の待機空間部１７から搭載空間部１３へ第２のステージ１２を戻す。

上述したように実施形態の偏光光照射装置１は、第１のステージ１１及び第２のステージ１２のそれぞれに対して基板５を搭載するための搭載空間部１３と、搭載空間部１３の周囲に配置された第１の照射部１４及び第２の照射部１５と、第１のステージ１１及び第２のステージ１２のそれぞれが待機する第１の待機空間部１６及び第２の待機空間部１７と、第１のステージ１１を搭載空間部１３と第１の待機空間部１６との間で往復させると共に、第２のステージ１２を搭載空間部１３と第２の待機空間部１７との間で往復させる搬送機構１８と、を備える。これにより、搬送方向Ａ１、Ａ２に対して装置全体が占める長さが短縮されて、第１のステージ１１及び第２のステージ１２の搬送距離が短縮される。その結果、タクトタイムの長大化を抑えると共に、装置全体の設置スペースの増大を抑えることができる。

上述したように実施形態の偏光光照射装置１が有する搭載空間部１３において、第１のステージ１１及び第２のステージ１２は、基板５の載置面１１ａ、１２ａを回転可能に搬送機構１８に支持されている。これにより、第１のステージ１１及び第２のステージ１２に対して基板５を搬入及び搬出するときに第１のステージ１１及び第２のステージ１２を任意に回転可能になり、基板５の取り扱い時の作業性を高めることができる。

また、実施形態の偏光光照射装置１が有する搭載空間部１３は、搭載空間部１３を挟んで対向して配置された第１の照射部１４と第２の照射部１５との間に、第１のステージ１１及び第２のステージ１２のそれぞれの載置面１１ａ、１２ａの対角線の長さＤ以上の間隔を有する。これにより、搭載空間部１３内には、第１のステージ１１及び第２のステージ１２を回転可能な空間が確保されるので、第１のステージ１１及び第２のステージ１２を回転可能にすることができる。

また、実施形態の偏光光照射装置１が有する第１の待機空間部１６及び第２の待機空間部１７は、第１のステージ１１及び第２のステージ１２の搬送方向Ａ１、Ａ２に対して、第１のステージ１１及び第２のステージ１２の載置面１１ａ、１２ａの短辺の長さＳ以上の空間を有する。これにより、第１の待機空間部１６及び第２の待機空間部１７が、第１のステージ１１及び第２のステージ１２の搬送方向Ａ１、Ａ２に対して占める大きさを更に小さくすることができる。その結果、タクトタイムの長大化を更に抑えると共に、装置全体の設置スペースの増大を更に抑えることができる。

また、実施形態の偏光光照射装置１が有する搬送機構１８は、第１のステージ１１と第２のステージ１２の一方のステージが搭載空間部１３に位置するときに、他方のステージが第１の待機空間部１６または第２の待機空間部１７に位置するように、第１のステージ１１及び第２のステージ１２を搬送する。これにより、第１のステージ１１上の基板５に対する照射動作と第２のステージ１２上の基板５に対する照射動作とを交互に行うと共に、搭載空間部１３で第１のステージ１１及び第２のステージ１２に対して基板５を搬入及び搬出する搭載作業をスムースに行うことができる。その結果、タクトタイムの長大化を抑えることができる。

（変形例）
図１２は、実施形態に係る偏光光照射装置の変形例を示す平面図である。変形例において、実施形態と同一の構成部材には、実施形態と同一符号を付して説明を省略する。変形例は、搬送機構の搬送路が曲げられた点が、実施形態と異なる。

実施形態における搬送機構１８は、第１のステージ１１及び第２のステージ１２を搬送する直線状の搬送路１９を有するが、図１２に示すように、変形例の偏光光照射装置２が有する搬送機構３０は、第１のステージ１１を搬送方向Ａ１、Ａ２に対して往復させる第１の搬送路３１と、第２のステージ１２を搬送方向Ｂ１、Ｂ２に対して往復させる第２の搬送路３２と、を有する。搭載空間部１３において、第１の搬送路３１の搬送方向Ａ１、Ａ２と第２の搬送路３２の搬送方向Ｂ１、Ｂ２とが直交している。第１の照射部１４及び第２の照射部１５は、搭載空間部１３の周囲にそれぞれ隣接して配置されている。なお、搭載空間部１３の周囲における第１の照射部１４と第２の照射部１５の各位置を変更することにより、第１の搬送路３１の搬送方向Ａ１、Ａ２と第２の搬送路３２の搬送方向Ｂ１、Ｂ２とがなす角度は適宜変更されてよい。

変形例の偏光光照射装置２においても、第１の搬送路３１に沿う第１のステージ１１の搬送距離と、第２の搬送路３２に沿う第２のステージ１２の搬送距離が短くなるので、実施形態と同様に、タクトタイムの長大化を抑えると共に、装置全体の設置スペースの増大を抑えることができる。また、変形例の偏光光照射装置２においても、上述した実施形態の照射動作、照射動作の各変形例１〜３のいずれが適用されてもよい。

本発明の実施形態を説明したが、実施形態は、例として提示したものであり、本発明の範囲を限定することを意図していない。実施形態は、その他の様々な形態で実施することが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。実施形態やその変形は、本発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

１ 偏光光照射装置
１１ 第１のステージ
１１ａ 載置面
１２ 第２のステージ
１２ａ 載置面
１３ 搭載空間部
１４ 第１の照射部
１５ 第２の照射部
１６ 第１の待機空間部
１７ 第２の待機空間部
１８ 搬送機構
１９ 搬送路
Ａ１、Ａ２ 搬送方向
Ｌ 長辺の長さ
Ｓ 短辺の長さ
Ｄ 対角線の長さ

Claims (7)

1. 対象物が搭載される第１のステージ及び第２のステージと；
   前記第１のステージ及び前記第２のステージのそれぞれに対して対象物を搭載するための搭載空間部と；
   前記搭載空間部の周囲に配置され、前記第１のステージに搭載された対象物に偏光光を照射するための第１の照射部と；
   前記搭載空間部の周囲に配置され、前記第２のステージに搭載された対象物に偏光光を照射するための第２の照射部と；
   前記搭載空間部から前記第１の照射部を通過した前記第１のステージが待機する第１の待機空間部と；
   前記搭載空間部から前記第２の照射部を通過した前記第２のステージが待機する第２の待機空間部と；
   前記第１のステージを前記搭載空間部と前記第１の待機空間部との間で往復させると共に、前記第２のステージを前記搭載空間部と前記第２の待機空間部との間で往復させる搬送機構と；
   を具備する光配向用偏光光照射装置。
2. 前記搭載空間部において、前記第１のステージ及び前記第２のステージは、対象物の載置面を回転可能に前記搬送機構に支持されている、
   請求項１に記載の光配向用偏光光照射装置。
3. 前記第１のステージ及び前記第２のステージは、矩形状の載置面を有し、
   前記第１の照射部と前記第２の照射部は、前記搭載空間部を挟んで対向して配置され、
   前記搭載空間部は、前記第１の照射部と前記第２の照射部との間に、前記第１のステージ及び前記第２のステージのそれぞれの前記載置面の対角線の長さ以上の間隔を有する、
   請求項１または２に記載の光配向用偏光光照射装置。
4. 前記第１のステージ及び前記第２のステージは、矩形状の載置面を有し、
   前記第１の待機空間部及び前記第２の待機空間部は、前記第１のステージ及び前記第２のステージの搬送方向に対して、前記第１のステージ及び前記第２のステージの前記載置面の短辺の長さ以上の空間を有する、
   請求項１ないし３のいずれか１項に記載の光配向用偏光光照射装置。
5. 前記搬送機構は、前記第１のステージと前記第２のステージの一方のステージが前記搭載空間部に位置するときに、他方のステージが前記第１の待機空間部または前記第２の待機空間部に位置するように、前記第１のステージ及び前記第２のステージを搬送する、
   請求項１ないし４のいずれか１項に記載の光配向用偏光光照射装置。
6. 対象物が搭載される第１のステージ及び第２のステージと；
   前記第１のステージに対して対象物を搭載するための第１の搭載空間部と；
   前記第２のステージに対して対象物を搭載するための第２の搭載空間部と；
   前記第１のステージに搭載された対象物に偏光光を照射するための第１の照射部と；
   前記第２のステージに搭載された対象物に偏光光を照射するための第２の照射部と；
   前記第１の照射部及び前記第２の照射部に隣接して配置され、前記第１の搭載空間部から前記第１の照射部を通過した前記第１のステージが待機すると共に、前記第２の搭載空間部から前記第２の照射部を通過した前記第２のステージが待機する待機空間部と；
   前記第１のステージを前記第１の搭載空間部と前記待機空間部との間で往復させると共に、前記第２のステージを前記第２の搭載空間部と前記待機空間部との間で往復させる搬送機構と；
   を具備する光配向用偏光光照射装置。
7. 液晶パネルに光配向を行うための偏光光を照射する液晶パネルの製造方法において、
   搭載空間部で液晶パネルを第１のステージに搭載し、液晶パネルが搭載された前記第１のステージを前記搭載空間部から移動させて、液晶パネルに偏光光を照射する第１の照射部を通過した前記第１のステージを第１の待機空間部に停止させた後、前記第１の待機空間部から前記搭載空間部へ前記第１のステージを戻し；
   前記搭載空間部で液晶パネルを第２のステージに搭載し、液晶パネルが搭載された前記第２のステージを前記搭載空間部から移動させて、液晶パネルに偏光光を照射する第２の照射部を通過した前記第２のステージを第２の待機空間部に停止させ後、前記第２の待機空間部から前記搭載空間部へ前記第２のステージを戻す；
   液晶パネルの製造方法。

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