JP2016128185A - 接合構造体の製造方法および接合構造体 - Google Patents

Abstract

【課題】ガラス部材および金属部材の面精度が低い場合であっても、接合品質の悪化を抑制することが可能な接合構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】接合構造体１００の製造方法は、ガラス部材１の表面１ａに穿孔部１１を形成する工程と、穿孔部１１に中間部材３が充填されるように、ガラス部材１の表面１ａに中間部材３を形成する工程と、中間部材３に金属部材２を接合する工程とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、接合構造体の製造方法および接合構造体に関する。

従来、２つの部材を接合する接合方法が種々知られている（たとえば、特許文献１および２参照）。

特許文献１には、金属ガラスと結晶金属とを接合する接合方法が開示されている。この接合方法では、金属ガラスと結晶金属とを接触させた界面にレーザビームを照射することにより、金属ガラスを溶融させた溶融層を形成することによって、金属ガラスと結晶金属とを接合している。

また、特許文献２には、少なくとも一方が透明の部材である２つの部材を接合する接合方法が開示されている。この接合方法では、２つの部材を積層した状態で、透明な部材の側から超短光パルスレーザビームが照射される。そして、超短光パルスレーザビームの自己収束効果によってフィラメント領域が発生し、そのフィラメント領域に接合面を位置させることにより、２つの部材が接合されている。これにより、透明な部材であるガラスと金属などの他種類の部材とを接合することが可能である。

特開２０１０−２２７９４０号公報 特開２０１１−５６５１９号公報

しかしながら、特許文献２に記載された接合方法では、２つの部材を接合する際にその２つの部材を接触させる必要があり、高い面精度（平坦度）が要求されるという問題点がある。すなわち、２つの部材の接合面の面精度が低い場合には、接合面に隙間が発生することから、接合面におけるその隙間の部分については接合することが困難であり、接合面の接合品質が悪化する。なお、特許文献１に記載された接合方法では、金属ガラスと結晶金属とを接合することが可能であるが、ケイ酸塩ガラスからなるガラス部材と金属部材とを接合することができない。

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、ガラス部材および金属部材の面精度が低い場合であっても、接合品質の悪化を抑制することが可能な接合構造体の製造方法および接合構造体を提供することである。

本発明による接合構造体の製造方法は、ガラス部材および金属部材が金属製の中間部材を介して接合された接合構造体の製造方法であり、ガラス部材の表面に第１凹状部を形成する工程と、第１凹状部に中間部材が充填されるように、ガラス部材の表面に中間部材を形成する工程と、中間部材に金属部材を接合する工程とを備える。

上記接合構造体の製造方法において、中間部材に金属部材を接合する工程は、中間部材に金属部材を隣接配置する工程と、ガラス部材側から中間部材にレーザを照射することにより、中間部材と金属部材とを溶接する工程とを含んでいてもよい。

上記接合構造体の製造方法において、中間部材に金属部材を接合する前に、金属部材の表面に第２凹状部を形成する工程を備え、中間部材に金属部材を接合する工程は、第２凹状部が中間部材側に配置されるように、中間部材と金属部材とを隣接配置する工程と、ガラス部材側から中間部材にレーザを照射することにより、中間部材を第２凹状部に充填して固化させる工程とを含んでいてもよい。

上記接合構造体の製造方法において、中間部材は、線膨張係数がガラス部材および金属部材の間であってもよい。

本発明による接合構造体は、上記したいずれか１つの接合構造体の製造方法によって製造されている。

本発明の接合構造体の製造方法および接合構造体によれば、ガラス部材および金属部材の面精度が低い場合であっても、接合品質の悪化を抑制することができる。

本発明の第１実施形態による接合構造体を模式的に示した断面図である。 接合構造体の製造方法を説明するための図であって、ガラス部材に穿孔部が形成される工程を示した図である。 接合構造体の製造方法を説明するための図であって、ガラス部材の表面に中間部材が形成される工程を示した図である。 接合構造体の製造方法を説明するための図であって、金属部材と中間部材とが接合される工程を示した図である。 本発明の第２実施形態による接合構造体を模式的に示した断面図である。 接合構造体の製造方法を説明するための図であって、金属部材に穿孔部が形成される工程を示した図である。 接合構造体の製造方法を説明するための図であって、金属部材と中間部材とが接合される工程を示した図である。 実施例１および２のガラス部材を示した斜視図である。 実施例１および２のガラス部材に中間部材が形成された状態を示した斜視図である。 実施例１の接合構造体を示した斜視図である。 実施例２の金属部材を示した斜視図である。 実施例２の接合構造体を示した斜視図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。

（第１実施形態）
まず、図１を参照して、本発明の第１実施形態による接合構造体１００について説明する。

接合構造体１００は、図１に示すように、ガラス部材１と、金属部材２と、ガラス部材１および金属部材２の間に配置される中間部材３とを備えている。ガラス部材１および金属部材２は、金属製の中間部材３を介して接合されている。なお、図１では、見やすさを考慮してガラス部材１のハッチングを省略した。

具体的には、ガラス部材１の表面１ａには、複数の穿孔部１１が形成され、その穿孔部１１には、中間部材３が充填されて固化されている。このため、ガラス部材１および中間部材３は、アンカー効果によって機械的に接合されている。また、金属部材２と金属製の中間部材３とは溶接によって接合されている。なお、金属部材２の表面２ａの全体が溶接されていてもよいし、表面２ａが部分的に溶接されていてもよい。

ガラス部材１は、後述する接合用のレーザＬ２（図４参照）を透過可能なガラスであり、一例としては、ソーダ石灰ガラス、石英ガラスおよびクリスタルガラスなどのケイ酸塩ガラスや金属ガラスが挙げられる。

穿孔部１１は、平面的に見てほぼ円形の非貫通孔であり、ガラス部材１の表面１ａに所定の間隔を隔てて複数配置されている。この穿孔部１１は、たとえば加工用のレーザＬ１（図２参照）によって形成されている。なお、加工用のレーザＬ１は、たとえば、ＩＲピコ秒レーザおよびＵＶピコ秒レーザなどの極短パルスレーザである。極短パルスレーザであれば、ガラスなどのバンドギャップが高い材料に対して非線形吸収を誘導することで加工を行うことが可能である。なお、穿孔部１１は、本発明の「第１凹状部」の一例である。

また、穿孔部１１は、表面１ａ側から底部側に向けて拡径する拡径部と、その拡径部から底部側に向けて縮径する縮径部とが連なるように形成されている。すなわち、穿孔部１１の内周面には、内側に突出する突出部１１ａが形成されている。突出部１１ａは、穿孔部１１内における表面１ａ側に配置されている。また、突出部１１ａは、周方向における全長にわたって形成されており、環状に形成されている。

金属部材２の一例としては、鉄系金属、ステンレス系金属、銅系金属、アルミ系金属、マグネシウム系金属、および、それらの合金が挙げられる。また、金属成型体であってもよく、亜鉛ダイカスト、アルミダイカスト、粉末冶金などであってもよい。

中間部材３は、ガラス部材１および金属部材２の間に介在され、ガラス部材１および金属部材２を接合するために設けられている。中間部材３の一例としては、亜鉛系金属、錫系金属、鉛系金属、ビスマス系金属、インジウム系金属、ガリウム系金属、および、それらの合金が挙げられる。なお、人体等への影響を考慮すると、鉛系金属以外が好ましい。

また、中間部材３は、融点がガラス部材１および金属部材２よりも低く、線膨張係数がガラス部材１と金属部材２との間である。

−接合構造体の製造方法−
次に、図１〜図４を参照して、第１実施形態による接合構造体１００の製造方法について説明する。

まず、図２に示すように、ガラス部材１の表面１ａに加工用のレーザＬ１が照射されることにより、ガラス部材１の表面１ａに穿孔部１１が形成される。加工用のレーザＬ１は、極短パルスレーザであり、穿孔部１１がアブレーションによって形成される。このため、精密で熱影響の少ない加工を行うことが可能である。

次に、図３に示すように、ガラス部材１の穿孔部１１に中間部材３が充填されるように、ガラス部材１の表面１ａに中間部材３が形成される。具体的には、中間部材３が溶融され、その溶融された中間部材３が穿孔部１１に充填されるとともに、表面１ａに配置された後に、溶融された中間部材３が固化される。なお、ガラス部材１に対する中間部材３の形成方法の一例としては、はんだ付けプロセス、超音波プロセス、めっきプロセスおよび蒸着プロセスが挙げられる。また、超音波プロセスでは、中間部材３を溶融するためのヒータが超音波で発振するようになっている。

その後、図４に示すように、中間部材３に金属部材２が接合される。具体的には、まず、不活性ガス雰囲気下で、ガラス部材１に設けられた中間部材３が金属部材２の表面２ａに接触するように、中間部材３と金属部材２とが隣接配置される。そして、ガラス部材１側から中間部材３に向けて接合用のレーザＬ２が照射されることにより、中間部材３が溶融されて固化されることによって、その中間部材３と金属部材２とが溶接される。なお、接合用のレーザＬ２の種類としては、ファイバレーザ、ＹＡＧレーザ、ＹＶＯ₄レーザ、半導体レーザ、炭酸ガスレーザおよびエキシマレーザが選択できる。

このようにして、図１に示す接合構造体１００が製造される。なお、接合構造体１００では、ガラス部材１と中間部材３とがアンカー効果によって接合され、金属部材２と中間部材３とが溶接によって接合されている。

−効果−
第１実施形態では、上記のように、ガラス部材１および金属部材２の間に中間部材３が設けられ、ガラス部材１および中間部材３がアンカー効果で接合され、金属部材２および中間部材３が溶接で接合されている。このように構成することによって、ガラス部材１の表面１ａおよび金属部材２の表面２ａの面精度が低い場合であっても、中間部材３により表面１ａおよび２ａのばらつきを吸収することができるので、接合品質の悪化を抑制することができる。すなわち、表面１ａおよび２ａのばらつきに起因して予期せぬ接合不良が発生するのを抑制することができる。したがって、ガラス部材１および金属部材２が接合された接合構造体１００において、その接合部の信頼性の向上を図ることができる。

また、第１実施形態では、ガラス部材１に穿孔部１１を形成し、その穿孔部１１に中間部材３を充填することによって、金属製の中間部材３とガラス部材１とをアンカー効果によって機械的に接合することができる。さらに、穿孔部１１に突出部１１ａを形成することによって、アンカー効果の向上を図ることができる。

また、第１実施形態では、極短パルスレーザにより穿孔部１１を形成することによって、バンドギャップが高い材料であるガラス部材１に対して、精密で熱影響の少ない加工を行うことができる。

また、第１実施形態では、中間部材３の線膨張係数がガラス部材１および金属部材２の間であることによって、ガラス部材１および金属部材２の線膨張係数差に起因する応力を中間部材３により緩和することができる。

また、第１実施形態において、ガラス部材１の表面１ａに中間部材３を形成する際に、超音波プロセスを用いた場合には、中間部材３を溶融するためのヒータが発振するため、穿孔部１１に中間部材３が充填されやすくなるので、ガラス部材１と中間部材３との接合強度の向上を図ることができる。また、超音波プロセスを用いた場合には、キャビテーション効果により、ガラス部材１と中間部材３とが共有結合するので、ガラス部材１と中間部材３との接合強度の向上を図ることができる。

（第２実施形態）
次に、図５を参照して、本発明の第２実施形態による接合構造体２００について説明する。

接合構造体２００は、図５に示すように、ガラス部材１と、金属部材２０と、ガラス部材１および金属部材２０の間に配置される中間部材３とを備えている。金属部材２０の表面２０ａには、複数の穿孔部２１が形成され、その穿孔部２１には、中間部材３が充填されて固化されている。このため、金属部材２０および中間部材３は、アンカー効果によって機械的に接合されている。

金属部材２０の一例としては、鉄系金属、ステンレス系金属、銅系金属、アルミ系金属、マグネシウム系金属、および、それらの合金が挙げられる。また、金属成型体であってもよく、亜鉛ダイカスト、アルミダイカスト、粉末冶金などであってもよい。

穿孔部２１は、平面的に見てほぼ円形の非貫通孔であり、金属部材２０の表面２０ａに所定の間隔を隔てて複数配置されている。この穿孔部２１は、たとえば加工用のレーザＬ３（図６参照）によって形成されている。なお、レーザＬ３の種類としては、パルス発振が可能なものが好ましく、ファイバレーザ、ＹＡＧレーザ、ＹＶＯ₄レーザ、半導体レーザ、炭酸ガスレーザ、エキシマレーザが選択でき、レーザの波長を考慮すると、ファイバレーザ、ＹＡＧレーザ、ＹＡＧレーザの第２高調波、ＹＶＯ₄レーザ、半導体レーザが好ましい。また、穿孔部２１は、本発明の「第２凹状部」の一例である。

また、穿孔部２１は、表面２０ａ側から底部側に向けて拡径する拡径部と、その拡径部から底部側に向けて縮径する縮径部とが連なるように形成されている。すなわち、穿孔部２１の内周面には、内側に突出する突出部２１ａが形成されている。突出部２１ａは、穿孔部２１内における表面２０ａ側に配置されている。また、突出部２１ａは、周方向における全長にわたって形成されており、環状に形成されている。

このような穿孔部２１は、１パルスが複数のサブパルスで構成されるレーザＬ３によって形成される。このレーザＬ３では、エネルギを深さ方向に集中させやすいので、穿孔部２１を形成するのに好適である。このようなレーザＬ３の照射装置の一例としては、オムロン製のファイバレーザマーカＭＸ−Ｚ２０００またはＭＸ−Ｚ２０５０を挙げることができる。

上記ファイバレーザマーカによる加工条件としては、サブパルスの１周期が１５ｎｓ以下であることが好ましい。これは、サブパルスの１周期が１５ｎｓを超えると、熱伝導によりエネルギが拡散しやすくなり、穿孔部２１を形成しにくくなるためである。なお、サブパルスの１周期は、サブパルスの１回分の照射時間と、そのサブパルスの照射が終了されてから次回のサブパルスの照射が開始されるまでの間隔との合計時間である。

また、１パルスのサブパルス数は、２以上５０以下であることが好ましい。これは、サブパルス数が５０を超えると、サブパルスの単位あたりの出力が小さくなり、穿孔部２１を形成しにくくなるためである。

なお、接合構造体２００のその他の構成は、上記した接合構造体１００と同様である。

−接合構造体の製造方法−
次に、図５〜図７を参照して、第２実施形態による接合構造体２００の製造方法について説明する。なお、ガラス部材１の表面１ａに中間部材３を形成するまでの工程は、第１実施形態と同様であるため説明を省略する。

まず、図６に示すように、金属部材２０の表面２０ａに加工用のレーザＬ３が照射されることにより、金属部材２０の表面２０ａに穿孔部２１が形成される。加工用のレーザＬ３は、１パルスが複数のサブパルスで構成されたものである。

その後、図７に示すように、中間部材３に金属部材２０が接合される。具体的には、まず、不活性ガス雰囲気下で、ガラス部材１に設けられた中間部材３が金属部材２０の表面２０ａに接触するように、中間部材３と金属部材２０とが隣接配置される。すなわち、金属部材２０の穿孔部２１が中間部材３側に配置される。そして、ガラス部材１側から中間部材３に向けて接合用のレーザＬ２が照射されることにより、中間部材３が溶融される。このため、溶融された中間部材３が金属部材２０の穿孔部２１に充填されて固化される。なお、接合用のレーザＬ２の種類としては、ファイバレーザ、ＹＡＧレーザ、ＹＶＯ₄レーザ、半導体レーザ、炭酸ガスレーザおよびエキシマレーザが選択できる。

このようにして、図５に示す接合構造体２００が製造される。なお、接合構造体２００では、ガラス部材１と中間部材３とがアンカー効果によって接合され、金属部材２０と中間部材３とがアンカー効果によって接合されている。

−効果−
第２実施形態では、上記のように、金属部材２０に穿孔部２１を形成し、その穿孔部２１に中間部材３を充填することによって、中間部材３と金属部材２０とをアンカー効果で機械的に接合することができる。これにより、中間部材３と金属部材２０とが溶着しにくい材料同士の組合せであっても、中間部材３と金属部材２０とを接合することができる。さらに、穿孔部２１に突出部２１ａを形成することによって、アンカー効果の向上を図ることができる。なお、金属部材２０と中間部材３とが溶着されていてもよく、この場合には、金属部材２０と中間部材３との接合強度の向上を図ることができる。

なお、第２実施形態のその他の効果は、第１実施形態と同様である。

（実験例）
次に、図８〜図１２を参照して、第１実施形態に対応する実施例１による接合構造体３００ａ（図１０参照）と、第２実施形態に対応する実施例２による接合構造体３００ｂ（図１２参照）とを作製し、その接合構造体３００ａおよび３００ｂに対して行った接合評価について説明する。

まず、実施例１の接合構造体３００ａの作製方法について説明する。

接合構造体３００ａでは、図１０に示すように、ガラス部材３０１として石英ガラスを用い、金属部材３０２ａとしてＳＵＳ３０４を用いた。ガラス部材３０１および金属部材３０２ａは、板状に形成されており、長さが１００ｍｍであり、幅が２５ｍｍであり、厚みが３ｍｍである。なお、金属部材３０２ａは、接合領域に穿孔部が形成されていない。

そして、図８に示すように、ガラス部材３０１の矩形枠状の接合領域Ｒ１に穿孔部（図示省略）を形成した。なお、接合領域Ｒ１は、一辺が２０ｍｍの正方形であり、ガラス部材３０１の中央に配置されている。

なお、穿孔部は、波長が３５５ｎｍであるＵＶピコ秒レーザを用いて形成した。また、このＵＶピコ秒レーザの条件は、焦点径が２０μｍであり、出力が１Ｗ未満である。そして、穿孔部の深さは、５〜２０μｍである。

そして、図９に示すように、ガラス部材３０１の穿孔部が形成された接合領域Ｒ１に中間部材３０３を形成した。この中間部材３０３は、亜鉛系の鉛フリーはんだであり、超音波プロセスによって形成した。具体的には、約６０ｋＨｚの超音波で発振するヒータにより中間部材３０３を溶融する。そして、その溶融した中間部材３０３が穿孔部に充填され、その後、溶融された中間部材３０３が固化される。

その後、図１０に示すように、ガラス部材３０１および金属部材３０２ａが中間部材３０３を挟み込むように、ガラス部材３０１および金属部材３０２ａを積層した。そして、ガラス部材３０１側から中間部材３０３に向けてファイバレーザを照射することにより、中間部材３０３と金属部材３０２ａとを溶接した。なお、ファイバレーザの照射条件は、以下のとおりである。

＜レーザ照射条件＞
レーザ：ファイバレーザ（波長１０７０ｎｍ）
発振モード：連続発振
出力：１５０Ｗ
焦点径：０．１５ｍｍ
走査速度：２０００ｍｍ／ｍｉｎ
このようにして、実施例１の接合構造体３００ａを作製した。なお、接合構造体３００ａでは、ガラス部材３０１と中間部材３０３とがアンカー効果によって接合され、金属部材３０２ａと中間部材３０３とが溶接によって接合されている。

次に、実施例２の接合構造体３００ｂの作製方法について説明する。

接合構造体３００ｂでは、図１２に示すように、金属部材３０２ｂとしてＳＵＳ３０４を用いた。金属部材３０２ｂは、板状に形成されており、長さが１００ｍｍであり、幅が２５ｍｍであり、厚みが３ｍｍである。なお、ガラス部材３０１および中間部材３０３については実施例１と同様である。

そして、図１１に示すように、金属部材３０２ｂの矩形枠状の接合領域Ｒ２に穿孔部（図示省略）を形成した。なお、接合領域Ｒ２は、一辺が２０ｍｍの正方形であり、金属部材３０２ｂの中央に配置されている。すなわち、接合領域Ｒ２は、ガラス部材３０１および金属部材３０２ｂが積層されたときに接合領域Ｒ１と対応する位置に配置される。なお、穿孔部は、１パルスが複数のサブパルスで構成されるレーザを照射することによって形成した。

その後、図１２に示すように、ガラス部材３０１および金属部材３０２ｂが中間部材３０３を挟み込むように、ガラス部材３０１および金属部材３０２ｂを積層した。そして、ガラス部材３０１側から中間部材３０３に向けてファイバレーザを照射することにより、中間部材３０３と金属部材３０２ｂとを溶接した。ここで、金属部材３０２ｂの接合領域Ｒ２には穿孔部が形成されていることから、溶融した中間部材３０３が穿孔部に充填され、その後中間部材３０３が固化される。なお、ファイバレーザの照射条件は、実施例１と同様である。

このようにして、実施例２の接合構造体３００ｂを作製した。なお、接合構造体３００ｂでは、ガラス部材３０１と中間部材３０３とがアンカー効果によって接合され、金属部材３０２ｂと中間部材３０３とがアンカー効果および溶接によって接合されている。

なお、比較のために、中間部材を設けることなくガラス部材と金属部材との接合を試みたが、接合しなかった。

そして、接合構造体３００ａおよび３００ｂについて、高さ１ｍからのゴムシートへの落下試験を行った。その結果、接合構造体３００ａおよび３００ｂでは、落下試験後であっても接合部に剥離が生じておらず、接合状態を維持することができた。

また、接合構造体３００ａおよび３００ｂについて、熱衝撃試験を行った。この熱衝撃試験は、−４０℃で３０分間の低温さらしと、５０℃で３０分間の高温さらしとを１０回繰り返し行った。その結果、接合構造体３００ａについては接合部の剥離が生じたが、接合構造体３００ｂについては接合部の剥離が生じていなかった。つまり、金属部材３０２ｂと中間部材３０３とがアンカー効果によっても接合されている接合構造体３００ｂでは、熱サイクル環境下における耐久性の向上を図ることができた。

（他の実施形態）
なお、今回開示した実施形態は、すべての点で例示であって、限定的な解釈の根拠となるものではない。したがって、本発明の技術的範囲は、上記した実施形態のみによって解釈されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、本発明の技術的範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

たとえば、第１実施形態では、ガラス部材１および金属部材２の全面に中間部材３が配置される例を示したが、これに限らず、実験例のように、ガラス部材および金属部材の一部分に中間部材が配置されていてもよい。なお、第２実施形態についても同様である。

また、第１実施形態では、ガラス部材１の表面１ａに穿孔部１１が形成される例を示したが、これに限らず、ガラス部材の表面に溝状の第１凹状部が形成されていてもよい。また、穿孔部１１に突出部１１ａが形成される例を示したが、これに限らず、穿孔部が円筒状またはすり鉢状に形成されていてもよい。なお、第２実施形態についても同様である。

また、第２実施形態では、金属部材２０の表面２０ａに穿孔部２１が形成される例を示したが、これに限らず、金属部材の表面に溝状の第２凹状部が形成されていてもよい。また、穿孔部２１に突出部２１ａが形成される例を示したが、これに限らず、穿孔部が円筒状またはすり鉢状に形成されていてもよい。また、レーザＬ３によって穿孔部２１を形成する例を示したが、これに限らず、ブラスト処理、サンドペーパ処理、陽極酸化処理、放電加工処理、エッチング処理またはプレス加工処理を施すことにより、金属部材の表面に第２凹状部を形成するようにしてもよい。

本発明は、ガラス部材および金属部材が接合された接合構造体の製造方法および接合構造体に利用可能である。

１ ガラス部材
１ａ 表面
２、２０ 金属部材
２０ａ 表面
３ 中間部材
１１ 穿孔部（第１凹状部）
２１ 穿孔部（第２凹状部）
１００、２００ 接合構造体

Claims (5)

1. ガラス部材および金属部材が金属製の中間部材を介して接合された接合構造体の製造方法であって、
   前記ガラス部材の表面に第１凹状部を形成する工程と、
   前記第１凹状部に前記中間部材が充填されるように、前記ガラス部材の表面に前記中間部材を形成する工程と、
   前記中間部材に前記金属部材を接合する工程とを備えることを特徴とする接合構造体の製造方法。
2. 請求項１に記載の接合構造体の製造方法において、
   前記中間部材に前記金属部材を接合する工程は、
   前記中間部材に前記金属部材を隣接配置する工程と、
   前記ガラス部材側から前記中間部材にレーザを照射することにより、前記中間部材と前記金属部材とを溶接する工程とを含むことを特徴とする接合構造体の製造方法。
3. 請求項１に記載の接合構造体の製造方法において、
   前記中間部材に前記金属部材を接合する前に、前記金属部材の表面に第２凹状部を形成する工程を備え、
   前記中間部材に前記金属部材を接合する工程は、
   前記第２凹状部が前記中間部材側に配置されるように、前記中間部材と前記金属部材とを隣接配置する工程と、
   前記ガラス部材側から前記中間部材にレーザを照射することにより、前記中間部材を前記第２凹状部に充填して固化させる工程とを含むことを特徴とする接合構造体の製造方法。
4. 請求項１〜３のいずれか１つに記載の接合構造体の製造方法において、
   前記中間部材は、線膨張係数が前記ガラス部材および前記金属部材の間であることを特徴とする接合構造体の製造方法。
5. 請求項１〜４のいずれか１つに記載の接合構造体の製造方法によって製造されたことを特徴とする接合構造体。

Images