JP2016117085A - 接合ツール検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】低コストで、且つ、作業者の負担を減らすことができ、さらには、生産ラインの稼働率を下げずに摩擦攪拌用の接合ツールの管理を適切に行う。
【解決手段】接合ツール４は産業用ロボット２によって基準位置Ｂａに固定される。基準位置Ｂａの側方には、基準位置Ｂａに固定された接合ツール４のピン４ｂの先端周縁に向かって光を照射するＬＥＤ光源７が設けられる。ＣＣＤカメラ８２は、基準位置Ｂａに固定された接合ツール４の先端側をその軸心方向から撮影する。制御盤９は、ＣＣＤカメラ８２で撮影した撮影画像Ｐ１を演算処理する演算処理部９ａ、及び演算処理部９ａでの処理結果に基づき、ピン４ｂの先端周縁にＬＥＤ光源７による反射光Ｌ１が有るか否かを判定する判定部９ｂを有する。
【選択図】図２

Description

本発明は、例えば、自動車の生産ラインに設置された摩擦攪拌接合装置において用いられる接合ツールの検査を行う接合ツール検査装置に関する。

従来より、重ね合わせた金属板同士を互いに接合する１つの方法として摩擦攪拌による接合が知られている。この接合は、先端の軸心上にピンを有する棒状の接合ツールをその軸心回りに回転させるとともに、重ね合わせた金属板に上記接合ツールの先端を押し込むように移動させることにより、金属板同士を互いに摩擦熱で軟化させるとともに攪拌させて固相接合させるものである。

ところで、上述の如き摩擦攪拌接合は、接合ツールの先端側が摩耗等により劣化すると、金属板において十分に攪拌がされずに接合不良が発生するおそれがあるので、接合ツールの先端側の状態を適切に管理する必要がある。

摩擦攪拌接合装置が設置された生産ラインでは、上記接合ツールの先端側の管理を、一般的に、作業者の定期的な目視確認により行うが、この目視確認は煩雑であるため、これを回避するために、例えば、特許文献１に開示されている検査装置を適用して接合ツールの先端側の状態を管理することが考えられる。この検査装置は、溶接ガンの先端に電極を装着保持した状態で、電極を周期的に溶接ガンの側方からカメラで撮影し、撮影した画像を用いて電極先端径や電極長さを算出したり、電極先端の状態等を確認して、正常な状態の電極であるか否かを比較判定し、電極の状態を管理している。

特開２００９−１６０６５６号公報

ところで、摩擦攪拌接合用の接合ツールは、その先端部分に攪拌時における軟化金属の一部や、或は、ゴミ等の不要物が付着すると、その後にその接合ツールを用いて接合する接合部の接合品質が安定しなくなる。したがって、接合ツールを先端側から見て不要物が付着しているか否かを確認する必要がある。

また、接合ツール先端に設けられたピンが摩耗や破損によってその長さが短くなると接合時における攪拌が不十分になって接合不良が発生するおそれがある。したがって、接合不良の発生を防ぐために接合ツール先端のピンの長さを管理する必要がある。

しかし、特許文献１の如き装置で上記接合ツールを撮影してその先端側の不要物の付着状態とピンの長さ方向の状態とを共に把握しようとすると、接合ツールの姿勢を変更しながら接合ツールの先端側をカメラで複数回撮影するか、若しくはカメラの位置を変更しながら接合ツールの先端側を複数回撮影しなければならず、検査に多くの時間を費やしてしまい、生産ラインの稼働率を下げてしまうことになる。

これを回避するために、２台のカメラで同時に接合ツールを２方向から撮影することが考えられるが、カメラの台数が無駄に増えてコストが嵩むことになってしまう。

本発明は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、低コストで、且つ、作業者の負担を減らすことができ、さらには、生産ラインの稼働率を下げずに摩擦攪拌用接合ツールの管理を適切に行うことができる接合ツール検査装置を提供することにある。

上記の目的を達成するために、本発明は、接合ツールのピンの先端周縁に光を照射しながら接合ツールの先端側を当該接合ツールの軸心方向からカメラで撮影するようにしたことを特徴とする。

具体的には、本発明は、先端の軸心上にピンを有する摩擦攪拌接合用の棒状接合ツールの検査を行う接合ツール検査装置を対象とし、次のような解決手段を講じた。

すなわち、第１の発明では、上記接合ツールを予め決められた基準位置に固定するツール固定手段と、上記基準位置の側方に固定され、上記接合ツールが上記基準位置に固定された状態で上記接合ツールの軸心に対して交差する方向から上記ピンの先端周縁に向かって光を照射する光源と、上記基準位置に固定された上記接合ツールの先端側を当該接合ツールの軸心方向から撮影するカメラと、該カメラで撮影した撮影画像を演算処理する演算処理部、及び該演算処理部での処理結果に基づき、上記ピンの先端周縁に上記光源による反射光が有るか否かを判定する判定部を有する制御手段とを備えていることを特徴とする。

第２の発明では、第１の発明において、上記光源は、上記基準位置に固定された状態の上記接合ツールの軸心周りに等間隔に複数配置され、上記演算処理部は、上記各光源の反射光の位置から上記ピンの先端径を計算するピン先端径計算部を有し、上記判定部は、上記ピン先端径計算部の計算結果が予め決められた設定範囲内に有るか否かを判定することを特徴とする。

第３の発明では、第１又は第２の発明において、上記演算処理部は、上記接合ツールの先端側の輝度値を計算する輝度値計算部を有し、上記判定部は、上記輝度値計算部の計算結果が予め決められた設定範囲内に有るか否かを判定することを特徴とする。

第１の発明では、摩耗や破損によりピンの長さが短くなると、光源から照射される光がピンに反射しなくなるので、接合ツールの軸心方向から接合ツールの先端側を撮影した撮影画像においてピンに反射光が発生しているか否かを確認することにより、ピンの長さが短くなったか否かを判定することができる。したがって、１つのカメラで撮影した画像によって接合ツールの先端部に対するゴミ等の不要物の付着状態とピンの長さ方向の状態とが分かるようになり、無駄にカメラを増やしてコストが嵩むといったことがない。また、１つのカメラを用いて接合ツールを一方向からしか撮影しないので、接合ツールを複数の方向から撮影することによって検査時間が嵩んでしまうということを回避して、生産ラインの稼働率を下げることなく接合ツールの管理を行うことができる。さらに、作業者が定期的に目視確認を行う必要がなくなるので、作業者の作業負荷を減らすことができる。

第２の発明では、ピンの先端径が正確に分かるようになるので、ピンの先端が極度に摩耗して接合の際に接合部の品質に影響を及ぼす状態であるか否かを接合作業前に知ることができ、接合不良の接合部を後工程に流出させないようにできる。

第３の発明では、接合ツール先端側に付着する不要物は、カメラによる撮影画像においてその他の部分と輝度値が異なる。したがって、輝度値の違いを確認することで接合ツール先端に不要物が付着しているか否かを接合作業前に定量的に知ることができ、接合不良の接合部を後工程に確実に流出させないようにできる。

本発明の実施形態に係る接合ツール検査装置を備えた摩擦攪拌接合装置の概略正面図である。 図１のＡ−Ａ線における断面図である。 本発明の実施形態に係る接合ツール検査装置の制御ブロック図を示すものである。 接合ツールの先端側を軸心方向からＣＣＤカメラで撮影した図である。 （ａ）は、図４のＢ部拡大図であり、（ｂ）は、（ａ）の画像をピン先端計算部にて演算処理を行っている途中の図である。 実施形態に係る接合ツール検査装置による接合ツール検査時のフローチャートである。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎない。

図１は、本発明の実施形態に係る接合ツール検査装置１を備えた摩擦攪拌接合装置１０を示す。該摩擦攪拌接合装置１０は、自動車の生産ラインＦに配置され、摩擦攪拌点接合によって２枚の板状プレス部品１１からワークＷを組み立てるものである。

上記摩擦攪拌接合装置１０は、サーボモータ制御の産業用ロボット２（ツール固定手段）を備えている。

該産業用ロボット２のアーム２ａ先端には、接合ユニット３が取り付けられ、該接合ユニット３は、内部に駆動部３１ａを有する略円柱状のユニット本体３１を備えている。

該ユニット本体３１の軸心方向一端側には、細長い棒状の接合ツール４を上記ユニット本体３１の軸心と一致する姿勢で保持可能なチャック３２が設けられ、該チャック３２は、上記駆動部３１ａによって上記接合ツール４を軸心周りに回転させながら当該接合ツール４の軸心に沿って移動させることが可能となっている。

上記接合ツール４は、図２に示すように、上下方向に延びる棒状のツール本体４ａを備え、該ツール本体４ａ先端（長手方向一端）の軸心上には、ピン４ｂが突設されている。

上記産業用ロボット２を挟んで図１紙面右側は、上記両プレス部品１１を組み立てる接合領域Ｘ１になっており、図１紙面左側は、上記接合ツール４の先端側を検査する検査領域Ｘ２になっている。

上記接合領域Ｘ１には、プレス部品１１を水平方向に延びる姿勢で保持可能なクランプ装置１３が水平方向に離間して一対配置されている。

該両クランプ装置１３の間には、直方体形状の支持ブロック１４が配置され、当該支持ブロック１４上において上記各クランプ装置１３によって保持されたプレス部品１１が重なるようになっている。

一方、上記検査領域Ｘ２には、上下に延びる架台５が設置され、該架台５の上端には、ボックス形状の検査装置本体６が取り付けられている。

該検査装置本体６と上記産業用ロボット２とで本発明の接合ツール検査装置１を構成している。

上記検査装置本体６は、図２に示すように、略直方体形状の金属製収容ケース６１を備えている。

該収容ケース６１の上面略中央には、当該収容ケース６１の内部に連通する連通孔６１ａが形成され、該連通孔６１ａの径は、上記接合ツール４の外径より大きく形成されている。

上記収容ケース６１の上面には、カバープレート６２が取り付けられ、該カバープレート６２の略中央には、上記接合ツール４を挿入可能なツール挿入孔６２ａが形成されている。

該ツール挿入孔６２ａは、下方に行くにしたがって次第に縮径していて、上記カバープレート６２を上記収容ケース６１に取り付けた状態で上記連通孔６１ａに対応するようになっている。

また、上記カバープレート６２のツール挿入孔６２ａ周縁には、環状の第１突条部６２ｂが下方に向かって突設され、その先端面は、上記連通孔６１ａ周縁に接触している。

上記第１突条部６２ｂには、径方向に延びるスリット６２ｄが周方向に等間隔に４つ形成されている。尚、図２には、２つのスリット６２ｄのみを示す。

一方、上記カバープレート６２の外周縁には、第２突条部６２ｃが下方に向かって突設され、その先端面は、上記収容ケース６１上面の外周部分に接触している。

そして、ツール挿入孔６２ａの中央部分が本発明における基準位置Ｂａとなっていて、上記接合ツール４を上記ツール挿入孔６２ａに上方から挿入して上記基準位置Ｂａに固定すると、上記接合ツール４のピン４ｂ先端が上記各スリット６２ｄに対応するようになっている。

上記収容ケース６１と上記カバープレート６２との間の空間１２には、４つの青色のＬＥＤ光源７がそれぞれ上記各スリット６２ｄに対応する位置に設けられている。

すなわち、上記ＬＥＤ光源７は、上記基準位置Ｂａに固定された状態の上記接合ツール４の軸心周りに４つ配置され、上記接合ツール４が上記基準位置Ｂａに固定された状態で、上記各ＬＥＤ光源７から照射された光は、上記スリット６２ｄを通過する際に集光されるとともに上記接合ツール４の軸心に対して交差する方向に向かって進んで上記ピン４ｂの先端周縁に反射するようになっている。

上記収容ケース６１内部の上記連通孔６１ａに対応する位置には、ブロック形状のカメラユニット８が配設されている。

該カメラユニット８は、当該カメラユニット８の骨格をなすホルダ本体部８１を備え、該ホルダ本体部８１の上面には、開口部８１ａが形成されている。

上記ホルダ本体部８１の内部には、撮影方向が上向く姿勢でＣＣＤカメラ８２が収容されている。

また、上記ホルダ本体部８１の中途部には、白色板８３が取り付けられ、該白色板８３には、上記基準位置Ｂａに固定された接合ツール４の先端面を照明する白色のＬＥＤ光源８３ａが複数取り付けられている。

さらに、上記ホルダ本体部８１の上部には、乳白色の樹脂製拡散板８４が設けられ、該拡散板８４は、上記ＬＥＤ光源８３ａから発せられる光を拡散させるようになっている。

そして、上記ＣＣＤカメラ８２は上記開口部８１ａを介して基準位置Ｂａに固定された接合ツール４を先端側（接合ツール４の軸心方向）から撮影するようになっている。

上記産業用ロボット２及び上記検査装置本体６には、図３に示すように、当該産業用ロボット２及び検査装置本体６を制御する制御盤９（制御手段）が接続されている。

該制御盤９は、上記ＣＣＤカメラ８２で撮影した撮影画像Ｐ１（図４参照）を演算処理する演算処理部９ａと、該演算処理部９ａでの処理結果に基づき、上記ピン４ｂの先端周縁に上記ＬＥＤ光源７による反射光Ｌ１が有るか否かを判定する判定部９ｂとを備えている。

上記演算処理部９ａは、上記各ＬＥＤ光源７の各反射光Ｌ１の位置から上記ピン４ｂの先端径Ｒａを計算するピン先端径計算部９ｃと、上記接合ツール４の先端側の輝度値を計算する輝度値計算部９ｄとを有している。

上記ピン先端径計算部９ｃは、具体的には、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、撮影画像Ｐ１の色調を変化させ、反射光Ｌ１を黄色に、反射光Ｌ１以外の領域を黒色に変更した撮影画像Ｐ２を作るようになっている。

また、上記ピン先端径計算部９ｃは、上記撮影画像Ｐ２の色調が大きく変化する箇所をピン４ｂの先端面周縁に対応する位置であるとしてその位置を抽出するようになっている（図５（ｂ）の４つの赤線Ｅ１）。

さらに、上記ピン先端径計算部９ｃは、上記ピン４ｂ周りに１８０°離れた赤線Ｅ１同士の距離Ｒ１、Ｒ２をそれぞれ計算し、得られた距離Ｒ１、Ｒ２を平均化してピン４ｂの先端径Ｒａを得るようになっている。

上記輝度値計算部９ｄは、具体的には、撮影画像Ｐ１において接合ツール４先端面のピン４ｂに対応する箇所以外の領域の各画素の輝度値を計算するようになっている。

上記判定部９ｂは、上記ピン４ｂの先端周縁に反射光Ｌ１が有ると判定すると、上記ピン先端径計算部９ｃの計算結果（ピン先端径Ｒａ）が予め決められた設定範囲Ｔ１内に有るか否かを判定するようになっている。

また、上記判定部９ｂは、上記ピン４ｂのピン先端径Ｒａが設定範囲Ｔ１内であると判定すると、上記輝度値計算部９ｄの計算結果が予め決められた設定範囲Ｔ２内に有るか否かを判定するようになっている。

さらに、上記判定部９ｂは、各判定結果を表示モニタ９ｅ（表示部）に表示させるようになっている。

そして、上記制御盤９は、ワークＷを組み立てる際、上記産業用ロボット２に接合開始信号を出力してクランプ装置１３にセットされたプレス部品１１上に接合ユニット３を配置するとともに、接合ツール４を回転させながらその先端側を両プレス部品１１に押し込むことにより、当該両プレス部品１１同士を摩擦熱で軟化させるとともに攪拌させて固相接合させるようになっている。

また、上記制御盤９は、上記接合ツール４の検査を行う際、上記産業用ロボット２に検査開始信号を出力して接合ツール４を上記基準位置Ｂａに固定させるとともに、上記検査装置本体６に検査開始信号を出力して基準位置Ｂａに固定された上記接合ツール４の先端側の検査を行うようになっている。

そして、上記制御盤９は、上記接合ツール４の先端側に問題があると判定すると、生産ラインＦのライン制御盤（図示せず）にライン停止信号を出力する一方、上記接合ツール４の先端側に問題が無いと判定すると、生産ラインＦのライン制御盤（図示せず）にライン継続信号を出力するようになっている。

次に、接合ツール検査装置１における具体的な検査制御を図６に示すフローチャートに基づいて説明する。

まず、上記接合領域Ｘ１での接合作業が終了した後、産業用ロボット２は、アーム２ａの姿勢を変更して基準位置Ｂａに接合ツール４を固定させる。その後、産業用ロボット２から制御盤９にツール固定完了信号が出力される。

制御盤９は、上記産業用ロボット２からツール固定完了信号を受け取ると、図６のフローチャートのステップＳ１に進む。このステップＳ１では、基準位置Ｂａに固定された接合ツール４の先端側をその軸心方向からＣＣＤカメラ８２で撮影することにより撮影画像Ｐ１を得る。

次いで、ステップＳ２では、撮影画像Ｐ１内にＬＥＤ光源７による反射光Ｌ１が４つ全て有るか否かを判定部９ｂが判定する。

このステップＳ２で判定がＮＯであるとき、すなわち、撮影画像Ｐ１内に反射光Ｌ１が４つ全て無いと判定部９ｂが判定すると、ステップＳ９に進み、制御盤９は、生産ラインＦのライン制御盤（図示せず）にライン停止信号を出力した後、ステップＳ１０に進んで表示モニタ９ｅに警告を表示させる。

一方、ステップＳ２の判定がＹＥＳであるとき、すなわち、撮影画像Ｐ１内に反射光Ｌ１が４つ全てあると判定部９ｂが判定すると、ステップＳ３に進む。

このステップＳ３では、ピン先端径計算部９ｃが撮影画像Ｐ１に映る４つの反射光Ｌ１からピン４ｂの先端径Ｒａを計算する。具体的には、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、まず、撮影画像Ｐ１の色調を変化させ、反射光Ｌ１を黄色に、反射光Ｌ１以外の領域を黒色にした撮影画像Ｐ２を得る。次いで、撮影画像Ｐ２の色調が大きく変化する箇所をピン４ｂの先端面周縁に対応する位置（図５（ｂ）の赤線Ｅ１部分）であるとして抽出する。そして、ピン４ｂ周りに１８０°離れた赤線Ｅ１同士の距離Ｒ１、Ｒ２をそれぞれ計算し、得られた距離Ｒ１、Ｒ２を平均化してピン先端径Ｒａを得た後、ステップＳ４に進む。

しかる後、ステップＳ４では、ピン先端径Ｒａが予め決められた設定範囲Ｔ１内か否かを判定部９ｂが判定する。

このステップＳ４で判定がＮＯであるとき、すなわち、ピン先端径Ｒａが設定範囲Ｔ１外であると判定部９ｂが判定すると、ステップＳ９に進み、制御盤９は、生産ラインＦのライン制御盤（図示せず）にライン停止信号を出力した後、ステップＳ１０に進んで表示モニタ９ｅに警告を表示させる。

一方、ステップＳ４の判定がＹＥＳであるとき、すなわち、ピン先端径Ｒａが設定範囲Ｔ１内であると判定部９ｂが判定すると、ステップＳ５に進む。

このステップＳ５では、輝度値計算部９ｄが撮影画像Ｐ１おいて接合ツール４先端面のピン４ｂに対応する箇所以外の領域の各画素の輝度値を計算して、ステップＳ６に進む。

このステップＳ６では、輝度値計算部９ｄで計算した各画素の輝度値が予め決められた設定範囲Ｔ２外（異常値）であるか否かを判定部９ｂが判定する。

このステップＳ６の判定がＹＥＳであるとき、すなわち、輝度値計算部９ｄで計算した各画素の輝度値が予め決められた設定範囲Ｔ２外であると判定部９ｂが判定すると、ステップＳ９に進み、制御盤９は、生産ラインＦのライン制御盤（図示せず）にライン停止信号を出力した後、ステップＳ１０に進んで表示モニタ９ｅに警告を表示させる。

一方、ステップＳ６の判定がＮＯであるとき、すなわち、輝度値計算部９ｄで計算した各画素の輝度値が予め決められた設定範囲Ｔ２内であると判定部９ｂが判定すると、ステップＳ７に進み、制御盤９は、生産ラインＦのライン制御盤（図示せず）に生産ラインＦを継続させる信号を出力した後、ステップＳ８に進んで表示モニタ９ｅにワークＷが問題ないことを表示させる。

以上より、本発明の実施形態によると、摩耗や破損によりピン４ｂの長さが短くなると、ＬＥＤ光源７から照射される光がピン４ｂに反射しなくなるので、接合ツール４の軸心方向から接合ツール４の先端側を撮影した撮影画像Ｐ１においてピン４ｂに反射光Ｌ１が発生しているか否かを確認することにより、ピン４ｂの長さが短くなったか否かを判定することができる。したがって、１つのＣＣＤカメラ８２で撮影した撮影画像Ｐ１によって接合ツール４の先端部に対するゴミ等の不要物の付着状態とピン４ｂの長さ方向の状態とが分かるようになり、無駄にＣＣＤカメラ８２を増やしてコストが嵩むといったことがない。また、１つのＣＣＤカメラ８２を用いて接合ツール４を一方向からしか撮影しないので、接合ツール４を複数の方向から撮影することによって検査時間が嵩んでしまうということを回避して、生産ラインＦの稼働率を下げることなく接合ツール４の管理を行うことができる。さらに、作業者が定期的に目視確認を行う必要がなくなるので、作業者の作業負荷を減らすことができる。

また、ピン４ｂの先端径Ｒａが正確に分かるようになるので、ピン４ｂの先端が極度に摩耗して接合の際に接合部の品質に影響を及ぼす状態であるか否かを接合作業前に知ることができ、接合不良の接合部を後工程に流出させないようにできる。

さらに、接合ツール４先端に付着する不要物は、ＣＣＤカメラ８２による撮影画像Ｐ１においてその他の部分と輝度値が異なる。したがって、輝度値の違いを確認することで接合ツール４先端に不要物が付着しているか否かを接合作業前に定量的に知ることができ、接合不良の接合部を後工程に確実に流出させないようにできる。

尚、本発明の実施形態では、接合ツール４の先端側の撮影にＣＣＤカメラ８２を用いているが、ＣＭＯＳカメラであってもよい。

また、本発明の実施形態では、ＬＥＤ光源７を４つ空間１２に配置しているが、複数取り付けていればよい。また、ＬＥＤ光源７に青色のＬＥＤを使用しているが、ＣＣＤカメラ８２で撮影する撮影画像において、接合ツール４の先端周縁の境界が鮮明に映し出されるようになる色であれば青色以外のＬＥＤを使用してもよい。

本発明は、例えば、自動車の生産ラインに設置された摩擦攪拌接合装置において用いられる接合ツールの検査を行う接合ツール検査装置に適している。

１ 接合ツール検査装置
２ 産業用ロボット（ツール固定手段）
４ 接合ツール
４ｂ ピン
７ ＬＥＤ光源
９ 制御盤（制御手段）
９ａ 演算処理部
９ｂ 判定部
９ｃ ピン先端径計算部
９ｄ 輝度値計算部
８２ ＣＣＤカメラ

Claims (3)

1. 先端の軸心上にピンを有する摩擦攪拌接合用の棒状接合ツールの検査を行う接合ツール検査装置であって、
   上記接合ツールを予め決められた基準位置に固定するツール固定手段と、
   上記基準位置の側方に固定され、上記接合ツールが上記基準位置に固定された状態で上記接合ツールの軸心に対して交差する方向から上記ピンの先端周縁に向かって光を照射する光源と、
   上記基準位置に固定された上記接合ツールの先端側を当該接合ツールの軸心方向から撮影するカメラと、
   該カメラで撮影した撮影画像を演算処理する演算処理部、及び該演算処理部での処理結果に基づき、上記ピンの先端周縁に上記光源による反射光が有るか否かを判定する判定部を有する制御手段とを備えていることを特徴とする接合ツール検査装置。
2. 請求項１に記載の接合ツール検査装置において、
   上記光源は、上記基準位置に固定された状態の上記接合ツールの軸心周りに等間隔に複数配置され、
   上記演算処理部は、上記各光源の反射光の位置から上記ピンの先端径を計算するピン先端径計算部を有し、
   上記判定部は、上記ピン先端径計算部の計算結果が予め決められた設定範囲内に有るか否かを判定することを特徴とする接合ツール検査装置。
3. 請求項１又は２に記載の接合ツール検査装置において、
   上記演算処理部は、上記接合ツールの先端側の輝度値を計算する輝度値計算部を有し、
   上記判定部は、上記輝度値計算部の計算結果が予め決められた設定範囲内に有るか否かを判定することを特徴とする接合ツール検査装置。