JP2016113363A - 珪酸塩ガラスの製造方法、珪酸塩ガラス及び珪酸塩ガラス用シリカ原料 - Google Patents

珪酸塩ガラスの製造方法、珪酸塩ガラス及び珪酸塩ガラス用シリカ原料 Download PDF

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Abstract

【課題】従来よりも溶融温度を低下させても、良好に溶解するシリカ原料を創案することにより、難溶性の珪酸塩ガラス、特に無アルカリガラスの泡個数を低減する。【解決手段】本発明の珪酸塩ガラスの製造方法は、シリカ原料を含むガラスバッチを溶融、成形して、珪酸塩ガラスを得る珪酸塩ガラスの製造方法において、真球度が0.890未満となるシリカ原料を用いることを特徴とする。【選択図】なし

Description

本発明は、珪酸塩ガラスの製造方法、珪酸塩ガラス及び珪酸塩ガラス用シリカ原料に関し、例えば、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ等の基板に好適な珪酸塩ガラスの製造方法、珪酸塩ガラス及び珪酸塩ガラス用シリカ原料に関する。
液晶ディスプレイ等に用いる珪酸塩ガラスとして、無アルカリガラス(ガラス組成中のアルカリ金属酸化物の含有量が0.5質量%未満の珪酸塩ガラス)が使用されている。無アルカリガラスは、難溶性であるため、アルカリ含有ガラスに比べて溶融し難いという特徴を有している。
特開2012−201524号公報 特開2004−067408号公報 特開2013−107801号公報
無アルカリガラス等の難溶性ガラスは、一般的に高温で溶融されるが、この場合、ガラス溶融窯で使用される耐火物がガラス融液に侵食され易くなり、ガラス溶融窯の寿命が短くなる。またエネルギー効率が低下して、環境的、且つ経済的に不利になる。
一方、溶融温度を低下させると、ガラス融液の均質性が低下し易くなり、脈理(スジ)、異物(ブツ)、泡等のガラス欠陥が発生し易くなる。脈理(スジ)や異物(ブツ)の品位は、ガラス融液を攪拌すると良化するが、泡の浮上速度を十分に高めることができないため、泡個数を低減することは困難である。
また、珪酸塩ガラスは、SiOを主成分とするガラスである。よって、ガラスバッチ中に占めるシリカ原料の割合は、他のガラス原料に比べて多くなる。そして、シリカ原料は、他のガラス原料に比べて、溶融時に溶け残り易い。
このような事情から、シリカ原料の粒度を所定範囲に調整して、ガラスバッチの溶解性を高めることが検討されている。例えば、特許文献1には、難溶性不純物であるCrの含有量が少ないシリカ原料を用いて、珪酸塩ガラス中のクロマイト異物を低減することが開示されている。特許文献2には、平均粒子径D5030〜60μmのシリカ原料を用いることにより、珪酸塩ガラスの均質性を高めることが開示されている。特許文献3には、平均粒子径D5070〜200μmのシリカ原料を用いることにより、珪酸塩ガラスの泡不良を改善することが開示されている。
しかし、シリカ原料の粒度を所定範囲に規制しても、難溶性ガラスの泡個数を十分に低減することが困難であった。具体的には、液晶ディスプレイ等に用いられる無アルカリガラスでは、100μm以上のサイズの泡が0.1個未満/kgであることが要求されるが、シリカ原料の粒度を所定範囲に規制するだけでは、上記要求を満たすことが困難になる場合があった。特に、高歪点の無アルカリガラスの場合、その要求を満たすことが困難になる。
本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、その技術的課題は、従来よりも溶融温度を低下させても、良好に溶解するシリカ原料を創案することにより、難溶性の珪酸塩ガラス、特に無アルカリガラスの泡個数を低減することである。
本発明者は、鋭意検討の結果、シリカ原料の粒子を歪な形状にすることにより、上記技術的課題を解決し得ることを見出し、本発明として提案するものである。すなわち、本発明の珪酸塩ガラスの製造方法は、シリカ原料を含むガラスバッチを溶融、成形して、珪酸塩ガラスを得る珪酸塩ガラスの製造方法において、真球度が0.890未満となるシリカ原料を用いることを特徴とする。ここで、「シリカ原料」とは、SiOの含有量が95質量%以上の原料を指す。「真球度」は、少なくとも1000万個の粒子に対して、画像解析装置(例えば、ヴァーダ−サイエンティフィック社製カムカイザーXT)で測定した粒子の面積と円周の平均値を数式1に当て嵌めることにより算出することができる。補足すると、シリカ原料の真球度は、例えば、圧縮空気により空中を輸送される粒子をCCDカメラで撮影した上で、撮影された粒子形状から計算することができる。上記測定は、撮影された粒子が二次元の平面の円になるため、実際には円形度を評価していることになるが、1000万個以上の粒子の形状を測定しているため、あらゆる角度での粒子の円形度が測定されていることになり、これは統計学的には真球度に相当する。なお、撮影された粒子形状が真球であれば、真球度が1.000になる。
本発明の珪酸塩ガラスの製造方法は、真球度が0.890未満のガラス原料を使用する。これにより、シリカ原料の溶解性が向上して、脈理(スジ)、異物(ブツ)、泡等のガラス欠陥を低減することができる。特に、難溶性の無アルカリガラスの泡個数を低減することができる。
シリカ原料の真球度が低いと、つまりシリカ原料の粒子が歪な形状であると、ガラスバッチの溶解性が向上する理由は不明であるが、本発明者は以下の現象によるものと推定している。すなわち、シリカ原料の真球度が低いと、シリカ原料の表面積が大きくなるため、他のガラス原料(例えば、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム)と反応し得る面積が大きくなり、バッチ反応性が高まって、ガラスバッチの溶解性が向上し、結果として、シリカの未溶解層の形成が抑制されて、脱ガス性が促進されるものと推定している。更に、シリカ原料の真球度が低いと、溶融工程でガラスバッチに多くの空隙が生じるため、気泡の原因となるガスの浮上経路が十分に確保される。その結果、溶融初期のガラス融液の溶存ガス量が少なくなり、ガラス製品の泡不良が改善されるものと推定している。
本発明の珪酸塩ガラスの製造方法では、真球度が0.890未満となるシリカ原料を用いることを特徴とするが、真球度が0.890未満となるシリカ原料に対して、他のシリカ原料、つまり真球度が0.890超となるシリカ原料を添加、混合する態様を排除するものではない。全シリカ原料の内、真球度が0.890未満となるシリカ原料の割合は、好ましくは10質量%以上、30質量%以上、50質量%以上、70質量%以上、特に90質量%以上である。
第二に、本発明の珪酸塩ガラスの製造方法は、シリカ原料の平均粒子径D50が40〜120μmであることが好ましい。なお、真球度が0.890未満となるシリカ原料に対して、他のシリカ原料、つまり真球度が0.890超となるシリカ原料を添加、混合する場合は、全シリカ原料の平均粒子径D50が40〜120μmであることが好ましい。
第三に、本発明の珪酸塩ガラスの製造方法は、珪酸塩ガラスの歪点が680℃以上になるように、ガラスバッチを調製することが好ましい。「歪点」は、ASTM C336の方法に基づいて測定した値を指す。
第四に、本発明の珪酸塩ガラスの製造方法は、珪酸塩ガラスのガラス組成中のAsの含有量が0.05質量%未満、Sbの含有量が0.05質量%未満、SnOの含有量が0.01〜1質量%になるように、ガラスバッチを調製することが好ましい。
第五に、本発明の珪酸塩ガラスの製造方法は、珪酸塩ガラスのガラス組成中のアルカリ金属酸化物の含有量が0.5質量%未満になるように、ガラスバッチを調製することが好ましい。このようにすれば、珪酸塩ガラスを液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ等の基板に適用することができる。
第六に、本発明の珪酸塩ガラスの製造方法は、珪酸塩ガラスのガラス組成が、質量%で、SiO 50〜80%、Al 5〜25%、B 0〜20%、MgO 0〜15%、CaO 1〜15%、SrO 0〜15%、BaO 0〜15%を含有するように、ガラスバッチを調製することが好ましい。このようにすれば、耐失透性、高歪点、低密度、耐酸性等の特性を高めることができる。
第七に、本発明の珪酸塩ガラスの製造方法は、オーバーフローダウンドロー法又はフロート法で平板形状に成形することが好ましい。このようにすれば、珪酸塩ガラスの大型化、薄型化を図り易くなる。
第八に、本発明の珪酸塩ガラスは、上記の珪酸塩ガラスの製造方法により作製されたことが好ましい。
第九に、本発明の珪酸塩ガラス用シリカ原料は、真球度が0.890未満であることを特徴とする。
第十に、本発明の珪酸塩ガラス用シリカ原料は、平均粒子径D50が40〜120μmであることが好ましい。
第十一に、本発明の珪酸塩ガラス用シリカ原料は、天然珪砂であることが好ましい。
以下、本発明の珪酸塩ガラスの製造方法を詳述する。
まず、所望のガラス組成になるように、各成分の導入源となるガラス原料を調合、混合してガラスバッチバッチを作製する。必要に応じて、ガラス原料として、ガラスカレットを用いてもよい。なお、ガラスカレットとは、ガラス製造工程等で排出されるガラス屑である。ガラス原料の混合方法は、特に限定されないが、一回当たりに混合する質量やガラス原料の種類に応じて、適宜、選択すればよい。例えば、パン型ミキサー、ロータリーミキサー等を用いて混合する方法が挙げられる。
次いで、得られたガラスバッチをガラス溶融窯に投入する。ガラス溶融窯へのガラスバッチの投入は、通常、スクリューチャージャー等の原料フィーダーにより連続的に行われるが、断続的に行ってもよい。
ガラス溶融窯内へ投入されたガラスバッチは、バーナー等の燃焼雰囲気やガラス溶融窯の内部に設置された電極等により加熱されて、ガラス融液になる。ガラスバッチの溶融温度は、無アルカリガラスの場合、1500〜1650℃程度である。
続いて、得られたガラス融液は、清澄工程、攪拌工程を経て、徐々に冷却されながら、成形装置に供給されて、所定の肉厚、表面品位を有するように平板形状に成形された後、所定サイズに切断されて、ガラス製品(ガラス板)になる。成形方法として、オーバーフローダウンドロー法、フロート法等を採用することができる。
このようにして作製された平板形状の珪酸塩ガラスは、例えば、液晶ディスプレイ等の基板として使用される。
本発明の珪酸塩ガラスの製造方法では、真球度が低いシリカ原料を用いる。そのシリカ原料の真球度は0.890未満であり、好ましくは0.885未満、0.880未満、0.875未満、0.870未満、0.750〜0.865未満、特に0.800〜0.860未満である。シリカ原料の真球度が低いと、ガラスバッチの溶解性、脱ガス性が低下し易くなり、ガラス製品の泡個数を低減し難くなる。
真球度が低いシリカ原料を得る方法として、種々の方法を採択することができる。例えば、化学合成法で作製したシリカ原料をボールミル等の粉砕機で解砕する方法、歪な粒子形状の天然珪砂を選択的に採取する方法を挙げることができる。原料コストの観点から、後者の方法が好ましく、特にドロマイト鉱床の浸食作用により形成された高純度珪砂層を採取し、これをシリカ原料とすることが好ましい。
シリカ原料の平均粒子径D50は、好ましくは40〜120μm、特に50〜100μmである。シリカ原料の平均粒子径D50が大き過ぎると、溶融時にシリカ原料が溶け残り、ガラス融液の表面に未溶解層を形成して、泡の浮上を阻害し易くなると共に、未溶解層が下流工程に流出し、ガラス製品に混入する虞がある。一方、シリカ原料の平均粒子径D50が細か過ぎると、ガラス溶融窯内でシリカ原料が飛散し、煙道が詰まり易くなる。その結果、ガラス溶融窯が損傷したり、ガラス製品のガラス組成が経時的に変動する虞がある。
本発明の珪酸塩ガラスの製造方法において、珪酸塩ガラスのガラス組成中のAsの含有量が0.05質量%未満、Sbの含有量が0.05質量%未満、SnOの含有量が0.01〜1質量%になるように、ガラスバッチを調製することが好ましい。
一般的に、珪酸塩ガラスの泡個数を低減するために、清澄ガスを発生させる清澄剤が用いられる。難溶性の珪酸塩ガラス、例えば無アルカリガラスでは、例えば、1200〜1300℃の温度でガラス化反応が起こり、1400℃以上の高温で脱泡、均質化が行われる。このため、難溶性の珪酸塩ガラスの清澄剤として、1200〜1600℃付近で清澄ガスを発生させるAsが使用されると共に、1200〜1300℃付近で清澄ガスを発生させるSbが使用されていた。しかし、As、Sbは、環境負荷物質であるため、その使用が制限されつつある。
As、Sbの代替清澄剤として、SnOが有望である。SnOは、1400℃以上の温度で2価に変化する際に、清澄ガスを放出する性質を有している。SnOは、歪点を高めると共に、高温粘性を低下させる成分である。SnOの含有量は、好ましくは0.01〜1質量%、0.05〜0.5質量%、特に0.1〜0.3質量%である。SnOの含有量が多過ぎると、SnOの失透結晶が析出し易くなり、またZrOの失透結晶の析出を促進し易くなる。なお、SnOの含有量が0.01質量%より少ないと、上記効果を享受し難くなる。
なお、他の清澄剤として、F、Cl等のハロゲン化物、CeOを導入してもよい。なお、清澄剤としてF、Cl等のハロゲン化物を導入する場合、シリカ原料から発生したHOは、HFガス、HClガスとして放出される。
本発明の珪酸塩ガラスの製造方法において、珪酸塩ガラスのガラス組成中のS成分の含有量がSO換算で0.01質量%未満(望ましくは0.005質量%未満)になるように、珪酸塩ガラスを作製することが好ましく、珪酸塩ガラスのガラス組成中のS成分の含有量がSO換算で0.01質量%未満(望ましくは0.005質量%未満)になるように、ガラスバッチを調製することが好ましい。SOは、清澄剤として作用するが、その含有量が多過ぎると、SOリボイルが発生し易くなる。
本発明の珪酸塩ガラスの製造方法において、珪酸塩ガラスのガラス組成中のアルカリ金属酸化物の含有量が0.5質量%未満になるように、ガラスバッチを調製することが好ましい。このようにすれば、ディスプレイの製造工程において、半導体物質中にアルカリイオンが拡散する事態を防止し易くなる。具体的に言えば、アルカリ金属酸化物の含有量は、好ましくは0.5質量%未満、0.3質量%未満、特に0.01〜0.2質量%である。LiO、NaOの含有量は、各成分とも好ましくは0.3質量%未満、特に0.2質量%未満である。KOの含有量は、好ましくは0.5質量%未満、0.3質量%未満、特に0.01〜0.2質量%である。
本発明の珪酸塩ガラスの製造方法では、珪酸塩ガラスのガラス組成が、質量%で、SiO 50〜80%、Al 5〜25%、B 0〜20%、MgO 0〜15%、CaO 1〜15%、SrO 0〜15%、BaO 0〜15%を含有するように、ガラスバッチを調製することが好ましい。上記のように珪酸塩ガラスのガラス組成を限定した理由を以下に示す。なお、各成分の含有範囲の説明において、%表示は、質量%を指す。
SiOは、ガラスの骨格を形成する成分である。SiOの含有量は、好ましくは50〜80%、54〜70%、56〜66%、特に58〜64%である。SiOの含有量が少な過ぎると、密度が高くなり過ぎると共に、耐酸性が低下し易くなる。一方、SiOの含有量が多過ぎると、高温粘度が高くなり、溶融性が低下し易くなることに加えて、クリストバライト等の失透結晶が析出し易くなって、液相温度が上昇し易くなる。
Alは、ガラスの骨格を形成する成分であり、また歪点やヤング率を高める成分であり、更に分相を抑制する成分である。Alの含有量は、好ましくは5〜25%、12〜24%、15〜22%、特に16〜21%である。Alの含有量が少な過ぎると、歪点、ヤング率が低下し易くなり、またガラスが分相し易くなる。一方、Alの含有量が多過ぎると、ムライトやアノーサイト等の失透結晶が析出し易くなって、液相温度が上昇し易くなる。
は、溶融性を高めると共に、耐失透性を高める成分である。Bの含有量は、好ましくは0〜20%、0〜12%、0〜10%、0.5〜8%、特に1〜7%である。Bの含有量が少な過ぎると、溶融性や耐失透性が低下し易くなり、またフッ酸系の薬液に対する耐性が低下し易くなる。一方、Bの含有量が多過ぎると、ヤング率や歪点が低下し易くなる。
MgOは、高温粘性を下げて、溶融性を高める成分であり、アルカリ土類金属酸化物の中では、ヤング率を顕著に高める成分である。MgOの含有量は、好ましくは0〜15%、0〜8%、0〜7%、0〜6%、0〜3%、特に0〜2%である。MgOの含有量が少な過ぎると、溶融性やヤング率が低下し易くなる。一方、MgOの含有量が多過ぎると、耐失透性が低下し易くなると共に、歪点が低下し易くなる。
CaOは、歪点を低下させずに、高温粘性を下げて、溶融性を顕著に高める成分である。また、アルカリ土類金属酸化物の中では、導入原料が比較的安価であるため、原料コストを低廉化する成分である。CaOの含有量は、好ましくは1〜15%、3〜11%、4〜10%、特に5〜9%である。CaOの含有量が少な過ぎると、上記効果を享受し難くなる。一方、CaOの含有量が多過ぎると、ガラスが失透し易くなると共に、熱膨張係数が高くなり易い。
SrOは、分相を抑制し、また耐失透性を高める成分である。更に、歪点を低下させずに、高温粘性を下げて、溶融性を高める成分であると共に、液相温度の上昇を抑制する成分である。SrOの含有量は、好ましくは0〜15%、0.1〜9%、特に0.5〜6%である。SrOの含有量が少な過ぎると、上記効果を享受し難くなる。一方、SrOの含有量が多過ぎると、ストロンチウムシリケート系の失透結晶が析出し易くなって、耐失透性が低下し易くなる。
BaOは、耐失透性を顕著に高める成分である。BaOの含有量は、好ましくは0〜15%、0〜12%、0.1〜9%、特に1〜7%である。BaOの含有量が少な過ぎると、上記効果を享受し難くなる。一方、BaOの含有量が多過ぎると、密度が高くなり過ぎると共に、溶融性が低下し易くなる。またBaOを含む失透結晶が析出し易くなって、液相温度が上昇し易くなる。
ZrOは、歪点、ヤング率を高める働きがある。しかし、ZrOの含有量が多過ぎると、耐失透性が顕著に低下する。特に、SnOを含有させる場合は、ZrOの含有量を厳密に規制することが好ましい。ZrOの含有量は0.4%以下、0.3%以下、特に0.01〜0.2%が好ましい。
上記成分以外にも、他の成分、例えばZnO、P、Mo等の成分を添加してもよい。なお、上記成分以外の他の成分の含有量は、本発明の効果を的確に享受する観点から、合量で10%以下、特に5%以下が好ましい。
本発明の珪酸塩ガラスの製造方法では、珪酸塩ガラスの歪点が、好ましくは680℃以上、690℃以上、特に700℃以上になるように、ガラスバッチを調製することが好ましい。歪点が高い程、ディスプレイの製造工程における熱処理でガラス板が熱収縮し難くなるが、珪酸塩ガラスが難溶性になり易い。そして、珪酸塩ガラスが難溶性である程、シリカ原料の溶解性を高める必要性が高くなり、本発明の効果が相対的に大きくなる。
本発明の珪酸塩ガラスの製造方法では、珪酸塩ガラスの102.5dPa・sにおける温度が、好ましくは1500℃以上、1530℃以上、1540℃以上、特に1550℃以上になるように、ガラスバッチを調製することが好ましい。102.5dPa・sにおける温度は、溶融温度に相当し、この温度が高い程、難溶性になる。珪酸塩ガラスが難溶性である程、シリカ原料の溶解性を高める必要性が高くなり、本発明の効果が相対的に大きくなる。
本発明の珪酸塩ガラスは、上記の珪酸塩ガラスの製造方法により作製されたことを特徴とする。本発明の珪酸塩ガラスの技術的特徴は、本発明の珪酸塩ガラスの製造方法の説明欄に記載済みである。よって、本発明の珪酸塩ガラスについて、詳細な説明を省略する。
本発明の珪酸塩ガラス用シリカ原料は、真球度が0.890未満であることを特徴とする。本発明の珪酸塩ガラス用シリカ原料の技術的特徴は、本発明の珪酸塩ガラスの製造方法の説明欄に記載済みである。よって、本発明の珪酸塩ガラス用シリカ原料について、詳細な説明を省略する。
以下、実施例に基づいて本発明を説明する。なお、以下の実施例は単なる例示である。本発明は以下の実施例に何ら限定されない。
(試験1)
シリカ供給源として、表1に示す試料No.1〜6に係るシリカ原料を用いて、表2に記載のガラス組成(ガラスA、ガラスB、ガラスC)になるようにガラスバッチを調製した。なお、SiOの導入原料として、表中のシリカ原料以外のシリカ原料を使用しないようにした。得られたガラスバッチをガラス溶融窯に投入すると共に、1500〜1600℃で溶解して、ガラス融液を得た。次に、得られたガラス融液を清澄工程で清澄すると共に、攪拌工程で攪拌した。続いて、供給管を用いて、オーバーフローダウンドロー成形装置にガラス融液を供給した後、オーバーフローダウンドロー法により0.7mm厚の平板形状に成形し、更に1800mm×1500mmサイズに切断して、ガラス板を得た。最後に、10日間の製造で得られたガラス板について、1kg当たりの50μm以上のサイズの平均泡個数を評価した。その結果を表1に示す。
ここで、シリカ原料の真球度は、少なくとも1000万個の粒子に対して、画像解析装置ヴァーダ−サイエンティフィック社製カムカイザーXTで測定した粒子の面積と円周の平均値を数式1に当て嵌めることにより算出したものである。
シリカ原料の平均粒子径D50は、画像解析装置ヴァーダ−サイエンティフィック社製カムカイザーXTで測定した値であり、少なくとも1000万個の粒子を測定した時の平均値である。
表1から明らかなように、試料No.1〜4に係るシリカ原料を用いる場合、得られるガラス板中の泡個数は、試料No.5、6に係るシリカ原料を用いた場合よりも少なかった。
(試験2)
2種類のシリカ原料を用いて、(試験1)と同様の実験を行った。表3に示すように、真球度が異なるシリカ原料を同量の割合で混合して、表2に記載のガラスCのガラス組成になるようガラスバッチを調製した。なお、SiOの導入原料として、表中のシリカ原料以外のシリカ原料を使用しないようにした。次に、(試験1)と同様の方法で10日間の製造で得られたガラス板について、1kg当たりの50μm以上のサイズの平均泡個数を評価した。その結果を表3に示す。
表3から明らかなように、試料No.7〜9に係るシリカ原料を用いる場合、得られるガラス板中の泡個数は、試料No.5に係るシリカ原料を用いた場合よりも少なかった。
上記実験で得られた効果は、表4に示す材質(試料No.D〜J)でも同様に生じるものと考えられる。

Claims (11)

  1. シリカ原料を含むガラスバッチを溶融、成形して、珪酸塩ガラスを得る珪酸塩ガラスの製造方法において、真球度が0.890未満となるシリカ原料を用いることを特徴とする珪酸塩ガラスの製造方法。
  2. シリカ原料の平均粒子径D50が40〜120μmであることを特徴とする請求項1に記載の珪酸塩ガラスの製造方法。
  3. 珪酸塩ガラスの歪点が680℃以上になるように、ガラスバッチを調製することを特徴とする請求項1又は2に記載の珪酸塩ガラスの製造方法。
  4. 珪酸塩ガラスのガラス組成中のAsの含有量が0.05質量%未満、Sbの含有量が0.05質量%未満、SnOの含有量が0.01〜1質量%になるように、ガラスバッチを調製することを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の珪酸塩ガラスの製造方法。
  5. 珪酸塩ガラスのガラス組成中のアルカリ金属酸化物の含有量が0.5質量%未満になるように、ガラスバッチを調製することを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の珪酸塩ガラスの製造方法。
  6. 珪酸塩ガラスのガラス組成が、質量%で、SiO 50〜80%、Al 5〜25%、B 0〜20%、MgO 0〜15%、CaO 1〜15%、SrO 0〜15%、BaO 0〜15%を含有するように、ガラスバッチを調製することを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の珪酸塩ガラスの製造方法。
  7. オーバーフローダウンドロー法又はフロート法で平板形状に成形することを特徴とする請求項1〜6の何れか一項に記載の珪酸塩ガラスの製造方法。
  8. 請求項1〜7の何れか一項に記載の珪酸塩ガラスの製造方法により作製されたことを特徴とする珪酸塩ガラス。
  9. 真球度が0.890未満であることを特徴とする珪酸塩ガラス用シリカ原料。
  10. 平均粒子径D50が40〜120μmであることを特徴とする請求項9に記載の珪酸塩ガラス用シリカ原料。
  11. 天然珪砂であることを特徴とする請求項9又は10に記載の珪酸塩ガラス用シリカ原料。
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