JP2016107351A - 保持装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 一方の端部から他方の端部に向かってそれぞれ延びるとともに、前記一方の端部に物体を吸着可能な、複数の吸着部と、
前記複数の吸着部を、それぞれ、前記吸着部が延びる方向へ移動可能に支持する支持部と、
前記支持部に対する前記複数の吸着部の移動を制限することにより複数の吸着部を保持する保持部と、
を具備する保持装置。 - 前記支持部は、前記複数の吸着部を平行に移動可能に支持する、請求項1の保持装置。
- 前記保持部は、それぞれの前記吸着部の前記支持部に対する移動を制限する複数の制動部を有する、請求項1又は請求項2の保持装置。
- 前記制動部は、前記吸着部を前記支持部に弾性的に押し付ける弾性部を有する、請求項3の保持装置。
- 前記保持部は、前記支持部に対して相対的に移動可能に設けられ、少なくとも前記複数の吸着部を保持する第1の位置と、前記吸着部の保持を解除する第2の位置との間で移動可能な移動部を有する、請求項1乃至請求項4のいずれか一つの保持装置。
- 前記吸着部は、前記一方の端部に開口された通路が設けられ、当該通路から気体を吸引することで当該吸着部の前記一方の端部に物体を吸着する、請求項1乃至請求項5のいずれか一つの保持装置。
- 前記吸着部は、前記通路が開口された先端部と、当該先端部を移動可能に支持するベース部とを有した、請求項6の保持装置。
- 前記吸着部を当該吸着部の延びる方向に往復移動可能に支持するシリンダと、
前記吸着部に設けられ、前記通路の前記一方の端部側からの気体の流れを許容し、前記通路の前記一方の端部側への気体の流れを制限する逆止弁と、
をさらに具備する請求項6又は請求項7の保持装置。 - 前記支持部は、前記吸着部が重力により移動可能なように前記吸着部を支持する、請求項1乃至請求項7のいずれか一つの保持装置。
- 前記複数の吸着部が格子点状に配置された、請求項1乃至請求項9のいずれか一つの保持装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11120985B2 (en) * | 2017-11-22 | 2021-09-14 | Tokyo Electron Limited | Substrate transfer device, substrate processing system, substrate processing method and computer-readable recording medium |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4088312A (en) * | 1977-09-27 | 1978-05-09 | Nasa | Variable contour securing system |
JPS6222090U (ja) * | 1985-07-25 | 1987-02-10 | ||
JPS62102985A (ja) * | 1985-10-30 | 1987-05-13 | 日立金属株式会社 | ロボツトの把持装置 |
JPH02158596A (ja) * | 1988-10-28 | 1990-06-19 | Festo Kg | 移動具 |
JPH0524289U (ja) * | 1991-09-11 | 1993-03-30 | 日本電気株式会社 | 真空吸着ハンド |
JPH05283512A (ja) * | 1992-03-31 | 1993-10-29 | Oki Electric Ind Co Ltd | ウエハ用真空チャックとこれを用いた半導体装置の製造方法 |
JPH07227786A (ja) * | 1994-02-16 | 1995-08-29 | Nippondenso Co Ltd | 物体の保持装置 |
JPH08264995A (ja) * | 1995-03-28 | 1996-10-11 | Toshiba Fa Syst Eng Kk | 吸着ヘッド |
JPH09285986A (ja) * | 1996-04-23 | 1997-11-04 | Ricoh Co Ltd | エンドエフェクタ |
JP2001162574A (ja) * | 1999-12-13 | 2001-06-19 | Toyota Auto Body Co Ltd | 電磁吸着装置 |
JP2002307356A (ja) * | 2001-02-07 | 2002-10-23 | Nissan Motor Co Ltd | 吸着保持装置 |
US6517050B1 (en) * | 2001-09-28 | 2003-02-11 | Parker-Hannifin Corporation | Two way non leaking flow valve with full-open capability |
JP2010188436A (ja) * | 2009-02-16 | 2010-09-02 | Ihi Corp | ロック機能付き把持装置 |
US20130106126A1 (en) * | 2011-11-02 | 2013-05-02 | AMF Automation Technologies, LLC, d/b/a AMF Baker Systems | End Effector with Internal Valve |
-
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Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4088312A (en) * | 1977-09-27 | 1978-05-09 | Nasa | Variable contour securing system |
JPS6222090U (ja) * | 1985-07-25 | 1987-02-10 | ||
JPS62102985A (ja) * | 1985-10-30 | 1987-05-13 | 日立金属株式会社 | ロボツトの把持装置 |
JPH02158596A (ja) * | 1988-10-28 | 1990-06-19 | Festo Kg | 移動具 |
JPH0524289U (ja) * | 1991-09-11 | 1993-03-30 | 日本電気株式会社 | 真空吸着ハンド |
JPH05283512A (ja) * | 1992-03-31 | 1993-10-29 | Oki Electric Ind Co Ltd | ウエハ用真空チャックとこれを用いた半導体装置の製造方法 |
JPH07227786A (ja) * | 1994-02-16 | 1995-08-29 | Nippondenso Co Ltd | 物体の保持装置 |
JPH08264995A (ja) * | 1995-03-28 | 1996-10-11 | Toshiba Fa Syst Eng Kk | 吸着ヘッド |
JPH09285986A (ja) * | 1996-04-23 | 1997-11-04 | Ricoh Co Ltd | エンドエフェクタ |
JP2001162574A (ja) * | 1999-12-13 | 2001-06-19 | Toyota Auto Body Co Ltd | 電磁吸着装置 |
JP2002307356A (ja) * | 2001-02-07 | 2002-10-23 | Nissan Motor Co Ltd | 吸着保持装置 |
US6517050B1 (en) * | 2001-09-28 | 2003-02-11 | Parker-Hannifin Corporation | Two way non leaking flow valve with full-open capability |
JP2010188436A (ja) * | 2009-02-16 | 2010-09-02 | Ihi Corp | ロック機能付き把持装置 |
US20130106126A1 (en) * | 2011-11-02 | 2013-05-02 | AMF Automation Technologies, LLC, d/b/a AMF Baker Systems | End Effector with Internal Valve |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11120985B2 (en) * | 2017-11-22 | 2021-09-14 | Tokyo Electron Limited | Substrate transfer device, substrate processing system, substrate processing method and computer-readable recording medium |
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