JP2016103548A - クリーンルーム内の手袋交換方法、クリーンルーム用手袋交換ボックス及び光学フィルムまたは半導体関連部材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】クリーンルーム内で手袋が交換される際に発生する異物よって、クリーンルーム内が汚染されないようにする手袋交換方法、クリーンルーム用手袋交換ボックス及び光学フィルムまたは半導体関連部材の製造方法を提供する。
【解決手段】クリーンルーム内に設置され作業者の両手が挿入できる挿入口が設けられたボックス本体と、このボックス本体内の空気を浄化してボックス外へ排出する浄化装置４とを備えたクリーンルーム用手袋交換ボックス１を使用して手袋交換を行い、このクリーンルーム用手袋交換ボックス内において発生する異物を含む空気を浄化装置で浄化して排出し、異物をクリーンルーム用手袋交換ボックス外に漏らさないようにする。
【選択図】図１
【解決手段】クリーンルーム内に設置され作業者の両手が挿入できる挿入口が設けられたボックス本体と、このボックス本体内の空気を浄化してボックス外へ排出する浄化装置４とを備えたクリーンルーム用手袋交換ボックス１を使用して手袋交換を行い、このクリーンルーム用手袋交換ボックス内において発生する異物を含む空気を浄化装置で浄化して排出し、異物をクリーンルーム用手袋交換ボックス外に漏らさないようにする。
【選択図】図１
Description
本発明は、光学フィルム、半導体関連部材等の製造に使用されるクリーンルームにおいて、作業者が装着する手袋を交換するための手袋交換方法、クリーンルーム用手袋交換ボックス及び光学フィルムまたは半導体関連部材の製造方法に関するものである。
液晶ディスプレイ用表面フィルム等の光学フィルム、リードフレーム等の半導体関連部材の製造は、クリーンルーム内で行われるが、このクリーンルーム内では、作業者が手袋を装着して各種作業を行う。そして、作業者は、装着している手袋が破損した場合や専用の手袋が必要な作業を行う場合、装着している手袋を取り外して新しい手袋や専用の手袋を装着する手袋交換を行う。この手袋交換においては、作業者の手の素肌が露出して、その際に異物が発生し、クリーンルーム内が汚染されるという問題があった。
ところで、クリーンルーム内での手袋に起因する汚染に関し、特開２００１−２１０５７０号公報（特許文献１）には、手袋に付着した異物を計測し、計測された異物数と規格値とを照合して手袋の使用可否を判断する手袋管理装置が開示されている。
しかしながら、この手袋管理装置は、汚染された手袋を使用しないようにしてクリーンルーム内の汚染を防止するものであり、手袋交換により発生する異物によってクリーンルーム内が汚染されることを防止するものではない。
したがって、手袋交換時に発生する異物よるクリーンルーム内の汚染に関しては、何ら対策がなされていないのが現状である。
しかしながら、この手袋管理装置は、汚染された手袋を使用しないようにしてクリーンルーム内の汚染を防止するものであり、手袋交換により発生する異物によってクリーンルーム内が汚染されることを防止するものではない。
したがって、手袋交換時に発生する異物よるクリーンルーム内の汚染に関しては、何ら対策がなされていないのが現状である。
本発明が解決しようとする課題は、クリーンルーム内で手袋が交換される際に発生する異物よって、クリーンルーム内が汚染されないようにすることである。
本発明は、クリーンルーム内において吸入口を備えた浄化装置を準備し、該吸入口の下方に粘着シートを配置し、前記吸入口の前方近傍であって前記粘着シートの上方に手袋を装着した作業者の手を置き、前記吸入口から空気を吸入した状態で、前記手袋を取り外して別の手袋を装着する手袋交換を行い、前記浄化装置が、前記手袋交換の際に発生する異物の少なくとも一部を含む空気を前記吸入口から吸入し、この吸入した空気を浄化して排出し、前記手袋交換の際に発生する異物であって、前記吸入口から吸入されずに落下する異物の全部または一部を前記粘着シートに付着させるクリーンルーム内の手袋交換方法を提供して、上記課題を解決するものである。
本発明は、クリーンルーム内に設置され作業者の両手が挿入できる挿入口が設けられたボックス本体と、前記ボックス本体内の空気を浄化して前記ボックス外へ排出する浄化装置とを備えたクリーンルーム用手袋交換ボックスを提供して、上記課題を解決するものである。
本発明は、前記ボックス本体は、ボックスフレームとこれを覆うカバーシートからなるものであるクリーンルーム用手袋交換ボックスを提供して、上記課題を解決するものである。
本発明は、前記カバーシートの正面側には複数のスリットが設けられて前記挿入口が形成されているクリーンルーム用手袋交換ボックスを提供して、上記課題を解決するものである。
本発明は、前記ボックス本体の底面には、落下する異物を付着させる粘着シートが配置されたクリーンルーム用手袋交換ボックスを提供して、上記課題を解決するものである。
本発明は、前記クリーンルーム内の手袋交換方法によって手袋交換を行ったクリーンルーム内において、光学フィルムまたは半導体関連部材を製造する光学フィルムまたは半導体関連部材の製造方法を提供して、上記課題を解決するものである。
本発明は、前記クリーンルーム用手袋交換ボックスを使用して手袋交換を行ったクリーンルーム内において、光学フィルムまたは半導体関連部材を製造する光学フィルムまたは半導体関連部材の製造方法を提供して、上記課題を解決するものである。
本発明のクリーンルーム内の手袋交換方法においては、クリーンルーム内において吸入口を備えた浄化装置を準備し、該吸入口の下方に粘着シートを配置し、前記吸入口の前方近傍であって前記粘着シートの上方に手袋を装着した作業者の手を置き、前記吸入口から空気を吸入した状態で、前記手袋を取り外して別の手袋を装着する手袋交換を行い、前記浄化装置が、前記手袋交換の際に発生する異物の少なくとも一部を含む空気を前記吸入口から吸入し、この吸入した空気を浄化して排出し、前記手袋交換の際に発生する異物であって、前記吸入口から吸入されずに落下する異物の全部または一部を前記粘着シートに付着させるため、クリーンルーム内で手袋が交換される際に発生する異物よって、クリーンルーム内が汚染されることがないという効果を奏する。
本発明のクリーンルーム用手袋交換ボックスは、クリーンルーム内に設置され作業者の両手が挿入できる挿入口が設けられたボックス本体と、前記ボックス本体内の空気を浄化して前記ボックス外へ排出する浄化装置とを備えているため、前記ボックス本体内において手袋交換を行った際に発生する異物を含む空気が、前記浄化装置で浄化されて前記ボックス外へ排出され、クリーンルーム内で手袋が交換される際に発生する異物よって、クリーンルーム内が汚染されることがないという効果を奏する。
本発明のクリーンルーム用手袋交換ボックスにおいては、前記ボックス本体は、ボックスフレームとこれを覆うカバーシートからなるものであるため、簡便な構造のボックス本体とすることができるという効果を奏する。
本発明のクリーンルーム用手袋交換ボックスにおいては、前記カバーシートの正面側には複数のスリットが設けられて前記挿入口が形成されているため、作業者が容易に前記ボックス本体内に手挿入して手袋交換ができるという効果を奏する。
本発明のクリーンルーム用手袋交換ボックスにおいては、前記ボックス本体の底面に落下する異物を付着させる粘着シートが配置されているため、前記ボックス本体内で手袋交換を行った際に発生して落下する異物が前記粘着シートに付着し、クリーンルーム内が汚染されないという効果を奏する。
本発明の光学フィルムまたは半導体関連部材の製造方法においては、前記クリーンルーム内の手袋交換方法によって手袋交換を行ったクリーンルーム内において、光学フィルムまたは半導体関連部材を製造するため、手袋交換によっては汚染されない環境で光学フィルムまたは半導体関連部材を製造できるという効果を奏する。
本発明の光学フィルムまたは半導体関連部材の製造方法においては、前記クリーンルーム用手袋交換ボックスを使用して手袋交換を行ったクリーンルーム内において、光学フィルムまたは半導体関連部材を製造するため、手袋交換によっては汚染されない環境で光学フィルムまたは半導体関連部材を製造できるという効果を奏する。
［クリーンルーム用手袋交換ボックス］
まず、本発明のクリーンルーム用手袋交換ボックスについて説明する。
図１は、本発明のクリーンルーム用手袋交換ボックスの一実施形態の概略構成を示す斜視図であり、図２は、図１に示すクリーンルーム用手袋交換ボックスからカバーシートを外した状態の斜視図であり、図３と図４は、図２に示すカバーシートを外したクリーンルーム用手袋交換ボックスの正面図と右側面図であり、図５は、図１に示すクリーンルーム用手袋交換ボックスのカバーシート部分の斜視図である。図中、１はクリーンルーム用手袋交換ボックス、２はボックスフレーム、３はカバーシート、４は浄化装置、５は粘着シートである。図１に示すように、クリーンルーム用手袋交換ボックス１は、ボックスフレーム２とカバーシート３からなるボックス本体、浄化装置４及び粘着シート５を備えている。
まず、本発明のクリーンルーム用手袋交換ボックスについて説明する。
図１は、本発明のクリーンルーム用手袋交換ボックスの一実施形態の概略構成を示す斜視図であり、図２は、図１に示すクリーンルーム用手袋交換ボックスからカバーシートを外した状態の斜視図であり、図３と図４は、図２に示すカバーシートを外したクリーンルーム用手袋交換ボックスの正面図と右側面図であり、図５は、図１に示すクリーンルーム用手袋交換ボックスのカバーシート部分の斜視図である。図中、１はクリーンルーム用手袋交換ボックス、２はボックスフレーム、３はカバーシート、４は浄化装置、５は粘着シートである。図１に示すように、クリーンルーム用手袋交換ボックス１は、ボックスフレーム２とカバーシート３からなるボックス本体、浄化装置４及び粘着シート５を備えている。
［ボックス本体］
ボックスフレーム２は、上記ボックス本体の骨格を形成するもので、その上面骨格を形成する上面フレーム２１ａ〜２１ｄ、その側面骨格を形成するサイドフレーム２２ａ〜２２ｄ、その底面骨格を形成する底面フレーム２３ａ〜２３ｃ、浄化装置４を支持する支持フレーム２４ａ、２４ｂから構成される。
各ボックスフレーム２は、アルミ等の発塵しない金属あるいはプラスチックからなる角パイプ、角棒等からなり、サイドフレーム２２ａ〜２２ｄに上面フレーム２１ａ〜２１ｄと底面フレーム２３ａ〜２３ｃが溶接あるいは接着により接合される。
また、支持フレーム２４ａ、２４ｂは、上面フレーム２１ｃと底面フレーム２３ｂの間を架け渡すように両フレーム２１ｃ、２３ｂに接合される。
ボックスフレーム２は、上記ボックス本体の骨格を形成するもので、その上面骨格を形成する上面フレーム２１ａ〜２１ｄ、その側面骨格を形成するサイドフレーム２２ａ〜２２ｄ、その底面骨格を形成する底面フレーム２３ａ〜２３ｃ、浄化装置４を支持する支持フレーム２４ａ、２４ｂから構成される。
各ボックスフレーム２は、アルミ等の発塵しない金属あるいはプラスチックからなる角パイプ、角棒等からなり、サイドフレーム２２ａ〜２２ｄに上面フレーム２１ａ〜２１ｄと底面フレーム２３ａ〜２３ｃが溶接あるいは接着により接合される。
また、支持フレーム２４ａ、２４ｂは、上面フレーム２１ｃと底面フレーム２３ｂの間を架け渡すように両フレーム２１ｃ、２３ｂに接合される。
カバーシート３は、図５に示すように上記ボックス本体の各面を形成するもので、その正面を形成する正面シート３１、その左右側面を形成する側面シート３２、３３、その背面を形成する背面シート３４、その上面を形成する上面シート３５、その底面を形成する底面シート３６から構成される。
各カバーシート３（正面シート３１、側面シート３２、３３、背面シート３４、上面シート３５、底面シート３６）は、透明あるいは半透明等の透視でき発塵しないプラスチックシートからなり、各ボックスフレーム２に接着剤等により貼り付けられる。
また、各カバーシート３は、静電気が発生しにくい制電シートを使用するのが好ましい。これにより、手袋交換の際にボックス本体内で発生した異物がカバーシート３に付着するのを防止することができる。
正面シート３１は、鉛直方向にスリット３８が複数設けられたすだれ状となっており、これにより作業者がボックス本体内に両手を挿入できる挿入口が正面シート３１に形成さる。この挿入口は、図６に示すような円形の開口３９であってもよい。
背面シート３４には、浄化装置４からの排気をボックス本体外に排出するための窓孔３７が設けられている。
なお、ボックス本体は、上記のようなボックスフレーム２にカバーシート３を貼り付けたものに限定されず、透明あるいは半透明等の透視でき発塵しないプラスチック板を箱状に形成したものであってもよい。
各カバーシート３（正面シート３１、側面シート３２、３３、背面シート３４、上面シート３５、底面シート３６）は、透明あるいは半透明等の透視でき発塵しないプラスチックシートからなり、各ボックスフレーム２に接着剤等により貼り付けられる。
また、各カバーシート３は、静電気が発生しにくい制電シートを使用するのが好ましい。これにより、手袋交換の際にボックス本体内で発生した異物がカバーシート３に付着するのを防止することができる。
正面シート３１は、鉛直方向にスリット３８が複数設けられたすだれ状となっており、これにより作業者がボックス本体内に両手を挿入できる挿入口が正面シート３１に形成さる。この挿入口は、図６に示すような円形の開口３９であってもよい。
背面シート３４には、浄化装置４からの排気をボックス本体外に排出するための窓孔３７が設けられている。
なお、ボックス本体は、上記のようなボックスフレーム２にカバーシート３を貼り付けたものに限定されず、透明あるいは半透明等の透視でき発塵しないプラスチック板を箱状に形成したものであってもよい。
［浄化装置］
浄化装置４は、吸入口４２を備えたファンユニット４１とフィルターユニット４３から構成され、支持フレーム２４ａ、２４ｂに取付けられる。ファンユニット４１は、吸入口４２から空気を吸入するファンとスイッチ（いずれも図示せず）を備え、フィルターユニット４３は、吸入された空気から異物を除去するフィルター（図示せず）を備えている。
また、上記ファンの風量は、作業者が両手を挿入したボックス本体内の空気圧をボックス本体外の空気圧より低く保てるように設定され、上記フィルターの種類は、ボックス本体が設置されるクリーンルームのクリーン度に応じて選定される。
浄化装置４は、吸入口４２を備えたファンユニット４１とフィルターユニット４３から構成され、支持フレーム２４ａ、２４ｂに取付けられる。ファンユニット４１は、吸入口４２から空気を吸入するファンとスイッチ（いずれも図示せず）を備え、フィルターユニット４３は、吸入された空気から異物を除去するフィルター（図示せず）を備えている。
また、上記ファンの風量は、作業者が両手を挿入したボックス本体内の空気圧をボックス本体外の空気圧より低く保てるように設定され、上記フィルターの種類は、ボックス本体が設置されるクリーンルームのクリーン度に応じて選定される。
［粘着シート］
粘着シート５は、発塵しない基材シートに粘着剤が塗布されたものが使用され、粘着面を上にして、ボックス本体の底面シート３６上に載置される。
また、粘着シート５は、ボックス本体内で作業者が手袋交換を行った場合に落下する異物を捕捉できる大きさに設定され、上記粘着剤は、落下する異物が付着する程度の粘着力を有するものが選定される。
粘着シート５は、発塵しない基材シートに粘着剤が塗布されたものが使用され、粘着面を上にして、ボックス本体の底面シート３６上に載置される。
また、粘着シート５は、ボックス本体内で作業者が手袋交換を行った場合に落下する異物を捕捉できる大きさに設定され、上記粘着剤は、落下する異物が付着する程度の粘着力を有するものが選定される。
［クリーンルーム内の手袋交換方法］
次に、クリールームないにおいて、クリーンルーム用手袋交換ボックス１を使用した手袋交換方法について説明する。
予めクリーンルーム内にクリーンルーム用手袋交換ボックス１を設置しておき、作業者は以下の手順で手袋交換を行う。
(1) 浄化装置４の起動
作業者は、ファンユニット４１のスイッチを入れて浄化装置４を起動する。
これにより、ボックス１内の空気圧は、ボックス１外の空気圧より低く保たれる。
(2) 手袋の交換
作業者は、正面シート３１に設けられたスリット３８で形成された挿入口から、手袋を装着した両手をボックス１内に挿入し、装着していた手袋を取り外し、別の手袋を装着する。
このとき、装着していた手袋を取り外し別の手袋を装着するまでの間に、露出した作業者の肌から異物が発生するが、ボックス１内に浮遊する異物は、ファンユニット４１の吸入口から空気とともに吸入されて、フィルターユニット４３のフイルターで除去されて、浄化された空気がボックス１外に排出される。また、落下する異物は、底面シート３６上に載置された粘着シート５の粘着面に付着する。
(3) 浄化装置４の停止
作業者は、正面シート３１の挿入口から別の手袋を装着した両手を抜き、ファンユニット４１のスイッチを切り、浄化装置４を停止させる。
これにより、作業者は、手袋交換時に発生する異物をボックス１外に漏らすことなく、手袋交換を行うことができる。
次に、クリールームないにおいて、クリーンルーム用手袋交換ボックス１を使用した手袋交換方法について説明する。
予めクリーンルーム内にクリーンルーム用手袋交換ボックス１を設置しておき、作業者は以下の手順で手袋交換を行う。
(1) 浄化装置４の起動
作業者は、ファンユニット４１のスイッチを入れて浄化装置４を起動する。
これにより、ボックス１内の空気圧は、ボックス１外の空気圧より低く保たれる。
(2) 手袋の交換
作業者は、正面シート３１に設けられたスリット３８で形成された挿入口から、手袋を装着した両手をボックス１内に挿入し、装着していた手袋を取り外し、別の手袋を装着する。
このとき、装着していた手袋を取り外し別の手袋を装着するまでの間に、露出した作業者の肌から異物が発生するが、ボックス１内に浮遊する異物は、ファンユニット４１の吸入口から空気とともに吸入されて、フィルターユニット４３のフイルターで除去されて、浄化された空気がボックス１外に排出される。また、落下する異物は、底面シート３６上に載置された粘着シート５の粘着面に付着する。
(3) 浄化装置４の停止
作業者は、正面シート３１の挿入口から別の手袋を装着した両手を抜き、ファンユニット４１のスイッチを切り、浄化装置４を停止させる。
これにより、作業者は、手袋交換時に発生する異物をボックス１外に漏らすことなく、手袋交換を行うことができる。
［光学フィルムまたは半導体関連部材の製造方法］
以上のように、クリーンルーム用手袋交換ボックス１を使用して手袋交換を行うことにより、手袋交換時に発生する異物によってクリーンルーム内が汚染されることが防止できる。
その結果、手袋交換を行っても汚染されないクリーンルーム内おいて、光学フィルムまたは半導体関連部材を製造することができる。
以上のように、クリーンルーム用手袋交換ボックス１を使用して手袋交換を行うことにより、手袋交換時に発生する異物によってクリーンルーム内が汚染されることが防止できる。
その結果、手袋交換を行っても汚染されないクリーンルーム内おいて、光学フィルムまたは半導体関連部材を製造することができる。
本発明のクリーンルーム内の手袋交換方法、クリーンルーム用手袋交換ボックス及び光学フィルムまたは半導体関連部材の製造方法は、クリーンルーム内で手袋が交換される際に発生する異物よってクリーンルーム内が汚染されないようにし、光学フィルムまたは半導体関連部材を製造しうる。
１ クリーンルーム用手袋交換ボックス
２ ボックスフレーム
３ カバーシート
４ 浄化装置
５ 粘着シート
２１ａ〜２１ｄ 上面フレーム
２２ａ〜２２ｄ サイドフレーム
２３ａ〜２３ｃ 底面フレーム
２４ａ、２４ｂ 支持フレーム
３１ 正面シート
３２、３３ 側面シート
３４ 背面シート
３５ 上面シート
３６ 底面シート
３７ 窓孔
３８ スリット
３９ 開口
４１ ファンユニット
４２ 吸入口
４３ フィルターユニット
２ ボックスフレーム
３ カバーシート
４ 浄化装置
５ 粘着シート
２１ａ〜２１ｄ 上面フレーム
２２ａ〜２２ｄ サイドフレーム
２３ａ〜２３ｃ 底面フレーム
２４ａ、２４ｂ 支持フレーム
３１ 正面シート
３２、３３ 側面シート
３４ 背面シート
３５ 上面シート
３６ 底面シート
３７ 窓孔
３８ スリット
３９ 開口
４１ ファンユニット
４２ 吸入口
４３ フィルターユニット
Claims (7)
- クリーンルーム内において吸入口を備えた浄化装置を準備し、該吸入口の下方に粘着シートを配置し、
前記吸入口の前方近傍であって前記粘着シートの上方に手袋を装着した作業者の手を置き、
前記吸入口から空気を吸入した状態で、前記手袋を取り外して別の手袋を装着する手袋交換を行い、
前記浄化装置が、前記手袋交換の際に発生する異物の少なくとも一部を含む空気を前記吸入口から吸入し、この吸入した空気を浄化して排出し、
前記手袋交換の際に発生する異物であって、前記吸入口から吸入されずに落下する異物の全部または一部を前記粘着シートに付着させる
ことを特徴とするクリーンルーム内の手袋交換方法。 - クリーンルーム内に設置され作業者の両手が挿入できる挿入口が設けられたボックス本体と、
前記ボックス本体内の空気を浄化して前記ボックス外へ排出する浄化装置と
を備えたことを特徴とするクリーンルーム用手袋交換ボックス。 - 前記ボックス本体は、ボックスフレームとこれを覆うカバーシートからなることを特徴とする請求項２記載のクリーンルーム用手袋交換ボックス。
- 前記カバーシートの正面側には複数のスリットが設けられて前記挿入口が形成されていることを特徴とする請求項３記載のクリーンルーム用手袋交換ボックス。
- 前記ボックス本体の底面には、落下する異物を付着させる粘着シートが配置されたことを特徴とする請求項２乃至請求項４のいずれか１項記載のクリーンルーム用手袋交換ボックス。
- 請求項１に記載したクリーンルーム内の手袋交換方法によって手袋交換を行ったクリーンルーム内において、光学フィルムまたは半導体関連部材を製造することを特徴とする光学フィルムまたは半導体関連部材の製造方法。
- 請求項２乃至請求項５のいずれか１項に記載したクリーンルーム用手袋交換ボックスを使用して手袋交換を行ったクリーンルーム内において、光学フィルムまたは半導体関連部材を製造することを特徴とする光学フィルムまたは半導体関連部材の製造方法。
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|---|---|---|---|
| JP2014240642A JP6390383B2 (ja) | 2014-11-27 | 2014-11-27 | クリーンルーム内の手袋交換方法、クリーンルーム用手袋交換ボックス及び光学フィルムまたは半導体関連部材の製造方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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