JP2003170129A - 手袋洗浄乾燥装置及び手袋の洗浄乾燥方法 - Google Patents

手袋洗浄乾燥装置及び手袋の洗浄乾燥方法

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JP2003170129A
JP2003170129A JP2001402357A JP2001402357A JP2003170129A JP 2003170129 A JP2003170129 A JP 2003170129A JP 2001402357 A JP2001402357 A JP 2001402357A JP 2001402357 A JP2001402357 A JP 2001402357A JP 2003170129 A JP2003170129 A JP 2003170129A
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gloves
washing
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Toshikatsu Asada
敏勝 浅田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 クリーンルーム等で使用される高作業性を有
する不浸透性素材の手袋の洗浄・乾燥並びに除菌、除
塵、帯電防止を自動化装置により行い、清浄化して再使
用可能とする。 【解決手段】 手袋を通常使用時の形状で保持したまま
洗浄乾燥室に収納する。乾燥洗浄室において手袋の外部
及び内部から手袋の表裏面全体に同時に清浄化された洗
浄水を噴射して洗浄を行い、洗浄終了後、手袋を移動す
ることなく手袋の外部又は内部より手袋の表裏面全体に
除湿された高温乾燥気体を噴射して乾燥を行う。手袋の
清浄化レベルを向上させるため、洗浄水には超純水等を
使用し、洗浄水、乾燥気体及び冷却気体にイオン注入、
オゾン注入を行って、帯電防止効果及び除塵・殺菌効果
を向上させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本願発明は不浸透性素材から
なる手袋を洗浄して再使用可能にする洗浄乾燥装置及び
その方法に関するものであり、特にクリーンルーム等で
使用される手袋の除塵・除菌・帯電防止効果を伴う洗浄
乾燥装置及びその方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体産業、先端産業等の製品製造で
は、製造環境における塵埃等が製品の歩留まりの善し悪
しを決定する一因、あるいは性能に影響を及ぼす一因と
なっている。そのため、製造作業はクリーンルーム内で
行われるが、完全無人化が達成できない限り、クリーン
ルーム内での作業者の人体自体が未だ発塵源として大き
な比重を占めている。この作業者の人体からの汚染の影
響を取り除く目的で種々の方法が用いられているが多く
の課題が残されたままである。発塵の少ない手袋等の使
用もその方法の一つであるが、その清浄度の把握がいま
だ確立されていないのが原状である。
【0003】クリーンルーム内での作業に使用される手
袋は直接製品に触れ、高度の作業性が要求されるもので
あるから、手袋には発塵の少ない柔軟で弾力性のある不
浸透性素材が使用されている。しかし一方において、こ
の素材は通気性の少ない素材であることから、手のひら
からの発汗に起因するナトリウムイオン等の汚染及び手
の指紋等の油分汚染が重大な汚染源となって、手袋の装
着・脱着の際に製品品質に悪影響を及ぼす一因となって
いた。また使用された手袋の汚染清浄化方法も確立され
ておらず、清浄レベルの把握もされていないのが現状で
ある。そのため、手袋に関しては使い捨てが常識であっ
た。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この手袋は高
度の作業性が要求されるとともに高い清浄度が必要なも
のであり、素材開発にも高額の研究投資がされて製作さ
れているものであるから、一回限りの使用のみで廃棄す
ることは、それを使用する産業界においても製造コスト
の上昇をもたらすことになる。また省資源、環境保全の
面からも清浄化による再利用が要求されている。
【0005】本発明は、このような事情に鑑みなされた
もので、その目的とするところは、クリーンルーム等で
使用される高作業性を有する不浸透性素材の手袋の洗浄
乾燥並びに除菌、除塵、帯電防止を自動化された装置に
より行い、洗浄効果の向上を図って再使用可能とするこ
とにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本出願に係る一の発明は手袋装着部を有する着脱可
能な手袋取付治具と、この手袋取付治具を収納し、密閉
して該治具に固定された手袋の外部及び内部から洗浄・
乾燥を行う洗浄乾燥室と、手袋に洗浄水を供給する洗浄
水供給装置と、手袋を乾燥させるために乾燥気体を供給
する乾燥気体供給装置から構成される手袋洗浄乾燥装置
を提供するものである。
【0007】手袋取付治具の手袋装着部は複数の管状部
材を有して構成され、手袋を通常使用時の形状を保持す
ることが可能である。また管状部材には、その先端部お
よび側面部に複数のノズルが設けられ、洗浄時には洗浄
水噴射ノズルから洗浄水を、乾燥時には乾燥気体噴射ノ
ズルから乾燥気体を噴射して手袋内部からも手袋の洗浄
・乾燥ができるようになっている。なお、洗浄水噴射ノ
ズルと乾燥気体噴射ノズルとを共用し、切換使用できる
ように構成することもできる。
【0008】このような構成により、手袋の外部からの
洗浄水の吹きつけと手袋内部からの洗浄水の吹きつけ
を、より効果的には同時に行うことによって、手袋の内
部の隅々まで、特に油分及び発汗による汚れが問題とな
る指先部分まで隈無く洗浄水が吹き付けられるので洗浄
効果が高められるだけでなく、人間の手を触れることな
く急速乾燥、冷却も可能であり二次汚染をほぼ完全に防
止することができるので、手袋の完全な清浄化が達成可
能となる。
【0009】乾燥気体供給装置には温度調整の可能なヒ
ータ部を設け、洗浄乾燥室及び乾燥気体噴射ノズルに高
温乾燥気体を供給可能とする構成の手袋洗浄乾燥装置が
効果的である。また乾燥気体供給装置に気体清浄器を設
けることも効果的である。これにより、乾燥時の洗浄な
高温乾燥気体の吹きつけによる塵埃の付着を防止するこ
とができると共に、熱による殺菌効果も発揮できる。
【0010】また、本願発明に係る手袋洗浄乾燥装置で
は、イオン発生装置を設けて洗浄水及び乾燥気体又はそ
のいずれか一方に正又は負のイオン注入を行う構成にす
ることが効果的である。手袋の洗浄・乾燥を行うと同時
に静電気の発生を防止でき、気体中のダストの吸着がな
くなるため、除塵効果を高めることが可能だからであ
る。さらに、オゾン発生装置を設け、洗浄水及び乾燥気
体又はそのいずれか一方にオゾン注入を行うことも効果
的である。そのような構成にすれば手袋の洗浄時又は乾
燥時に殺菌効果を高めることが可能となる。もちろんイ
オン発生器及びオゾン発生器の両者を同時に備えること
もできる。
【0011】本出願に係る他の発明は手袋の洗浄乾燥方
法に係る発明であり、手袋を通常使用時の形状で保持す
る手袋取付治具に取り付ける第一工程と、この手袋の取
り付けられた該治具を密閉した洗浄乾燥室に収納する第
二工程と、乾燥洗浄室において手袋の外部及び内部から
手袋の表裏面全体に洗浄水を噴射して洗浄を行う第三工
程と、洗浄終了後、手袋取付治具を移動することなく手
袋の外部又は内部より手袋の表裏面全体に高温乾燥気体
を噴射して乾燥を行う第四工程とから構成される。手袋
の内部と外部の洗浄及び乾燥は、同時洗浄、同時乾燥が
効果的である。
【0012】手袋の乾燥終了後に、洗浄乾燥室内に冷却
気体を取り入れて手袋を常温まで冷却する第五工程を加
えた手袋の洗浄乾燥方法とするとより効果的である。こ
の方法は前記手袋洗浄乾燥装置を効果的に稼働させる方
法であり、このような方法によれば、洗浄から乾燥、冷
却まで一貫して行うことができ、洗浄乾燥過程における
再汚染を防止することが可能となる。
【0013】なお、洗浄水及び乾燥気体又はそのいずれ
か一方に正又は負のイオン注入を行い、手袋の洗浄乾燥
を行うと同時に静電気の発生を防止して除塵効果を高め
ること、並びに洗浄水及び乾燥気体又はそのいずれか一
方にオゾン注入を行い、手袋の洗浄時及び乾燥時の殺菌
作業の安全性と殺菌効果を高めることができる。さらに
冷却気体にもイオン又はオゾン或いは両方の注入を行っ
て手袋の冷却時にも帯電防止効果、殺菌効果を高めるこ
とができる。
【0014】
【発明の実施の形態】本発明に係る手袋洗浄乾燥装置の
実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は本洗浄乾
燥装置10の一実施例を示す概略機能図であり、図2は
側面概略断面図である。本装置10はおおよそ、洗浄乾
燥室20,洗浄乾燥室20に収納される手袋取付治具3
0、洗浄水供給装置40、乾燥空気供給装置50を備え
て構成され、クリーンルーム内又は隣接する付属施設に
設置される。なお、本装置10により洗浄対象となる手
袋は主に、クリーンルーム内で使用される柔軟性、弾力
性のあるニトリルゴム、天然ラテックス、塩化ビニル、
ウレタンコーティング、テフロン(登録商標)膜(Po
ly Tetra−Fluoro Ethylene)
等の素材で製造されたものである。
【0015】洗浄乾燥室20は本装置10の上部空間に
おいて立方体状に形成され、正面側は搬出扉11を介し
て本装置外に通じており、背面側は乾燥空気を洗浄乾燥
室内から排出する乾燥空気用ブロワー54の送風口に連
結している。洗浄乾燥室20の下面には手袋取付治具3
0を引出構造で固定する収納枠が設けられている。ま
た、洗浄乾燥室20の上部には、洗浄乾燥ノズル21が
設けられ、上部より洗浄水を散布して該取付治具30に
通常使用時の形状で固定された使用済手袋の表面を外部
より洗浄できるように構成されている。なお、上部に配
置された洗浄乾燥ノズル21は回転又は前後左右への移
動が可能であり、洗浄水を洗浄乾燥室内に隈無く散布す
ることが可能である。
【0016】洗浄乾燥室20に収納される手袋取付治具
30の実施例を図3に示す。手袋取付治具30は、手袋
の取付、取外しを容易にするため、搬出扉11より外部
取り出しが可能なように構成されている。すなわち、手
袋取付治具30には取付台31が設けられ、これが収納
枠に着脱可能に係合して洗浄乾燥室20内に固定され
る。取付台31には洗浄水を噴射する洗浄水噴射ノズル
と乾燥空気噴射ノズルとを兼用する噴射ノズル32が装
備され、この噴射ノズル32が被洗浄物となる手袋の5
本の指部内に挿入されて手袋の使用時の形状を保ちつつ
該取付治具30に取り付けられる。
【0017】一方、取付台31内部にも噴射ノズル32
に連通する管状部材が埋設されており、底部に開口した
取付カプラーが洗浄乾燥室20の下面に開口した給気給
水管33に接続する。取付カプラー(図示しない)は自
動的にシールが可能である。給気給水管33はバルブ切
換によって、洗浄時には洗浄水供給装置40に、乾燥時
には乾燥空気供給装置50に接続される。
【0018】洗浄水供給装置40は給水圧力ポンプ41
と洗浄水タンク42から構成されている。給水圧力ポン
プ41の給水管は切換バルブ43を介して給気給水管3
3に連結され、それぞれ洗浄乾燥ノズル21と洗浄水噴
射ノズル32に連結している。従って、給水圧力ポンプ
41が稼働すると、洗浄水タンク42の洗浄水を揚水加
圧して洗浄水を洗浄乾燥ノズル21と洗浄水噴射ノズル
32から散布、噴射させ、手袋の外部及び内部から洗浄
することができる。手袋の清浄化のためには手袋の内部
と外部の洗浄を同時に行うことが望ましく、また洗浄水
は高い清浄レベルが要求される場合には、超純水又は酸
性水が使用される。
【0019】手袋の汚れ付着が油性の場合等、水洗浄の
みでは除去しがたいケースにおいては、洗浄水に活性剤
を約0.01〜0.2重量パーセントを添加すると洗浄
効果がより高められる。また純粋な窒素ガス、水素ガス
を注入することも有効であることが知られている。手袋
が合成樹脂系素材である場合にあっては、定量ポンプに
より洗浄水に炭酸イオン水を注入することにより乾燥中
の帯電防止効果を高めることができ、洗浄後の手袋への
静電気帯電による空気中の塵埃の吸着を防止することが
できる。
【0020】洗浄後の洗浄水は排水バルブ44を介して
外部に排水させることができる。また排水タンク、排水
浄化装置(共に図示しない)を備えて洗浄水タンク42
に清浄化した洗浄水を戻して循環使用することも可能で
ある。循環使用することにより超純水等の節約を図るこ
とができる。
【0021】乾燥空気供給装置50は本装置10の下部
に設置され、ヒータ部53、空気清浄器52、コンプレ
ッサ56を備えた除湿コイル部51及び乾燥空気用ブロ
ワー54から構成されている。乾燥用空気は一部大気を
取り入れ、温度調節機能を備えるヒータ部53により、
およそ60度Cに加熱される。ヒータ部53の上流側に
は空気清浄器52を設け循環空気を清浄化する。空気清
浄器52はヒータ部53の下流側に設置することが好ま
しいが、空気循環系のいずれの位置に設置することもで
きる。
【0022】空気清浄器52はガラス繊維からなるフィ
ルタなどによって構成される。例えば、粒径0.3μm
の微粒子を99.97%以上の捕集効果で除去できるH
EPAフィルタ(HIGH EFFICIENCY P
ARTICULATE AIR FILTER)又は粒
径0.1μmの微粒子を99.999%以上の捕集効果
で除去できるULPAフィルタ(ULTRA LOW
PENETRATION AIR FILTER)を用
いることができる。この空気清浄器52により乾燥空気
用ブロワー54によって生じた粉塵等も除去することが
できる。通常の細菌類の大きさは0.1μm以上である
ので、ULPAフィルタを使用すれば、細菌類もほぼ完
全に除去することが可能である。
【0023】清浄化された空気はさらにコンプレッサ5
6を備えた除湿コイル部53内を通過して除湿乾燥され
る。手袋乾燥時には、乾燥空気用ブロワー54によって
除湿された乾燥空気が切替バルブ55、給気給水管33
を介して噴射ノズル32から洗浄乾燥室20へ噴出され
る。この空気は乾燥空気用ブロワー54の送風口から室
外に排出されるため、清浄化された空気が洗浄室20内
を循環することになる。
【0024】所定時間の乾燥終了後はヒータ部53を停
止し、循環空気用ダンパー(図示しない)を切り替えて
冷却空気を乾燥空気供給装置50に取り入れ、手袋洗浄
乾燥室20に固定されている手袋を冷却する。このとき
洗浄乾燥室20内の気圧を外部より高くしておけば外部
空気の装置内浸入を防止することができる。なお、乾燥
空気供給装置50に冷却装置を設けて、当該装置内で冷
却空気を生成してもよい。
【0025】また、一般に冷却空気は外気より取り入れ
るため、空気清浄器52で再度清浄化したものが必要と
されるが、この場合、高性能エアフィルター(HEPA
/ULPA)の前段に、プレフィルターとして比色法9
0%程度の中性能フィルター、ケミカルエアフィルタ等
を設備することが好ましい。空気中に浮遊する塵埃を予
め除去して、高性能エアフィルターの寿命を長くするこ
とができる。
【0026】なお、乾燥空気供給装置50にはイオン発
生装置57を設けて、洗浄水、乾燥空気、冷却空気にイ
オン注入を行うことが効果的であり、静電気発生防止効
果を高めることができる。また、殺菌を必要とする場合
には、オゾン発生装置58を設けて、洗浄水、乾燥気
体、冷却空気にオゾン注入を行うことにより、洗浄時、
乾燥時、冷却時のそれぞれにおける殺菌効果を高めるこ
とができる。
【0027】以下、本願発明に係る手袋洗浄乾燥装置の
作用について説明するが、本装置は本願発明に係る手袋
の洗浄乾燥方法を実施するものであるから、同時に手袋
の洗浄乾燥方法についての説明をする。本洗浄乾燥方法
では、まず洗浄する使用済み手袋を通常使用時の形状で
保持することのできる手袋取付治具30に取り付ける。
手袋取付治具30には噴射ノズル32が複数設けられて
おり、このノズルを手袋の指先部分の内部にまで挿入し
て装着する。なお、手袋取付治具30の予備を用意する
ことにより、手袋の洗浄乾燥中に洗浄乾燥の終了した手
袋を該治具30から取り外し、次に洗浄すべき手袋を取
り付けることにより洗浄乾燥装置10を連続的に運転す
ることができる。
【0028】次に、洗浄すべき手袋の取り付けられた該
取付治具30を搬出扉11から洗浄乾燥室20の内部に
収納して、固定し、扉を閉めて密閉する。このとき、取
付台31底部に開口した取付カプラーを洗浄乾燥室20
の下面に開口した給気給水管33に接続する。取付カプ
ラーは自動的にシールが可能である。
【0029】密閉後、給水圧力ポンプ41を稼働させ、
洗浄水タンク42の洗浄水を揚水加圧して洗浄水を洗浄
乾燥室20の上部に位置する洗浄乾燥ノズル21と手袋
の内部に挿入される洗浄水噴射ノズル32から散布噴射
させ、乾燥洗浄室20において手袋の表裏面全体を洗浄
する。洗浄水噴射ノズル32は手袋の5本の手指部、手
の甲及び手の平に当たる部分に噴射孔を有しているの
で、手袋内部の隅々まで洗浄乾燥を行うことができる。
手袋の指先部の洗浄をより完全なものとするため、手袋
の内部と外部の洗浄水の噴射を同時に行うことが好まし
く、洗浄水は高い清浄レベルが要求される場合には、超
純水又は酸性水が使用される。また洗浄水にはイオン
水、オゾン水を使用することが効果的である。
【0030】手袋の洗浄終了後は手袋取付治具30を移
動することなく手袋の乾燥を行う。乾燥は乾燥空気用ブ
ロワ54を始動し、手袋の外部又は内部より手袋の表裏
面全体に高温乾燥気体を噴射して行う。手袋の指先部の
乾燥をより完全なものとするため洗浄時と同様、手袋の
内部と外部の乾燥気体の噴射を同時に行うことが好まし
い。さらに乾燥気体にもオゾン及び正又は負のイオン注
入を行うと殺菌効果、帯電防止効果を高めることができ
る。
【0031】手袋の乾燥終了後は手袋洗浄乾燥室20内
に冷却空気を取り入れて手袋を常温まで冷却する。冷却
空気にもオゾン及び正又は負のイオン注入を行うと殺菌
効果、帯電防止効果を高めることができる。また冷却空
気の排出部においてエアーをサンプリングすれば清浄度
を確認でき、洗浄、乾燥、冷却サイクルのタイマー設定
の妥当性を判断することができる。
【0032】
【実施例】図4に本願発明に係る洗浄乾燥装置を使用し
て手袋の洗浄・乾燥・冷却を行ったシステムフロー及び
そのタイマー設定の一実施例を示す。洗浄は予洗い、本
洗いをそれぞれ30秒から1分程度行い、その後リンス
を3分から5分程度、2回ほど繰り返し行う。さらにオ
ゾン水を2〜3分ほど散布して殺菌を行う。全体の洗浄
時間は手袋の材質・汚れの度合によって多少の時間差が
みられるが、おおよそ9分から15分ほど必要である。
その時間はタイマー等により変更可能である
【0033】次に乾燥気体の噴射により乾燥を行うが、
乾燥時間は温度60度Cで20分ほどが必要である。そ
の後イオン注入気体を1分から2分程散布して手袋から
静電気帯電を防止する(除電を行う)。さらに冷却気体
に切り替えて冷却を行い、その後再び除電を行う。いず
れの場合も除電のためのイオン注入気体の散布は1分か
ら2分程度である。乾燥・冷却をイオン注入気体で行う
場合には除電のための時間は不要となる。最後に排出さ
れる冷却気体のサンプリングを行って塵埃の量を測定
し、その効果を確認する。
【0034】
【発明の効果】本願発明によれば、クリーンルーム等で
使用される高作業性を有する不浸透性素材の手袋の洗浄
乾燥並びに除塵、除菌、帯電防止を自動化された装置に
より行い、洗浄効果、除塵除菌効果の向上を図って再使
用可能とすることができる。当該洗浄乾燥装置をクリー
ンルーム内又は隣接付属施設に設置すれば、集荷、配
送、梱包などの流通コストの削減に繋がるだけでなく、
廃棄物の減量化に役立ち、輸送中の再汚染も防止でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本願発明に係る洗浄乾燥装置の一実施例を示す
概略機能図である。
【図2】本願発明に係る洗浄乾燥装置の一実施例を示す
側面概略断面図である。
【図3】手袋取付治具の実施例を示す斜視図である。
【図4】本願発明に係る手袋の洗浄乾燥方法の一実施例
を示すシステムフロー図である。
【符号の説明】
10 洗浄乾燥装置 11 搬出扉 20 洗浄乾燥室 21 洗浄乾燥ノズル 30 手袋取付治具 31 取付台 32 洗浄水噴射ノズル 33 給気給水管 40 洗浄水供給装置 41 給水圧力ポンプ 42 洗浄水タンク 43、55 切換バルブ 44 排水バルブ 50 乾燥空気供給装置 51 除湿コイル部 52 空気清浄器 53 ヒータ部 54 乾燥空気用ブロワ 56 コンプレッサ 57 イオン発生器 58 オゾン発生器

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 手袋装着部を有する着脱可能な手袋取付
    治具と、この手袋取付治具を収納し、密閉して該装着部
    に固定された手袋の外部及び内部から洗浄・乾燥を行う
    洗浄乾燥室と、前記手袋に洗浄水を供給する洗浄水供給
    装置と、前記手袋を乾燥させるために乾燥気体を供給す
    る乾燥気体供給装置からなる手袋洗浄乾燥装置であっ
    て、 前記手袋取付治具の手袋装着部は複数の管状部材を有し
    て構成され、前記手袋を通常使用時の形状を保持するこ
    とが可能であり、また前記管状部材はそれぞれ先端部お
    よび側面部に複数の噴射孔が設けられた洗浄水噴射ノズ
    ルと乾燥気体噴射ノズルから構成され、洗浄時には前記
    洗浄水噴射ノズルより洗浄水を、乾燥時には前記乾燥気
    体噴射ノズルより乾燥気体を噴射して手袋内部から前記
    手袋の洗浄乾燥を可能としたことを特徴とする手袋洗浄
    乾燥装置。
  2. 【請求項2】 前記乾燥気体供給装置にヒータ部を設
    け、前記洗浄乾燥室及び前記乾燥気体噴射ノズルに高温
    乾燥気体を供給可能とすると共に、乾燥気体中の塵埃、
    細菌類を除去する気体清浄器を設けたことを特徴とする
    請求項1に記載の手袋洗浄乾燥装置。
  3. 【請求項3】 前記洗浄水噴射ノズルと前記乾燥気体噴
    射ノズルとを共用し、切換によって洗浄時には洗浄水を
    噴射し、乾燥時には乾燥気体を噴射して洗浄乾燥を行う
    ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の手袋洗
    浄乾燥装置。
  4. 【請求項4】 イオン発生装置を設け、洗浄水及び乾燥
    気体又はそのいずれか一方に正又は負のイオン注入を行
    い、前記手袋の洗浄・乾燥を行うとともに静電気の発生
    を防止して除塵効果を高めることを特徴とする請求項1
    から請求項3のいずれかに記載の手袋洗浄乾燥装置。
  5. 【請求項5】 オゾン発生装置を設け、洗浄水及び乾燥
    気体又はそのいずれか一方にオゾン注入を行い、前記手
    袋の洗浄時又は乾燥時に殺菌効果を高めることを特徴と
    する請求項1から請求項4のいずれかに記載の手袋洗浄
    乾燥装置。
  6. 【請求項6】 手袋を通常使用時の形状で保持する手袋
    取付治具に取り付ける第一工程と、この手袋の取り付け
    られた該治具を密閉した洗浄乾燥室に収納固定する第二
    工程と、前記乾燥洗浄室において前記手袋の外部及び内
    部から前記手袋の表裏面全体に洗浄水を噴射して洗浄を
    行う第三工程と、洗浄終了後、前記手袋取付治具を移動
    することなく、前記手袋の外部又は内部より前記手袋の
    表裏面全体に高温乾燥気体を噴射して乾燥を行う第四工
    程とからなる手袋の洗浄乾燥方法。
  7. 【請求項7】 前記第三工程において手袋の外面及び内
    面の洗浄を同時に行い、また前記第四工程において手袋
    の外面及び内面の洗浄を同時に行うことを特徴とする請
    求項6に記載の手袋の洗浄乾燥方法。
  8. 【請求項8】 請求項6又は請求項7において、前記手
    袋の乾燥終了後に、前記洗浄乾燥室内に冷却気体を取り
    入れて前記手袋を常温まで冷却する工程を加えたことを
    特徴とする手袋の洗浄乾燥方法。
  9. 【請求項9】 洗浄水及び乾燥気体に正又は負のイオン
    注入を行い、前記手袋の洗浄・乾燥を行うとともに、静
    電気の発生を防止して除塵効果を高めることを特徴とす
    る請求項6から請求項8のいずれかに記載の手袋の洗浄
    乾燥方法。
  10. 【請求項10】 洗浄水及び乾燥気体にオゾン注入を行
    い、前記手袋の洗浄時又は乾燥時に除菌効果を高めるこ
    とを特徴とする請求項6から請求項9のいずれかに記載
    の手袋の洗浄乾燥方法。
  11. 【請求項11】 冷却気体にイオン注入及びオゾン注入
    を行って帯電防止効果、除菌効果を高めることを特徴と
    する請求項8に記載の手袋の洗浄乾燥方法。
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