JP2016102702A - ホールセンサおよびホールセンサの温度によるオフセットの補償方法 - Google Patents
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Abstract
Description
VH=μB(W/L)Vdd
とあらわすことができる。印加磁場Bに比例する係数が磁気感度となるので、このホール素子の磁気感度Khは、
Kh=μ(W/L)Vdd
と表される。
図4はスピニングカレントによるオフセットキャンセル回路の原理を示す回路図である。ホール素子10は対称的な形状で、1対の入力端子に制御電流を流し、他の1対の出力端子から出力電圧を得るために、4端子T1、T2、T3、T4を有している。ホール素子の一方の一対の端子T1、T2が制御電流入力端子となる場合、他方の一対の端子T3、T4がホール電圧出力端子となる。このとき、入力端子に電圧Vinを印加すると、出力端子には出力電圧Vh+Vosが発生する。ここでVhはホール素子が発生する磁場に比例したホール電圧、Vosはオフセット電圧を示している。次に、T3、T4を制御電流出力端子、T1、T2をホール電圧出力端子として、T3、T4間に入力電圧Vinを印加すると、出力端子には電圧−Vh+Vosが発生する。S1〜S4はセンサ端子切替手段であり、切替信号発生器11によりN1あるいはN2の端子が選択される。
しかし、このオフセットキャンセル回路でオフセット電圧を完全にキャンセルすることができない。その理由を以下で説明する。
Vouta = (R2*R4-R1*R3)/(R1+R4)/(R2+R3)*Vin
が出力される。一方、端子T3、T4に電圧Vinを印加すると、T1、T2にはホール電圧
Voutb = (R1*R3-R2*R4)/(R3+R4)/(R1+R2)*Vin
が出力される。
そこで2方向の出力電圧の差をとると、
Vouta-Voutb = (R1-R3)*(R2-R4)*(R2*R4-R1*R3)/(R1+R4)/(R2+R3)/(R3+R4)/(R1+R2)*Vin
となる。したがって、オフセット電圧は各々の等価回路の抵抗R1、R2、R3、R4が異なる場合でもR1=R3あるいはR2=R4であればオフセットをキャンセルすることができる。この場合、電圧を印加する端子を変えても各抵抗値は変化しないことを前提としている。しかし、この前提を満たさない場合、例えば一方向においてR1=R3とした場合でも、他方向においてこの関係を満たすことができなくなった場合、前記の差分をゼロとすることができないため、オフセットをキャンセルすることができなくなる。電圧の印加方向によりオフセットキャンセルができなくなる原因のひとつについて、さらに具体的に説明する。
即ち、半導体基板と、
前記半導体基板上に設けられた、4本の対称軸を持つホール素子と、
前記ホール素子に配置された、制御電流入力端子及びホール電圧出力端子を兼ねる二対の端子と、
前記ホール素子の周囲の前記半導体基板上に設けられた発熱源となる素子と、
4本の対称軸を持つように、前記ホール素子の外側となる前記半導体基板上に配置された複数の温度センサと、
を有するホールセンサとした。
図1は本発明に係る実施形態を表すホールセンサの平面図である。ホールセンサは磁気を感じるホール素子とホール素子を駆動あるいは制御する回路からなっている。
図1のホール素子120のN型高濃度不純物領域の制御電流端子及びホール電圧出力端子110A、110B、110C、110Dは、それぞれ図4のT1、T3、T2、T4に接続される。図5の等価回路を用いると、ここでは室温で温度勾配がない場合はR2=R4が成り立っているとする。このためスピニングカレントによりオフセットをキャンセルすることが可能であることになる。次に、各抵抗の温度が異なっていたり温度勾配があったりすると、各抵抗値は異なってしまう。即ち、R2はR2′となり、R4はR4′となるとする。温度勾配があれば一般にはR2′≠R4′となってしまう。なお、ここで、R1≠R3であり、温度勾配が生じてもR1′≠R3′である。
Vouta = (R2*R4-R1*R3)/(R1+R4)/(R2+R3)*Vin
が出力される。一方、端子T3、T4に電圧Vinを印加すると、電流JS2が流れ、T1、T2にはホール電圧
Voutb = (R1*R3-R2*R4)/(R3+R4)/(R1+R2)*Vin
が出力される。
Vouta-Voutb = (R1-R3)*(R2-R4)*(R2*R4-R1*R3)/(R1+R4)/(R2+R3)/(R3+R4)/(R1+R2)*Vin
しかし、温度勾配が生ずると、抵抗値は異なってしまい、R2はR2′となり、R4はR4′となる。そのため、出力電圧の差は以下の式で表される値となり、ゼロとすることはできなくなる。
Vouta′-Voutb′ = (R1′-R3′)*(R2′-R4′)*(R2′*R4′-R1′*R3′)/(R1′+R4′)/(R2′+R3′)/
(R3′+R4′)/(R1′+R2′)*Vin
しかし、ホール素子と発熱源の位置関係を図2のようにスピニングカレント法による2方向のホール素子制御電流JS1及びJS2のベクトル和VC1の延長線上に発熱源130の中心を合わせることにより、抵抗R2、R4は発熱の影響を受けてR2′、R4′となっても、2方向のホール素子制御電流JS1及びJS2のベクトル和VC1に沿った直線に対し、対称に配置されているので、同じ温度勾配のもとにあることとなり、R2=R4の関係を維持したまま、R2′=R4′となることが可能である。
したがって、出力電圧の差をとると
Vout=Vouta′-Voutb′=0
となり、スピニングカレントによるオフセット電圧が除去可能となる。
110、110A、110B、110C、110D N型高濃度不純物領域
121 N型不純物領域
130 ホール素子駆動回路発熱源
140A、140B、140C、140D 温度センサ
11A、11B、11C、11D ホール電圧出力端子及び制御電流入力端子
2、12 電源
3、13 電圧計
11 切替信号発生器
S1、S2、S3、S4 センサ端子切替手段
T1、T2、T3、T4 端子
R1、R2、R3、R4 抵抗
JS1、JS2 ホール素子の制御電流
VC ホール素子の制御電流のベクトル和
Claims (4)
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に設けられた、4本の対称軸を持つホール素子と、
前記ホール素子に配置された、制御電流入力端子及びホール電圧出力端子を兼ねる二対の端子と、
前記ホール素子の周囲の前記半導体基板上に設けられた発熱源となる素子と、
4本の対称軸を持つように、前記ホール素子の外側となる前記半導体基板上に配置された複数の温度センサと、
を有するホールセンサ。 - 前記ホール素子は平面形状が正方形である請求項1記載のホールセンサ。
- 前記ホール素子は平面形状が十字型である請求項1記載のホールセンサ。
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に設けられた、4本の対称軸を持つホール素子と、
前記ホール素子に配置された、制御電流入力端子及びホール電圧出力端子を兼ねる二対の端子と、
前記ホール素子の周囲の前記半導体基板上に設けられた発熱源となる素子と、
4本の対称軸を持つように、前記ホール素子の外側となる前記半導体基板上に配置された複数の温度センサと、
を有するホールセンサの温度によるオフセットの補償方法であって、
前記二対の端子においては、一対の端子間に流す第1のホール素子制御電流と、他の一対の端子間に流す第2のホール素子制御電流がベクトルとして交わっており、
前記ホール素子は、前記第1のホール素子制御電流と前記第2のホール素子制御電流とのベクトル和が、前記複数の温度センサにより測定された温度の中で最大値と最小値を結んだ直線に対して平行となるように、前記第1および第2のホール素子制御電流を設定することで、前記オフセットを除去するホールセンサの温度によるオフセットの補償方法。
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