JP2016092687A - 発振器の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
これら発振器を構成する発振回路は、通常、チップに形成され、水晶振動子と共にパッケージングされて発振器を構成する。SPXOは、水晶振動子と発振回路(チップ)を1つのパッケージに収めた製品であり、クロック用水晶発振器に用いられる。VCXOは、周波数電圧制御端子を有しており、この点でSPXOとは相違している。
ウエハープロセスは、ウエハーと回路パターンの焼付けに用いるマスクが準備されるときから始まり、ウエハーの各チップ領域に集積回路を作り込む(ウエハー処理工程)、その後、ウエハーのチップを個片化(ダイシング工程)して、これらをパッケージングし、その後、検査工程を経て製品を完成させる。
特許文献1には、発振周波数の電圧制御特性の直線性を確保する電圧制御水晶発振器が開示されている。この発振器は、水晶振動子、反転増幅器、直流カット容量、制御電圧端子、バイアス抵抗及び電圧可変容量素子を備えており、更に電圧可変容量素子に並列接続された発振特性調整用抵抗が設けられている。このような電圧可変容量素子に接続された発振特性調整用抵抗を用いることにより、発振周波数の電圧制御特性の直線性を確保することができ、発振周波数の的確な電圧制御を可能にする。図6には従来のVCXO用の発振回路が示されている。図において110は、制御電圧端子である。また、この図にはチップに外付けされる水晶振動子102が記載されている。
本発明は、このような事情によりなされたもので、異種の発振器を同一のプロセス、マスクを用いて製造することにより、製造効率を上げると共にコストを下げ、且つ省資源に資する発振器の製造方法を提供する。
この実施例では以下の製造方法によって図1に示す発振回路が形成される。即ち、VCXO用発振回路のプロセスを使用すべく回路パターンの焼付けに用いるマスクを準備し、まず、ウエハーの各チップ領域に発振回路を作り込む(ウエハー処理工程)、その後、ウエハーのチップを個片化(ダイシング工程)して、これらをパッケージングし、その後、検査工程を経て製品を完成させる。ここで作られた発振回路は、図4に示すウエハー10に設けられた各チップ8の領域に作り込まれている。図1にはチップ8内の回路構成が開示されており、チップ8の周辺に設けられた外部端子XT、XTNには水晶振動子(図示しない)が反転増幅器と並列に外付けされる。発振器は、この発振回路と水晶振動子とから構成される。なお、図4に示す9は、オリエンテーションフラットを表している。
したがって、周波数電圧制御端子6に電圧が入力しても電圧制御機能は働かず、一般的なSPXO用発振回路になる。この発振回路に水晶振動子を外付けして発振器を構成すれば、SPXOが形成される。
この実施例によるプロセスで形成される発振回路の構成は、図1に示される。そして、この実施例で形成される発振器は、SPXOであり、図2に示すSPXO用発振回路と回路構成が同じである。この発振回路は、SPXOとして製品化され販売される。
実施例1では、VCXO用発振回路を製造するプロセス、マスクを用いてSPXOを量産したが、この実施例では、実施例1で量産したSPXO用発振回路が形成されたウエハーの一部を以下のような処理を施してVCXO用発振回路が形成されたウエハーに変えることに特徴がある。即ち、実施例2では、実施例1のSPXO用発振回路の製造方法によって得られたSPXO用発振回路が形成された一部のウエハーに対して、周波数電圧制御端子6を接地電位から開放するように接地手段7の形態を変更し、VCXO用の発振回路として使用可能にする周波数電圧制御端子開放工程を付加するものである。例えば、接地手段7がヒューズならこれを溶断して周波数電圧制御端子6の電圧制御機能を生じさせる。
以上の構成を有する図3の発振回路に水晶振動子(図示しない)を外付けしてVCXOを形成する。水晶振動子は、チップ8の周辺に設けられた外部端子XT、XTNに反転増幅器1と並列に接続されている。
さらに、図5に示すように、VCXOは、SPXOより生産量がかなり低い。したがって、両者を同じプロセス、マスクで製造すれば、SPXO+VCXOの生産量は、大きくなり、製造効率が向上すると共にVCXO製造のコスト削減が可能になる。
本発明は異種の発振器を同一のプロセス、マスクを用いて製造することに特徴があり、発振器自体の回路構成は、実施例1及び実施例2に示した形態に限らず、実施例3は、前記実施例とは別な回路構成の例である。
図6の発振回路(チップ)28は、入出力端子間に振動子(図示しない)が接続される反転増幅器21と、反転増幅器21に並列に接続された帰還抵抗R23と、反転増幅器21の出力から振動子への経路中に直列に挿入された直流カット容量22及び可変容量素子24と、直流カット容量22と可変容量素子24との接続点と接地端子(GND)との間に接続された抵抗素子R22とを有している。
以上、この実施例では、VCXO用のコストの高いプロセスを用いても、簡単な処理でSPXO及びVCXOを同時に生産できるために、生産効率が向上すると共に、素材であるウエハーを無駄にすることがなく省資源に資するものであり、大量生産によるVCXO製造時のコスト削減が可能になる。
図7の発振回路(チップ)38は、入出力端子間に振動子(図示しない)が接続される反転増幅器31と、反転増幅器31に並列に接続された帰還抵抗R33と、反転増幅器31の出力から振動子への経路中に直列に挿入された直流カット容量32及び可変容量素子34と、直流カット容量32と可変容量素子34との接続点と接地端子(GND)との間に接続された抵抗素子R32とを有している。
そして、可変容量素子34は、カソード側が直流カット容量32に接続され、アノード側が振動子(即ち、端子XTN)に接続されている。また、この発振回路38は、可変容量素子34と直流カット容量32との接続点に対して可変容量素子の容量の可変を可能とする制御電圧を供給する周波数電圧制御端子(VC)36と、周波数電圧制御端子VCと当該接続点との間に接続された周波数電圧制御端子入力抵抗R31とを備え、さらに、実施例1及び実施例2の接地手段に対応する、周波数電圧制御端子36を接地電位に短絡させる接地手段37を備えている。
以上、この実施例では、VCXO用のコストの高いプロセスを用いても、簡単な処理でSPXO及びVCXOを同時に生産できるために、生産効率が向上すると共に、素材であるウエハーを無駄にすることがなく省資源に資するものであり、大量生産によるVCXO製造時のコスト削減が可能になる。
2、3・・・固定容量素子
4、5、24、34・・・可変容量素子
6、26、36・・・周波数電圧制御端子(VC)
7、27、37・・・接地手段
8、28、38・・・チップ(半導体集積回路)
9・・・オリエンテーションフラット
10・・・ウエハー
22、32・・・直流カット容量
61、62・・・接続点
特許文献1には、発振周波数の電圧制御特性の直線性を確保する電圧制御水晶発振器が開示されている。この発振器は、水晶振動子、反転増幅器、直流カット容量、制御電圧端子、バイアス抵抗及び電圧可変容量素子を備えており、更に電圧可変容量素子に並列接続された発振特性調整用抵抗が設けられている。このような電圧可変容量素子に接続された発振特性調整用抵抗を用いることにより、発振周波数の電圧制御特性の直線性を確保することができ、発振周波数の的確な電圧制御を可能にする。図8には従来のVCXO用の発振回路が示されている。図において110は、制御電圧端子である。また、この図にはチップに外付けされる水晶振動子102が記載されている。
Claims (2)
- 入出力端子間に振動子が接続される反転増幅器と、前記反転増幅器に並列に接続された帰還抵抗と、前記振動子に直列に接続される可変容量素子と、前記可変容量素子の容量の可変を可能とするために前記可変容量素子の一端に制御電圧を供給する周波数電圧制御端子と、前記周波数電圧制御端子と前記可変容量素子との間の電流路に挿入された周波数電圧制御端子入力抵抗とを有する発振器の製造方法であって、前記周波数電圧制御端子を接地電位に常時短絡させる接地手段を形成する周波数電圧制御端子接地工程を有することを特徴とする発振器の製造方法。
- 前記周波数電圧制御端子接地工程の後に、前記周波数電圧制御端子を前記接地電位から開放するよう前記接地手段の形態を変更して、前記発振器を電圧制御型発振器として使用可能にする周波数電圧制御端子開放工程を有することを特徴とする請求項1記載の発振器の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014227432A JP2016092687A (ja) | 2014-11-07 | 2014-11-07 | 発振器の製造方法 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07240629A (ja) * | 1994-03-01 | 1995-09-12 | Kinseki Ltd | 電圧制御圧電発振器 |
JPH09214250A (ja) * | 1996-01-19 | 1997-08-15 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 電圧制御水晶発振器 |
JP2005303388A (ja) * | 2004-04-06 | 2005-10-27 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 電圧制御圧電発振器 |
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2014
- 2014-11-07 JP JP2014227432A patent/JP2016092687A/ja not_active Withdrawn
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