JP2016085192A5 - - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- PSHMSSXLYVAENJ-UHFFFAOYSA-N dilithium;[oxido(oxoboranyloxy)boranyl]oxy-oxoboranyloxyborinate Chemical compound [Li+].[Li+].O=BOB([O-])OB([O-])OB=O PSHMSSXLYVAENJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N tantalum pentoxide Inorganic materials O=[Ta](=O)O[Ta](=O)=O PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003327 LiNbO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Description
漏れ振動による面外方向の変位によってジャイロ素子１００に角速度が加わっていない（駆動部としての駆動振動腕２ａ，２ｂにコリオリ力が生じていない）状態においても、検出部としての検出振動腕３ａ，３ｂは、駆動部の面外方向の漏れ振動（変位）に共振して面外方向に屈曲する振動により、電荷を検出してしまう。
（移動体）
次に、前述の実施形態に係る振動素子を備えた移動体について説明する。なお、以下の説明では、振動素子の一例としてジャイロ素子１００を用いた例について説明する。図１２は移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車１５００には実施形態１に係るジャイロ素子１００が搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車１５００には、ジャイロ素子１００を内蔵してタイヤなどを制御する電子制御ユニット１５１０が車体に搭載されている。また、ジャイロ素子１００は、他にもキーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Ｔｉｒｅ Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｕｎｉｔ）に広く適用できる。
次に、前述の実施形態に係る振動素子を備えた移動体について説明する。なお、以下の説明では、振動素子の一例としてジャイロ素子１００を用いた例について説明する。図１２は移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車１５００には実施形態１に係るジャイロ素子１００が搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車１５００には、ジャイロ素子１００を内蔵してタイヤなどを制御する電子制御ユニット１５１０が車体に搭載されている。また、ジャイロ素子１００は、他にもキーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Ｔｉｒｅ Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｕｎｉｔ）に広く適用できる。
以上、実施の形態について具体的に説明したが、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。例えば、上記実施形態では、振動素子あるいは振動素子としてのジャイロ素子の形成材料として水晶を用いた例を説明したが、水晶以外の圧電体材料を用いることができる。例えば、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）や、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7）、ランガサイト（Ｌａ3Ｇａ5ＳｉＯ14）などの酸化物基板や、ガラス基板上に窒化アルミニウムや五酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5）などの圧電体材料を積層させて構成された積層圧電基板、あるいは圧電セラミックスなどを用いることができる。また、圧電体材料以外の材料を用いて振動素子を形成することができる。例えば、シリコン半導体材料などを用いて振動素子を形成することもできる。また、振動素子の振動（駆動）方式は圧電駆動に限らない。圧電基板を用いた圧電駆動型のもの以外に、静電気力を用いた静電駆動型や、磁力を利用したローレンツ駆動型などの振動素子においても、本発明の構成およびその効果を発揮させることができる。
Claims (8)
- 電圧が印加され駆動する駆動部と、
前記駆動部に生じるコリオリ力に応じて電荷が生じる検出部と、を備え、
前記コリオリ力が生じていない状態において前記検出部で検出される電荷量は、前記駆動部を駆動させた時に前記駆動部に発生する電荷量の０％より大きく、かつ０．１％以下であることを特徴とする振動素子。 - 基部を有し、
前記駆動部は、前記基部の厚み方向からの平面視で、前記基部の一方の端部から延出し、
前記検出部は、前記平面視で、前記基部の前記一方の端部とは前記基部を境にして反対側の他方の端部から延出していること、を特徴とする請求項１に記載の振動素子。 - 前記検出部は、前記基部から延出し、前記検出部または前記駆動部を挟むように位置している一対の調整部を含んでいること、を特徴とする請求項２に記載の振動素子。
- 基部と、
前記基部から第１の方向に沿って前記基部の両側に延出している連結部と、を有し、
前記検出部は、前記第１の方向と交差する第２の方向に沿って、前記基部から前記基部の両側に延出し、
前記駆動部は、前記連結部の前記基部の側と反対側の先端部から前記第２の方向に沿って前記連結部の両側に延出しているとともに、前記検出部を挟むように位置していること、を特徴とする請求項１に記載の振動素子。 - 前記駆動部および前記検出部の少なくとも一つは、前記基部の一端側とは反対側の他端側に、錘部を有すること、を特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の振動素子。
- 請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の振動素子と、
少なくとも前記駆動部を励振させる駆動回路を含む電子部品と、
前記振動素子および前記電子部品の少なくとも一方を収容しているパッケージと、を備えていること、を特徴とする電子デバイス。 - 請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の振動素子を備えていること、を特徴とする電子機器。
- 請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の振動素子を備えていること、を特徴とする移動体。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014220040A JP2016085192A (ja) | 2014-10-29 | 2014-10-29 | 振動素子、電子デバイス、電子機器および移動体 |
| US14/921,786 US10001373B2 (en) | 2014-10-29 | 2015-10-23 | Resonator element, electronic device, electronic apparatus, and moving object |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014220040A JP2016085192A (ja) | 2014-10-29 | 2014-10-29 | 振動素子、電子デバイス、電子機器および移動体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016085192A JP2016085192A (ja) | 2016-05-19 |
| JP2016085192A5 true JP2016085192A5 (ja) | 2017-11-24 |
Family
ID=55852323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014220040A Withdrawn JP2016085192A (ja) | 2014-10-29 | 2014-10-29 | 振動素子、電子デバイス、電子機器および移動体 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10001373B2 (ja) |
| JP (1) | JP2016085192A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6256215B2 (ja) * | 2014-06-13 | 2018-01-10 | 株式会社デンソー | 角速度センサ |
| JP6477101B2 (ja) * | 2015-03-23 | 2019-03-06 | セイコーエプソン株式会社 | 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体 |
| JP6477100B2 (ja) * | 2015-03-23 | 2019-03-06 | セイコーエプソン株式会社 | 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体 |
| JP2018152828A (ja) * | 2017-03-15 | 2018-09-27 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、発振器、電子機器および移動体 |
| JP7251385B2 (ja) | 2019-07-30 | 2023-04-04 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、電子機器および移動体 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10132573A (ja) | 1996-10-31 | 1998-05-22 | Kinseki Ltd | 屈曲振動圧電振動子及びその調整方法 |
| JP2002243451A (ja) | 2001-02-19 | 2002-08-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサおよびその特性調整方法 |
| JP4026074B2 (ja) | 2003-06-30 | 2007-12-26 | 有限会社ピエデック技術研究所 | 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器 |
| JP4309814B2 (ja) | 2004-06-30 | 2009-08-05 | Ｎｅｃトーキン株式会社 | 圧電振動ジャイロ用振動子の調整方法 |
| JP5320087B2 (ja) | 2009-01-27 | 2013-10-23 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量検出装置、物理量検出システム及び物理量検出装置の０点電圧調整方法 |
| JP5765087B2 (ja) | 2011-06-27 | 2015-08-19 | セイコーエプソン株式会社 | 屈曲振動片、その製造方法及び電子機器 |
| KR101298289B1 (ko) * | 2011-08-26 | 2013-08-26 | 삼성전기주식회사 | 자이로센서 구동회로, 자이로센서 시스템 및 자이로센서 구동방법 |
| JP5838695B2 (ja) * | 2011-09-29 | 2016-01-06 | セイコーエプソン株式会社 | センサー素子、センサー素子の製造方法、センサーデバイスおよび電子機器 |
| JP2014197010A (ja) * | 2014-05-29 | 2014-10-16 | セイコーエプソン株式会社 | 角速度検出装置及び電子機器 |
-
2014
- 2014-10-29 JP JP2014220040A patent/JP2016085192A/ja not_active Withdrawn
-
2015
- 2015-10-23 US US14/921,786 patent/US10001373B2/en active Active
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