JP2014138415A5 - 基板の加工方法、振動素子の製造方法および振動素子 - Google Patents
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Description
本発明は、基板の加工方法、振動素子の製造方法および振動素子に関するものである。
本発明の目的は、容易かつ低コストで、所望の振動特性を発揮することができる基板の加工方法、振動素子の製造方法および振動素子を提供することにある。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
[適用例1]
本適用例の基板の加工方法は、ウエットエッチングにより、基板を薄肉化する薄肉化工程と、
プラズマ処理により、前記基板を平坦化する平坦化工程と、
を含むことを特徴とする。
これにより、容易かつ低コストで、例えば、振動素子に適用した場合に所望の振動特性を発揮することができる基板が得られる。
[適用例2]
本適用例の基板の加工方法では、前記薄肉化工程は、前記基板の両主面側から薄肉化を行うことが好ましい。
これにより、基板表面付近に存在しているダメージ層(亀裂等、機械的なダメージを負っている層)を効果的に除去することができる。
[適用例3]
本適用例の基板の加工方法では、前記平坦化工程の後に、前記基板の少なくとも一方の主面側に凹陥部を形成する凹陥部形成工程を含むことが好ましい。
[適用例1]
本適用例の基板の加工方法は、ウエットエッチングにより、基板を薄肉化する薄肉化工程と、
プラズマ処理により、前記基板を平坦化する平坦化工程と、
を含むことを特徴とする。
これにより、容易かつ低コストで、例えば、振動素子に適用した場合に所望の振動特性を発揮することができる基板が得られる。
[適用例2]
本適用例の基板の加工方法では、前記薄肉化工程は、前記基板の両主面側から薄肉化を行うことが好ましい。
これにより、基板表面付近に存在しているダメージ層(亀裂等、機械的なダメージを負っている層)を効果的に除去することができる。
[適用例3]
本適用例の基板の加工方法では、前記平坦化工程の後に、前記基板の少なくとも一方の主面側に凹陥部を形成する凹陥部形成工程を含むことが好ましい。
[適用例4]
本適用例の基板の加工方法では、前記凹陥部形成工程では、前記基板に複数の前記凹陥部を形成し、
前記凹陥部形成工程の後に、前記基板の前記凹陥部が形成されていない厚肉部が前記凹陥部の外縁の少なくとも一部に沿って残るように、前記基板を個片化する個片化工程を含むことが好ましい。
これにより、複数の基板を同時に形成することができるため、製造コストをより抑えることができる。
本適用例の基板の加工方法では、前記凹陥部形成工程では、前記基板に複数の前記凹陥部を形成し、
前記凹陥部形成工程の後に、前記基板の前記凹陥部が形成されていない厚肉部が前記凹陥部の外縁の少なくとも一部に沿って残るように、前記基板を個片化する個片化工程を含むことが好ましい。
これにより、複数の基板を同時に形成することができるため、製造コストをより抑えることができる。
[適用例5]
本適用例の基板の加工方法では、前記凹陥部形成工程は、ウエットエッチングにより行うのが好ましい。
これにより、簡単、正確かつ低コストで、基板に凹陥部を形成することができる。
[適用例6]
本適用例の基板の加工方法では、前記凹陥部形成工程では、平面視で前記基板の両主面にそれぞれ前記凹陥部が重なるように形成するのが好ましい。
これにより、各凹陥部の深さを浅くすることができるため、より精度よく凹陥部を形成することができる。
本適用例の基板の加工方法では、前記凹陥部形成工程は、ウエットエッチングにより行うのが好ましい。
これにより、簡単、正確かつ低コストで、基板に凹陥部を形成することができる。
[適用例6]
本適用例の基板の加工方法では、前記凹陥部形成工程では、平面視で前記基板の両主面にそれぞれ前記凹陥部が重なるように形成するのが好ましい。
これにより、各凹陥部の深さを浅くすることができるため、より精度よく凹陥部を形成することができる。
[適用例7]
本適用例の基板の加工方法では、前記凹陥部の深さは、70μm以下であるのが好ましい。
これにより、凹陥部の深さを十分に浅くすることができるため、より精度よく凹陥部を形成することができる。
[適用例8]
本適用例の振動素子の製造方法は、前記基板は圧電基板であり、
上記のいずれかの適用例に記載の基板の加工方法によって前記圧電基板を加工することを特徴とする。
[適用例9]
本適用例の振動素子は、基板の少なくとも一方の主面側に凹陥部を備え、
前記基板の前記主面は、プラズマ処理面であり、
前記凹陥部の内面は、ウエットエッチング面であることを特徴とする。
本適用例の基板の加工方法では、前記凹陥部の深さは、70μm以下であるのが好ましい。
これにより、凹陥部の深さを十分に浅くすることができるため、より精度よく凹陥部を形成することができる。
[適用例8]
本適用例の振動素子の製造方法は、前記基板は圧電基板であり、
上記のいずれかの適用例に記載の基板の加工方法によって前記圧電基板を加工することを特徴とする。
[適用例9]
本適用例の振動素子は、基板の少なくとも一方の主面側に凹陥部を備え、
前記基板の前記主面は、プラズマ処理面であり、
前記凹陥部の内面は、ウエットエッチング面であることを特徴とする。
以下、本発明の基板の加工方法、振動素子の製造方法および振動素子を図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
<第1実施形態>
図1は、振動素子の構成例を示す斜視図、図2は、図1に示す振動素子の平面図、図3は、ATカット水晶基板と水晶の結晶軸との関係を説明する図、図4は、図1に示す振動素子を対象物に固定した状態を示す側面図、図5は、図1に示す振動素子の他の構成例を示す斜視図、図6は、図1に示す振動素子の製造方法を説明するための断面図、図7は、プラズマ処理装置の一例を示す図、図8ないし図10は、それぞれ、図1に示す振動素子の製造方法を説明するための断面図である。
<第1実施形態>
図1は、振動素子の構成例を示す斜視図、図2は、図1に示す振動素子の平面図、図3は、ATカット水晶基板と水晶の結晶軸との関係を説明する図、図4は、図1に示す振動素子を対象物に固定した状態を示す側面図、図5は、図1に示す振動素子の他の構成例を示す斜視図、図6は、図1に示す振動素子の製造方法を説明するための断面図、図7は、プラズマ処理装置の一例を示す図、図8ないし図10は、それぞれ、図1に示す振動素子の製造方法を説明するための断面図である。
1−2.振動素子の製造方法
次に、振動素子1の製造方法(本発明の基板の加工方法、振動素子の製造方法)について説明する。
振動素子1の製造方法は、圧電基板20を薄肉化する薄肉化工程と、圧電基板20を平坦化する平坦化工程と、圧電基板20の表面に複数の凹陥部203を形成する凹陥部形成工程と、圧電基板20に作り込まれた複数の圧電基板2を個片化する個片化工程と、圧電基板2に電極3を形成する電極形成工程とを含む。
次に、振動素子1の製造方法(本発明の基板の加工方法、振動素子の製造方法)について説明する。
振動素子1の製造方法は、圧電基板20を薄肉化する薄肉化工程と、圧電基板20を平坦化する平坦化工程と、圧電基板20の表面に複数の凹陥部203を形成する凹陥部形成工程と、圧電基板20に作り込まれた複数の圧電基板2を個片化する個片化工程と、圧電基板2に電極3を形成する電極形成工程とを含む。
5.移動体
次に、振動素子を適用した移動体について説明する。
図21は、移動体の一例としての自動車を示す斜視図である。自動車1500には、振動子10(振動素子1)が搭載されている。振動子10は、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム(ABS)、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット(ECU:electronic control unit)に広く適用できる。
以上、本発明の基板の加工方法、振動素子の製造方法および振動素子について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、前述した各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
次に、振動素子を適用した移動体について説明する。
図21は、移動体の一例としての自動車を示す斜視図である。自動車1500には、振動子10(振動素子1)が搭載されている。振動子10は、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム(ABS)、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット(ECU:electronic control unit)に広く適用できる。
以上、本発明の基板の加工方法、振動素子の製造方法および振動素子について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、前述した各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
Claims (9)
- ウエットエッチングにより、基板を薄肉化する薄肉化工程と、
プラズマ処理により、前記基板を平坦化する平坦化工程と、
を含むことを特徴とする基板の加工方法。 - 前記薄肉化工程は、前記基板の両主面側から薄肉化を行う請求項1に記載の基板の加工方法。
- 前記平坦化工程の後に、前記基板の少なくとも一方の主面側に凹陥部を形成する凹陥部形成工程を含む請求項1または2に記載の基板の加工方法。
- 前記凹陥部形成工程では、前記基板に複数の前記凹陥部を形成し、
前記凹陥部形成工程の後に、前記基板の前記凹陥部が形成されていない厚肉部が前記凹陥部の外縁の少なくとも一部に沿って残るように、前記基板を個片化する個片化工程を含む請求項3に記載の基板の加工方法。 - 前記凹陥部形成工程は、ウエットエッチングにより行う請求項3または4に記載の基板の加工方法。
- 前記凹陥部形成工程では、平面視で前記基板の両主面にそれぞれ前記凹陥部が重なるように形成する請求項3ないし5のいずれか1項に記載の基板の加工方法。
- 前記凹陥部の深さは、70μm以下である請求項3ないし6のいずれか1項に記載の基板の加工方法。
- 前記基板は圧電基板であり、
請求項1ないし7のいずれか1項に記載の基板の加工方法によって前記圧電基板を加工することを特徴とする振動素子の製造方法。 - 基板の少なくとも一方の主面側に凹陥部を備え、
前記基板の前記主面は、プラズマ処理面であり、
前記凹陥部の内面は、ウエットエッチング面であることを特徴とする振動素子。
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2013007914A Active JP6472941B2 (ja) | 2013-01-18 | 2013-01-18 | Atカット水晶基板の加工方法および振動素子の製造方法 |
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JP3952811B2 (ja) * | 2002-03-11 | 2007-08-01 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電デバイス |
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