JP2016084260A - セラミック基体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明のセラミック基体は、主面に垂直な断面において、前記主面に沿った方向が長軸である紡錘形状の孔を厚み方向に複数有している。このような構成を満たす本発明のセラミック基体は、紡錘形状の孔の長軸が、主面方向に沿ったものであることから、厚み方向に沿ったものよりも機械的特性が高く、かつ、孔の存在によって、焼成や熱処理などの繰り返し掛かる熱負荷によって生じた微小亀裂の進展を抑制することができるため、優れた高温耐性を有しており、長期間にわたって使用することができる。
【選択図】 図1
Description
原料を用意し、これに焼結助剤、バインダ、溶媒および分散剤等を所定量添加して混合したスラリーを噴霧造粒法(スプレードライ法)により噴霧乾燥して造粒し、1次原料とする。
圧力を加え、その後、約50〜70℃の室温で約10〜15時間乾燥させることによって積層成形体を得ることができる。なお、積層成形体を得た後に、フライス盤などを用いてドリル加工を施してもよい。
1:主面
2:紡錘形状の孔
3:中空部
Claims (4)
- 主面に垂直な断面において、前記主面に沿った方向が長径である紡錘形状の孔を厚み方向に複数有していることを特徴とするセラミック基体。
- 前記断面において、それぞれの前記紡錘形状の孔における前記長径の中点の鉛直線が前記厚み内で重ならないことを特徴とする請求項1に記載のセラミック基体。
- 中空部を有していることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のセラミック基体。
- 前記中空部を前記厚み方向に層状に有しており、前記断面において、上層中空部の中心の鉛直線と、該上層のすぐ下に位置する下層中空部の中心の鉛直線とが重ならないことを特徴とする請求項3に記載のセラミック基体。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022004582A1 (ja) * | 2020-06-30 | 2022-01-06 | 京セラ株式会社 | 耐熱容器 |
JP7496661B2 (ja) | 2020-02-27 | 2024-06-07 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミック接合体およびその製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS623796B2 (ja) * | 1979-06-22 | 1987-01-27 | Kurosaki Refractories Co | |
JPH1179853A (ja) * | 1997-09-09 | 1999-03-23 | Tosoh Corp | 焼成用セッターおよびその製造方法 |
JP2006036624A (ja) * | 2004-06-23 | 2006-02-09 | Kyocera Corp | 摺動部材用多孔質セラミックスとその製造方法及びこれを用いたメカニカルシールリング |
JP2007084368A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Kyocera Corp | セラミックス摺動部材とその製造方法およびこれを用いたメカニカルシールリング用部材並びにメカニカルシールリング |
WO2014017661A1 (ja) * | 2012-07-27 | 2014-01-30 | 京セラ株式会社 | 流路部材およびこれを用いた熱交換器ならびに半導体製造装置 |
-
2014
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS623796B2 (ja) * | 1979-06-22 | 1987-01-27 | Kurosaki Refractories Co | |
JPH1179853A (ja) * | 1997-09-09 | 1999-03-23 | Tosoh Corp | 焼成用セッターおよびその製造方法 |
JP2006036624A (ja) * | 2004-06-23 | 2006-02-09 | Kyocera Corp | 摺動部材用多孔質セラミックスとその製造方法及びこれを用いたメカニカルシールリング |
JP2007084368A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Kyocera Corp | セラミックス摺動部材とその製造方法およびこれを用いたメカニカルシールリング用部材並びにメカニカルシールリング |
WO2014017661A1 (ja) * | 2012-07-27 | 2014-01-30 | 京セラ株式会社 | 流路部材およびこれを用いた熱交換器ならびに半導体製造装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7496661B2 (ja) | 2020-02-27 | 2024-06-07 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミック接合体およびその製造方法 |
WO2022004582A1 (ja) * | 2020-06-30 | 2022-01-06 | 京セラ株式会社 | 耐熱容器 |
JP7483887B2 (ja) | 2020-06-30 | 2024-05-15 | 京セラ株式会社 | 耐熱容器 |
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