JP2016082216A - 被処理体の温度制御機構、及び多層膜から窒化膜を選択的にエッチングする方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 被処理体の冷却及び加熱が可能であると共に、精密な温度制御が可能である被処理体の温度制御機構を提供する。【解決手段】 一実施形態の温度制御機構は、温度制御機構は、加熱可能な可動ステージであり、その上面に被処理体を載置する該可動ステージと、可動ステージの下方に固定配置される冷却可能な冷却体と、可動ステージに連結される一端、及び、冷却体の下方に配置される他端を有し、該一端と該他端との間で延在するシャフトであり、他端に設けられた第1のフランジ、及び、該第1のフランジと冷却体との間に設けられた第2のフランジとを有する、該シャフトと、第2のフランジに面する上面、及び、該上面と反対側の下面を有し、第1のフランジと第2のフランジとの間に設けられた駆動プレートと、駆動プレートの下面と第1のフランジとの間に設けられた弾性体と、駆動プレートを上下方向に移動させる駆動装置と、を備える。【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、被処理体の温度制御機構、及び多層膜から窒化膜を選択的にエッチングする方法に関する。
半導体デバイスの製造では、被処理体に微細なパターンを形成するために、被処理体を冷却する工程と被処理体を加熱する工程とを交互に実行して被処理体をエッチングすることがある。被処理体の冷却と被処理体の加熱は、個別の装置を用いてそれぞれ行われることが一般的である。このように、被処理体の冷却と被処理体の加熱のために個別の装置を用いる場合には、被処理体を冷却するための装置と被処理体を加熱するための装置との間で頻繁に被処理体を搬送する必要が生じる。このため、被処理体の処理スループットが低下する。
このスループットの低下に対処するために、被処理体の冷却と被処理体の加熱を同一の装置内で行うための機構が開発されている(例えば、特許文献1を参照)。特許文献1に記載の機構は、冷却プレート、ヒータプレート、及び離隔ピンを備えている。冷却プレートの内部には流路が形成されており、冷却プレートの温度は、当該流路に冷媒が供給されることにより低温に維持される。ヒータプレートには、薄膜ヒータが設けられており、当該ヒータプレートは、その上面の上に被処理体を載置する。また、離隔ピンは、その先端においてヒータプレートに連結されており、ヒータプレートを上下方向に移動可能としている。
この機構では、被処理体を加熱するときには、離隔ピンと共にヒータプレートを上方に移動して冷却プレートに対して離間させる。そして、薄膜ヒータによってヒータプレートを加熱することで被処理体を加熱する。反対に、被処理体を冷却する場合には、離隔ピンと共にヒータプレートを下方に移動して当該ヒータプレートを冷却プレートの上面に接触させる。これにより、冷却プレートにヒータプレートの熱を吸収させ、ヒータプレート上の被処理体を冷却している。
上述のように特許文献1に記載の機構は、ヒータプレートを上下方向に移動することによって、被処理体の温度を制御する。しかしながら、この機構では、ヒータプレートと冷却プレートとが自重で接触した状態、及び、ヒータプレートと冷却プレートとが離間した状態の二通りの状態のうち一方しか選択できないので、被処理体の温度を精密に制御することが困難である。
したがって、本技術分野では、被処理体の冷却及び加熱が可能であると共に、精密な温度制御が可能である被処理体の温度制御機構を提供することが要求されている。
本発明の一態様では、被処理体の温度制御機構が提供される。この温度制御機構は、加熱可能な可動ステージであり、その上面に被処理体を載置する該可動ステージと、可動ステージの下方に固定配置される冷却可能な冷却体と、可動ステージに連結される一端、及び、冷却体の下方に配置される他端を有し、該一端と該他端との間で延在するシャフトであり、他端に設けられた第1のフランジ、及び、該第1のフランジと冷却体との間に設けられた第2のフランジとを有する、該シャフトと、第2のフランジに面する上面、及び、該上面と反対側の下面を有し、第1のフランジと第2のフランジとの間に設けられた駆動プレートと、駆動プレートの下面と第1のフランジとの間に設けられた弾性体と、駆動プレートを上下方向に移動させる駆動装置と、を備える。
この温度制御機構では、駆動プレートが上方に移動すると、駆動プレートが第2のフランジに当接することによって可動ステージに対して上方に向かう力が伝達される。これにより、可動ステージが上方に移動して冷却体から離間する。その結果、可動ステージと冷却体との熱交換が遮断される。そして、可動ステージが冷却体から離間した状態において、可動ステージを加熱することにより被処理体を急速に加熱することが可能となる。反対に、駆動プレートが下方に移動すると、弾性体を介して下方に向かう力が可動ステージに伝達される。これにより、可動ステージが下方に移動して冷却体に接触し、当該可動ステージが冷却される。また、この温度制御機構では、駆動プレートが下方に移動することにより発揮される力は弾性体を介して可動ステージに伝達されるので、可動ステージと冷却体との接触圧力は駆動プレートの下方への移動量に応じて調整され得る。本温度制御機構では、このように、可動ステージと冷却体との接触圧力を調整することにより、可動ステージと冷却体と間の接触熱抵抗を調整することが可能である。したがって、駆動プレートの下方への移動量を制御することで可動ステージと冷却体の熱交換量を調整することができる。故に、本温度制御機構によれば、精密な温度制御を行うことができる。
一実施形態では、弾性体は、コイル状のバネであり、バネは、駆動プレートが最上昇位置に配置されるときに、自然長又は自然長よりも長い長さを有するように構成されていてもよい。また、一実施形態では、駆動装置は、鉛直方向に延在し、駆動プレートに接続する駆動軸と、駆動プレートが上下方向に移動するように駆動軸を移動させるモータと、を有していてもよい。
一実施形態では、可動ステージは、ヒータを有していてもよい。また、一実施形態では、冷却体の内部には、冷媒用の流路が形成されていてもよい。
本発明の一態様では、上述の温度制御機構を用いて、酸化膜及び窒化膜が交互に積層された多層膜を有する被処理体から窒化膜を選択的にエッチングする方法が提供される。この方法は、被処理体を可動ステージの上面に載置する工程と、駆動プレートを下方に移動させ、可動ステージを冷却体に接触させる工程と、可動ステージを冷却体に接触させる工程の後、フッ素及び水素を含む処理ガスのプラズマによって多層膜から窒化膜を選択的にエッチングする工程と、窒化膜をエッチングする工程の後、駆動プレートを上方に移動させ、可動ステージを冷却体から離間させる工程と、可動ステージを冷却体から離間させる工程の後、可動ステージを加熱し、窒化膜をエッチングする工程において発生した反応生成物を除去する工程と、を含む。
上記方法では、被処理体を冷却して窒化膜をエッチングする工程と、被処理体を加熱して反応生成物を除去する工程とが含まれる。このような方法を上述の温度制御機構を用いて行うことにより、被処理体の冷却及び加熱が同一装置内で行うことができるので処理スループットを向上させることが可能となる。さらに、本方法では、上記温度制御機構を用いて行うことにより、被処理体の冷却する際に短時間で被処理体の温度を目標温度に収束させることができる。したがって、処理スループットを更に向上させることが可能となる。
被処理体の冷却及び加熱が可能であると共に、精密な温度制御が可能である。
以下、図面を参照して種々の実施形態について詳細に説明する。なお、各図面において同一又は相当の部分に対しては同一の符号を附すこととする。
まず、図1及び図2を参照して、一実施形態の温度制御機構を備えるプラズマ処理装置について説明する。図1は、一実施形態に係るプラズマ処理装置を概略的に示す断面図である。
プラズマ処理装置10は、処理容器12を備えている。処理容器12は、軸線Zを中心とする略円筒形状を有しており、その内部空間として処理空間Sを画成している。処理容器の下部には、温度制御機構TCが設けられている。温度制御機構TCは、被処理体Wを保持し、当該被処理体Wを選択的に冷却又は加熱する機能を有している。この温度制御機構TCの詳細については、後述する。
処理容器12の天井部には、板状誘電体40が設けられている。板状誘電体40は、例えば石英ガラスやセラミック等で構成されており、温度制御機構TCの後述する可動ステージ16に対向するように設けられている。板状誘電体40は、例えば円板状に形成されており、処理容器12の天井部に形成された開口を塞ぐように気密に取り付けられている。
処理容器12には、ガス供給部42が接続されている。ガス供給部42は、処理空間Sにガスを供給する。具体的に、ガス供給部42は、フッ素(F)及び水素(H)を含有するガスを供給する。また、ガス供給部42は、窒素ガス(N2)を処理空間Sに供給してもよい。さらに、ガス供給部42は、酸素ガス(O2)やアルゴンガス(Ar)を処理空間Sに供給してもよい。
処理容器12の底部には、処理容器12内の雰囲気を排出する排気部50が排気管52を介して接続されている。排気部50は、例えば真空ポンプにより構成され、処理容器12内を所定の圧力まで減圧し得るようになっている。
処理容器12の側壁部にはウエハ搬出入口54が形成され、ウエハ搬出入口54にはゲートバルブ56が設けられている。例えば被処理体Wの搬入の際には、ゲートバルブ56が開かれ、被処理体Wが処理容器12内の可動ステージ16上に載置される。その後、ゲートバルブ56が閉じられ、被処理体Wの処理が行われる。
処理容器12の天井部には、板状誘電体40の上側面(外側面)に対面配置された平面状の高周波アンテナ60と、高周波アンテナ60を覆うシールド部材80が配設されている。図2は、高周波アンテナ60の平面図である。高周波アンテナ60は、大別すると板状誘電体40の中央部に配置された内側アンテナ素子62Aと、その外周を囲むように配置された外側アンテナ素子62Bとで構成されている。内側アンテナ素子62A、外側アンテナ素子62Bはそれぞれ、例えば銅、アルミニウム、ステンレスなどの導体で構成された渦巻きコイル状に形成され得る。
内側アンテナ素子62A及び外側アンテナ素子62Bは共に、複数の挟持体64に挟持されて一体となっている。各挟持体64は、例えば、図2に示すように棒状に形成されており、これらの挟持体64は、内側アンテナ素子62Aの中央付近から外側アンテナ素子62Bの外側に張り出すように放射状に配置されている。図2は、内側アンテナ素子62A及び外側アンテナ素子62Bを3つの挟持体64で挟持した場合の具体例である。
シールド部材80は、内側アンテナ素子62Aを囲むように各アンテナ素子62A、62Bの間に設けられた筒状の内側シールド壁82Aと、外側アンテナ素子62Bを囲むように設けられた筒状の外側シールド壁82Bとを備えている。これにより、板状誘電体40の上側面は、内側シールド壁82Aの内側の中央部(中央ゾーン)と、各シールド壁82A、82Bの間の周縁部(周縁ゾーン)に分けられる。
内側アンテナ素子62A上には、内側シールド壁82Aの開口を塞ぐように円板状の内側シールド板84Aが設けられている。外側アンテナ素子62B上には、各シールド壁82A、82Bの間の開口を塞ぐようにドーナツ板状の外側シールド板84Bが設けられている。また、内側シールド板84A、外側シールド板84Bはそれぞれ、アクチュエータ88A、88Bによって別々に高さが調整できるようになっている。
アンテナ素子62A、62Bにはそれぞれ、高周波電源70A、70Bがそれぞれ接続されている。これにより、内側アンテナ素子62A及び外側アンテナ素子62Bには同じ周波数又は異なる周波数の高周波を印加できる。内側アンテナ素子62Aに高周波電源70Aから所定の周波数(例えば40MHz)の高周波を所定のパワーで供給すると、処理容器12内に形成された誘導磁界によって、処理容器12内に導入されたガスが励起され、被処理体W上の中央部にドーナツ型のプラズマが生成される。
また、外側アンテナ素子62Bに高周波電源70Bから所定の周波数(例えば60MHz)の高周波を所定のパワーで供給すると、処理容器12内に形成された誘導磁界によって、処理容器12内に導入されたガスが励起され、被処理体W上の周縁部に別のドーナツ型のプラズマが生成される。
以下、温度制御機構TCについて詳細に説明する。温度制御機構TCは、被処理体の温度を制御するために利用される。温度制御機構TCは、冷却体14、可動ステージ16、シャフト18、駆動プレート20、駆動装置22及び弾性体24を有している。
可動ステージ16は、略円盤形状を有しており、処理容器12内に配置されている。この可動ステージ16は、後述するように駆動プレート20の上下方向への移動に伴って、冷却体14から離間する方向、及び、冷却体14に接近する方向、即ち、上下方向に移動可能に構成されている。一実施形態では、可動ステージ16は、導電膜である電極28を含んでおり、電極28を一対の絶縁層又は絶縁シート間に配置した構造を有している。この電極28には、直流電源PSが電気的に接続されている。一実施形態では、可動ステージ16は、直流電源PSからの直流電圧により生じたクーロン力により被処理体Wを吸着保持する静電チャックとして利用される。
また、可動ステージ16の内部には、加熱素子であるヒータHTが埋め込まれていてもよい。このヒータHTには、ヒータ電源HPに電気的に接続されている。なお、ヒータHTは、可動ステージ16を加熱可能であれば可動ステージ16の内部に埋め込まれていなくてもよい。例えば、ヒータHTとしては、可動ステージ16の表面に密着する薄膜ヒータや、可動ステージ16の上方から赤外線を放射して可動ステージを輻射加熱する輻射ヒータ等の任意のヒータを採用し得る。このヒータHTは、ヒータ電源HPから供給された電力によって可動ステージ16の温度を第1の温度まで加熱することが可能である。第1の温度は、後述する第2の温度よりも高い温度であり、例えば200℃である。このように、可動ステージ16は加熱可能に構成されている。
可動ステージ16の下方には、冷却体14が設けられている。この冷却体14は、略円板形状を有しており、処理容器12内において可動ステージ16の下方に固定配置されている。冷却体14を固定するために、プラズマ処理装置10は、筒状保持部27を更に備えている。筒状保持部27は、処理容器12の下部に設けられており、冷却体14の側面及び底面の縁部に接して冷却体14を保持している。冷却体14は、その上面に接触した可動ステージ16から熱を奪うことで可動ステージ16を冷却するために利用される。
また、冷却体14の内部には、冷媒流路15が形成されており、冷媒流路15には、冷媒入口配管、冷媒出口配管が接続されている。冷媒入口配管及び冷媒出口配管は、チラーユニット26に接続されている。チラーユニット26は、冷媒を第1の温度に冷却し、当該冷媒を入口配管を介して冷媒流路15に供給する。第2の温度は、第1の温度よりも低い温度であり、例えば−50℃である。冷媒流路15に供給された冷媒は、冷媒出口配管からチラーユニット26に戻るよう循環する。このように冷却体14は、冷媒が冷媒流路15を循環させることによって冷却体14の温度を第2の温度に冷却可能に構成されている。
また、冷却体14には、軸線Zに沿って冷却体14を貫通する貫通孔14cが設けられている。貫通孔14c内には、伸縮自在な筒状のベローズ25が設けられている。ベローズ25の一端は可動ステージ16の下面に連結されており、ベローズ25の他端は駆動プレート20の上面に連結されている。ベローズ25は、ヒータHTとヒータ電源HPとを接続する配線、及び、電極28と直流電源PSとを接続する配線を挿通させるための空間を提供する。
さらに、冷却体14には、貫通孔14cよりも径方向外側の位置において、当該冷却体14を厚さ方向に貫通する複数の貫通孔14hが形成されている。これらの貫通孔14hのそれぞれには、シャフト18が挿入されている。なお、図1に示す例では、冷却体14に複数の貫通孔14hが形成されており、温度制御機構TCはこれらの貫通孔14hに挿入される複数のシャフト18を有しているが、かかる構成に限定されるものではない。即ち、冷却体14に一つの貫通孔14hが形成されていてもよく、温度制御機構TCは当該貫通孔14hに挿入される一つのシャフト18のみを有していてもよい。以下、温度制御機構TCが複数のシャフト18を有する例について説明する。
複数のシャフト18は、可動ステージ16に連結されている。具体的に、各シャフト18は、一端(上端)及び他端(下端)を有している。各シャフト18の一端は、可動ステージ16の下面に連結されている。また、各シャフト18は、対応の貫通孔14hを通って、駆動プレート20の下方まで鉛直方向に延在している。したがって、各シャフト18の他端は、駆動プレート20の下方に配置される。
複数のシャフト18の各々には、第1のフランジ18a及び第2のフランジ18bが設けられている。第1のフランジ18aは、例えば平板形状を有しており、シャフト18の他端に設けられている。第2のフランジ18bは、例えば円錐形状を有している。第2のフランジ18bは、シャフト18の一端と他端との間、且つ、第1のフランジ18aと冷却体14との間に設けられている。第1のフランジ18a及び第2のフランジ18bは、シャフト18の長手方向に直交する方向、即ち径方向において、シャフト18の他の部分よりも突出している。具体的には、一端と第2のフランジ18bとの間の部分、及び、第2のフランジ18bと第1のフランジ18aの間の部分では、シャフト18の直径はD1である。また、第1のフランジ18aの直径はD2であり、第2のフランジ18bの直径はD3である。直径D2及び直径D3は、直径D1よりも大きくなっている。また、直径D1は、貫通孔14hの直径及び後述する貫通孔20hの直径よりも小さく、直径D2及び直径D3は、貫通孔14hの直径及び後述する貫通孔20hの直径よりも大きくなっている。
第1のフランジ18aと第2のフランジ18bとの間には、駆動プレート20が設けられている。駆動プレート20は、略円板形状を有しており、冷却体14の下方に設けられている。駆動プレート20は、第2のフランジ18bに面する上面20a、及び、当該上面20aと反対側の下面20bを有している。駆動プレート20は、上面20aが冷却体14の下面に対面するように配置されている。また、駆動プレート20には、当該駆動プレート20を厚さ方向に貫通する上述の複数の貫通孔20hが形成されている。これらの貫通孔20hは、冷却体14に形成された複数の貫通孔14hと対面する位置に形成されている。複数の貫通孔20hの各々には、シャフト18の第1のフランジ18aと第2のフランジ18bの間の部分が挿入されている。
駆動プレート20には、駆動装置22が連結されている。駆動装置22は、駆動軸30及びモータMを含んでいる。駆動軸30は、軸線Zに沿って鉛直方向に延在している。この駆動軸30の一端(上端)は、駆動プレート20に接続されている。また、駆動軸30の他端(下端)は、モータMに接続されている。モータMは、駆動軸30を軸線Z方向、即ち上下方向に沿って移動させるための駆動力を駆動軸30に付与する。駆動軸30は、例えばボールねじであり、モータMの回転運動を軸線Z方向の直線運動に変換することにより軸線Z方向に沿って移動する。このように駆動装置22は、駆動プレート20を軸線Z方向、即ち上下方向に移動させる。なお、図1に示す冷却体14の下面と駆動プレート20の下面20bとの間の距離P、駆動プレート20の下面20bと第1のフランジ18aとの間の距離Qは、駆動プレート20の上下方向の移動に伴って変化する。
駆動プレート20の下面20bと第1のフランジ18aとの間には弾性体24が設けられている。弾性体24は、一例では、円筒形のコイル状のバネである。この例では、弾性体24は、シャフト18と同軸に設けられている。なお、弾性体24は、弾性物から構成されていればよく、バネに限定されない。弾性体24は、駆動プレート20が下降すると駆動プレート20の下面20bと第1のフランジ18aとによって挟まれ、圧縮される方向に弾性変形する。弾性体24が圧縮されると、当該弾性体24は、第1のフランジ18aを下方に押し下げる反力を発生する。これにより、冷却体14に向かう方向(即ち、下方)への力がシャフト18を介して可動ステージ16に伝達される。
一実施形態においては、プラズマ処理装置10は、温度制御機構TCを含むプラズマ処理装置10の各部を制御する制御部100を更に備え得る。制御部100は、プログラム可能なコンピュータ装置といった制御器であり得る。制御部100は、レシピに基づくプログラムに従ってプラズマ処理装置10の各部を制御し得る。例えば、制御部100は、駆動装置22のモータMに制御信号を送出して、駆動プレート20の上下方向の位置を制御する。また、制御部100は、アンテナ素子62Aに供給される電力、アンテナ素子62Bに供給される電力、処理容器12内の圧力、処理容器12内に供給されるガス種並びにガス流量を制御するように、高周波電源70A、高周波電源70B、排気部50、ガス供給部42に制御信号を供給し得る。さらに、制御部100は、ヒータHTの温度を調整するために、ヒータ電源HPに制御信号を送出し得る。このように制御部100は、プラズマ処理装置10により所望の処理が実行されるよう、処理レシピに従ってプラズマ処理装置10の各部を制御する。
次に、図3及び図4を参照して、一実施形態の温度制御機構の動作について説明する。図3は、可動ステージ16の上面に載置された被処理体Wを加熱するときの温度制御機構TCの動作を説明する図である。図4は、可動ステージ16の上面に載置された被処理体Wを冷却するときの温度制御機構TCの動作を説明する図である。
図3に示すように、被処理体Wを加熱するときには、まず温度制御機構TCの駆動プレート20が上方に移動される。これにより、駆動プレート20の上面20aが第2のフランジ18bに接触し、可動ステージ16を上方に移動させる力がシャフト18を介して当該可動ステージ16に伝達される。これにより、可動ステージ16が上方に移動し、当該可動ステージ16が冷却体14から離間する。この状態では、図3に示すように、冷却体14の下面と駆動プレート20の下面20bとの間の距離P1は、図1に示した冷却体14の下面と駆動プレート20の下面20bとの間の距離Pよりも小さくなる。一方、駆動プレート20の下面20bと第1のフランジ18aとの間の距離Q1は、図1に示した駆動プレート20の下面20bと第1のフランジ18aとの間の距離Qよりも大きくなる。なお、この際、ベローズ25は、軸線Z方向に伸展し、当該ベローズ25の一端及び他端は可動ステージ16及び駆動プレート20の動きに追随して移動する。
次いで、可動ステージ16が冷却体14に対して離間した状態において、ヒータHTによって可動ステージ16が加熱される。図3に示すように可動ステージ16が冷却体14に対して上昇した状態では、可動ステージ16は空間を介して冷却体14から離間する。したがって、この状態では、可動ステージ16から冷却体14に向かう熱流束を遮断することができる。特に、プラズマ処理中には、可動ステージ16と冷却体14との間の空間は真空となるため、可動ステージ16と冷却体14との間の熱交換を実質的に無くすことができる。
一方、被処理体Wを冷却するときには、図4に示すように、温度制御機構TCの駆動プレート20が下方に移動される。これにより、駆動プレート20の下面20bが弾性体24を押圧し、弾性体24が駆動プレート20と第1のフランジ18aとの間で圧縮される。これに伴い、可動ステージ16を下方に移動させる力がシャフト18を介して当該可動ステージ16に伝達される。これにより、可動ステージ16が下方に移動して、当該可動ステージ16が冷却体14に対して接触する。この状態では、図4に示すように、冷却体14の下面と駆動プレート20の下面20bとの間の距離P2は、図1に示した冷却体14の下面と駆動プレート20の下面20bとの間の距離P以上の距離となる。一方、駆動プレート20の下面20bと第1のフランジ18aとの間の距離Q2は、図1に示した駆動プレート20の下面20bと第1のフランジ18aとの間の距離Q以下となる。
ここで、可動ステージ16の下面と冷却体14の上面との間には、駆動プレート20の位置に応じた接触圧力が発生する。具体的には、駆動プレート20の下方への移動量が大きいほど、弾性体24の圧縮量、即ち、弾性体24の弾性エネルギーが大きくなる。したがって、駆動プレート20の下方への移動量が大きいほど、可動ステージ16が冷却体14に押しつけられる方向の力が大きくなり、その結果、可動ステージ16と冷却体14の接触圧力が大きくなる。
可動ステージ16と冷却体14とが接触しているときには、可動ステージ16から冷却体14に熱が移動するが、移動する熱量は可動ステージ16と冷却体14との間の接触熱抵抗に依存する。接触熱抵抗とは、互いに接触する2つの物体間において熱の移動のし難さを示す指標であり、接触面の表面粗さ、接触物の材料、接触圧力、物体間に介在する物質等に依存する。したがって、温度制御機構TCでは、駆動プレート20の下方への移動量を調整することによって、可動ステージ16と冷却体14との間の接触熱抵抗を調整することができる。具体的には、駆動プレート20の下方への移動量が大きくなるほど、可動ステージ16と冷却体14との間の接触熱抵抗が小さくなる。
なお、温度制御機構TCを図3に示すように動作させて被処理体Wを加熱する際、又は、温度制御機構TCを図4に示すように動作させて被処理体Wを冷却する際には、可動ステージ16の電極28に電圧を印加して、被処理体Wを可動ステージ16に静電吸着させてもよい。このように被処理体Wを可動ステージ16に静電吸着させことで、被処理体Wと可動ステージ16との間の接触圧力を大きくすることができる。これにより、被処理体Wをより短時間で加熱又は冷却することが可能となる。
次に、接触熱抵抗と被処理体が目標温度に収束するまでに要する時間との関係について説明する。この関係を説明するために、直径300mm、厚さ5mmを有するアルミニウム製の冷却体14と、直径300mm、厚さ5mmを有する炭化ケイ素(SiC)製の可動ステージ16とからなる数値モデルを設定し、このモデルの冷却体14及び可動ステージ16を接触させたときの、駆動プレートの上面に載置された被処理体Wの温度の時間変化を数値解析により求めた。なお、この数値解析では、被処理体Wは直径300mmのシリコンウエハとした。また、この数値解析では、冷却体14及び可動ステージ16との間の接触熱抵抗(m2・K/W)をパラメータとして種々に変更した。
図5(a)は、可動ステージ16の初期温度を150℃、冷却体14の温度を0℃としときの数値解析結果を示している。図5(b)は、可動ステージ16の初期温度を150℃とし、冷却体14の温度を−50℃としときの数値解析結果を示している。
図5(a)(b)に示すように、冷却体14の温度に関わらず、可動ステージ16と冷却体14との間の接触熱抵抗が小さいほど被処理体Wは短時間で冷却されることが確認される。この結果から、可動ステージ16と冷却体14との間の接触圧力を大きくするほど、単位時間当たりの熱交換量を大きくすることができ、その結果、基板を短時間で冷却することができることが確認された。故に、可動ステージ16と冷却体14との接触圧力を調整することが可能な温度制御機構TCは、被処理体Wを短時間で冷却する能力を有することが確認された。
この温度制御機構TCには、駆動プレート20とバネとの連結又は非連結、及び、可動ステージ16の下面が冷却体14の上面から離間するときの駆動プレート20の位置に関して種々の構成例が考えられる。これら温度制御機構TCの構成例はそれぞれ、駆動プレート20の位置と接触熱抵抗との特有の関係を有している。即ち、これら温度制御機構TCの構成例の各々の駆動プレート20の位置と接触熱抵抗との関係は、当該構成例中の他の構成例の駆動プレート20の位置と接触熱抵抗との関係とは異なっている。以下では、まず、これら構成例の駆動プレート20の位置と接触熱抵抗との関係を説明するために定義すべきパラメータについて、説明する。
図6は、駆動プレート20の位置を説明するための図である。図6では、駆動プレート20の上下方向の位置を変数xとして表している。図6に示すように、駆動プレート20の下面の位置と自然長の弾性体24の上端位置とが一致するときの、駆動プレート20の位置は、x=0の位置である。また、x=0の位置よりも駆動プレート20が下方にあるときは、当該駆動プレート20の位置はx>0の位置である。また、x=0の位置よりも駆動プレート20が上方にあるときには、当該駆動プレート20の位置はx<0の位置である。
また、x軸上の位置Luは、駆動プレート20の上方向の動作限界位置(最上昇位置)であり、位置Ldは、駆動プレート20の下方向の動作限界位置(最下降位置)である。また、x軸上の位置Lfは、駆動プレート20を下方から上方に移動させていき、可動ステージ16の下面が冷却体14の上面から離間するときの駆動プレート20の位置を示している。さらに、弾性体24の弾性係数(例えば、バネ定数)をk、可動ステージ16の質量をm、可動ステージ16から冷却体14への荷重に対する接触熱抵抗の変化率を示す係数をαと定義する。以下、これらのパラメータを用いて四種類の温度制御機構の構成例について説明する。
[構成例1]
構成例1では、弾性体24の上端が駆動プレート20の下面20bに連結されており、且つ、位置Lfが0以下(Lf≦0)になるように温度制御機構TCが設計されている。図7(a)は、構成例1の温度制御機構において、駆動プレート20がx軸上の位置Lu、Lf、0、Ldそれぞれにあるときの可動ステージ16、シャフト18、及び弾性体24の状態を示す模式図である。この構成例1では、x<0であるとき(例えば、駆動プレートが最上昇位置に配置されるとき)に、弾性体24が自然長又は自然長よりも長い長さを有するように構成されている。
構成例1では、弾性体24の上端が駆動プレート20の下面20bに連結されており、且つ、位置Lfが0以下(Lf≦0)になるように温度制御機構TCが設計されている。図7(a)は、構成例1の温度制御機構において、駆動プレート20がx軸上の位置Lu、Lf、0、Ldそれぞれにあるときの可動ステージ16、シャフト18、及び弾性体24の状態を示す模式図である。この構成例1では、x<0であるとき(例えば、駆動プレートが最上昇位置に配置されるとき)に、弾性体24が自然長又は自然長よりも長い長さを有するように構成されている。
図7(b)は、構成例1における駆動プレート20の位置と接触熱抵抗との関係を示している。図7(a)に示すように、構成例1において駆動プレート20がLu≦x<Lfの位置に配置されている場合には、可動ステージ16が冷却体14から離間している。したがって、駆動プレート20がLu≦x<Lfの位置に配置されている場合には、図7(b)に示すように駆動プレート20と冷却体14との間の接触熱抵抗は実質的に無限大となる。
また、駆動プレート20がLf≦x≦Ldの範囲内に配置されている場合には、弾性体24が弾性変形し、可動ステージ16と冷却体14との間に駆動プレート20の位置に応じた接触圧力が発生する。この接触圧力はm・g+k・x[Pa/m2]で表される。したがって、駆動プレート20がLf≦x≦Ldの範囲内に配置されている場合には、駆動プレート20と冷却体14との間の接触熱抵抗は、α/(m・g+k・x)[K/W]で表される。
図7(b)に示すように、構成例1では、駆動プレート20と冷却体14との間の接触熱抵抗をα/(m・g+k・Lf)〜α/(m・g+k・Ld)の範囲で線形に制御することが可能である。特に、この構成例1では、駆動プレート20がLf≦x<0の範囲内に配置されているときに、弾性体24が自然長又は自然長よりも長い長さを有するように構成されている。したがって、Lf≦x<0の範囲内では、弾性体24が引張力を発揮して、これによって可動ステージ16に対して上方に向かう力が付与されることになる。このため、駆動プレート20がx=Lfの位置に配置されている場合には、駆動プレート20がx=0の位置に配置されている場合よりも、駆動プレート20と冷却体14との間の接触熱抵抗を大きくすることができる。したがって、構成例1の温度制御機構では、接触熱抵抗の制御範囲を広くすることが可能となる。
[構成例2]
次いで、構成例2の温度制御機構について説明する。構成例2では、弾性体24の上端が駆動プレート20の下面20bに連結されており、且つ、位置Lfが0より大きく(Lf>0)になるように温度制御機構TCが設計されている。図8(a)は、構成例2の温度制御機構において、駆動プレート20がx軸上の位置Lu、Lf、Ldそれぞれにあるときの可動ステージ16、シャフト18、及び弾性体24の状態を示す模式図である。
次いで、構成例2の温度制御機構について説明する。構成例2では、弾性体24の上端が駆動プレート20の下面20bに連結されており、且つ、位置Lfが0より大きく(Lf>0)になるように温度制御機構TCが設計されている。図8(a)は、構成例2の温度制御機構において、駆動プレート20がx軸上の位置Lu、Lf、Ldそれぞれにあるときの可動ステージ16、シャフト18、及び弾性体24の状態を示す模式図である。
図8(b)は、構成例2における駆動プレート20の位置と接触熱抵抗との関係を示している。図8(a)に示すように、構成例2では、駆動プレート20がLu≦x<Lfの範囲内に配置されている場合には、可動ステージ16と冷却体14とが離間されている。したがって、駆動プレート20がLu≦x<Lfの位置に配置されている場合には、図8(b)に示すように、駆動プレート20と冷却体14との間の接触熱抵抗は実質的に無限大となる。
また、駆動プレート20がLf≦x≦Ldの範囲内に配置されている場合には、弾性体24が弾性変形し、可動ステージ16と冷却体14との間に駆動プレート20の位置に応じた接触圧力が発生する。この接触圧力はm・g+k・x[Pa/m2]で表される。したがって、駆動プレート20がLf≦x≦Ldの範囲内に配置されている場合には、駆動プレート20と冷却体14との間の接触熱抵抗は、α/(m・g+k・x)[K/W]で表される。
図8(b)に示すように、構成例2においても、駆動プレート20と冷却体14との間の接触熱抵抗をα/(m・g+k・Lf)〜α/(m・g+k・Ld)の範囲で線形に制御することが可能である。この構成例2では、構成例1と同様に、x<0であるときに、弾性体24が自然長又は自然長よりも長い長さを有するように構成されている。ただし、構成例2では、可動ステージ16の位置がx=Lfとなったときに、弾性体24が自然長よりも短くなるように圧縮されている。このため、駆動プレート20がLu≦x<Lfの範囲内に配置されている場合には、弾性体24は、常に可動ステージ16と冷却体14との接触圧力を大きくするような荷重を可動ステージ16に付与することになる。したがって、構成例2の温度制御機構では、構成例1と比較して接触熱抵抗の制御範囲が狭くなる。
[構成例3]
次いで、構成例3の温度制御機構について説明する。構成例3では、弾性体24の上端が駆動プレートの下面に連結されておらず、位置Lfが0以下(Lf≦0)になるように温度制御機構TCが設計されている。図9(a)は、構成例3の温度制御機構において、駆動プレート20がx軸上の位置Lu、Lf、0、Ldそれぞれにあるときの可動ステージ16、シャフト18、及び弾性体24の状態を示す模式図である。
次いで、構成例3の温度制御機構について説明する。構成例3では、弾性体24の上端が駆動プレートの下面に連結されておらず、位置Lfが0以下(Lf≦0)になるように温度制御機構TCが設計されている。図9(a)は、構成例3の温度制御機構において、駆動プレート20がx軸上の位置Lu、Lf、0、Ldそれぞれにあるときの可動ステージ16、シャフト18、及び弾性体24の状態を示す模式図である。
図9(b)は、構成例3における駆動プレート20の位置と接触熱抵抗との関係を示している。図9(a)に示すように、構成例3では、駆動プレート20がLu≦x<Lfの範囲内に配置されている場合には、可動ステージ16と冷却体14とが離間されている。したがって、駆動プレート20がLu≦x<Lfの位置に配置されている場合には、図9(b)に示すように、駆動プレート20と冷却体14との間の接触熱抵抗は実質的に無限大となる。
また、駆動プレート20がLf≦x<0の範囲内に配置されている場合には、可動ステージ16が冷却体14に接触しているが、駆動プレート20は弾性体24に接触していない。したがって、駆動プレート20がLf≦x<0の範囲内で移動したとしても、可動ステージ16と冷却体14との接触圧力はm・g[Pa/m2]に維持される。このため、駆動プレート20がLf≦x<0の範囲内に配置されている場合には、駆動プレート20と冷却体14との間の接触熱抵抗は、(α/m・g)[K/W]で表される。
また、駆動プレート20が0≦x≦Ldの範囲内に配置されている場合には、弾性体24が弾性変形し、可動ステージ16と冷却体14との間に駆動プレート20の位置に応じた接触圧力が発生する。この接触圧力はm・g+k・x[Pa/m2]で表される。したがって、駆動プレート20が0≦x≦Ldの範囲内に配置されている場合には、駆動プレート20と冷却体14との間の接触熱抵抗は、α/(m・g+k・x)[K/W]で表される。図9に示すように、構成例3の温度制御機構では、駆動プレート20と冷却体14との間の接触熱抵抗をα/(m・g)〜α/(m・g+k・Ld)の範囲内で制御することが可能である。
[構成例4]
次いで、構成例4の温度制御機構について説明する。構成例4では、弾性体24の上端が駆動プレートの下面に連結されておらず、位置Lfが0より大きく(Lf>0)になるように温度制御機構が設計されている。図10(a)は、構成例4の温度制御機構において、駆動プレート20がx軸上の位置Lu、Lf、Ldそれぞれにあるときの可動ステージ16、シャフト18、及び弾性体24の状態を示す模式図である。
次いで、構成例4の温度制御機構について説明する。構成例4では、弾性体24の上端が駆動プレートの下面に連結されておらず、位置Lfが0より大きく(Lf>0)になるように温度制御機構が設計されている。図10(a)は、構成例4の温度制御機構において、駆動プレート20がx軸上の位置Lu、Lf、Ldそれぞれにあるときの可動ステージ16、シャフト18、及び弾性体24の状態を示す模式図である。
図10(b)は、構成例4における駆動プレート20の位置と接触熱抵抗との関係を示している。図10(a)に示すように、構成例4では、駆動プレート20がLu≦x<Lfの範囲内に配置されている場合には、可動ステージ16と冷却体14とが離間している。したがって、図10(b)に示すように、駆動プレート20がLu≦x<Lfの位置に配置されている場合には、駆動プレート20と冷却体14との間の接触熱抵抗は実質的に無限大となる。
また、駆動プレート20がLf≦x≦Ldの範囲内に配置されている場合には、弾性体24が弾性変形し、可動ステージ16と冷却体14との間に駆動プレート20の位置に応じた接触圧力が発生する。この接触圧力はm・g+k・x[Pa/m2]で表される。したがって、駆動プレート20がLf≦x≦Ldの範囲内に配置されている場合には、弾性体24が可動ステージ16と冷却体14との接触圧力を大きくするような荷重を可動ステージ16に伝達するので、駆動プレート20と冷却体14との間の接触熱抵抗は、α/(m・g+k・x)[K/W]で表される。
図10に示すように、構成例4の温度制御機構では、駆動プレート20と冷却体14との間の接触熱抵抗をα/(m・g+k・Lf)〜α/(m・g+k・Ld)の範囲内で制御することが可能である。
なお、位置Lf>0の関係を有する上述の構成例2及び構成例4では、接触熱抵抗の制御範囲は、弾性体24の弾性係数kを変化させることよっても調整することが可能である。線形に接触熱抵抗を制御可能な範囲内において、接触熱抵抗の上限値と下限値との差をβとすると、βは下記式(1)のように表される。
Lf>0の場合には、弾性係数kを下記式(2)が満たされるように設定すると上記式(1)で表されるβが極大値をとる。即ち、弾性体24の弾性係数kを下記式(2)が満たされるように設計することで、温度制御機構TCによる接触熱抵抗の制御範囲を最も大きくすることができる。
以上説明したように、温度制御機構TCでは、可動ステージ16を上方に移動させて当該可動ステージ16を冷却体14から離間させることができる。可動ステージ16が冷却体14から離間すると、可動ステージ16と冷却体14との熱交換が遮断される。したがって、可動ステージ16と冷却体14とを離間させた状態で可動ステージ16を加熱することで被処理体Wを急速に加熱することが可能となる。
また、温度制御機構TCでは、可動ステージ16を下方に移動させて当該可動ステージ16を冷却体14に接触させることができる。可動ステージ16と冷却体14との接触圧力は駆動プレート20の下方への移動量に応じて調整される。したがって、駆動プレート20の下方への移動量を制御することで可動ステージ16と冷却体14との間の熱交換量を調整することができる。故に、本温度制御機構TCによれば、精密な温度制御を行うことができる。
さらに、この温度制御機構TCでは、例えば被処理体Wの温度と目標温度との差異が大きい場合には接触熱抵抗が小さくなるように駆動プレート20を制御し、被処理体Wの温度と目標温度との差異が小さい場合には接触熱抵抗が大きくなるように駆動プレート20を制御することで、被処理体Wの温度を短時間で目標温度に収束させることが可能となる。したがって、例えば被処理体Wの加熱及び冷却が交互に繰り返されるような処理を行う場合には、処理のスループットを向上させることができる。
次に、図1に示すプラズマ処理装置10を用いて被処理体を処理する方法を説明する。以下では、プラズマ処理装置10を用いて被処理体を処理する方法の一例として、多層膜から窒化膜を選択的にエッチングする方法を説明する。図11は、一実施形態の多層膜から窒化膜を選択的にエッチングする方法MTを示す流れ図である。この方法MTは、3DNAND素子の製造工程の一部である。
方法MTでは、まず工程ST1が行われる。工程ST1は、被処理体Wを準備する工程である。図12は、工程ST1において準備される被処理体Wの一例を示している。図12に示す被処理体Wは、下地層UL、多層膜IL、及び、マスクCMを有する。下地層ULは、例えば基板上に設けられた多結晶シリコン製の層であり得る。この下地層UL上には、多層膜ILが設けられている。多層膜ILは、酸化膜である第1の膜IL1及び窒化膜である第2の膜が交互に積層された構造を有している。一実施形態では、第1の膜IL1は酸化シリコン膜であり、第2の膜IL2は窒化シリコン膜であり得る。なお、多層膜ILには、積層方向に延在し、第2の膜IL2が除去されたときに第1の膜IL1を支持する支持体が設けられていてもよい。また、マスクCMは、多層膜IL上に設けられている。
また、多層膜ILは、マスクCMの開口部の下方においてエッチングされており、当該多層膜にはホールHLが下地層ULの表面まで形成されている。このようなホールHLは、例えばマスクCMを介して多層膜ILをプラズマエッチングすることによって形成され得る。
次いで、工程ST2では、工程ST1で準備された被処理体Wが可動ステージ16の上面に載置される。次いで、工程ST3では、駆動プレート20が下方に移動されて、可動ステージ16を冷却体14に接触させる。これにより、可動ステージ16と冷却体14との間で熱交換が行われ、可動ステージ16が冷却される。この際、可動ステージ16の下方への移動量が調整されることで、可動ステージ16が目標温度に制御される。その結果、可動ステージ16上の被処理体Wが冷却される。
次いで、工程ST4が行われる。工程ST4では、ガス供給部42から処理ガスが供給され、処理容器12内で処理ガスのプラズマが生成される。この処理ガスは、フッ素及び水素を含有するガスである。そして、例えばフッ素の活性種、及び、水素の活性種によって多層膜ILから第2の膜IL2が選択的にエッチングされる。図13は、工程ST6によって多層膜ILから第2の膜IL2が選択的にエッチングされた被処理体Wの一例を示している。
この工程ST4において、第2の膜IL2が処理ガスを用いてエッチングされる際には、第2の膜IL2の材料が処理ガスと反応して反応生成物が生じる。この反応生成物は、図14に示すように、第1の膜IL1に付着し、第2の膜IL2が除去されて生成された空間内において残渣REとして残留する。この残渣REが残留すると、例えば方法MTの後工程において、第2の膜IL2が除去された空間内に電極層を充填する際に、当該電極層を均一に充填できないことがある。
図11の説明に戻り、次いで、方法MTでは工程ST5が行われる。工程ST5では、駆動プレート20を上方に移動させることによって、可動ステージ16を冷却体14から離間させる。続く工程ST6では、可動ステージ16が冷却体14に離間した状態において、残渣REが気化するまでヒータHTによって可動ステージ16が加熱される。例えば、工程ST6では、可動ステージ16が200℃まで加熱される。これにより、第1の膜IL1に付着した残渣REが蒸発して排気管52を介して処理容器12の外部に排出される。この工程ST6によって、被処理体Wから残渣REが除去される。
次いで、工程ST7では、終了条件を満たすか否かが判定される。工程ST7終了条件を満たしていないと判定された場合には、方法MTの工程ST3〜ST6が繰り返し行われる。一方、終了条件を満たすと判定された場合には、方法MTが終了する。
上述のように、方法MTでは、被処理体Wを冷却する工程と被処理体Wを加熱する工程が交互に繰り返し行われる。このような方法MTを一実施形態の温度制御機構TCを用いて実行することにより、同一のプラズマ装置内で被処理体Wを冷却及び加熱することができるので、被処理体Wのスループットを向上させることができる。さらに、温度制御機構TCによれば、被処理体Wを冷却する際に被処理体Wの温度を目標温度に収束させるための時間を短縮することができるので、被処理体Wの処理スループットを更に向上させることが可能となる。
以上、種々の実施形態について説明してきたが、上述した実施形態に限定されることなく種々の変形態様を構成可能である。例えば、上述した実施形態では、種々の実施形態の温度制御機構を誘導結合型のプラズマエッチング装置に適用したが、温度制御機構が提供される対象は、誘導結合型のプラズマエッチング装置に限定されない。例えば、マイクロ波を用いるプラズマ処理装置、容量結合型の平行平板プラズマエッチング装置等にも適用することができる。
また、一実施形態では、可動ステージ16と冷却体14との間に伝熱シートが設けられていてもよい。この電熱シートは、熱伝導率の高い材料から構成されるシート状の部材であり、例えばシリコン系の樹脂シートであり得る。このような伝熱シートを可動ステージ16と冷却体14との間に介在させることにより、可動ステージ16と冷却体14との接触熱抵抗を小さくすることができる。よって、かかる構成によれば、被処理体Wをより急速に加熱又は冷却することが可能となる。
10…プラズマ処理装置、12…処理容器、14…冷却体、14c…貫通孔、14h…貫通孔、15…冷媒流路、16…可動ステージ、18…シャフト、18a…第1のフランジ、18b…第2のフランジ、20…駆動プレート、20a…上面、20b…下面、20h…貫通孔、22…駆動装置、24…弾性体、26…チラーユニット、28…電極、30…駆動軸、42…ガス供給部、50…排気部、52…排気管、60…高周波アンテナ、70A…高周波電源、70B…高周波電源、80…シールド部材、100…制御部、HP…ヒータ電源、HT…ヒータ、IL…多層膜、IL1…第1の膜(酸化膜)、IL2…第2の膜(窒化膜)、S…処理空間、TC…温度制御機構、UL…下地層、W…被処理体、Z…軸線。
Claims (6)
- 被処理体の温度制御機構であって、
加熱可能な可動ステージであり、その上面に被処理体を載置する該可動ステージと、
前記可動ステージの下方に固定配置される冷却可能な冷却体と、
前記可動ステージに連結される一端、及び、前記冷却体の下方に配置される他端を有し、該一端と該他端との間で延在するシャフトであり、前記他端に設けられた第1のフランジ、及び、該第1のフランジと前記冷却体との間に設けられた第2のフランジとを有する、該シャフトと、
前記第2のフランジに面する上面、及び、該上面と反対側の下面を有し、前記第1のフランジと前記第2のフランジとの間に設けられた駆動プレートと、
前記駆動プレートの前記下面と前記第1のフランジとの間に設けられた弾性体と、
前記駆動プレートを上下方向に移動させる駆動装置と、
を備える、温度制御機構。 - 前記弾性体は、コイル状のバネであり、
前記バネは、前記駆動プレートが最上昇位置に配置されるときに、自然長又は自然長よりも長い長さを有するように構成されている、
請求項1に記載の温度制御機構。 - 前記駆動装置は、鉛直方向に延在し、前記駆動プレートに接続する駆動軸と、前記駆動プレートが上下方向に移動するように前記駆動軸を移動させるモータと、を有している、
請求項1又は2に記載の温度制御機構。 - 前記可動ステージは、ヒータを有している、
請求項1〜3の何れか一項に記載の温度制御機構。 - 前記冷却体の内部には、冷媒用の流路が形成されている、
請求項1〜4の何れか一項に記載の温度制御機構。 - 請求項1〜5の何れか一項に記載の温度制御機構を用いて、酸化膜及び窒化膜が交互に積層された多層膜を有する被処理体から窒化膜を選択的にエッチングする方法であって、
前記被処理体を前記可動ステージの上面に載置する工程と、
前記駆動プレートを下方に移動させ、前記可動ステージを前記冷却体に接触させる工程と、
前記可動ステージを前記冷却体に接触させる工程の後、フッ素及び水素を含む処理ガスのプラズマによって前記多層膜から前記窒化膜を選択的にエッチングする工程と、
前記窒化膜をエッチングする工程の後、前記駆動プレートを上方に移動させ、前記可動ステージを前記冷却体から離間させる工程と、
前記可動ステージを前記冷却体から離間させる工程の後、前記可動ステージを加熱し、前記窒化膜をエッチングする工程において発生した反応生成物を除去する工程と、
を含む、方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180069991A (ko) * | 2016-12-15 | 2018-06-26 | 에이피티씨 주식회사 | 분리형 웨이퍼 서셉터 및 이를 포함하는 반도체 공정 챔버 장비 |
WO2023149299A1 (ja) * | 2022-02-01 | 2023-08-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10381258B2 (en) * | 2015-12-02 | 2019-08-13 | Tokyo Electron Limited | Apparatus of processing workpiece in depressurized space |
US9997374B2 (en) * | 2015-12-18 | 2018-06-12 | Tokyo Electron Limited | Etching method |
KR20180088193A (ko) * | 2017-01-26 | 2018-08-03 | 삼성전자주식회사 | 적응적 열 저항 및 열 용량을 사용하는 열 관리 장치 및 방법 |
US11183418B2 (en) * | 2017-06-01 | 2021-11-23 | Applied Materials, Inc. | Two axis goniometer to accomplish fine, permanent, calibration of lift pin hoop orientation |
KR102101431B1 (ko) * | 2018-08-01 | 2020-04-16 | 세메스 주식회사 | 기판 스테이지 |
US11837491B2 (en) * | 2018-10-11 | 2023-12-05 | Beijing Naura Microelectronics Equipment Co., Ltd. | Electrostatic chuck and reaction chamber |
KR102640172B1 (ko) * | 2019-07-03 | 2024-02-23 | 삼성전자주식회사 | 기판 처리 장치 및 이의 구동 방법 |
CN114981707B (zh) * | 2020-01-15 | 2024-04-30 | Agc株式会社 | 抬头显示器系统 |
KR102608903B1 (ko) | 2021-04-12 | 2023-12-04 | 삼성전자주식회사 | 플라즈마 식각 장치 및 방법 |
CN113793819B (zh) * | 2021-09-16 | 2024-06-18 | 长江存储科技有限责任公司 | 化学槽及其温度控制方法 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3595150A (en) | 1968-03-26 | 1971-07-27 | Agfa Gevaert Ag | Film magazine locating means |
JP3249765B2 (ja) * | 1997-05-07 | 2002-01-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP2959373B2 (ja) | 1993-12-27 | 1999-10-06 | 日本電気株式会社 | 基板へのスパッタ方法及びスパッタ装置 |
US5895549A (en) * | 1994-07-11 | 1999-04-20 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Method and apparatus for etching film layers on large substrates |
JP3595150B2 (ja) | 1998-02-12 | 2004-12-02 | 株式会社小松製作所 | 温度制御装置および温度制御方法 |
JPH11272342A (ja) | 1998-03-24 | 1999-10-08 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板熱処理装置および基板熱処理方法 |
EP1083593A1 (en) * | 1999-09-10 | 2001-03-14 | Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum Vzw | Etching of silicon nitride by anhydrous halogen gas |
JP2002043381A (ja) | 2000-07-19 | 2002-02-08 | Tokyo Electron Ltd | ウエハ温度制御装置 |
US6485248B1 (en) * | 2000-10-10 | 2002-11-26 | Applied Materials, Inc. | Multiple wafer lift apparatus and associated method |
US6529686B2 (en) * | 2001-06-06 | 2003-03-04 | Fsi International, Inc. | Heating member for combination heating and chilling apparatus, and methods |
US6767176B2 (en) * | 2001-06-29 | 2004-07-27 | Applied Materials, Inc. | Lift pin actuating mechanism for semiconductor processing chamber |
JP3913643B2 (ja) * | 2002-08-28 | 2007-05-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | ウエハ処理装置およびウエハステージ |
JP4397655B2 (ja) * | 2003-08-28 | 2010-01-13 | キヤノンアネルバ株式会社 | スパッタリング装置、電子部品製造装置及び電子部品製造方法 |
JP4471848B2 (ja) | 2005-01-06 | 2010-06-02 | 神港精機株式会社 | 基板保持装置 |
US7638003B2 (en) * | 2006-01-12 | 2009-12-29 | Asm Japan K.K. | Semiconductor processing apparatus with lift pin structure |
US7988817B2 (en) | 2006-11-10 | 2011-08-02 | Adp Engineering Co., Ltd. | Lift pin driving device and a flat panel display manufacturing apparatus having same |
US8652260B2 (en) * | 2008-08-08 | 2014-02-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Apparatus for holding semiconductor wafers |
CN105981135A (zh) * | 2014-03-26 | 2016-09-28 | 株式会社日立国际电气 | 衬底处理装置、半导体器件的制造方法及记录介质 |
-
2015
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180069991A (ko) * | 2016-12-15 | 2018-06-26 | 에이피티씨 주식회사 | 분리형 웨이퍼 서셉터 및 이를 포함하는 반도체 공정 챔버 장비 |
KR102005843B1 (ko) * | 2016-12-15 | 2019-10-02 | 에이피티씨 주식회사 | 분리형 웨이퍼 서셉터 및 이를 포함하는 반도체 공정 챔버 장비 |
WO2023149299A1 (ja) * | 2022-02-01 | 2023-08-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
Also Published As
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