JP2016069693A - 長尺フィルムの搬送および冷却用ロール、ならびに該ロールを搭載した長尺フィルムの処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 真空チャンバー51内においてロールツーロールで搬送される長尺フィルムFを巻き付けて冷却するロール56であって、ロール56の外周面のうち長尺フィルムFが巻き付けられる領域に中心軸11方向に延在する複数のガス導入溝3がロール56の円周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って設けられており、これら複数のガス導入溝3の各々には、ガス導入溝3の少なくとも一方の端部から該領域の外側にまで至るように該中心軸に対して平行に設けられたガス供給溝4が連通しており、ガス供給溝4は樹脂製または金属製のシート5によって蓋がされており且つガス導入溝3に連通する端部とは反対側の端部にガス供給口6が設けられている。
【選択図】 図2
Description
3、103 ガス導入溝
4、104 ガス供給溝
5、105 シート
6、106 ガス供給口
7、107 ガス供給配管
8、108 ロータリージョイント
10、100 円筒部材
10a、100a 外周面
10b、100b 末端面
11、111 中心軸
12、112 ジャケット
13、113 冷媒循環路
14、114 回転軸部材
31 バルブ
32 ばね
33 磁石
34 磁力付与手段
50 真空成膜装置(スパッタリングウェブコータ)
51 真空チャンバー
52 巻出ロール
53、63 フリーロール
54、62 張力センサーロール
55、61 フィードロール
56 キャンロール
57、58、59、60 マグネトロンスパッタリングカソード
64 巻取ロール
F 長尺フィルム
A 抱き角
Claims (7)
- 真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺フィルムを巻き付けて冷却するロールであって、該ロールの外周面のうち長尺フィルムが巻き付けられる領域に該ロールの中心軸方向に延在する複数のガス導入溝が該ロールの円周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って設けられており、これら複数のガス導入溝の各々には、該ガス導入溝の少なくとも一方の端部から該領域の外側にまで至るように該中心軸に対して平行に設けられたガス供給溝が連通しており、該ガス供給溝は樹脂製または金属製のシートによって蓋がされており且つ該ガス導入溝に連通する端部とは反対側の端部にガス供給口が設けられていることを特徴とする長尺フィルムの搬送および冷却用ロール。
- 前記ガス供給口が前記ロールの外周面または末端面に設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の長尺フィルムの搬送および冷却用ロール。
- 前記シートが厚さ0.2mm以下の樹脂製の接着テープであることを特徴とする、請求項1または2に記載の長尺フィルムの搬送および冷却用ロール。
- 前記ガス供給溝の幅は、それが連通するガス導入溝の幅よりも広いことを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の長尺フィルムの搬送および冷却用ロール。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の長尺フィルムの搬送および冷却用ロールを使用して前記ロールの外周面とそこに巻き付けられる長尺フィルムとの間にガスを導入しながら該長尺フィルムに熱負荷のかかる表面処理を施すことを特徴とする、長尺フィルムの処理装置。
- 前記表面処理が真空成膜処理であることを特徴とする、請求項5に記載のフィルムの処理装置。
- 真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺フィルムを巻き付けて冷却するロールの改造方法であって、該ロールの外周面のうち長尺フィルムが巻き付けられる領域に該ロールの中心軸方向に延在する複数のガス導入溝を該ロールの円周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って設ける工程と、これら複数のガス導入溝の各々に、該ガス導入溝の少なくとも一方の端部から該領域の外側にまで至るように該中心軸に対して平行なガス供給溝を設ける工程と、該ガス供給溝に樹脂製または金属製のシートによって蓋をする工程と、該ガス導入溝側の端部とは反対側の端部にガス供給口を設ける工程とからなることを特徴とする長尺フィルムの搬送および冷却用ロールの改造方法。
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