JP2016058718A - 電子部品、接続体、接続体の製造方法、電子部品の接続方法、緩衝材 - Google Patents
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Abstract
Description
図1(A)(B)に示すように、接続体20は、回路基板10上に異方性導電フィルム(ACF:Anisotropic Conductive Film)30等の接着剤を介してICチップ1を搭載し、緩衝材15を介してICチップ1の押圧面8を熱圧着ツール40によって加熱押圧することにより、ICチップ1の実装面2に設けられたバンプと回路基板10に設けられた電極端子とを導電接続したものである。
図2に示すように、ICチップ1の回路基板上に接続される実装面2は、略矩形状をなし、長さ方向となる相対向する一対の側縁2a,2bに沿って、出力バンプ3が配列された出力バンプ領域4及び入力バンプ5が配列された入力バンプ領域6が形成されている。ICチップ1は、出力バンプ領域4が実装面2の一方の側縁2a側に形成され、入力バンプ領域6が実装面2の他方の側縁2b側に形成されている。これにより、ICチップ1は、実装面2の幅方向に亘って出力バンプ領域4と入力バンプ領域6とが離間して形成され、実装面2の中央部にバンプが形成されていないバンプ間領域7が設けられている。
また、ICチップ1は、実装面2と反対側の圧着ツールに押圧される押圧面8に、出力バンプ領域4と入力バンプ領域6との間のバンプ間領域7と重畳する凹部9が設けられている。ICチップ1は、バンプ間領域7と重畳する位置に凹部9を設けることにより、熱圧着ツール40の圧力が出力バンプ領域4と入力バンプ領域6とに集中し、反りが抑制されるとともに、熱圧着ツール40によって出力バンプ3及び入力バンプ5が十分に押圧される。したがって、ICチップ1は、入出力バンプ3,5と回路基板10に設けられた入出力端子16,17との間で導電性粒子を十分に押し込むことができ、良好な導通性を得る。
ICチップ1は、熱圧着ツール40によって熱加圧される際に、押圧面8と熱圧着ツール40との間に緩衝材15が介在される(図1参照)。そして、押圧面8に形成される凹部9は、熱圧着ツール40との間に介在される緩衝材15の厚さT1以上の深さDを有することが好ましい。これにより、ICチップ1は、熱圧着ツール40に押圧面8が押圧された際にも、緩衝材15が凹部9の底面を押圧することによりバンプ間領域7が凹むように反りが生じることを防止することができる。
ここで、図4に示すように、凹部9の出力バンプ領域4側の端部と出力バンプ領域4の最も内側に配列された出力バンプ列3Cの内側縁との距離をCとし、出力バンプ領域4の出力バンプ3の配列方向と直交する幅方向の長さをAとする。このとき、ICチップ1は、凹部9の出力バンプ領域4側の端部が、出力バンプ列3Cの内側縁から一方の側縁2a側に向かって出力バンプ領域4の幅方向の長さAの12.5%未満の領域と(図4(A))、出力バンプ列3Cの内側縁から他方の側縁2b側に向かって出力バンプ領域4の幅方向の長さAの50%未満の領域(図4(B))との間に位置されていることが好ましい。
回路基板10は、接続体20の用途に応じて選択されるものであり、例えば、ガラス基板、ガラスエポキシ基板、セラミック基板、フレキシブル基板等、その種類は問わない。回路基板10は、ICチップ1に設けられた入出力バンプ3,5と接続される入出力端子16,17が形成されている。
なお、ICチップ1及び回路基板10は、重畳させることにより回路基板10に対するICチップ1のアライメントを行う図示しないアライメントマークが設けられている。基板側アライメントマーク及びIC側アライメントマークは、組み合わされることにより回路基板10とICチップ1とのアライメントが取れる種々のマークを用いることができる。回路基板10の入出力端子の配線ピッチやICチップ1の入出力バンプ3,5のファインピッチ化が進んでいることから、ICチップ1と回路基板10とは、高精度のアライメント調整が求められることが多い。
また、図5に示すように、ICチップ1は、バンプレイアウトや製造工数の制約が許せば、出力バンプ領域4と入力バンプ領域6との間に、信号等の入出力には使用しないいわゆるダミーバンプ18が配列されたダミーバンプ領域19を適宜設けてもよい。
なお、ICチップ1を回路基板10に接続する接着剤としては、異方性導電フィルム30を好適に用いることができる。異方性導電フィルム30は、図6に示すように、通常、基材となる剥離フィルム31上に導電性粒子32を含有するバインダー樹脂層(接着剤層)33が形成されたものである。異方性導電フィルム30は、図1に示すように、回路基板10とICチップ1との間にバインダー樹脂層33を介在させることで、回路基板10とICチップ1とを接続させるとともに、入出力バンプ3,5と入出力端子16,17とで導電性粒子32を挟持させ、導通させるために用いられる。
バインダー樹脂層33に含有される導電性粒子32としては、異方性導電フィルムにおいて使用されている公知の何れの導電性粒子を挙げることができる。すなわち、導電性粒子としては、例えば、ニッケル、鉄、銅、アルミニウム、錫、鉛、クロム、コバルト、銀、金等の各種金属や金属合金の粒子、金属酸化物、カーボン、グラファイト、ガラス、セラミック、プラスチック等の粒子の表面に金属をコートしたもの、或いは、これらの粒子の表面に更に絶縁薄膜をコートしたもの等が挙げられる。樹脂粒子の表面に金属をコートしたものである場合、樹脂粒子としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アクリル樹脂、アクリロニトリル・スチレン(AS)樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ジビニルベンゼン系樹脂、スチレン系樹脂等の粒子を挙げることができる。
次いで、回路基板10にICチップ1を接続する接続工程について説明する。先ず、回路基板10の入出力端子が形成された実装面上に異方性導電フィルム30を仮貼りする。次いで、この回路基板10を接続装置のステージ上に載置し、回路基板10の実装面上に異方性導電フィルム30を介してICチップ1を配置する。
本実施例に用いたICチップは、20mm×1.5mm、基板の最大厚さ160μmであり、実装面の一方の側縁には長手方向に沿って出力バンプが配列された出力バンプ領域が設けられ、他方の側縁には長手方向に沿って入力バンプが配列された入力バンプ領域が形成されている。出力バンプ領域には実装面の幅方向にわたって出力バンプ列が3列並列され、入力バンプ領域には入力バンプ列が1列で形成されている。また、出力バンプ領域の幅方向の長さAは400μmとし、入力バンプ領域の幅方向の長さは140μmとした。なお、3つの出力バンプ列を構成する各出力バンプは千鳥状に配列されている(図2参照)。また、出力バンプ領域と入力バンプ領域の間のバンプ間領域の幅は800μmである。
評価用のICチップが搭載される回路基板は厚さ200μmのガラス基板であり、実装面には、Al層がいわゆるベタ配線で形成されている。
ICチップの実装は異方性導電フィルムをガラス基板の実装面に貼着した後、ICチップの押圧面を、緩衝材を介して熱圧着ツールによって所定温度、圧力、時間で加熱押圧することにより行った。緩衝材としてはテフロン(登録商標)を用い、厚さ50μm及び100μmのものを用意した。
第1の実施例では、凹部の端部と入出力バンプ列の内側縁との距離C,Jを一定とし、緩衝材の厚みに対する凹部の深さDを変えた接続体サンプルを形成し、外側の出力バンプ列及び内側の出力バンプ列において、圧縮変形された導電性粒子の径を測定した。そして、両出力バンプ列における変形後の導電性粒子径が2.4μm以下の場合を◎、一方又は両方の出力バンプ列における変形後の導電性粒子径が2.4μmより大きく2.6μm以下の場合を○、一方又は両方の出力バンプ列における変形後の導電性粒子径が2.7μm以上の場合を×とした。
実施例1では、凹部深さDを50μm、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離C及び入力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離Jを50μmとした(図4(B))。また、厚さ50μmの緩衝材を用いた。
実施例2では、凹部深さDを60μm、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離C及び入力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離Jを50μmとした(図4(B))。また、厚さ50μmの緩衝材を用いた。
実施例3では、凹部深さDを100μm、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離C及び入力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離Jを50μmとした(図4(B))。また、厚さ100μmの緩衝材を用いた。
実施例4では、凹部深さDを110μm、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離C及び入力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離Jを50μmとした(図4(B))。また、厚さ100μmの緩衝材を用いた。
比較例1では、ICチップの押圧面に凹部を設けなかった。また、厚さ50μmの緩衝材を用いた。
比較例2では、凹部深さDを40μm、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離C及び入力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離Jを50μmとした(図4(B))。また、厚さ50μmの緩衝材を用いた。
比較例3では、凹部深さDを90μm、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離C及び入力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離Jを50μmとした(図4(B))。また、厚さ100μmの緩衝材を用いた。
第2の実施例では、凹部の端部と入出力バンプ列の内側縁との距離C,Jを変えた接続体サンプルを形成し、外側の出力バンプ列及び内側の出力バンプ列において、圧縮変形された導電性粒子の径を測定した。圧縮変形後の導電性粒子径の評価は第1の実施例と同じである。
実施例5では、凹部深さDを60μm、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離C及び入力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離Jを−30μmとした。すなわち、実施例5に係るICチップは、凹部の端部が入出力バンプ領域と30μm重畳する位置まで形成されている(図4(A))。これは、出力バンプ領域の幅方向の長さA(400μm)の一方の側縁側に向かって7.5%の位置となる。また、厚さ50μmの緩衝材を用いた。
実施例6では、凹部深さDを60μm、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離C及び入力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離Jを−20μmとした。すなわち、実施例6に係るICチップは、凹部の端部が入出力バンプ領域と20μm重畳する位置まで形成されている(図4(A))。これは、出力バンプ領域の幅方向の長さA(400μm)の一方の側縁側に向かって5%の位置となる。また、厚さ50μmの緩衝材を用いた。
実施例7では、凹部深さDを60μm、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離C及び入力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離Jを0μmとした。すなわち、実施例7に係るICチップは、凹部の端部が入出力バンプ領域の内側縁と重畳する位置まで形成されている。これは、出力バンプ領域の幅方向の長さA(400μm)の一方の側縁側に向かって0%の位置となる。また、厚さ50μmの緩衝材を用いた。
実施例8では、凹部深さDを60μm、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離C及び入力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離Jを50μmとした(図4(B))。これは、出力バンプ領域の幅方向の長さA(400μm)の他方の側縁側に向かって12.5%の位置となる。また、厚さ50μmの緩衝材を用いた。
実施例9では、凹部深さDを60μm、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離C及び入力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離Jを100μmとした(図4(B))。これは、出力バンプ領域の幅方向の長さA(400μm)の他方の側縁側に向かって25%の位置となる。また、厚さ50μmの緩衝材を用いた。
実施例10では、凹部深さDを60μm、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離C及び入力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離Jを150μmとした(図4(B))。これは、出力バンプ領域の幅方向の長さA(400μm)の他方の側縁側に向かって37.5%の位置となる。また、厚さ50μmの緩衝材を用いた。
比較例4では、凹部深さDを60μm、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離C及び入力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離Jを−50μmとした。すなわち、比較例4に係るICチップは、凹部の端部が入出力バンプ領域と50μm重畳する位置まで形成されている(図4(A))。これは、出力バンプ領域の幅方向の長さA(400μm)の一方の側縁側に向かって12.5%の位置となる。また、厚さ50μmの緩衝材を用いた。
比較例5では、凹部深さDを60μm、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離C及び入力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離Jを200μmとした(図4(B))。これは、出力バンプ領域の幅方向の長さA(400μm)の他方の側縁側に向かって50%の位置となる。また、厚さ50μmの緩衝材を用いた。
第3の実施例では、凹部の出力バンプ領域側の端部と出力バンプ列の内側縁との距離Cと,凹部の入力バンプ領域側の端部と入力バンプ列の内側縁との距離Jとを変えた接続体サンプルを形成し、外側の出力バンプ列及び内側の出力バンプ列において、圧縮変形された導電性粒子の径を測定した。圧縮変形後の導電性粒子径の評価は第1の実施例と同じである。
実施例11に係るICチップは、凹部深さDを60μmとし、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の出力バンプ領域側の端部との距離Cを−30μmとした。すなわち、凹部の出力バンプ領域側の端部が出力バンプ領域と30μm重畳する位置まで形成されている。これは、出力バンプ領域の幅方向の長さA(400μm)の一方の側縁側に向かって7.5%の位置となる。また、実施例11に係るICチップは、入力バンプ列の内側縁と凹部の入力バンプ領域側の端部との距離Jを150μmとした。また、厚さ50μmの緩衝材を用いた。
実施例12に係るICチップは、凹部深さDを60μmとし、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の出力バンプ領域側の端部との距離Cを−20μmとした。すなわち、凹部の出力バンプ領域側の端部が出力バンプ領域と20μm重畳する位置まで形成されている。これは、出力バンプ領域の幅方向の長さA(400μm)の一方の側縁側に向かって5%の位置となる。また、実施例12に係るICチップは、入力バンプ列の内側縁と凹部の入力バンプ領域側の端部との距離Jを50μmとした。また、厚さ50μmの緩衝材を用いた。
実施例13に係るICチップは、凹部深さDを60μmとし、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の出力バンプ領域側の端部との距離Cを50μmとした。これは、出力バンプ領域の幅方向の長さA(400μm)の他方の側縁側に向かって12.5%の位置となる。また、実施例13に係るICチップは、入力バンプ列の内側縁と凹部の入力バンプ領域側の端部との距離Jを−20μmとした。すなわち、凹部の入力バンプ領域側の端部が入力バンプ領域と20μm重畳する位置まで形成されている。また、厚さ50μmの緩衝材を用いた。
実施例14に係るICチップは、凹部深さDを60μmとし、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の出力バンプ領域側の端部との距離Cを150μmとした。これは、出力バンプ領域の幅方向の長さA(400μm)の他方の側縁側に向かって37.5%の位置となる。また、実施例14に係るICチップは、入力バンプ列の内側縁と凹部の入力バンプ領域側の端部との距離Jを−30μmとした。すなわち、凹部の入力バンプ領域側の端部が入力バンプ領域と30μm重畳する位置まで形成されている。また、厚さ50μmの緩衝材を用いた。
比較例6に係るICチップは、凹部深さDを60μmとし、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の出力バンプ領域側の端部との距離Cを−50μmとした。すなわち、凹部の出力バンプ領域側の端部が出力バンプ領域と50μm重畳する位置まで形成されている。これは、出力バンプ領域の幅方向の長さA(400μm)の一方の側縁側に向かって12.5%の位置となる。また、比較例6に係るICチップは、入力バンプ列の内側縁と凹部の入力バンプ領域側の端部との距離Jを200μmとした。また、厚さ50μmの緩衝材を用いた。
比較例7に係るICチップは、凹部深さDを60μmとし、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の出力バンプ領域側の端部との距離Cを200μmとした。これは、出力バンプ領域の幅方向の長さA(400μm)の他方の側縁側に向かって50%の位置となる。また、比較例7に係るICチップは、入力バンプ列の内側縁と凹部の入力バンプ領域側の端部との距離Jを−50μmとした。すなわち、凹部の入力バンプ領域側の端部が入力バンプ領域と50μm重畳する位置まで形成されている。また、厚さ50μmの緩衝材を用いた。
[緩衝材の変形例]
凹部42は、緩衝材41の全厚さT3の25%以上の深さD1を有することが好ましい。これにより、緩衝材41は、熱圧着ツール40に押圧された際にも、凹部42が押圧面8を押圧することなく、ICチップ1にバンプ間領域7が凹むように反りが生じることを防止することができる。
ここで、凹部42の出力バンプ領域4側の端部と出力バンプ領域4の最も内側に配列された出力バンプ列3Cの内側縁との距離をC’とし、出力バンプ領域4の出力バンプ3の配列方向と直交する幅方向の長さをAとする。このとき、図11(A)に示すように、緩衝材41は、凹部42の入出力バンプ領域4側の端部が、バンプ間領域内に位置し、凸部43とバンプ間領域とが重畳する範囲がバンプ間領域の幅Gの50%(片側25%ずつ)までとすることが好ましい。また、図11(B)に示すように、緩衝材41は、凹部42の出力バンプ領域4側の端部が、出力バンプ列3Cの内側縁から一方の側縁2a側に向かって出力バンプ領域4の幅方向の長さAの20%未満の領域とに位置されることが好ましい。
次いで、緩衝材41を用いて回路基板10にICチップ1を異方性導電接続する接続工程について説明する。先ず、ICチップ1の押圧面8と仮貼り用の低温に加熱された熱圧着ツール(図示せず)との間に緩衝材41を搬送し、回路基板10の入出力端子が形成された実装面上に異方性導電フィルム30を仮貼りする。次いで、この回路基板10を接続装置のステージ上に載置し、回路基板10の実装面上に異方性導電フィルム30を介してICチップ1を配置する。
第4の実施例では、凹部深さD1、及び凹部の端部と入出力バンプ列の内側縁との距離C’,J’を変えた緩衝材を用いて、ICチップをガラス基板に接続した接続体サンプルを形成し、外側の出力バンプ列及び内側の出力バンプ列において、圧縮変形された導電性粒子の径を測定した。圧縮変形後の導電性粒子径の評価は第1の実施例と同じである。
本実施例に用いたICチップは、20mm×1.6mm、厚さ0.2mmであり、実装面の一方の側縁には長手方向に沿って出力バンプが配列された出力バンプ領域が設けられ、他方の側縁には長手方向に沿って入力バンプが配列された入力バンプ領域が形成されている。出力バンプ領域には実装面の幅方向にわたって出力バンプ列が3列並列され、入力バンプ領域には入力バンプ列が1列で形成されている。また、出力バンプ領域の幅方向の長さAは350μmとし、入力バンプ領域の幅方向の長さは60μmとした。また、出力バンプ領域及び入力バンプ領域と外側縁との距離はそれぞれ70μmである。なお、3つの出力バンプ列を構成する各出力バンプは千鳥状に配列されている(図2参照)。また、出力バンプ領域と入力バンプ領域の間のバンプ間領域の幅Gは約1000μmである。
評価用のICチップが搭載される回路基板は厚さ200μmのガラス基板であり、実装面には、Al層がいわゆるベタ配線で形成されている。
ICチップの実装は異方性導電フィルムをガラス基板の実装面に貼着した後、ICチップの押圧面を、緩衝材を介して熱圧着ツールによって所定温度、圧力、時間で加熱押圧することにより行った。緩衝材としてはポリイミドを用い、ポリイミドテープを貼り付けることで、深さの異なる凹部を形成するとともに、全厚さを100μmとした複数のサンプルを用意した。
実施例15では、凹部深さD1を50μm、ICチップの出力バンプ側の側縁2aから凹部までの距離L1は470μm、ICチップの入力バンプ側の側縁2bから凹部までの距離L2は180μmであり、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離C’及び入力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離J’を50μmとした。すなわち、実施例15に係る緩衝材は、凹部の端部がICチップのバンプ間領域内に位置し、凸部がバンプ間領域幅G(1000μm)の10%(片側50μmずつ)まで重畳されている(図11(A)参照)。
実施例16では、凹部深さD1が75μmの緩衝材を用いた他は、実施例15と同じ条件とした。
実施例17では、凹部深さD1が25μmの緩衝材を用いた他は、実施例15と同じ条件とした。
実施例18に係る接続体サンプルでは、凹部深さD1を50μm、ICチップの出力バンプ側の側縁2aから凹部までの距離L1は670μm、ICチップの入力バンプ側の側縁2bから凹部までの距離L2は380μmであり、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離C’及び入力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離J’を250μmとした。すなわち、実施例18に係る緩衝材は、凹部の端部がICチップのバンプ間領域内に位置し、凸部がバンプ間領域幅G(1000μm)の50%(片側250μmずつ)まで重畳されている(図11(A)参照)。
実施例19では、凹部深さD1が25μmの緩衝材を用いた他は、実施例18と同じ条件とした。
比較例8では、凹部が形成されていない緩衝材を用いた。比較例8に係る接続体サンプルでは、外側の出力バンプ列における導電性粒子径が2.9μm、内側の出力バンプ列における導電性粒子径が2.1μmであった。
比較例9では、凹部深さD1が10μmの緩衝材を用いた他は、実施例15と同じ条件とした。
比較例10に係る接続体サンプルでは、凹部深さD1を50μm、ICチップの出力バンプ側の側縁2aから凹部までの距離L1は820μm、ICチップの入力バンプ側の側縁2bから凹部までの距離L2は530μmであり、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離C’及び入力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離J’を400μmとした。すなわち、比較例10に係る緩衝材は、凹部の端部がICチップのバンプ間領域内に位置し、凸部がバンプ間領域幅G(1000μm)の80%(片側400μmずつ)まで重畳されている(図11(A)参照)。
比較例11に係る接続体サンプルでは、凹部深さD1を50μm、ICチップの出力バンプ側の側縁2aから凹部までの距離L1は345μm、ICチップの入力バンプ側の側縁2bから凹部までの距離L2は55μmであり、最も内側の出力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離C’及び入力バンプ列の内側縁と凹部の端部との距離J’を−75μmとした。すなわち、比較例11に係る緩衝材は、凹部の端部がICチップの入出力バンプ領域に位置し(図11(B)参照)、これは、出力バンプ領域の幅方向の長さA(350μm)の一方の側縁側に向かって21.4%の位置となる。
Claims (22)
- 回路基板に接続される実装面に、相対向する一対の側縁の一方側に沿って出力バンプが配列された出力バンプ領域が設けられ、上記一対の側縁の他方側に沿って入力バンプが配列された入力バンプ領域が設けられ、
上記実装面と反対側の圧着ツールに押圧される押圧面に、上記出力バンプ領域と上記入力バンプ領域との間のバンプ間領域と重畳する凹部が設けられている電子部品。 - 上記凹部の上記出力バンプ領域又は入力バンプ領域の一方側の端部は、上記一方のバンプ領域の最も内側に配列されたバンプ列の内側縁から、上記一方のバンプ領域の上記バンプの配列方向と直交する幅方向の上記一方のバンプ領域が設けられた側縁側に向かって上記一方のバンプ領域の上記幅方向の長さの12.5%未満の領域と、上記一方のバンプ領域の上記幅方向の他方のバンプ領域が設けられた側縁側に向かって上記一方のバンプ領域の上記幅方向の長さの50%未満の領域との間に位置されている請求項1記載の電子部品。
- 上記凹部の上記出力バンプ領域又は入力バンプ領域の一方側の端部は、上記一方のバンプ領域の最も内側に配列されたバンプ列の内側縁から、上記一方のバンプ領域の上記バンプの配列方向と直交する幅方向の上記一方のバンプ領域が設けられた側縁側に向かって上記一方のバンプ領域の上記幅方向の長さの7.5%未満の長さの領域と、上記一方のバンプ領域の上記幅方向の他方のバンプ領域が設けられた側縁側に向かって上記一方のバンプ領域の上記幅方向の長さの37.5%未満の領域との間に位置されている請求項2記載の電子部品。
- 上記一方のバンプ領域が、出力バンプ領域である請求項2又は3に記載の電子部品。
- 上記凹部は、押圧面の切削により形成される請求項1〜4のいずれか1項に記載の電子部品。
- 上記凹部は、上記押圧面の上記出力バンプ領域及び上記入力バンプ領域と重畳する位置に上記バンプ間領域との間に段差を形成する補助部材が設けられることにより形成される請求項1〜5のいずれか1項に記載の電子部品。
- 上記凹部の深さは、該凹部が形成される基板の厚みの90%以下である請求項1〜6のいずれか1項に記載の電子部品。
- 電子部品が接着剤を介して回路基板上に配置され、圧着ツールで加圧されることにより、上記電子部品が上記回路基板上に接続された接続体において、
上記電子部品は、
上記回路基板に接続される実装面に、相対向する一対の側縁の一方側に沿って出力バンプが配列された出力バンプ領域が設けられ、上記一対の側縁の他方側に沿って入力バンプが配列された入力バンプ領域が設けられ、
上記実装面と反対側の圧着ツールに押圧される押圧面に、上記出力バンプ領域と上記入力バンプ領域との間のバンプ間領域と重畳する凹部が設けられている接続体。 - 上記凹部の深さは、該凹部が形成される基板の厚みの90%以下である請求項8記載の接続体。
- 接着剤を介して回路基板上に電子部品を配置し、圧着ツールで加圧することにより上記電子部品を上記回路基板上に接続する接続体の製造方法において、
上記電子部品は、
上記回路基板に接続される実装面に、相対向する一対の側縁の一方側に沿って出力バンプが配列された出力バンプ領域が設けられ、上記一対の側縁の他方側に沿って入力バンプが配列された入力バンプ領域が設けられ、
上記実装面と反対側の圧着ツールに押圧される押圧面に、上記出力バンプ領域と上記入力バンプ領域との間のバンプ間領域と重畳する凹部が設けられている接続体の製造方法。 - 上記凹部の深さよりも薄い緩衝材を用いて上記電子部品を圧着する請求項10記載の接続体の製造方法。
- 上記凹部の深さは、該凹部が形成される基板の厚みの90%以下である請求項10又は11に記載の接続体の製造方法。
- 接着剤を介して回路基板上に電子部品を配置し、圧着ツールで加圧することにより上記電子部品を上記回路基板上に接続する電子部品の接続方法において、
上記電子部品は、
上記回路基板に接続される実装面に、相対向する一対の側縁の一方側に沿って出力バンプが配列された出力バンプ領域が設けられ、上記一対の側縁の他方側に沿って入力バンプが配列された入力バンプ領域が設けられ、
上記実装面と反対側の圧着ツールに押圧される押圧面に、上記出力バンプ領域と上記入力バンプ領域との間のバンプ間領域と重畳する凹部が設けられている電子部品の接続方法。 - 上記凹部の深さよりも薄い緩衝材を用いて上記電子部品を圧着する請求項13に記載の電子部品の接続方法。
- 上記凹部の深さは、該凹部が形成される基板の厚みの90%以下である請求項13又は14に記載の電子部品の接続方法。
- 回路基板に接続される実装面に、出力バンプが配列された出力バンプ領域と、上記出力バンプ領域と対向して入力バンプが配列された入力バンプ領域と、上記出力バンプ領域と上記入力バンプ領域の間に設けられたバンプ間領域とを有する電子部品の、上記実装面と反対側の押圧面と圧着ツールとの間に配設されるシート状の緩衝材において、
上記バンプ間領域に応じた位置に凹部が形成されている緩衝材。 - 上記電子部品は、相対向する一対の側縁の一方側に沿って上記出力バンプが配列された上記出力バンプ領域が設けられ、上記一方の側縁の他方側に沿って上記入力バンプが配列された上記入力バンプ領域が設けられている請求項16記載の緩衝材。
- 上記出力バンプ領域は、上記出力バンプが配列されたバンプ列が複数並列されている請求項16又は17に記載の緩衝材。
- 略矩形状に形成され、長手方向に沿って上記凹部が形成されている請求項16〜18の何れか1項に記載の緩衝材。
- 略矩形状に形成され、短手方向に沿って形成された上記凹部が長手方向に沿って複数形成されている請求項16〜18の何れか1項に記載の緩衝材。
- 接着剤を介して回路基板上に電子部品を配置し、緩衝材を介して圧着ツールで加圧することにより上記電子部品を上記回路基板上に接続する接続体の製造方法において、
上記電子部品は、上記回路基板に接続される実装面に、出力バンプが配列された出力バンプ領域と、上記出力バンプ領域と対向して入力バンプが配列された入力バンプ領域と、上記出力バンプ領域と上記入力バンプ領域の間に設けられたバンプ間領域とを有し、
上記緩衝材は、上記バンプ間領域に応じた位置に凹部が形成されている接続体の製造方法。 - 接着剤を介して回路基板上に電子部品を配置し、緩衝材を介して圧着ツールで加圧することにより上記電子部品を上記回路基板上に接続する電子部品の接続方法において、
上記電子部品は、上記回路基板に接続される実装面に、出力バンプが配列された出力バンプ領域と、上記出力バンプ領域と対向して入力バンプが配列された入力バンプ領域と、上記出力バンプ領域と上記入力バンプ領域の間に設けられたバンプ間領域とを有し、
上記緩衝材は、上記バンプ間領域に応じた位置に凹部が形成されている電子部品の接続方法。
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