JP2016058481A - 半導体製造装置、半導体基板の製造方法及び搬送ロボット - Google Patents
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Abstract
Description
基板上に反応ガスを導入して基板を処理する反応チャンバーと、
反応チャンバーに基板を搬入し、基板を処理した処理基板を反応チャンバーから搬出する搬送ロボットを有する搬送チャンバーと、
反応チャンバーと搬送チャンバーの間を基板及び処理基板が往来可能な往来空間を有するように連通する連通部と、
を備える半導体製造装置において、
搬送ロボットは、搬送ロボットが基板を搬入及び処理基板を搬出する搬送中に往来空間を流路とする気体の流れを阻止する阻止板を有することを特徴とする。
基板上に反応ガスを導入して基板を処理する反応チャンバーと、反応チャンバーに基板を搬入し、基板を処理した処理基板を反応チャンバーから搬出する搬送チャンバーと、反応チャンバーと搬送チャンバーの間を基板及び処理基板が往来可能な往来空間を有するように連通する連通部を備える半導体製造装置における反応チャンバーに基板を搬入及び反応チャンバーから処理基板を搬出する搬送ロボットにおいて、
搬送ロボットは、搬送ロボットが基板を搬入及び処理基板を搬出する搬送中に往来空間を流路とする気体の流れを阻止する阻止板を有することを特徴とする。
先ず比較例として、図1に示す気相成長装置1から搬送ロボット6の阻止板6b1を取り除き、搬送チャンバー3と反応チャンバー4のガス排出管16(ガス排気系)にそれぞれ酸素濃度計を取り付けた装置を用意した。外部からロードロックチャンバー2に基板を搬入する前の搬送チャンバー3内及び反応チャンバー4内の酸素濃度は、いずれも測定下限値の0.1ppm以下であった。その後、反応チャンバー4内の汚染を評価する汚染評価用の半導体ウェーハの基板となるシリコンウェーハを準備した。準備した基板は、図4に示すようにロードロックチャンバー2に搬入された後、ロードロックチャンバー2から搬送チャンバー3に搬送される(S1)。基板が搬送チャンバー3に搬送された後、搬送チャンバー3と反応チャンバー4の間の第2隔離弁11aを開放する(S2)。そして、第2隔離弁11aが搬送口G5を開放して、基板を搬送チャンバー3から反応チャンバー4に搬送する(S3)。また、基板を搬送チャンバー3から反応チャンバー4へ搬送している間における搬送チャンバー3と反応チャンバー4の最大酸素濃度を酸素濃度計により測定した。
次に実施例について説明する。比較例の装置に阻止板6b1を取り付けた装置を用い、比較例と同様に外部から基板を搬入する前の搬送チャンバー3内及び反応チャンバー4内の酸素濃度が測定下限値の0.1ppm以下であることを確認した。そして、比較例と同様のサンプルを作製した後、比較例と同様に基板上にエピタキシャル層を成長させてエピタキシャルウェーハ表面のMo濃度を測定した。
3 搬送チャンバー 4 反応チャンバー
6 搬送ロボット 6b1 阻止板
7 可動弁 11a 第2隔離弁(開閉部)
18 バルブゲート 18a 第3流路(連通部)
Claims (5)
- 基板上に反応ガスを導入して前記基板を処理する反応チャンバーと、
前記反応チャンバーに前記基板を搬入し、前記基板を処理した処理基板を前記反応チャンバーから搬出する搬送ロボットを有する搬送チャンバーと、
前記反応チャンバーと前記搬送チャンバーの間を前記基板及び前記処理基板が往来可能な往来空間を有するように連通する連通部と、
を備える半導体製造装置において、
前記搬送ロボットは、前記搬送ロボットが前記基板を搬入及び前記処理基板を搬出する搬送中に前記往来空間を流路とする気体の流れを阻止する阻止板を有することを特徴とする半導体製造装置。 - 前記阻止板は、前記搬送中に前記搬送チャンバーと前記連通部の連通を閉鎖する請求項1に記載の半導体製造装置。
- 前記阻止板は、前記搬送中に前記流路内に位置して前記流路の少なくとも一部を遮る請求項1に記載の半導体製造装置。
- 請求項1ないし3のいずれか1項に記載の半導体製造装置により半導体基板を製造することを特徴とする半導体基板の製造方法。
- 基板上に反応ガスを導入して前記基板を処理する反応チャンバーと、前記反応チャンバーに前記基板を搬入し、前記基板を処理した処理基板を前記反応チャンバーから搬出する搬送チャンバーと、前記反応チャンバーと前記搬送チャンバーの間を前記基板及び前記処理基板が往来可能な往来空間を有するように連通する連通部を備える半導体製造装置における前記反応チャンバーに前記基板を搬入及び前記反応チャンバーから前記処理基板を搬出する搬送ロボットにおいて、
前記搬送ロボットは、前記搬送ロボットが前記基板を搬入及び前記処理基板を搬出する搬送中に前記往来空間を流路とする気体の流れを阻止する阻止板を有することを特徴とする搬送ロボット。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2014
- 2014-09-08 JP JP2014182260A patent/JP6217567B2/ja active Active
Patent Citations (6)
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