JP2016051815A - 半導体装置、半導体装置の製造方法、プリントヘッド、及び画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、駆動回路が形成された基板と、基板上に付けられており複数の発光素子が形成されている半導体薄膜とを備える半導体装置に関する。そして本発明の半導体装置は、半導体薄膜は、エピタキシャル成長により形成された半導体層を用いて構成されており、半導体薄膜の表面の一部の領域には不純物拡散が行われており、不純物拡散が行われた領域内に、発光素子で発光可能な発光領域が形成されており、半導体薄膜で不純物拡散される不純物拡散領域は、発光領域よりも広くなっていることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
以下、本発明による半導体装置、半導体装置の製造方法、プリントヘッド、及び画像形成装置の第1の実施形態を、図面を参照しながら詳述する。なお、以下では、本発明の半導体装置及びプリントヘッドを、発光素子アレイチップ及び光プリントヘッドに適用した例について説明する。
図2は、第1の実施形態の画像形成装置の概略断面図である。
Ydp=(Y3−Y2)/2 …(1)
Y3 ≧ Y2+(2*Ydmax) …(2)
Wd ≧ We+(2*Ydmax) …(3)
第1の実施形態によれば、以下のような効果を奏することができる。
以下、本発明による半導体装置、半導体装置の製造方法、プリントヘッド、及び画像形成装置の第2の実施形態を、図面を参照しながら詳述する。なお、以下では、本発明の半導体装置及びプリントヘッドを、発光素子アレイチップ及び光プリントヘッドに適用した例について説明する。
第2の実施形態の画像形成装置200では、発光素子アレイチップ236の一部の構成及び製造方法が異なっている。以下では、第2の実施形態における発光素子アレイチップ236の構造(構成)及び製造方法について、第1の実施形態との差異を説明する。
X3 ≧ X2+(2*Xdmax) …(4)
Wd ≧ We+(2*Xdmax) …(5)
Xdp=(X3−X2)/2 …(6)
第2の実施形態によれば、第1の実施形態の効果に加えて、以下のような効果を奏するができる。
本発明は、上記の各実施形態に限定されるものではなく、以下に例示するような変形実施形態も挙げることができる。
Claims (7)
- 駆動回路が形成された基板と、前記基板上に付けられており複数の発光素子が形成されている半導体薄膜とを備える半導体装置において、
前記半導体薄膜は、エピタキシャル成長により形成された半導体層を用いて構成されており、
前記半導体薄膜の表面の一部の領域には不純物拡散が行われており、
前記不純物拡散が行われた領域内に、前記発光素子で発光可能な発光領域が形成されており、
前記半導体薄膜で不純物拡散される不純物拡散領域は、前記発光領域よりも広くなっている
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記不純物拡散領域は、前記基板上に前記半導体薄膜を付ける際の最大のずれ量を考慮した分広くなっていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記発光素子がpnpn構造を含む発光サイリスタであり、前記不純物拡散領域に拡散される不純物はp型の不純物であり、前記不純物拡散領域によりp型の半導体層となった部分が前記発光素子のアノード層として機能することを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記アノード層と、その下のn型の半導体層との接合部分が、露出していないことを特徴とする前記請求項3に記載の半導体装置。
- 駆動回路が形成された基板と、前記基板上に付けられており複数の発光素子が形成されている半導体薄膜とを備える半導体装置の製造方法において、
エピタキシャル成長により半導体層を有する半導体薄膜を形成する第1の工程と、
前記半導体薄膜の表面の一部の領域に不純物拡散を行う第2の工程と、
前記不純物拡散が行われた領域内に、前記発光素子で発光可能な発光領域を形成する第3の工程とを含み、
前記第3の工程では、前記半導体薄膜で不純物拡散される不純物拡散領域を、前記発光領域よりも広くする
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 複数の発光素子が形成された半導体装置と、前記半導体装置を搭載するための実装基板と、前記複数の発光素子の出射光を収束するレンズアレイとを備えるプリントヘッドにおいて、前記半導体装置として請求項1〜4のいずれかに記載の半導体装置を適用したことを特徴とするプリントヘッド。
- 静電潜像を担持する静電潜像担持体と、前記静電潜像担持体の表面を露光して前記静電潜像担持体の表面に静電潜像を形成するプリントヘッドと、前記静電潜像担持体の表面に形成された静電潜像を現像する現像手段と、前記静電潜像担持体の表面に現像された画像を媒体に転写する転写手段とを備える画像形成装置において、前記プリントヘッドとして請求項6に記載のプリントヘッドを適用したことを特徴とする画像形成装置。
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