JP2016046395A - 半導体スイッチ - Google Patents
半導体スイッチ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016046395A JP2016046395A JP2014169877A JP2014169877A JP2016046395A JP 2016046395 A JP2016046395 A JP 2016046395A JP 2014169877 A JP2014169877 A JP 2014169877A JP 2014169877 A JP2014169877 A JP 2014169877A JP 2016046395 A JP2016046395 A JP 2016046395A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- semiconductor switch
- bias line
- frequency
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】 半導体スイッチ10は、半導体基板31と、半導体基板31に設けられた絶縁膜32と、絶縁膜32上に設けられた半導体層33と、半導体層33に設けられた半導体スイッチ回路SW1乃至SW8と、半導体基板31が設けられた側と反対側の絶縁膜32上に設けられ、前記半導体スイッチ回路SW1乃至SW8と端子RF1乃至RF8とを接続する第1の配線RW0乃至RW8と、前記第1の配線RW0乃至RW8の側面に設けられ、前記半導体基板31の電位より高くなるよう電源に接続した第1導電体101と、を具備する。
【選択図】 図1
Description
本実施形態に係る半導体スイッチについて図1乃至図4を用いて説明する。図1は本実施形態の半導体スイッチを示す回路図である。図2は、半導体スイッチが設けられた半導体チップを示す平面図である。図3は半導体スイッチが設けられるSOI(Silicon On Insulator)基板を示す断面図である。図4は半導体スイッチの高周波配線の横に設けられたバイアスラインを示す図で、図4(a)はその平面図、図4(b)は図4(a)のA−A線に沿って切断し矢印方向に眺めた断面図である。
本実施形態に係る半導体スイッチについて図9を用いて説明する。図9は本実施形態の半導体スイッチのバイアスラインを示す図で、図9(a)はその平面図、図9(b)は図9(a)のA−A線に沿って切断し、矢印方向に眺めた断面図である。
本実施形態に係る半導体スイッチについて図12を用いて説明する。図12は本実施形態の半導体スイッチの要部を示す図で、図12(a)はその平面図、図12(b)は図12(a)のA−A線に沿って切断し、矢印方向に眺めた断面図である。
30 SOI基板
31 シリコン基板
31a 第1部分
31b 第2部分
32 シリコン酸化膜
33 シリコン層
41、55、57 層間絶縁膜
42 高周波配線
45 抵抗
46 電源
47 TEOS膜
48 導電膜
49、75 レジスト膜
50 ソース・ドレイン層
51 ゲート絶縁膜
52 ゲート電極
53 チャネル層
56 ゲート配線
71 ビア
72 ビア群
75a 開口
76 トレンチ
77 ポリシリコン膜
100 半導体スイッチ
101 バイアスライン
110 半導体チップ
111 第1の領域
112 第2の領域
113、121、123、126、128 配線
122、124、127、129 引出配線
301 電気力線
302 界面電荷
R1、R2 抵抗
N1〜N4 ノード
RF1〜RF8 高周波端子
RW0〜RW8 高周波配線
SW1〜SW8 半導体スイッチ部
T1〜T8 スルートランジスタ
S1〜S8 シャントトランジスタ
Cont1〜Cont8 制御信号
Cont1/〜Cont8/ 反転制御信号
Claims (5)
- 半導体基板と、
前記半導体基板に設けられた絶縁膜と、
前記絶縁膜上に設けられた半導体層と、
前記半導体層に設けられた半導体スイッチ回路と、
前記半導体基板が設けられた側と反対側の前記絶縁膜上に設けられ、前記半導体スイッチ回路と端子とを接続する第1の配線と、
前記第1の配線の側面に設けられ、前記半導体基板の電位より高くなるよう電源に接続した第1導電体と、
を具備することを特徴とする半導体スイッチ。 - 少なくとも前記第1導電体と前記半導体基板の間に、前記絶縁膜を貫通して前記半導体基板に接する柱状体を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体スイッチ。
- 前記柱状体は、前記半導体基板より高い比抵抗を有することを特徴とする請求項2に記載の半導体スイッチ。
- 前記第1導電体と前記柱状体は、電気的に接続されていることを特徴とする請求項3に記載の半導体スイッチ。
- 前記第1導電体は、線状体を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体スイッチ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014169877A JP2016046395A (ja) | 2014-08-22 | 2014-08-22 | 半導体スイッチ |
US14/473,021 US9654094B2 (en) | 2014-03-12 | 2014-08-29 | Semiconductor switch circuit and semiconductor substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014169877A JP2016046395A (ja) | 2014-08-22 | 2014-08-22 | 半導体スイッチ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016046395A true JP2016046395A (ja) | 2016-04-04 |
Family
ID=55636686
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014169877A Pending JP2016046395A (ja) | 2014-03-12 | 2014-08-22 | 半導体スイッチ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2016046395A (ja) |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03224261A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-03 | Fujitsu Ltd | 半導体集積回路装置 |
JPH08316420A (ja) * | 1995-05-23 | 1996-11-29 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JP2008227084A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2009176814A (ja) * | 2008-01-22 | 2009-08-06 | Denso Corp | 半導体装置 |
JP2010153786A (ja) * | 2008-12-23 | 2010-07-08 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 半導体構造、半導体構造を形成する方法、および半導体デバイスを操作する方法(信号忠実度および電気的分離が強化されたsoi無線周波スイッチ) |
JP2010232288A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Oki Semiconductor Co Ltd | 半導体集積チップ |
JP2011100989A (ja) * | 2009-10-09 | 2011-05-19 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置 |
JP2011258642A (ja) * | 2010-06-07 | 2011-12-22 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2013110149A (ja) * | 2011-11-17 | 2013-06-06 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
-
2014
- 2014-08-22 JP JP2014169877A patent/JP2016046395A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03224261A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-03 | Fujitsu Ltd | 半導体集積回路装置 |
JPH08316420A (ja) * | 1995-05-23 | 1996-11-29 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JP2008227084A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2009176814A (ja) * | 2008-01-22 | 2009-08-06 | Denso Corp | 半導体装置 |
JP2010153786A (ja) * | 2008-12-23 | 2010-07-08 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 半導体構造、半導体構造を形成する方法、および半導体デバイスを操作する方法(信号忠実度および電気的分離が強化されたsoi無線周波スイッチ) |
JP2010232288A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Oki Semiconductor Co Ltd | 半導体集積チップ |
JP2011100989A (ja) * | 2009-10-09 | 2011-05-19 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置 |
JP2011258642A (ja) * | 2010-06-07 | 2011-12-22 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2013110149A (ja) * | 2011-11-17 | 2013-06-06 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9654094B2 (en) | Semiconductor switch circuit and semiconductor substrate | |
US8134224B2 (en) | Radio frequency semiconductor device | |
TWI515878B (zh) | 絕緣體上半導體結構、自絕緣體上半導體主動元件之通道去除無用積聚多數型載子之方法、及製造積體電路之方法 | |
US6521948B2 (en) | SOI-structure MIS field-effect transistor with gate contacting body region | |
US9123796B2 (en) | Semiconductor device | |
CN102576692A (zh) | 具有背侧体区连接的绝缘体上半导体 | |
TW201304013A (zh) | 具有一受阻擋之口袋植入之二極體及使用該二極體之電路及方法 | |
JP6322569B2 (ja) | 半導体スイッチ | |
JP2012134317A (ja) | 半導体装置 | |
JP2018200916A (ja) | 半導体装置 | |
JPH04142775A (ja) | 半導体装置 | |
US9418992B2 (en) | High performance power cell for RF power amplifier | |
JP6545546B2 (ja) | 半導体スイッチ | |
US9947650B1 (en) | Device for protection against electrostatic discharges with a distributed trigger circuit | |
JP2015173227A (ja) | 半導体スイッチ及び半導体基板 | |
US10297590B1 (en) | Electro-static discharge protection device and method of making | |
JP2016046395A (ja) | 半導体スイッチ | |
JP2012010246A (ja) | 高周波スイッチ回路 | |
US9692410B2 (en) | Semiconductor switch | |
KR101034670B1 (ko) | 트랜지스터 및 그의 제조 방법 | |
US20230387103A1 (en) | Semiconductor structure | |
US6677644B2 (en) | Semiconductor integrated circuit having low voltage and high voltage transistors | |
CN111989781A (zh) | 用于绝缘体上覆硅器件的体连接 | |
JP2007048899A (ja) | スイッチ回路装置 | |
JP2001077370A (ja) | Soi半導体集積回路 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20160422 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160826 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170515 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170616 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20171215 |