JP2016038367A - 半導体バイオセンサー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】共通ソースとビット線デコーダの間に伸ばした複数のナノワイヤーを個別にセンスアンプに接続し、溶媒中を漂うターゲット分子が酸化膜表面のレセプターに受容される際もたらす電荷が少なくとも1本のナノワイヤーに与える電気的変化を検知することにより、従来のバイオセンサーの検知限界を大幅に向上することを特徴とする。
【選択図】図14
Description
K.Koike,et al.,Jpn.J.Appl.Phys.,vol.53,05FF04(2014)
本発明に関わる半導体バイオセンサーは、高精度小型検査装置の中心部品となる半導体チップであって、半導体チップ内に製造され、複数の半導体ナノワイヤーと、前記複数の半導体ナノワイヤーが共有する共通ソース領域と、前記複数の半導体ナノワイヤーに個別に接続する複数の不揮発性メモリ型ドレイン選択ゲートトランジスタと、前記複数の不揮発性メモリ型ドレイン選択ゲートトランジスタに個々に接続する複数のセンスアンプと、前記複数のセンスアンプの出力を解析し前記複数のセンスアンプの動作を管理するビット線制御装置と、前記複数のナノワイヤーを包み込む酸化膜と、前記酸化膜表面に付着する複数のレセプターと、を備えていることを特徴とする。
本実施形態に関わる半導体バイオセンサーは、図8に示すように、半導体ナノワイヤー6と酸化膜1とレセプター8からなる反応中心装置200および下記に説明する周辺装置によって実現することができる。
T.Tanaka,et al.,1990 Symposium on VLSI circuits,pp.105−106(1990).
2 電極(ソース)
3 電極(ドレイン)
4 半導体
5 ターゲットとレセプターが合体して半導体表面に付着した電荷
6 半導体ナノワイヤー
7 ターゲット
8 レセプター
9 センスアンプ
10 シリコン・オン・インシュレータ(SOI)
11 半導体ライン
12 スペース
20 ソース選択ゲート
21 ドレイン選択ゲート
22 ビット線デコーダ
23 共通ソース線
30 ナノワイヤーの断線
31 不揮発性メモリセル
32 細過ぎて抵抗が高いナノワイヤー
60 直径にばらつきのある半導体ナノワイヤー
101 レジスト
110 半導体バイオセンサーの従来例
200 反応中心装置
300 乖離定数
400 初期化ステップ
410 間引きステップ
420 検体測定ステップ
530 オフセット調整ステップ
Claims (6)
- 高精度小型検査装置の中心部品となる半導体チップであって、半導体チップ内に製造され、複数の半導体ナノワイヤーと、前記複数の半導体ナノワイヤーが共有する共通ソース領域と、前記複数の半導体ナノワイヤーに個別に接続する複数の不揮発性メモリ型ドレイン選択ゲートトランジスタと、前記複数の不揮発性メモリ型ドレイン選択ゲートトランジスタに個々に接続する複数のセンスアンプと、前記複数のセンスアンプの出力を解析し前記複数のセンスアンプの動作を管理するビット線制御装置と、前記複数のナノワイヤーを包み込む酸化膜と、前記酸化膜表面に付着する複数のレセプターと、を備えていることを特徴とする半導体バイオセンサー。
- 請求項1記載の半導体バイオセンサーを、検体サンプルを含む溶媒に晒す前に前記複数の半導体ナノワイヤーからの出力信号を検査し、断裂や異常高抵抗などのワイヤーエラーの有無を判断する初期化ステップと、前記ワイヤーエラーの判断に基づき、前記複数の半導体ナノワイヤーの内対応する半導体ナノワイヤーに接続する、前記複数の不揮発性メモリ型ドレイン選択ゲートトランジスタの内対応する不揮発性メモリ型ドレイン選択ゲートトランジスタに書き込み処理を行う間引きステップと、を備えていることを特徴とする、半導体バイオセンサーの動作方法。
- 前記間引きステップの後、さらに、前記複数の不揮発性メモリ型ドレイン選択ゲートトランジスタのうち、前記間引きステップで書き込みが行われなかった不揮発性メモリ型ドレイン選択ゲートトランジスタの閾電圧を選択的に微調整するオフセット調整ステップを、さらに備えていることを特徴とする、請求項2記載の半導体バイオセンサーの動作方法。
- 高精度小型検査装置の中心部品となる半導体チップであって、半導体チップ内に製造され、複数の半導体ナノワイヤーと、前記複数の半導体ナノワイヤーが共有する共通ソース領域と、前記複数の半導体ナノワイヤーに個々に接続する複数の不揮発性メモリ型トランジスタと、前記複数の半導体ナノワイヤーに個々に接続する複数のドレイン選択ゲートトランジスタと、前記複数の不揮発性メモリ型ドレイン選択ゲートトランジスタに個々に接続する複数のセンスアンプと、前記複数のセンスアンプの出力を解析し前記複数のセンスアンプの動作を管理するビット線制御装置と、前記複数のナノワイヤーを包み込む酸化膜と、前記酸化膜表面に付着する複数のレセプターと、を備えていることを特徴とする半導体バイオセンサー。
- 請求項4記載の半導体バイオセンサーを、検体サンプルを含む溶媒に晒す前に前記複数の半導体ナノワイヤーからの出力信号を検査し、断裂や異常高抵抗などのワイヤーエラーの有無を判断する初期化ステップと、前記ワイヤーエラーの判断に基づき、前記複数の半導体ナノワイヤーの内対応する半導体ナノワイヤーに接続する、前記複数の不揮発性メモリ型トランジスタの内対応する不揮発性メモリ型トランジスタに書き込み処理を行う間引きステップと、を備えていることを特徴とする、半導体バイオセンサーの動作方法。
- 前記間引きステップの後、さらに、前記複数の不揮発性メモリ型トランジスタのうち、前記間引きステップで書き込みが行われなかった不揮発性メモリ型トランジスタの閾電圧を選択的に微調整するオフセット調整ステップを、さらに備えていることを特徴とする、請求項5記載の半導体バイオセンサーの動作方法。
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