JP2016025296A - 熱処理装置及び熱処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
該処理容器の外周を、所定空間を有して離間して覆う加熱手段と、
前記処理容器の外部であって前記所定空間内に設けられ、前記処理容器の内部と連通して前記処理容器内の排ガスを排出可能な排出管と、
該排出管の周囲を覆う断熱材と、を有する。
該処理容器の周囲から該処理容器を加熱手段により加熱し、前記基板を熱処理する工程と、
前記処理容器と前記加熱手段との間の空間に設けられ、周囲が断熱材で覆われた排出管を介して、前記処理容器内で発生した排出ガスを排出する工程と、
前記加熱手段の加熱を終了し、前記基板の熱処理を終了する工程と、
前記処理容器と前記加熱手段との間の前記空間を冷却する工程と、を有する。
4 処理容器
12 排気系
22 ウエハボート(保持手段)
30 保温手段
56 加熱手段
57、70、90 断熱材
64 空間
66 冷却手段
91 カバー部材
92、93 布
95 固定部材
96 糸
W 半導体ウエハ(基板)
Claims (18)
- 基板を収容した状態で基板を熱処理可能な処理容器と、
該処理容器の外周を、所定空間を有して離間して覆う加熱手段と、
前記処理容器の外部であって前記所定空間内に設けられ、前記処理容器の内部と連通して前記処理容器内の排ガスを排出可能な排出管と、
該排出管の周囲を覆う断熱材と、を有する熱処理装置。 - 前記加熱手段は、赤外線を放射する赤外線加熱ヒータであり、
前記断熱材は、赤外線を透過する材料から構成された請求項1に記載の熱処理装置。 - 前記断熱材の耐熱温度は、350℃以上である請求項1又は2に記載の熱処理装置。
- 前記断熱材は、前記排出管を長手方向に沿って覆う縦長の布から構成された請求項1乃至3のいずれか一項に記載の熱処理装置。
- 前記断熱材は、前記布を前記排出管の周囲に固定するための紐を有する請求項4に記載の熱処理装置。
- 前記断熱材は、2枚の布を短手方向にずらして縫い合わせ、短手方向の中央領域が2枚重ね、両外側領域が1枚布である請求項4又は5に記載の熱処理装置。
- 前記断熱材を前記排出管の周囲に巻き、前記紐を前記断熱材の周囲に巻回させて結んで固定したとき、前記排出管の周囲で総て前記布の厚さが2枚重ねとなるように前記中央領域と前記両外側領域が調整された請求項6に記載の熱処理装置。
- 前記断熱材は、ガラスクロスから構成された請求項4乃至7のいずれか一項に記載のされた熱処理装置。
- 前記排出管が石英から構成された請求項1乃至8のいずれか一項に記載された熱処理装置。
- 前記処理容器が石英から構成された請求項1乃至9のいずれか一項に記載された熱処理装置。
- 前記処理容器は、前記基板を多段に収容可能な横よりも縦が長い形状を有する請求項1乃至10のいずれか一項に記載の熱処理装置。
- 前記基板を鉛直方向に所定間隔を有して多段に積載支持可能であり、前記処理容器内に収容可能な基板支持台を更に有し、
該基板支持台が前記処理容器内で前記基板を支持した状態で前記基板を熱処理する請求項1乃至11のいずれか一項に記載の熱処理装置。 - 前記所定空間を冷却する冷却手段を更に備えた請求項1乃至12のいずれか一項に記載の熱処理装置。
- 前記加熱手段を作動させて熱処理を行い、
該熱処理後は、前記加熱手段を停止させるとともに、前記冷却手段を作動させる制御を行う制御手段を更に有する請求項13に記載の熱処理装置。 - 基板を処理容器内に収容する工程と、
該処理容器の周囲から該処理容器を加熱手段により加熱し、前記基板を熱処理する工程と、
前記処理容器と前記加熱手段との間の空間に設けられ、周囲が断熱材で覆われた排出管を介して、前記処理容器内で発生した排出ガスを排出する工程と、
前記加熱手段の加熱を終了し、前記基板の熱処理を終了する工程と、
前記処理容器と前記加熱手段との間の前記空間を冷却する工程と、を有する熱処理方法。 - 前記加熱手段による加熱は、赤外線を放射することにより行われ、
前記断熱材は、前記赤外線を透過させて前記排出管の加熱を妨げないとともに、前記空間の冷却時には前記排出管の冷却を断熱して妨げる請求項15に記載の熱処理方法。 - 前記空間の冷却時には、前記排出管の内部に副生成物が付着するのを前記断熱材の断熱により防ぐ請求項16に記載の熱処理方法。
- 前記加熱手段による加熱は、200℃以上の温度で行い、
前記空間の冷却時には、前記排出管の温度を125℃以上に保つ請求項17に記載の熱処理方法。
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