JP2016025277A - フォーカスリング - Google Patents
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Abstract
【課題】フォーカスリング載置面に載置される伝熱シートに対して、フォーカスリングから最適な熱伝達を行うことができる熱伝達構造を有するフォーカスリングを提供する。
【解決手段】フォーカスリング本体1aの裏面に形成された第1の底面部2と、前記フォーカスリング本体に裏面に形成された第2の底面部3と、前記第1の底面部の底面2b及び前記第2の底面部の底面3bによって構成される基準面からフォーカスリング本体上面1b方向に50μm以上1000μm以下の深さ寸法t2を有する凹部が形成される凹部形成領域4と、前記凹部形成領域内4に形成された第3の底面部5a,5bと、を備え、前記第3の底面部5a,5bによって、前記凹部形成領域4における空隙率が20%以上、80%以下になされる。
【選択図】図5
【解決手段】フォーカスリング本体1aの裏面に形成された第1の底面部2と、前記フォーカスリング本体に裏面に形成された第2の底面部3と、前記第1の底面部の底面2b及び前記第2の底面部の底面3bによって構成される基準面からフォーカスリング本体上面1b方向に50μm以上1000μm以下の深さ寸法t2を有する凹部が形成される凹部形成領域4と、前記凹部形成領域内4に形成された第3の底面部5a,5bと、を備え、前記第3の底面部5a,5bによって、前記凹部形成領域4における空隙率が20%以上、80%以下になされる。
【選択図】図5
Description
本発明はフォーカスリングに関し、特にプラズマ処理装置において被処理基板の周縁部を囲い、被処理基板を載置する基板載置台に載置されるフォーカスリングに関する。
半導体デバイス製造プロセスにおいて、プラズマエッチング装置、プラズマCVD装置等のプラズマ処理装置が用いられ、被処理基板にエッチング等の処理が行われる。
一般的に、前記プラズマ処理装置は、被処理基板を収容する減圧可能なチャンバと、エッチング処理中、被処理基板が静電チャックを介して載置される基板載置台(以下、「サセプタ」という。)と、を備えている。
一般的に、前記プラズマ処理装置は、被処理基板を収容する減圧可能なチャンバと、エッチング処理中、被処理基板が静電チャックを介して載置される基板載置台(以下、「サセプタ」という。)と、を備えている。
前記サセプタは調温機構を備え、エッチング処理がなされる被処理基板の温度を制御するように構成されている。
また、前記サセプタの上面に配置される静電チャックは、被処理基板を保持、固定するものであり、前記静電チャックには、フォーカスリングを載置するフォーカスリング載置面が設けられている。尚、静電チャックは基板載置台の一部を構成するため、サセプタにフォーカスリング載置面が形成されているともいえる。
また、前記サセプタの上面に配置される静電チャックは、被処理基板を保持、固定するものであり、前記静電チャックには、フォーカスリングを載置するフォーカスリング載置面が設けられている。尚、静電チャックは基板載置台の一部を構成するため、サセプタにフォーカスリング載置面が形成されているともいえる。
前記フォーカスリングは、前記チャンバ内のプラズマを被処理基板上に収束させるために配置されるものであり、前記被処理基板の周縁部を囲うように、例えば、シリコンからなる環状のフォーカスリングが前記フォーカスリング載置面上に載置される。
また、前記フォーカスリング及びフォーカスリング載置面の間(フォーカスリングとサセプタ(静電チャック)の間)には、フォーカスリングとサセプタ間の熱伝達効率を向上させるため、導電性のシリコーンゴム等の伝熱シートが配置されている。
また、前記フォーカスリング及びフォーカスリング載置面の間(フォーカスリングとサセプタ(静電チャック)の間)には、フォーカスリングとサセプタ間の熱伝達効率を向上させるため、導電性のシリコーンゴム等の伝熱シートが配置されている。
そして、このように構成されたプラズマ処理装置にあっては、被処理基板を前記チャンバ内に収容した後、チャンバ内を減圧し、プラズマを発生させることにより、被処理基板をエッチングする。
その際、被処理基板はプラズマから熱を受けて温度が上昇するが、前記サセプタの調温機構によって、被処理基板は冷却され、その温度は一定に維持され、所定のエッチングがなされる。
その際、被処理基板はプラズマから熱を受けて温度が上昇するが、前記サセプタの調温機構によって、被処理基板は冷却され、その温度は一定に維持され、所定のエッチングがなされる。
ところで、特許文献1において、前記した伝熱シートが導電性シリコーンゴム等の耐熱性、柔軟性を有する弾性部材から構成されているため、前記伝熱シートがフォーカスリングやフォーカスリング載置面に密着、付着し、これによって、以下の問題点が生じることが指摘されている。
(1)伝熱シートがフォーカスリングにも付着した場合、フォーカスリングをサセプタから離脱させるのが困難となる。
(2)フォーカスリングをサセプタから離脱させる際に伝熱シートが千切れ、異物となってチャンバ内に付着する。
(3)フォーカスリングをサセプタから離脱させた後に伝熱シートがサセプタに残るが、サセプタはチャンバ内から取り出すことが困難であるため、伝熱シートの除去が困難である。
(1)伝熱シートがフォーカスリングにも付着した場合、フォーカスリングをサセプタから離脱させるのが困難となる。
(2)フォーカスリングをサセプタから離脱させる際に伝熱シートが千切れ、異物となってチャンバ内に付着する。
(3)フォーカスリングをサセプタから離脱させた後に伝熱シートがサセプタに残るが、サセプタはチャンバ内から取り出すことが困難であるため、伝熱シートの除去が困難である。
そして、特許文献1では、これら問題点を解決する基板処理装置が提案されている。この提案された基板処理装置20について、図11に基づいて説明する。
図11に示すように、基板処理装置20の基板載置台21はフォーカスリング22を載置するフォーカスリング載置面21aを有している。
また、このフォーカスリング載置面21aには、フッ素被膜23が形成され、前記フォーカスリング22及び前記フォーカスリング載置面21a(フッ素被膜23)の間に、伝熱シート24が挟み込まれるように設けられている。尚、図中、符号Wは被処理基板である。
この提案された基板処理装置20にあっては、フォーカスリング載置面21aに、フッ素被膜23が設けられているため、導電性シリコーンゴム等で形成されている伝熱シート24のフォーカスリング22やフォーカスリング載置面21aへの密着、付着を抑制することができる。
図11に示すように、基板処理装置20の基板載置台21はフォーカスリング22を載置するフォーカスリング載置面21aを有している。
また、このフォーカスリング載置面21aには、フッ素被膜23が形成され、前記フォーカスリング22及び前記フォーカスリング載置面21a(フッ素被膜23)の間に、伝熱シート24が挟み込まれるように設けられている。尚、図中、符号Wは被処理基板である。
この提案された基板処理装置20にあっては、フォーカスリング載置面21aに、フッ素被膜23が設けられているため、導電性シリコーンゴム等で形成されている伝熱シート24のフォーカスリング22やフォーカスリング載置面21aへの密着、付着を抑制することができる。
ところで、上記したシリコーンゴム製の伝熱シートは、耐熱性を有しているとは言え、プラズマ環境下において250℃を超える温度域で、長時間の連続使用をすると、特性の変化が生じる。
そのため、前記伝熱シートを長時間使用すると、経時的劣化が生じ、前記フォーカスリングにおける伝熱性の面内均一性が経時的に劣るようになる。
即ち、前記フォーカスリング面内温度が経時的に不均一となり、均一なエッチングを行うことができないという技術的課題があった。
そのため、前記伝熱シートを長時間使用すると、経時的劣化が生じ、前記フォーカスリングにおける伝熱性の面内均一性が経時的に劣るようになる。
即ち、前記フォーカスリング面内温度が経時的に不均一となり、均一なエッチングを行うことができないという技術的課題があった。
本発明者らは、上記技術的課題を解決するため、伝熱シート、基板載置台(サセプタ)ではなく、フォーカスリング自体の構造に着目し、伝熱シートが経時的に劣化し難いフォーカスリングの熱伝達構造を鋭意研究の上、本発明を想到するに至った。
本発明は、フォーカスリング載置面に載置される伝熱シートに対して、より最適な熱伝達を行うことができる熱伝達構造を有するフォーカスリングを提供することを目的とする。
前記した課題を解決するためになされた本発明にかかるフォーカスリングは、環状に構成されるシリコン製のフォーカスリングであって、フォーカスリング本体の裏面の最内周に形成された、径方向に所定幅の第1の底面を有する環状の第1の底面部と、前記フォーカスリング本体の裏面の最外周に、前記第1の底面部と同心円状に形成された、径方向に所定幅の第2の底面を有する環状の第2の底面部と、前記第1の底面部と前記第2の底面部の間であって、前記第1の底面及び前記第2の底面によって構成される基準面からフォーカスリング本体上面方向に50μm以上1000μm以下の深さ寸法を有する凹部が形成される凹部形成領域と、前記凹部形成領域内に前記凹部が形成されることによって形成される、前記基準面上の第3の底面を有する第3の底面部と、を備え、前記第3の底面部によって、前記凹部形成領域における空隙率が20%以上、80%以下になされることを特徴としている。
このように、第1の底面部の底面、第2の底面部の底面、第3の底面部の底面が、伝熱シートに接して載置されるため、フォーカスリング本体からの伝熱が適度に抑制され、伝熱シートの高温化を抑制でき、伝熱シートの特性劣化を抑制することができる。
更に、伝熱シートの特性劣化に伴うフォーカスリング面内温度の経時的不均一性化が抑制され、より均一なエッチングを行うことができる。
更に、伝熱シートの特性劣化に伴うフォーカスリング面内温度の経時的不均一性化が抑制され、より均一なエッチングを行うことができる。
また、フォーカスリング本体の裏面の最内周及び最外周に、同心円状に、環状の第1の底面部及び第2の底面部が形成されているため、プラズマ処理した際、プラズマガスがフォーカスリング本体の内外周から底面(前記凹部形成領域内)に流れ込むのを抑制することができる。
その結果、プラズマガスが流れ込むことによる、凹部、第3の底面部の侵食を抑制でき、フォーカスリング本体の部位を侵食することによる空隙率の変化(バラツキ)が抑制される。更に言えば、空隙率の変化(バラツキ)が抑制されることにより、フォーカスリングの温度の面内均一性が維持され、被処理基板の面内を均一にエッチングすることができる。
その結果、プラズマガスが流れ込むことによる、凹部、第3の底面部の侵食を抑制でき、フォーカスリング本体の部位を侵食することによる空隙率の変化(バラツキ)が抑制される。更に言えば、空隙率の変化(バラツキ)が抑制されることにより、フォーカスリングの温度の面内均一性が維持され、被処理基板の面内を均一にエッチングすることができる。
更に、前記凹部の深さ寸法が、前記第1の底面及び前記第2の底面によって構成される基準面からフォーカスリング本体上面方向に50μm以上1000μm以下になされると共に、前記凹部形成領域内に前記凹部が形成されることによって形成される第3の底面部によって、前記凹部形成領域内の空隙率が20%以上、80%以下になされている。
このような凹部深さ寸法、空隙率をなすことにより、より最適な伝熱効果が得られ、伝熱シートの経時的に劣化を抑制することができると共に、十分な機械的強度が得られ、破損を抑制することができる。
尚、空隙率は、(凹部形成領域の体積−第3の底面部の体積)÷(凹部形成領域の体積)×100で表される。
このような凹部深さ寸法、空隙率をなすことにより、より最適な伝熱効果が得られ、伝熱シートの経時的に劣化を抑制することができると共に、十分な機械的強度が得られ、破損を抑制することができる。
尚、空隙率は、(凹部形成領域の体積−第3の底面部の体積)÷(凹部形成領域の体積)×100で表される。
ここで、前記第1の底面、前記第2の底面、第3の底面の各角部が、曲面加工あるいは面取り加工がなされていることが望ましい。
このように、前記角部が曲面加工あるいは面取り加工されていると、フォーカスリングを伝熱シートから取り外す際、伝熱シートに引っ掛かることなく、容易に取り外すことができ、伝熱シートの千切れ等を抑制することができる。
このように、前記角部が曲面加工あるいは面取り加工されていると、フォーカスリングを伝熱シートから取り外す際、伝熱シートに引っ掛かることなく、容易に取り外すことができ、伝熱シートの千切れ等を抑制することができる。
また、前記第3の接触部が、格子形状あるいは扇形状に形成されていることが望ましい。
また、前記第3の接触部が、円錐台形状あるいは円錐形状であることが望ましい。
また、前記第3の接触部が、円錐台形状あるいは円錐形状であることが望ましい。
また、前記第3の底面部のうち一の第3の底面部は、円錐台形状あるいは円錐形状に形成されると共に、前記凹部形成領域の凹部内に複数形成され、第3の底面部のうち他の第3の底面部は、前記第1及び第2の底面部と同心円状に、かつ径方向に所定幅を有する底面が環状に形成されていることが望ましい。
このように、前記第1の底面部と前記第2の底面部の間の凹部形成領域において、凹部の形成によって設けられる一の第3の底面部に加えて、更に第1の底面部及び第2の底面部と同心円状で、かつ環状に形成された他の第3の底面部が形成されているため、周方向でのより高い伝熱性が得られると共に、前記凹部形成領域の補強となり、フォーカスリングの耐変形性を高めることができる。
このように、前記第1の底面部と前記第2の底面部の間の凹部形成領域において、凹部の形成によって設けられる一の第3の底面部に加えて、更に第1の底面部及び第2の底面部と同心円状で、かつ環状に形成された他の第3の底面部が形成されているため、周方向でのより高い伝熱性が得られると共に、前記凹部形成領域の補強となり、フォーカスリングの耐変形性を高めることができる。
また、前記第1の底面部と前記第2の底面部の間に形成された前記凹部形成領域の空隙率が、フォーカスリング本体と同心円の所定径を有する円で内周領域と外周側領域に区分した際、前記内周側領域の空隙率が前記外周側領域の空隙率よりも小さいことが望ましい。
また、前記第1の底面部と前記第2の底面部の間に形成された前記凹部形成領域の空隙率が、前記第1及び第2の底面部と同心円状に形成された前記他の第3の底面部で内周領域と外周側領域に区分した際、前記内周側領域の空隙率が前記外周側領域の空隙率よりも小さいことが望ましい。
前記フォーカスリング本体の内周側に熱がこもり易く、高温となるため、前記凹部形成領域内の全体の空隙率が、20%以上、80%以下になされると共に、内周側領域に位置する凹部形成領域内の空隙率が、フォーカスリング本体の外周側領域に位置する凹部形成領域内の空隙率よりも小さく形成し、フォーカスリング本体の内周側領域の熱をよりサセプタに伝熱するのが好ましい。
また、前記第1の底面部と前記第2の底面部の間に形成された前記凹部形成領域の空隙率が、前記第1及び第2の底面部と同心円状に形成された前記他の第3の底面部で内周領域と外周側領域に区分した際、前記内周側領域の空隙率が前記外周側領域の空隙率よりも小さいことが望ましい。
前記フォーカスリング本体の内周側に熱がこもり易く、高温となるため、前記凹部形成領域内の全体の空隙率が、20%以上、80%以下になされると共に、内周側領域に位置する凹部形成領域内の空隙率が、フォーカスリング本体の外周側領域に位置する凹部形成領域内の空隙率よりも小さく形成し、フォーカスリング本体の内周側領域の熱をよりサセプタに伝熱するのが好ましい。
また、前記凹部が、レーザーダイシング法あるいは陽極化成法を用い、更に酸エッチングすることにより形成されることが望ましい。
レーザダイジング法あるいは陽極化成法を用いることにより、凹部の表面を滑らかな面とすることができ、酸エッチングすることにより、第1、第2、第3の底面部の底面の角部を曲面形状になすことができる。その結果、伝熱シートの付着性をより抑制でき、パーティクル発生をより低減することができる。
レーザダイジング法あるいは陽極化成法を用いることにより、凹部の表面を滑らかな面とすることができ、酸エッチングすることにより、第1、第2、第3の底面部の底面の角部を曲面形状になすことができる。その結果、伝熱シートの付着性をより抑制でき、パーティクル発生をより低減することができる。
本発明によれば、フォーカスリング載置面に載置される伝熱シートに対して、より最適な熱伝達を行うことができる熱伝達構造を有するフォーカスリングを得ることができる。
本発明にかかるフォーカスリングの第1の実施形態について、図1乃至図5に基づいて説明する。
図1に示すフォーカスリング1は、被処理基板の周縁部を囲うものであるため、被処理基板の大きさによって変わるが、一例を挙げれば、内径がφ400mm、外径がφ500mm、厚さが4mmの大きさを有している。
図1に示すフォーカスリング1は、被処理基板の周縁部を囲うものであるため、被処理基板の大きさによって変わるが、一例を挙げれば、内径がφ400mm、外径がφ500mm、厚さが4mmの大きさを有している。
このフォーカスリング1(フォーカスリング本体1a)は、シリコンからなり、環状に構成されている。
このフォーカスリング本体1aの上面1bの内周部には、従来のフォーカスリング本体1aと同様に、前記被処理基板(図示せず)の周縁部を囲うように、段部1cが設けられている。
このフォーカスリング本体1aの上面1bの内周部には、従来のフォーカスリング本体1aと同様に、前記被処理基板(図示せず)の周縁部を囲うように、段部1cが設けられている。
一方、図2に示すように、フォーカスリング本体1aの底面(裏面)の最内周には、径方向に所定の幅の底面2bを有する環状の第1の底面部2が形成されている。
具体的に述べれば、図3に示すように、この第1の底面部2の最内周面2aと、フォーカスリング本体1aの内周面1dは同一面に形成されている。また第1の底面部2には、外周方向に所定の幅T1を有する環状の第1の底面2bが形成されている。
具体的に述べれば、図3に示すように、この第1の底面部2の最内周面2aと、フォーカスリング本体1aの内周面1dは同一面に形成されている。また第1の底面部2には、外周方向に所定の幅T1を有する環状の第1の底面2bが形成されている。
また前記フォーカスリング本体1aの最外周には、前記第1の底面部2と同心円状に第2の底面部3が形成されている。この第2の底面部3の第2の底面3bは、前記第1の底面2bと同一高さに形成され、径方向に所定の幅T2を有し、環状に形成されている。
具体的に述べれば、図3に示すように、この第2の底面部3の外周面3aと、フォーカスリング本体1aの外周面1eは同一面に形成され、内周方向に所定の幅T2を有する第2の底面3bが形成されている。
具体的に述べれば、図3に示すように、この第2の底面部3の外周面3aと、フォーカスリング本体1aの外周面1eは同一面に形成され、内周方向に所定の幅T2を有する第2の底面3bが形成されている。
また、第1の底面部2から前記第2の底面部3の間には、所定の深さを有する凹部が形成される凹部形成領域4が設定されている。
この凹部形成領域4内に凹部が形成されることにより、前記第1の底面部2と前記第2の底面部3が形成される。
この凹部は、凹部形成領域4内の一部の領域に形成されると共に、第1の底面2b及び前記第2の底面3bから構成される基準面Fからフォーカスリング本体上面1b方向に50μm以上1000μm以下の深さ寸法を有している。
この凹部形成領域4内に凹部が形成されることにより、前記第1の底面部2と前記第2の底面部3が形成される。
この凹部は、凹部形成領域4内の一部の領域に形成されると共に、第1の底面2b及び前記第2の底面3bから構成される基準面Fからフォーカスリング本体上面1b方向に50μm以上1000μm以下の深さ寸法を有している。
尚、前記凹部形成領域4における凹部形成方法としては、当該形成方向における断面形状が同一の凹部を、例えば半径方向に、あるいは周方向に、または直径と平行な方向に、一定のパターンで、線状に複数形成することで、複数の第3の底面部を形成することが望ましい。
これによって、前記第3の底面部の底面の形状を均一化することができ、また単位面積当たりの配置をより均質化することができる。これをより確実に、また正確に行うためには、当該フォーカスリングはCZ法により製造した単結晶シリコンとすることが好ましい。
これによって、前記第3の底面部の底面の形状を均一化することができ、また単位面積当たりの配置をより均質化することができる。これをより確実に、また正確に行うためには、当該フォーカスリングはCZ法により製造した単結晶シリコンとすることが好ましい。
更に、前記凹部形成領域4の具体例について、図4、図5に基づいて説明する。
図に示すように、前記第1の底面部2と第2の底面部3の間の凹部形成領域4内において、凹部を形成することによって、2種類の第3の底面部5a、5bが形成されている。
図に示すように、前記第1の底面部2と第2の底面部3の間の凹部形成領域4内において、凹部を形成することによって、2種類の第3の底面部5a、5bが形成されている。
一の第3の底面部5aは、図5に示すように、側面からみて円錐形状に形成されると共に、前記凹部形成領域4の凹部内に複数形成されている。
また、他の第3の底面部5bは、図4に示すように前記第1及び第2の底面部2,3と同心円状に、かつ環状に形成されている。即ち、第3の底面部5bの底面5b1は、前記第1及び第2の底面2b,3bと同心円状に、かつ環状に形成されている。
前記第3の底面部5aの第3の底面5a1及び前記第3の底面部5bの第3の底面5b1は、前記第1の底面2b及び第2の底面3bによって構成される基準面F上に位置している。
また、他の第3の底面部5bは、図4に示すように前記第1及び第2の底面部2,3と同心円状に、かつ環状に形成されている。即ち、第3の底面部5bの底面5b1は、前記第1及び第2の底面2b,3bと同心円状に、かつ環状に形成されている。
前記第3の底面部5aの第3の底面5a1及び前記第3の底面部5bの第3の底面5b1は、前記第1の底面2b及び第2の底面3bによって構成される基準面F上に位置している。
この一の第3の底面部5aと他の第3の底面部5bは、フォーカスリングの半径方向での面内温度をより均一化するために設けられている。
尚、第3の底面5a1,5b1が、第1の底面2b及び第2の底面3bによって構成される基準面F上に位置している場合とは、同一面上にある場合のほか、基準面Fに対して±10μmの範囲内に位置する場合も含む。第3の底面5a1,5b1が基準面Fに対して±10μmの範囲内に有る場合には、伝熱シートに対する伝熱効果が認められるためである。
尚、第3の底面5a1,5b1が、第1の底面2b及び第2の底面3bによって構成される基準面F上に位置している場合とは、同一面上にある場合のほか、基準面Fに対して±10μmの範囲内に位置する場合も含む。第3の底面5a1,5b1が基準面Fに対して±10μmの範囲内に有る場合には、伝熱シートに対する伝熱効果が認められるためである。
また、この前記凹部形成領域4の深さt2は、図5に示すように、第1の底面2b、第2の底面3bを基準面Fとした際、フォーカスリング本体1a上面方向に50μm以上1000μm以下の深さt2を有している。
このように、前記第1の底面2b、前記第2の底面3b、第3の底面5a1,5b1が、基準面F上あるいは基準面Fから所定の範囲内にあるため、フォーカスリング1をフォーカスリング載置面に載置した際、各底面2b、3b、5a1、5b1が伝熱シート上に接し、フォーカスリング1の熱を、前記伝熱シートを介して、適度にかつ確実に下方のサセプタに伝熱させることができる。
また、前記凹部形成領域4内に形成された2種類の第3の底面部5a、5bによって、前記凹部形成領域4内の空隙率が20%以上、80%以下になされている。
ここで、空隙率は、(凹部形成領域の体積−第3の底面部の体積)÷(凹部形成領域の体積)×100で表される。
尚、凹部形成領域4の体積は、第3の底面部5a、5bが形成されていない状態の凹部形成領域4の体積であり、前記凹部形成領域4の深さ寸法と、第1の底面部2と前記第2の底面部3との間の面積から求めることができる。
ここで、空隙率は、(凹部形成領域の体積−第3の底面部の体積)÷(凹部形成領域の体積)×100で表される。
尚、凹部形成領域4の体積は、第3の底面部5a、5bが形成されていない状態の凹部形成領域4の体積であり、前記凹部形成領域4の深さ寸法と、第1の底面部2と前記第2の底面部3との間の面積から求めることができる。
この空隙率と凹部形成領域4の深さt2は、フォーカスリングの伝熱効果(断熱効果)及び機械的強度に影響を与えるものである。
即ち、凹部形成領域4の深さt2が50μm未満であり、かつ前記凹部形成領域4内の空隙率が20%未満の場合には、効果的な断熱効果を得ることができない。その結果、前記伝熱シートを長時間使用すると、伝熱シートが経時的に劣化し、前記フォーカスリング面内温度が経時的に不均一となり、均一なエッチングを行うことができなくなる。
即ち、凹部形成領域4の深さt2が50μm未満であり、かつ前記凹部形成領域4内の空隙率が20%未満の場合には、効果的な断熱効果を得ることができない。その結果、前記伝熱シートを長時間使用すると、伝熱シートが経時的に劣化し、前記フォーカスリング面内温度が経時的に不均一となり、均一なエッチングを行うことができなくなる。
一方、この凹部形成領域4の深さt2が1000μmを超え、かつ前記第1の凹部4内の空隙率が80%超える場合には、十分な機械的強度を得ることができず、破損につながるため好ましくない。
したがって、凹部形成領域4の深さt2が、前記第1の底面2b及び前記第2の底面3bによって構成される基準面からフォーカスリング本体上面1b方向に50μm以上1000μmであって、前記凹部形成領域4内の空隙率が20%以上、80%以下になされるのが望ましい。
より好ましくは、凹部形成領域4の深さt2は50μm以上500μm以下であって、前記凹部形成領域4内の空隙率が45%以上65%以下であり、更には、凹部形成領域4の深さt2は200μm以上500μm以下であって、前記凹部形成領域4内の空隙率が45%以上65%以下が最も好ましい。
尚、これらいずれの場合においても、フォーカスリング本体1aの厚さt1は、2.5mm〜4.5mmであることが好ましい。
したがって、凹部形成領域4の深さt2が、前記第1の底面2b及び前記第2の底面3bによって構成される基準面からフォーカスリング本体上面1b方向に50μm以上1000μmであって、前記凹部形成領域4内の空隙率が20%以上、80%以下になされるのが望ましい。
より好ましくは、凹部形成領域4の深さt2は50μm以上500μm以下であって、前記凹部形成領域4内の空隙率が45%以上65%以下であり、更には、凹部形成領域4の深さt2は200μm以上500μm以下であって、前記凹部形成領域4内の空隙率が45%以上65%以下が最も好ましい。
尚、これらいずれの場合においても、フォーカスリング本体1aの厚さt1は、2.5mm〜4.5mmであることが好ましい。
また、前記第1の底面部2と前記第2の底面部3の間に形成された前記凹部形成領域4の空隙率は、前記第1及び第2の底面部2,3と同心円状に形成された前記第3の底面部5bで内周領域と外周側領域に区分した際、前記内周側領域の空隙率が前記外周側領域の空隙率よりも小さくなるようにするのが好ましい。
フォーカスリング1はプラズマ雰囲気下において、内周側に熱がこもり易く、高温になりやすいことから、伝熱シートを介してフォーカスリング本体1aの内周側の熱をよりサセプタ(伝熱シート)に逃がす必要がある。内周側領域に位置する凹部形成領域内の空隙率が、フォーカスリング本体の外周側領域に位置する凹部形成領域内の空隙率よりも小さく形成することにより、フォーカスリング本体の内周側領域の熱をよりサセプタに伝熱し、熱伝熱性をより均一化することが好ましい。
フォーカスリング1はプラズマ雰囲気下において、内周側に熱がこもり易く、高温になりやすいことから、伝熱シートを介してフォーカスリング本体1aの内周側の熱をよりサセプタ(伝熱シート)に逃がす必要がある。内周側領域に位置する凹部形成領域内の空隙率が、フォーカスリング本体の外周側領域に位置する凹部形成領域内の空隙率よりも小さく形成することにより、フォーカスリング本体の内周側領域の熱をよりサセプタに伝熱し、熱伝熱性をより均一化することが好ましい。
尚、フォーカスリング1の底面(裏面)の最内周及び最外周に、同心円状に、環状の第1の底面部2及び第2の底面部3を形成したのは、プラズマ処理した際、プラズマガスがフォーカスリング1の内外周から底面に流れ込むのを抑制するためである。
具体的に述べれば、フォーカスリング1の内外周から底面に、プラズマガスが侵入すると、凹部形成領域4、第3の底面部5a,5bが侵食され、フォーカスリング1の部位による空隙率に変化(バラツキ)が生じ、フォーカスリング1の温度の面内均一性が阻害され、被処理基板の面内が均一にエッチングすることができないという弊害が生じる。このように、前記第1の底面部2及び第2の底面部3は、プラズマガスがフォーカスリング1の内外周から底面に侵入するのを抑制し、前記弊害を抑制するために形成されている。
具体的に述べれば、フォーカスリング1の内外周から底面に、プラズマガスが侵入すると、凹部形成領域4、第3の底面部5a,5bが侵食され、フォーカスリング1の部位による空隙率に変化(バラツキ)が生じ、フォーカスリング1の温度の面内均一性が阻害され、被処理基板の面内が均一にエッチングすることができないという弊害が生じる。このように、前記第1の底面部2及び第2の底面部3は、プラズマガスがフォーカスリング1の内外周から底面に侵入するのを抑制し、前記弊害を抑制するために形成されている。
また、図5に示すように、底面2b,3b、5a1,5b1と、前記第1の底面部2、前記第2の底面部3、第3の底面部5a、5bの側面部によって形成される角部E1〜E7を、曲面加工がなされ、角度が90度以下の角部が存在しないようにするのが好ましい。
尚、角部E1〜E7は曲面加工のほか、面取り加工がなされ、角度E1〜E7が90度以下の角部が存在しないようにしても良い。
尚、角部E1〜E7は曲面加工のほか、面取り加工がなされ、角度E1〜E7が90度以下の角部が存在しないようにしても良い。
前記第1の底面部2、前記第2の底面部3、第3の底面部5a、5bの底面2b,3b、5a1、5b1の角部E1〜E7が90度以下の場合には、伝熱シートから外す際、前記角部が伝熱シートに引っ掛かり、フォーカスリング1が外し難く、また伝熱シートが千切れ、異物となってチャンバ内に付着する虞があるため、好ましくない。
また、前記凹部形成領域部4内に形成される凹部は、レーザダイジング法を用い、更に酸エッチングすることにより形成される。
これにより、第1、第2、第3の底部部2、3、5a、5bを異方性エッチンングさせることができ、第1、第2、第3の底部部2、35a、5bの角部E1〜E7を曲面状になすことができる。その結果、パーティクル発生の低減、伝熱シートの付着性の抑制を、より確実に実現できる。
これにより、第1、第2、第3の底部部2、3、5a、5bを異方性エッチンングさせることができ、第1、第2、第3の底部部2、35a、5bの角部E1〜E7を曲面状になすことができる。その結果、パーティクル発生の低減、伝熱シートの付着性の抑制を、より確実に実現できる。
尚、上記混酸によるケミカルエッチング処理は等方性エッチングであるため、第1,2,3の底面部2、3、5a、5bの角部E1〜E7は曲面加工され、接触面積を低減させ、接触する伝熱シートの付着防止効果をより得ることができる。
また、このケミカルエッチングの時間を更に長くすることによって、第3の底面部5bの形状を、四角錐形状もしくは円錐状とすることができ、より伝熱シートと付着防止効果をより得ることができる。
また、このケミカルエッチングの時間を更に長くすることによって、第3の底面部5bの形状を、四角錐形状もしくは円錐状とすることができ、より伝熱シートと付着防止効果をより得ることができる。
また、図6は上記実施形態の変形例を示す図であって、フォーカスリングの周方向での面内温度がより均一になすため、3つの環状の第3の底面部5A,5B,5Cを設けた場合を示している。
即ち、第3の底面部5A,5B,5Cは、前記第1及び第2の底面部2,3と同心円状に、環状に形成され、前記3の底面部5A,5B,5Cの底面5A1,5B1,5C1は、前記第1の底面2b及び第2の底面3bによって構成される基準面F上に位置している。
この場合においても、凹部形成領域4の深さt2は、前記第1の底面2b及び前記第2の底面3bによって構成される基準面からフォーカスリング本体上面1b方向に50μm以上1000μmであって、前記凹部形成領域4内の空隙率が20%以上、80%以下になされるのが望ましい。
即ち、第3の底面部5A,5B,5Cは、前記第1及び第2の底面部2,3と同心円状に、環状に形成され、前記3の底面部5A,5B,5Cの底面5A1,5B1,5C1は、前記第1の底面2b及び第2の底面3bによって構成される基準面F上に位置している。
この場合においても、凹部形成領域4の深さt2は、前記第1の底面2b及び前記第2の底面3bによって構成される基準面からフォーカスリング本体上面1b方向に50μm以上1000μmであって、前記凹部形成領域4内の空隙率が20%以上、80%以下になされるのが望ましい。
次に、図7乃至図11に基づいて、本発明にかかるフォーカスリングの第2〜第5の実施形態について、説明する。
図7示す第2の実施形態は、フォーカスリング本体1aの裏面に、溝部6(凹部)を縦方向及び横方向に形成して、前記溝部6によって複数の矩形形状(格子状)の第3の底面部5Dを形成したものである。
また、図8に示す第3の実施形態は、フォーカスリング本体1aの裏面に、溝部7(凹部)を径方向及び周方向に形成して、前記溝部7によって複数の複数の扇方形状の第3の底面部5Eを形成したものである。
このように、前記第1の底面部2と前記第2の底面部3と間に、複数の矩形形状(格子状)第3の底面部5D、また複数の扇方形状の第3の底面部5Eを設けたことにより、第1の実施形態の場合より面内均一な断熱性を与えることができ、伝熱シートの経時的劣化を抑制でき、均一なエッチングを行うことができる。
図7示す第2の実施形態は、フォーカスリング本体1aの裏面に、溝部6(凹部)を縦方向及び横方向に形成して、前記溝部6によって複数の矩形形状(格子状)の第3の底面部5Dを形成したものである。
また、図8に示す第3の実施形態は、フォーカスリング本体1aの裏面に、溝部7(凹部)を径方向及び周方向に形成して、前記溝部7によって複数の複数の扇方形状の第3の底面部5Eを形成したものである。
このように、前記第1の底面部2と前記第2の底面部3と間に、複数の矩形形状(格子状)第3の底面部5D、また複数の扇方形状の第3の底面部5Eを設けたことにより、第1の実施形態の場合より面内均一な断熱性を与えることができ、伝熱シートの経時的劣化を抑制でき、均一なエッチングを行うことができる。
図9(a)は、円錐台形状の第3の底面部5Fを形成した第4の実施形態を示すものであり、図9(b)に円錐台形状の第3の底面部5Fの側面視を示す。
このように、前記凹部形成領域4内に、円錐台形状の第3の底面部5Fを形成することにより、面内均一な断熱性を与えることができ、伝熱シートの経時的劣化を抑制でき、均一なエッチングを行うことができる。
尚、円錐台形状の第3の底面部5Fの底面5F1は、前記したように曲面加工あるいは面取り加工がなされ、角部が存在しないようにするのが好ましい。
このように、前記凹部形成領域4内に、円錐台形状の第3の底面部5Fを形成することにより、面内均一な断熱性を与えることができ、伝熱シートの経時的劣化を抑制でき、均一なエッチングを行うことができる。
尚、円錐台形状の第3の底面部5Fの底面5F1は、前記したように曲面加工あるいは面取り加工がなされ、角部が存在しないようにするのが好ましい。
図10に示す第5の実施形態は、前記凹部形成領域4内に、陽極化成法により多数の凹部8を形成したものである。したがって、前記凹部形成領域4内における前記凹部8以外の部分が第3の底面部5Gとなる。
例えば、フォーカスリングの裏面に、深さ200μmの領域に孔径200nm程度の凹部を多数形成し、前記凹部形成領域の空隙率を60%にしたものである。
このように、前記凹部形成領域4内に、多数の凹部8を形成することにより、第3の底面部の底面の各角部を曲面状とすることができ、パーティクル発生の低減、伝熱シートの付着を抑制すると共に、面内均一な断熱性を与えることができ、伝熱シートの経時的劣化を抑制でき、均一なエッチングを行うことができる。
例えば、フォーカスリングの裏面に、深さ200μmの領域に孔径200nm程度の凹部を多数形成し、前記凹部形成領域の空隙率を60%にしたものである。
このように、前記凹部形成領域4内に、多数の凹部8を形成することにより、第3の底面部の底面の各角部を曲面状とすることができ、パーティクル発生の低減、伝熱シートの付着を抑制すると共に、面内均一な断熱性を与えることができ、伝熱シートの経時的劣化を抑制でき、均一なエッチングを行うことができる。
[実験1]
本発明にかかるフォーカスリングは、次のように製造した。
まず、CZ法により、石英ルツボに、原料多結晶シリコンをチャージし、ボロンをドープし、直径400mm、P型Bドープ、固有抵抗値が2Ω・cmのシリコン単結晶インゴットを引き上げる。
なお、本発明のフォーカスリングに用いられるシリコン単結晶としては、固有抵抗値が1Ω・cm以上5Ω・cm以下が好ましく、かつ、フォーカスリングにおける前記固有抵抗値の面内ばらつきは、n=20での全体平均値の±1%以内であることが好ましい。
その後、前記インゴットのネック部、テール部を切断し、直胴部からなる円筒状ブロックを作成し、その後、コアドリルを用いて、前記インゴット長さ方向に垂直断面が同心円φ290mmでくり抜きを行い、円筒状ブロックを作成する。
本発明にかかるフォーカスリングは、次のように製造した。
まず、CZ法により、石英ルツボに、原料多結晶シリコンをチャージし、ボロンをドープし、直径400mm、P型Bドープ、固有抵抗値が2Ω・cmのシリコン単結晶インゴットを引き上げる。
なお、本発明のフォーカスリングに用いられるシリコン単結晶としては、固有抵抗値が1Ω・cm以上5Ω・cm以下が好ましく、かつ、フォーカスリングにおける前記固有抵抗値の面内ばらつきは、n=20での全体平均値の±1%以内であることが好ましい。
その後、前記インゴットのネック部、テール部を切断し、直胴部からなる円筒状ブロックを作成し、その後、コアドリルを用いて、前記インゴット長さ方向に垂直断面が同心円φ290mmでくり抜きを行い、円筒状ブロックを作成する。
前記円筒状ブロックから厚さ4.5mmの環状部材をワイヤーソーで切り出す。切り出された前記環状部材を、内外周研削及び平面研削し、所定形状に加工後、脱脂洗浄を行い、さらにHF+HNO3+CH3COOH(25〜35℃)によりウェットエッチングを施し、加工により生じたダメージ層を除去する、いわゆるケミカルポリッシュを行い、内径φ300mm、外形φ390mm、厚さ4mm形状のフォーカスリングを作成した。
その後、図4及び図5に示すように、前記フォーカスリング裏面に最内周および最外周から2mm幅で内周に同心円状底面部(第1の底面部)および外周に同心円状底面部(第2の底面部)を残すように、また前記第1の底面部2と第2の底面部3の半径方向の中間位置に2mm幅の環状の第3の底面部5b、更に前記第1の底面部2と前記第3の底面部5bの間並びに前記第2の底面部3と前記第3の底面部5bの間に、多数の円錐状の他の第3の底面部5aを残すように、YAGレーザーを用いたレーザーダイシング及びHF+HNO3+CH3COOH(30℃)によりケミカルエッチングを行った。
この際、前記レーザーダイシングによる凹部幅、深さ及び間隔を調整し、更に前記酸エッチング時間等を調整することで、表2に示すような、[基準面からの凹部形成領域の深さ]および[凹部形成領域の空隙率]が異なるサンプルを製造した。
前記各サンプルを次の条件のエッチング装置で、φ400mmの単結晶シリコンウェーハのエッチング処理を行った。
(1)サセプタとフォーカスリングの間に介在させる伝熱シート:内径=φ400mm、外径=φ500mmのシリコーンゴム製
(2)チャンバ内圧力:0.1Torr
(3)エッチングガス組成:CF4+所定量のAr及びO2
(4)高周波電力:1.5kW
(5)周波数:20kHz
そして、上記単結晶シリコンウェーハ表面のエッチング量をランダムに10点測定し、エッチング量の面内均一性について評価した。
(1)サセプタとフォーカスリングの間に介在させる伝熱シート:内径=φ400mm、外径=φ500mmのシリコーンゴム製
(2)チャンバ内圧力:0.1Torr
(3)エッチングガス組成:CF4+所定量のAr及びO2
(4)高周波電力:1.5kW
(5)周波数:20kHz
そして、上記単結晶シリコンウェーハ表面のエッチング量をランダムに10点測定し、エッチング量の面内均一性について評価した。
その結果、比較例1にあっては、伝熱シートに劣化が生じ、単結晶シリコンウェーハの面内不均一なエッチングとなった。
また、実施例1、実施例4にあっては、単結晶シリコンウェーハの均一なエッチングを行うことができた。また実施例2及び実施例3にあっては、実施例1及び実施例4より、さらに均一なエッチングができた。
比較例2にあっては、フォーカスリングから伝熱シートへの伝熱が不十分であり、フォーカスリングの高温化が進み、単結晶シリコンウェーハの面内不均一なエッチングとなった。また、比較例3にあっては、伝熱シートに劣化が生じ、上記比較例1よりも更に、単結晶シリコンウェーハの面内不均一なエッチングとなった。
また、実施例1、実施例4にあっては、単結晶シリコンウェーハの均一なエッチングを行うことができた。また実施例2及び実施例3にあっては、実施例1及び実施例4より、さらに均一なエッチングができた。
比較例2にあっては、フォーカスリングから伝熱シートへの伝熱が不十分であり、フォーカスリングの高温化が進み、単結晶シリコンウェーハの面内不均一なエッチングとなった。また、比較例3にあっては、伝熱シートに劣化が生じ、上記比較例1よりも更に、単結晶シリコンウェーハの面内不均一なエッチングとなった。
また、実施例5、実施例7にあっては、単結晶シリコンウェーハの均一なエッチングを行うことができた。また、実施例6にあっては、実施例5及び7より、さらに均一なエッチングができた。
また、比較例4にあっては、フォーカスリングから伝熱シートへの伝熱が不十分であり、フォーカスリングの高温化が進み、上記比較例2よりも更に、単結晶シリコンウェーハの面内不均一なエッチングとなった。
また、比較例4にあっては、フォーカスリングから伝熱シートへの伝熱が不十分であり、フォーカスリングの高温化が進み、上記比較例2よりも更に、単結晶シリコンウェーハの面内不均一なエッチングとなった。
上記実験1から、前記第1の底面及び前記第2の底面によって構成される基準面からフォーカスリング本体上面方向に50μm以上1000μm以下の深さ寸法を有する凹部が形成され、前記第3の底面部によって、前記凹部形成領域における空隙率が20%以上、80%以下になされることによって、単結晶シリコンウェーハの均一なエッチングを行うことができることを確認した。
[実験2]
上記実験1と同じ方法で製造した内径φ300mm、外形φ390mm、厚さ4mm形状のフォーカスリングを用い、前記フォーカスリング裏面に最内周および最外周から2mm幅で内周に同心円状底面部(第1の底面部)および外周に同心円状底面部(第2の底面部)を残すように、マスキングを行った後、この裏面に陽極化成処理により空隙部の形成を行った。詳細は次の通りである。
50%の弗化水素酸(HF)とエタノール(C2H5OH)と水の比1:1:1の薬液に浸漬し、該フォーカスリングを陽極として100mA/cm2の電流を流し、10分〜200分間陽極化成処理した。
この処理によりフォーカスリングの裏面に、深さ20〜250μmの領域に孔径200nm程度の多数の凹部が形成され、空隙率が45〜65%の凹部形成領域が形成された。この時の凹部形成領域の深さと熱伝導率値を表2に示す。
上記実験1と同じ方法で製造した内径φ300mm、外形φ390mm、厚さ4mm形状のフォーカスリングを用い、前記フォーカスリング裏面に最内周および最外周から2mm幅で内周に同心円状底面部(第1の底面部)および外周に同心円状底面部(第2の底面部)を残すように、マスキングを行った後、この裏面に陽極化成処理により空隙部の形成を行った。詳細は次の通りである。
50%の弗化水素酸(HF)とエタノール(C2H5OH)と水の比1:1:1の薬液に浸漬し、該フォーカスリングを陽極として100mA/cm2の電流を流し、10分〜200分間陽極化成処理した。
この処理によりフォーカスリングの裏面に、深さ20〜250μmの領域に孔径200nm程度の多数の凹部が形成され、空隙率が45〜65%の凹部形成領域が形成された。この時の凹部形成領域の深さと熱伝導率値を表2に示す。
前記裏面を陽極化成法により多孔体化し凹部形成領域を形成したフォーカスリングをエッチング装置に搭載し、プラズマ処理したところ、前記凹部形成領域の深さが50μm以上のフォーカスリングを用いた場合には、プラズマ温度とインシュレータ部温度の制御が可能となり、プラズマ処理条件を最適値に保つことが出来た。なお、前記凹部形成領域の深さが250μmのものは、前記多孔体化した凹部形成領域が剥離し易い傾向が確認された。すなわち、陽極化成法により凹部形成領域を形成した場合は、凹部形成領域の深さは、50μm以上200μm以下が好ましいことが確認された。
1 フォーカスリング
1a フォーカスリング本体
2 第1の底面部
2b 第1の底面
3 第2の底面部
3b 第2の底面
4 凹部形成領域
5a 第3の底面部(一の第3の底面部)
5b 第3の底面部(他の第3の底面部)
5A,5B,5C,5D,5E,5F,5G 第3の底面部
6 溝(凹部)
7 溝(凹部)
8 凹部(気孔)
t1 フォーカスリング本体の厚さ
t2 凹部形成領域の深さ
1a フォーカスリング本体
2 第1の底面部
2b 第1の底面
3 第2の底面部
3b 第2の底面
4 凹部形成領域
5a 第3の底面部(一の第3の底面部)
5b 第3の底面部(他の第3の底面部)
5A,5B,5C,5D,5E,5F,5G 第3の底面部
6 溝(凹部)
7 溝(凹部)
8 凹部(気孔)
t1 フォーカスリング本体の厚さ
t2 凹部形成領域の深さ
Claims (8)
- 環状に構成されるシリコン製のフォーカスリングであって、
フォーカスリング本体の裏面の最内周に形成された、径方向に所定幅の第1の底面を有する環状の第1の底面部と、
前記フォーカスリング本体の裏面の最外周に、前記第1の底面部と同心円状に形成された、径方向に所定幅の第2の底面を有する環状の第2の底面部と、
前記第1の底面部と前記第2の底面部の間であって、前記第1の底面及び前記第2の底面によって構成される基準面からフォーカスリング本体上面方向に50μm以上1000μm以下の深さ寸法を有する凹部が形成される凹部形成領域と、
前記凹部形成領域内に前記凹部が形成されることによって形成される、前記基準面上の第3の底面を有する第3の底面部と、
を備え、
前記第3の底面部によって、前記凹部形成領域における空隙率が20%以上、80%以下になされることを特徴とするフォーカスリング。 - 前記第1の底面、前記第2の底面、第3の底面の各角部が、曲面加工あるいは面取り加工がなされていること特徴とする請求項1記載のフォーカスリング。
- 前記第3の接触部が、円錐台形状あるいは円錐形状であることを特徴とする請求項1または請求項2記載のフォーカスリング。
- 前記第3の底面部の第3の底面が、格子形状あるいは扇形状に形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載のフォーカスリング。
- 前記第3の底面部のうち一の第3の底面部は、円錐台形状あるいは円錐形状に形成されると共に、前記凹部形成領域の凹部内に複数形成され、
第3の底面部のうち他の第3の底面部は、前記第1及び第2の底面部と同心円状に、かつ径方向に所定幅を有する底面が環状に形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載のフォーカスリング。 - 前記第1の底面部と前記第2の底面部の間に形成された前記凹部形成領域の空隙率が、
フォーカスリング本体と同心円の所定径を有する円で内周領域と外周側領域に区分した際、前記内周側領域の空隙率が前記外周側領域の空隙率よりも小さいことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のフォーカスリング。 - 前記第1の底面部と前記第2の底面部の間に形成された前記凹部形成領域の空隙率が、
前記第1及び第2の底面部と同心円状に形成された前記他の第3の底面部で内周領域と外周側領域に区分した際、前記内周側領域の空隙率が前記外周側領域の空隙率よりも小さいことを特徴とする請求項5に記載のフォーカスリング。 - 前記凹部が、レーザーダイシング法あるいは陽極化成法を用い、更に酸エッチングすることにより形成されることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれかに記載のフォーカスリング。
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2014
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