JP2016018803A - 電極接合方法および電極接合構造 - Google Patents
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Abstract
【課題】接合されるべき電極どうしの接合強度が大きく、信頼性の高い接合を実現することが可能な電極接合方法および電極接合構造を提供する。【解決手段】一方側電極3と他方側電極13を、ギャップ4,14を介して位置する複数の領域に分割し、一方側電極の所定領域3aと、他方側電極13の所定領域13aとの間に、粒径が0.1μm以下の金属粒子を含む金属粒子ペーストを配置するとともに、一方側電極の他の領域3bと、他方側電極の他の領域13bとの間にはんだペースト31Pを配置し、熱処理して金属粒子焼結体21とはんだ接合体31を形成し、金属粒子焼結体とはんだ接合体とにより一方側電極と他方側電極とを接合する。上記金属粒子ペーストに代えて、粒径ピークが0.1〜5.0μmの範囲にあり、かつ凝集を抑制する分散剤を表面に有していない銅粒子と、前記銅粒子の焼結温度で還元性を奏する有機化合物とを含む銅粒子ペーストを用いる。【選択図】図1
Description
本発明は電極接合方法および電極接合構造に関し、詳しくは、接合されるべき電極どうしの接合強度が大きく、信頼性の高い接合を実現するための電極接合方法および電極接合構造に関する。
基板などに形成された電極上に表面実装型の電子部品を搭載し、その外部電極を基板上の電極に接合することは広く行われており、例えば、図10に示すように、絶縁基板の表面に形成された回路パターン(電極)111上に、半導体チップ101を搭載した半導体装置が開示されている(特許文献1)。
そして、この特許文献1の半導体装置においては、半導体チップ101を絶縁基板の表面に形成された回路パターン(電極)111上に搭載するにあたり、半導体チップ101の回路パターン(電極)111と対向する対向面(底面)の、回路パターン(電極)111と接合させるべき接合領域120を、図11に示すように、中央領域120Aと、その周囲の周縁領域120Bとに分け、中央領域120Aについては、鉛フリーはんだを用いたはんだ接合体131により接合を行い、周縁領域120Bについては、金属粒子焼ペーストを焼結させた金属粒子焼結体132により接合を行うことにより、半導体チップ101の、絶縁基板110の表面の回路パターン111上への搭載を行っている。
しかしながら、この特許文献1の構成の場合、上記中央領域において鉛フリーはんだが溶融した際に、回路パターン上ではんだが濡れ広がり、金属粒子焼結体と反応することで、接合信頼性が低下するという問題点がある。
本発明は、上記課題を解決するものであり、一方側電極と他方側電極とを、金属粒子ペーストを焼結させることにより形成した金属粒子焼結体と、はんだ材料を溶融、凝固させることにより形成したはんだ接合体とにより接合する場合において、溶融したはんだが濡れ広がることを抑制して、はんだと金属粒子焼結体とが反応して、接合信頼性が低下することを防止することが可能で、一方側電極と他方側電極との信頼性の高い接合を実現することが可能な電極接合方法および電極接合構造を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本願第1の発明の電極接合方法は、
互いに対向する一方側電極と他方側電極とを、金属粒子焼結体と、はんだ接合体を介して接合するための電極接合方法であって、
前記一方側電極と前記他方側電極のそれぞれを、ギャップを介して位置する複数の領域に分割し、
複数に分割された前記一方側電極の所定領域と、複数に分割された前記他方側電極の所定領域との間に、粒径が0.1μm以下の金属粒子を含む金属粒子ペーストを配置するとともに、
複数に分割された前記一方側電極の前記所定領域とは異なる他の領域と、複数に分割された前記他方側電極の前記所定領域とは異なる他の領域との間にはんだ材料を配置し、
前記金属粒子ペーストと前記はんだ材料を熱処理することにより、前記金属粒子ペースト中の金属粒子が焼結してなる金属粒子焼結体と、前記はんだ材料中のはんだが溶融、凝固してなるはんだ接合体を形成し、
前記金属粒子焼結体により、前記一方側電極と前記他方側電極の前記所定領域どうしを接合し、前記はんだ接合体により、前記一方側電極と前記他方側電極の前記他の領域どうしを接合すること
を特徴としている。
互いに対向する一方側電極と他方側電極とを、金属粒子焼結体と、はんだ接合体を介して接合するための電極接合方法であって、
前記一方側電極と前記他方側電極のそれぞれを、ギャップを介して位置する複数の領域に分割し、
複数に分割された前記一方側電極の所定領域と、複数に分割された前記他方側電極の所定領域との間に、粒径が0.1μm以下の金属粒子を含む金属粒子ペーストを配置するとともに、
複数に分割された前記一方側電極の前記所定領域とは異なる他の領域と、複数に分割された前記他方側電極の前記所定領域とは異なる他の領域との間にはんだ材料を配置し、
前記金属粒子ペーストと前記はんだ材料を熱処理することにより、前記金属粒子ペースト中の金属粒子が焼結してなる金属粒子焼結体と、前記はんだ材料中のはんだが溶融、凝固してなるはんだ接合体を形成し、
前記金属粒子焼結体により、前記一方側電極と前記他方側電極の前記所定領域どうしを接合し、前記はんだ接合体により、前記一方側電極と前記他方側電極の前記他の領域どうしを接合すること
を特徴としている。
また、本願第2の発明の電極接合方法は、
互いに対向する一方側電極と他方側電極とを、金属粒子焼結体と、はんだ接合体を介して接合するための電極接合方法であって、
前記一方側電極と他方側電極のそれぞれを、ギャップを介して位置する複数の領域に分割し、
複数に分割された前記一方側電極の所定領域と、複数に分割された前記他方側電極の所定領域との間に、粒径ピークが0.1〜5.0μmの範囲にあり、かつ凝集を抑制する分散剤を表面に有していない銅粒子と、前記銅粒子の焼結温度で還元性を奏する有機化合物とを含む銅粒子ペーストを配置するとともに、
複数に分割された前記一方側電極の前記所定領域とは異なる他の領域と、複数に分割された前記他方側電極の所定領域とは異なる他の領域との間にはんだ材料を配置し、
前記銅粒子ペーストと前記はんだ材料を熱処理することにより、前記銅粒子ペースト中の銅粒子が焼結してなる銅粒子焼結体と、前記はんだ材料中のはんだが溶融、凝固してなるはんだ接合体を形成し、
前記銅粒子焼結体により、前記一方側電極と前記他方側電極の前記所定領域どうしを接合し、前記はんだ接合体により、前記一方側電極と前記他方側電極の前記他の領域どうしを接合すること
を特徴としている。
互いに対向する一方側電極と他方側電極とを、金属粒子焼結体と、はんだ接合体を介して接合するための電極接合方法であって、
前記一方側電極と他方側電極のそれぞれを、ギャップを介して位置する複数の領域に分割し、
複数に分割された前記一方側電極の所定領域と、複数に分割された前記他方側電極の所定領域との間に、粒径ピークが0.1〜5.0μmの範囲にあり、かつ凝集を抑制する分散剤を表面に有していない銅粒子と、前記銅粒子の焼結温度で還元性を奏する有機化合物とを含む銅粒子ペーストを配置するとともに、
複数に分割された前記一方側電極の前記所定領域とは異なる他の領域と、複数に分割された前記他方側電極の所定領域とは異なる他の領域との間にはんだ材料を配置し、
前記銅粒子ペーストと前記はんだ材料を熱処理することにより、前記銅粒子ペースト中の銅粒子が焼結してなる銅粒子焼結体と、前記はんだ材料中のはんだが溶融、凝固してなるはんだ接合体を形成し、
前記銅粒子焼結体により、前記一方側電極と前記他方側電極の前記所定領域どうしを接合し、前記はんだ接合体により、前記一方側電極と前記他方側電極の前記他の領域どうしを接合すること
を特徴としている。
また、本願第2の発明の電極接合方法においては、前記銅粒子ペーストの熱処理を、不活性雰囲気下で、かつ、互いに対向する前記一方側電極と前記他方側電極とを相手側に向かって加圧することなく実施することが可能である。
銅粒子ペーストは、銅粒子の焼結温度で還元性を奏する有機化合物を含んでいることから、特別な還元性雰囲気ではなくて、単なる不活性雰囲気下で熱処理した場合にも、内部領域まで確実に焼結が進むとともに、分散剤を含んでいないことから、焼成時に体積収縮を引き起こしにくく、焼結体に空隙が形成されにくいため、互いに対向する一方側電極と他方側電極とを相手側に向かって加圧することなく熱処理した場合にも、信頼性の高い接合を実現することができる。
また、複数に分割された前記一方側電極の前記所定領域と、複数に分割された前記他方側電極の前記所定領域を、平面形状が環状の領域とし、かつ、複数に分割された前記一方側電極の前記他の領域を、前記一方側電極の平面形状が環状の前記所定領域の内側に位置する領域とし、複数に分割された前記他方側電極の前記他の領域を、前記他方側電極の平面形状が環状の前記所定領域の内側に位置する領域とし、
前記一方側電極の前記所定領域と、前記他方側電極の前記所定領域との間に前記金属粒子ペーストまたは前記銅粒子ペーストを配置するとともに、前記一方側電極の前記他の領域と、前記他方側電極の前記他の領域との間に前記はんだ材料を配置することが好ましい。
前記一方側電極の前記所定領域と、前記他方側電極の前記所定領域との間に前記金属粒子ペーストまたは前記銅粒子ペーストを配置するとともに、前記一方側電極の前記他の領域と、前記他方側電極の前記他の領域との間に前記はんだ材料を配置することが好ましい。
一方側電極および他方側電極の環状の「所定領域」に金属粒子ペーストまたは銅粒子ペーストを環状に配設し、その内側の「他の領域」にはんだ材料を配設して熱処理することにより、はんだ接合体が環状の金属粒子焼結体または銅粒子焼結体の内側領域に保持された電極接合構造が確実に形成され、接合工程の終了後に、例えば他の工程で用いられたはんだが接合部に流入した場合にも、接合部を構成するはんだ接合体が、流入したはんだに接触することはなく、接合部を構成するはんだ接合体が再溶融することを防止することが可能になり、高い接合信頼性を確保することができる。
また、一方側電極と他方側電極の上記「所定領域」と「他の領域」とがギャップを介して位置しているため、一方側電極と他方側電極を接合する際に、はんだが銅粒子焼結体に流れ込むことが抑制、防止され、はんだが濡れ広がり、銅粒子焼結体と反応することで、接合信頼性が低下することが防止される。
また、一方側電極と他方側電極の上記「所定領域」と「他の領域」とがギャップを介して位置しているため、一方側電極と他方側電極を接合する際に、はんだが銅粒子焼結体に流れ込むことが抑制、防止され、はんだが濡れ広がり、銅粒子焼結体と反応することで、接合信頼性が低下することが防止される。
また、本願第2の発明の電極接合方法においては、前記銅粒子ペーストと前記はんだ材料の熱処理を1つの熱処理工程で行うことができる。
1つの熱処理工程で、銅粒子接合体とはんだ接合体を形成することによりプロセス時間を短縮することが可能になる。
なお、1つの熱処理工程で、銅粒子接合体とはんだ接合体を形成するにあたっては、熱処理工程内で、銅粒子ペーストを焼結させる際の温度と、はんだ材料を溶融、凝固させて接合する際の温度を異ならせることも可能であり、また、温度を異ならせることなく一定の温度で熱処理を行うように構成することも可能である。
なお、1つの熱処理工程で、銅粒子接合体とはんだ接合体を形成するにあたっては、熱処理工程内で、銅粒子ペーストを焼結させる際の温度と、はんだ材料を溶融、凝固させて接合する際の温度を異ならせることも可能であり、また、温度を異ならせることなく一定の温度で熱処理を行うように構成することも可能である。
また、本願第3の発明の電極接合構造は、
上述の本願第1の発明の電極接合方法により形成された、前記一方側電極と前記他方側電極との電極接合構造であって、
前記一方側電極と前記他方側電極はそれぞれ、ギャップを介して位置する複数の領域に分割され、
(a)複数に分割された前記一方側電極の所定領域と、複数に分割された前記他方側電極の前記所定領域とが、前記金属粒子ペースト中の金属粒子が焼結してなる金属粒子焼結体により接合され、
(b)複数に分割された前記一方側電極の前記他の領域と、複数に分割された前記他方側電極の前記他の領域とが、前記はんだ材料中のはんだが溶融、凝固してなるはんだ接合体により接合されていること、
を特徴としている。
上述の本願第1の発明の電極接合方法により形成された、前記一方側電極と前記他方側電極との電極接合構造であって、
前記一方側電極と前記他方側電極はそれぞれ、ギャップを介して位置する複数の領域に分割され、
(a)複数に分割された前記一方側電極の所定領域と、複数に分割された前記他方側電極の前記所定領域とが、前記金属粒子ペースト中の金属粒子が焼結してなる金属粒子焼結体により接合され、
(b)複数に分割された前記一方側電極の前記他の領域と、複数に分割された前記他方側電極の前記他の領域とが、前記はんだ材料中のはんだが溶融、凝固してなるはんだ接合体により接合されていること、
を特徴としている。
また、本願第4の発明の電極接合構造は、
上述の本願第2発明の電極接合方法により形成された、前記一方側電極と前記他方側電極との電極接合構造であって、
前記一方側電極と前記他方側電極はそれぞれ、ギャップを介して位置する複数の領域に分割され、
(a)複数に分割された前記一方側電極の所定領域と、複数に分割された前記他方側電極の前記所定領域とが、前記銅粒子ペースト中の銅粒子が焼結してなる銅粒子焼結体により接合され、
(b)複数に分割された前記一方側電極の前記他の領域と、複数に分割された前記他方側電極の前記他の領域とが、前記はんだ材料中のはんだが溶融、凝固してなるはんだ接合体により接合されていること、
を特徴としている。
上述の本願第2発明の電極接合方法により形成された、前記一方側電極と前記他方側電極との電極接合構造であって、
前記一方側電極と前記他方側電極はそれぞれ、ギャップを介して位置する複数の領域に分割され、
(a)複数に分割された前記一方側電極の所定領域と、複数に分割された前記他方側電極の前記所定領域とが、前記銅粒子ペースト中の銅粒子が焼結してなる銅粒子焼結体により接合され、
(b)複数に分割された前記一方側電極の前記他の領域と、複数に分割された前記他方側電極の前記他の領域とが、前記はんだ材料中のはんだが溶融、凝固してなるはんだ接合体により接合されていること、
を特徴としている。
また、本発明の電極接合構造においては、複数に分割された前記一方側電極の前記所定領域と、複数に分割された前記他方側電極の前記所定領域が、平面形状が環状の領域であり、かつ、複数に分割された前記一方側電極の前記他の領域が、前記一方側電極の平面形状が環状の前記所定領域の内側に位置する領域であり、複数に分割された前記他方側電極の前記他の領域が、前記他方側電極の平面形状が環状の前記所定領域の内側に位置する領域であることが好ましい。
上記構成とすることにより、環状の金属粒子焼結体または銅粒子焼結体に囲まれるようにはんだ接合体が存在することになるため、例えば他の工程で用いられた溶融はんだが接合部に流入した場合にも、接合部を構成するはんだ接合体が、溶融したはんだに接触することはなく、接合部を構成するはんだ接合体が再溶融することを防止することが可能で、信頼性の高い電極接合構造を提供することが可能になる。
本願第1の発明の電極接合方法(請求項1の電極接合方法)においては、一方側電極と他方側電極のそれぞれを、ギャップを介して位置する複数の領域に分割し、一方側電極の所定領域と、他方側電極の所定領域との間に、粒径が0.1μm以下の金属粒子を含む金属粒子ペーストを配置するとともに、一方側電極の他の領域と、他方側電極の他の領域との間にはんだ材料を配置し、金属粒子ペーストとはんだ材料を熱処理して、金属粒子焼結体と、はんだが溶融、凝固してなるはんだ接合体を形成し、金属粒子焼結体とはんだ接合体とにより、一方側電極と他方側電極とを接合するようにしているので、金属粒子焼結体により、電気的接続と機械的接続を得るとともに、はんだ接合体により、金属粒子焼結体の脆さなどの機械的特性を補って(例えば延性などを付与して)、接合部の脆弱性や、引張り応力に対する強度不足などの問題を解消して、全体として、より信頼性の高い電極接合方法を提供することが可能になる。
また、一方側電極と他方側電極はいずれもギャップを介して位置する複数の領域に分割されており、所定領域で金属粒子焼結体による接合がなされ、他の領域ではんだ接合体による接合がなされるため、金属粒子や金属粒子焼結体と、はんだとが接触したり、混ざり合ったりすることがなく、両者が反応することによる接合信頼性の低下を確実に回避することができる。
また、本願第2の発明の電極接合方法は、上記本願第1の発明において用いた金属粒子ペーストの代わりに、粒径ピークが0.1〜5.0μmの範囲にあり、かつ凝集を抑制する分散剤を表面に有していない銅粒子と、銅粒子の焼結温度で還元性を奏する有機化合物とを含む銅粒子ペーストを用い、銅粒子ペーストとはんだ材料を熱処理することにより形成される銅粒子焼結体とはんだ接合体とにより、一方側電極と他方側電極とを接合するようにしているので、銅粒子焼結体により電気的接続と機械的接続を得るとともに、はんだ接合体により銅粒子焼結体の脆さなどの機械的特性を補って(例えば延性などを付与して)、接合部の脆弱性や、引張り応力に対する強度不足などを改善するとともに、電気的接続の信頼性を向上させることが可能になり、全体として、より信頼性の高い電極接合方法を提供することが可能になる。
また、一方側電極と他方側電極はいずれもギャップを介して位置する複数の領域に分割されており、所定領域で銅粒子焼結体による接合がなされ、他の領域ではんだ接合体による接合がなされるため、銅粒子や銅粒子焼結体と、はんだとが接触したり、混ざり合ったりすることがないため、両者が反応することによる接合信頼性の低下を確実に回避することができる。
また、本願第3の発明の電極接合構造は、上述の本願第1の電極接合方法により形成された、一方側電極と他方側電極との電極接合構造であって、一方側電極と他方側電極はそれぞれ、ギャップを介して位置する複数の領域に分割され、(a)複数に分割された一方側電極の所定領域と、複数に分割された他方側電極の所定領域とが、金属粒子ペースト中の金属粒子が焼結してなる金属粒子焼結体により接合され、(b)複数に分割された一方側電極の他の領域と、複数に分割された他方側電極の他の領域とが、はんだ材料中のはんだが溶融、凝固してなるはんだ接合体により接合されているので、金属粒子焼結体により、電気的接続と機械的接続が得られるとともに、はんだ接合体により、金属粒子焼結体の脆さなどの機械的特性を補って(例えば延性などを付与して)、接合部の脆弱性や、引張り応力に対する強度不足などを改善するとともに、電気的接続の信頼性を向上させることが可能になり、全体として、より信頼性の高い電極接合構造を提供することが可能になる。
また、一方側電極と他方側電極はいずれもギャップを介して位置する複数の領域に分割されており、所定領域で金属粒子焼結体による接合がなされ、他の領域ではんだ接合体による接合がなされるため、金属粒子や金属粒子焼結体と、はんだとが接触したり、混ざり合ったりすることがないため、両者が反応することによる接合信頼性の低下を確実に回避することができる。
また、本願第4の発明の電極接合構造は、上述の本願第2の発明の電極接合方法により形成された、一方側電極と他方側電極との電極接合構造であって、一方側電極と他方側電極はそれぞれ、ギャップを介して位置する複数の領域に分割され、(a)複数に分割された一方側電極の所定領域と、複数に分割された他方側電極の所定領域とが、銅粒子ペースト中の銅粒子が焼結してなる銅粒子焼結体により接合され、(b)複数に分割された一方側電極の他の領域と、複数に分割された他方側電極の他の領域とが、はんだ材料中のはんだが溶融、凝固してなるはんだ接合体により接合されているので、銅粒子焼結体により電気的接続と機械的接続を得るとともに、はんだ接合体により銅粒子焼結体の脆さなどの機械的特性を補って(例えば延性などを付与して)、接合部の脆弱性や、引張り応力に対する強度不足などを改善するとともに、電気的接続の信頼性を向上させることが可能になり、全体として、より信頼性の高い電極接合構造を提供することが可能になる。
また、一方側電極と他方側電極はいずれも分割形成されており、所定領域で銅粒子焼結体による接合がなされ、他の領域ではんだ接合体による接合がなされるため、銅粒子や銅粒子焼結体と、はんだとが接触したり、混ざり合ったりすることがないため、両者が反応することによる接合信頼性の低下を確実に回避することができる。
以下に本発明の実施形態を示して、本発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。
[実施形態1]
図1に示す電極接合構造は、図2に示すような、セラミック基板1が備える電極(一方側電極)3に、金属キャップ11に設けた電極(他方側電極)13を接合することにより形成されたものである。
以下、図1および2を参照しつつ、本発明の一実施形態(実施形態1)にかかる電極接合構造および電極接合方法について説明する。
図1に示す電極接合構造は、図2に示すような、セラミック基板1が備える電極(一方側電極)3に、金属キャップ11に設けた電極(他方側電極)13を接合することにより形成されたものである。
以下、図1および2を参照しつつ、本発明の一実施形態(実施形態1)にかかる電極接合構造および電極接合方法について説明する。
図1および2に示すように、セラミック基板1は、その端部に形成された段差部2の側面に電極(一方側電極)3を備えている。
また、セラミック基板1を封止するための金属キャップ11には、その係合突起12の内面に電極(他方側電極)13が形成されている。
また、セラミック基板1を封止するための金属キャップ11には、その係合突起12の内面に電極(他方側電極)13が形成されている。
また、一方側電極3および他方側電極13は、それぞれ複数(この実施形態1では2つ)の領域に分割されている。この実施形態1では、一方側電極3の分割された2つの領域である所定領域3aと他の領域3bとが、ギャップ4を介して隣り合うように位置しており、他方側電極13の分割された2つの領域である所定領域13aと他の領域13bとが、ギャップ14を介して隣り合うように位置している。
なお、この実施形態1においては、一方側電極3および他方側電極13として、例えばNiめっき膜層上にAuめっき膜層を形成してなる電極が用いられている。
ただし、一方側電極3および他方側電極13は、Niめっき膜層上にAuめっき膜層を形成した構成のものに限らず、後述のような種々の構成の電極を用いることが可能である。
ただし、一方側電極3および他方側電極13は、Niめっき膜層上にAuめっき膜層を形成した構成のものに限らず、後述のような種々の構成の電極を用いることが可能である。
そして、分割された一方側電極3の所定領域3aと、分割された他方側電極の所定領域13aが、金属粒子(この実施形態1では銀粒子)が焼結してなる金属粒子接合体21を介して電気的、機械的に接続されており、また、分割された一方側電極3の他の領域3bと、分割された他方側電極13の他の領域13bが、はんだが溶融、凝固してなるはんだ接合体31を介して電気的、機械的に接続されている。
この図1に示す電極接合構造は、以下に説明する方法(電極接合方法)により、セラミック基板1が備える一方側電極3と、金属キャップ11が備える他方側電極13とを接合することにより形成される。
セラミック基板1が備える、所定領域3aと他の領域3bを備えた一方側電極(Ni/Auめっき電極)3と、金属キャップ11が備える、所定領域13aと他の領域13bを備えた他方側電極(Ni/Auめっき電極)13とを接合するにあたっては、まず、金属粒子焼結体を形成するための金属粒子ペーストとして、粒径が0.1μm以下の金属粒子を含む金属(銀)粒子ペーストを用意する。
この実施形態1では、金属粒子ペーストとして、粒径が0.1μm以下の銀(Ag)粒子と、分散剤とを含む金属粒子ペーストを用いた。
なお、金属粒子は150〜300℃の低温で焼成可能なものであることが望ましい。
また、はんだ接合体を形成するためのはんだ材料として、はんだペースト(この実施形態1ではSn−Ag−Cu系はんだを含むはんだペースト)を用意した。
なお、金属粒子は150〜300℃の低温で焼成可能なものであることが望ましい。
また、はんだ接合体を形成するためのはんだ材料として、はんだペースト(この実施形態1ではSn−Ag−Cu系はんだを含むはんだペースト)を用意した。
それから、図3に示すように、セラミック基板1に設けられた電極(一方側電極)3の所定領域3aに、上述の金属(銀)粒子ペースト21Pを配置する。なお、図3は、図1および2では、主面が垂直である一方側電極3および他方側電極13が水平になるように90°回転させた状態を示す図である。
金属粒子ペースト21Pは、例えば印刷による方法やディスペンサを用いる方法などにより上記の所定領域に配置することができる。
金属粒子ペースト21Pは、例えば印刷による方法やディスペンサを用いる方法などにより上記の所定領域に配置することができる。
次に、一方側電極3の、金属粒子ペースト21Pを配置した所定領域3aとはギャップ4を隔てて形成された他の領域3bに、上述のはんだペースト31Pを配置する。はんだペースト31Pも、上記の金属粒子ペースト21Pの場合と同様に、印刷による方法やディスペンサを用いる方法などにより配置することができる。
なお、このとき、一方側電極3の所定領域3aと、他の領域3bとの間にはギャップ4が存在しているため、図3に示すように、はんだペースト31Pは、金属粒子ペースト21Pと接触することなく配置される。
なお、このとき、一方側電極3の所定領域3aと、他の領域3bとの間にはギャップ4が存在しているため、図3に示すように、はんだペースト31Pは、金属粒子ペースト21Pと接触することなく配置される。
次に、金属キャップ11が備える、所定領域13aと、他の領域13bを備えた他方側電極(Ni/Auめっき電極)13を、上記金属粒子ペースト21Pおよびはんだペースト31Pを介して一方側電極3と対向するように位置させ(図3参照)、例えば水素雰囲気中で熱処理を行って金属粒子ペースト21Pを熱処理することにより、金属粒子ペースト21P中の金属(銀)粒子を焼結させて、金属(銀)粒子焼結体21を形成する。
それから、リフロー炉を通して、はんだペースト31Pを熱処理することにより、はんだペースト中のはんだを溶融させて、はんだ接合体31を形成する。
これにより、図1に示すように、一方側電極3の所定領域3aと、他方側電極13の所定領域13aが金属(銀)粒子接合体21を介して電気的、機械的に接続され、一方側電極3の他の領域3bと、他方側電極13の他の領域13bがはんだ接合体31を介して電気的、機械的に接続された電極接合構造が得られる。
この電極接続構造においては、金属(銀)粒子焼結体21により、電気的接続と機械的接続を得ることが可能になるとともに、はんだ接合体31により、金属粒子焼結体21の脆さなどの機械的特性を補って(例えば延性などを付与して)、接合部の脆弱性や、引張り応力に対する強度不足などの問題を解消することが可能になり、全体として、より信頼性の高い電極接合方法を提供することが可能になる。
また、一方側電極と他方側電極はいずれもギャップ4および14を介して分割形成されており、所定領域で金属粒子焼結体による接合がなされ、他の領域ではんだ接合体による接合がなされるため、金属粒子や金属粒子焼結体と、はんだとが接触したり、混ざり合ったりすることがなく、両者が反応することによる接合信頼性の低下を確実に回避することができる。
なお、この実施形態1では、セラミック基板1に設けられた一方側電極3の所定領域3a上に金属粒子ペースト21Pを、他の領域3b上にはんだペースト31Pを配置するようにしたが、金属キャップ11が備える他方側電極13の所定領域13a上に金属粒子ペーストを、他の領域13b上にはんだペーストを配置するようにしてもよい。
また、セラミック基板1に設けられた一方側電極3の所定領域3aと、他方側電極13の所定領域13aの両方に金属粒子ペーストを、一方側電極3の他の領域3bと、他方側電極13の他の領域13bの両方にはんだペーストを配置するように構成することも可能である。
また、この実施形態1では、セラミック基板1に設けられた一方側電極3と、金属キャップ11が備える他方側電極13は、いずれもNiめっき膜層上にAuめっき膜層を形成してなる電極(Ni/Auめっき電極)である場合を例にとって説明したが、一方側電極および他方側電極は、同一の構成のものであることを必要とするものではない。
また、一方側電極および他方側電極は、めっき電極に限られるものではなく、Cu、Ag、Auなどを用いた種々の構成の電極を用いることも可能である。
また、一方側電極および他方側電極は、めっき電極に限られるものではなく、Cu、Ag、Auなどを用いた種々の構成の電極を用いることも可能である。
また、上記一方側電極および他方側電極としてめっき電極を用いる場合、上述のNi/Auめっき電極以外に、Ni/Pd/Auめっき電極、Ni/Snめっき電極、Niめっき電極、Cuめっき電極などを用いることが可能である。ただし、高温環境下で用いられる場合には、表面がより酸化されにくいNi/Auめっき電極、Ni/Pd/Auめっき電極などを用いることが望ましい。
また、この実施形態1では、金属粒子ペーストを構成する金属粒子として銀(Ag)粒子を用いたが、金属粒子の構成材料としては、Ag以外にも、Au、Al、Niなどを用いることが可能である。なお、金属粒子は150〜300℃の低温で焼成可能なものであることが望ましい。
また、この実施形態1では、はんだ接合体を形成するためのはんだ材料として、Sn−Ag−Cu系はんだを含むはんだペーストを用いたが、はんだ接合体を形成するためのはんだ材料としては、Sn−Ag−Cu系はんだ以外にも、Sn−Ag系、Su−Cu系、Sn−Zn系、Sn−Pb系、Sn−Sb系はんだなどを用いることが可能である。
なお、電極接合部が高温になるような場合には、融点がより高温なSn−Pb系はんだや、Sn−Sb系はんだ、Sn−Ag系はんだを用いることが望ましい。
また、はんだ材料として、はんだペーストの代わりに、はんだボールなどの他のはんだ材料を用いることが可能な場合もある。
また、はんだ材料として、はんだペーストの代わりに、はんだボールなどの他のはんだ材料を用いることが可能な場合もある。
[実施形態2]
図4(a),(b)は本発明の他の実施形態(実施形態2)にかかる電極接合方法を説明する図であり、図5は、実施形態2の方法により形成された電極接合構造を示す図である。なお、図4および図5において、図1〜3と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示す。
図4(a),(b)は本発明の他の実施形態(実施形態2)にかかる電極接合方法を説明する図であり、図5は、実施形態2の方法により形成された電極接合構造を示す図である。なお、図4および図5において、図1〜3と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示す。
この実施形態2の電極接合構造は、図5に示すように、一方側電極3および他方側電極13の互いに対向する面に直交する方向からみた場合に、はんだ接合体31は、環状の金属粒子焼結体21の内側領域に、金属粒子焼結体21に取り囲まれるように位置している。
この実施形態2の電極接合構造およびその形成方法について、以下に説明する。
この実施形態2の電極接合構造およびその形成方法について、以下に説明する。
上述のように、実施形態1では、一方側電極3の分割された2つの領域である所定領域3aと他の領域3bとが、ギャップ4を介して隣り合うように配設され、他方側電極13の分割された2つの領域である所定領域13aと他の領域13bとが、ギャップ14を介して隣り合うように配設されている場合について説明したが、この実施形態2では、図4(a),(b)に示すように、複数(2つ)に分割された一方側電極3の所定領域3aが、平面形状が環状の領域であり、他の領域3bが、環状の所定領域3aの内側に位置する領域であり、複数(2つ)に分割された他方側電極13の所定領域13aが、平面形状が環状の領域であり、他の領域13bが、環状の所定領域13aの内側に位置する領域となるようにしている。
そして、図5に示すような、実施形態2の電極接合構造を形成する場合、まず、図4(a),(b)に示すように、一方側電極3の環状の所定領域3aに金属(銀)粒子ペースト21Pを配置するとともに、一方側電極3の他の領域3bにはんだ材料(はんだペースト)31Pを配置する。
それから、所定領域13aと、他の領域13bを備えた他方側電極13を、上記金属粒子ペースト21Pおよびはんだペースト31Pを介して一方側電極3と対向するように位置させる(図4(a),(b)参照)。そして、上記実施形態1の場合と同様の方法で熱処理を行い、金属粒子ペースト21Pを熱処理することにより、金属粒子ペースト21P中の金属(銀)粒子を焼結させて環状の金属粒子焼結体21を形成する。
それから、リフロー炉を通して、はんだペースト31Pを熱処理することにより、環状の金属粒子焼結体21の内側に位置するはんだ接合体31を形成する。これにより、図5に示すような電極接合構造が得られる。
それから、リフロー炉を通して、はんだペースト31Pを熱処理することにより、環状の金属粒子焼結体21の内側に位置するはんだ接合体31を形成する。これにより、図5に示すような電極接合構造が得られる。
この実施形態2にかかる電極接合構造の場合、図5に示すように、一方側電極3の環状の所定領域3aと、他方側電極13の環状の所定領域13aとは、平面形状が環状の金属粒子焼結体21により接合されており、一方側電極3の他の領域3bと、他方側電極13の他の領域13bとは、環状の金属粒子焼結体21の内側に位置するはんだ接合体31により接合されている。
この電極接合構造においては、はんだ接合体31が、環状の金属粒子焼結体21に囲まれて存在しているため、例えば他の工程で用いられた溶融はんだが接合部に流入した場合にも、接合部を構成するはんだ接合体31が、溶融したはんだに接触することはなく、接合部を構成するはんだ接合体が再溶融することを防止することができる。
また、この実施形態2の構成の場合にも、一方側電極および他方側電極の、環状の所定領域とはギャップを隔てて形成された他の領域で、はんだペーストが溶融して柱状のはんだ接合体が形成されることから、はんだが環状の所定領域に流れ込まず、一方側電極および他方側電極の環状の所定領域に形成された金属粒子焼結体と、はんだとが接触したり、混ざり合ったりすることがないため、両者が反応することによる接合信頼性の低下を確実に回避することができる。
なお、この実施形態2では、はんだ接合体の周囲を環状の金属焼結体が取り囲むような構成としたが、環状のはんだ接合体が、金属粒子焼結体を取り囲むような構成とすることも可能である。この構成の場合、例えば他の工程で用いられた溶融はんだが接合部に流入した場合に、接合部を構成するはんだ接合体が溶融したはんだと接触しないという効果は得られないものの、金属粒子焼結体とはんだ接合体とが混ざり合うことがなく、特性の劣化を招くことがないという効果や、金属粒子焼結体の機械的強度などの特性をはんだ接合体により補完して信頼性を向上させることができるというような効果は確保される。
なお、その他の点においても、上述の実施形態1の場合と同様の効果を得ることができる。
また、この実施形態2の電極接合構造の場合にも、上記実施形態1の場合において説明したような種々の変形を加えることが可能である。
[実施形態3]
図6は本発明の他の実施形態(実施形態3)にかかる電極接合方法を説明する図であり、図7は、実施形態3の方法により形成された電極接合構造を示す図である。なお、図6および図7において、図1〜3と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示す。
図6は本発明の他の実施形態(実施形態3)にかかる電極接合方法を説明する図であり、図7は、実施形態3の方法により形成された電極接合構造を示す図である。なお、図6および図7において、図1〜3と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示す。
上記実施形態1では、金属(銀)粒子ペーストとはんだ材料を組み合わせて用い、熱処理することにより形成される金属粒子焼結体と、はんだ接合体とにより、一方側電極と他方側電極を接合するようにしたが、この実施形態3では、粒径ピークが0.1〜5.0μmの範囲にあり、かつ凝集を抑制する分散剤を表面に有していない銅粒子と、銅粒子の焼結温度で還元性を奏する有機化合物とを含む銅粒子ペーストを用いて形成した銅粒子焼結体と、はんだ材料を用いて形成したはんだ接合体により、一方側電極と他方側電極を接合するようにした。なお、銅粒子ペースを構成する、銅粒子の焼結温度で還元性を奏する有機化合物としては、ヒドロキシ基を有する有機化合物であることが好ましく、トリエタノールアミン、グリセリン、エチレングリコール、トリエチレングリコール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコールからなる群より選ばれる少なくとも1種を含むものを用いることが好ましい。
なお、この実施形態3の電極接合構造は、図7に示すように、銅粒子ペーストを熱処理することにより形成される銅粒子焼結体41と、はんだペーストを熱処理することにより形成されたはんだ接合体31とにより、一方側電極3と他方側電極13とが接合された構造を有している。
その他の構成は実施形態1の場合と同様である。
その他の構成は実施形態1の場合と同様である。
なお、この実施形態3の電極接合構造を形成するにあたっても、ギャップ4を隔てて隣り合う所定領域3aと他の領域3bを備えた一方側電極(Ni/Auめっき電極)3と、ギャップ14を隔てて隣り合う所定領域13aと他の領域13bを備えた他方側電極(Ni/Auめっき電極)13とを接合するにあたっては、図6に示すように、一方側電極3の所定領域3aに、銅粒子ペースト41Pを配置した。
次に、一方側電極3の、銅粒子ペースト41Pを配置した所定領域3aとはギャップ4を隔てて形成された他の領域3bに、上述のはんだペースト31Pを配置した。
なお、このとき、一方側電極3の所定領域3aと、他の領域3bの間にはギャップ4が存在しているため、はんだペースト31Pは、銅粒子ペースト21Pと接触することなく他の領域3b上に配置される。
なお、このとき、一方側電極3の所定領域3aと、他の領域3bの間にはギャップ4が存在しているため、はんだペースト31Pは、銅粒子ペースト21Pと接触することなく他の領域3b上に配置される。
それから、銅粒子ペースト41Pおよびはんだペースト31Pの熱処理を行う。ただし、この実施形態3では、実施形態1で用いた上述の金属(銀)粒子ペーストに代えて、粒径ピークが0.1〜5.0μmの範囲にあり、かつ凝集を抑制する分散剤を表面に有していない銅粒子と、銅粒子の焼結温度で還元性を奏する有機化合物とを含む銅粒子ペーストを用いるようにしているので、熱処理は、特に還元性雰囲気を用いることを必要とせず、不活性雰囲気下で、かつ、互いに対向する一方側電極3と他方側電極13とを相手側に向かって加圧することなく実施することができる。
具体的には、N2リフロー(たとえばN2・240℃ピーク)の条件で熱処理を実施することが可能で、銅粒子ペーストおよびはんだペーストの熱処理を1つの工程で実施することができる。
なお、特に還元性雰囲気としなくてもよいのは、銅粒子ペーストが還元性を奏する有機化合物を含むためであり、また、加圧せずに熱処理を行うことができるのは、分散剤を含まない銅粒子ペーストが用いられていることから焼成時に体積収縮を引き起こしにくく、焼結体に空隙が形成されにくいため、加圧せずに接合しても信頼性の高い接合が可能であることによる。
なお、実施形態3の電極接合構造の場合、その他の点においても、上述の各実施形態の場合と同様の効果を得ることができる。
また、この実施形態3の電極接合構造においても、上述の各実施形態において説明したような種々の変形を加えることが可能である。
[実施形態4]
図8(a),(b)は本発明の他の実施形態(実施形態4)にかかる電極接合方法を説明する図であり、図9は、実施形態4の方法により形成された電極接合構造を示す図である。なお、図8(a),(b)および図9において、図1〜5と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示す。
図8(a),(b)は本発明の他の実施形態(実施形態4)にかかる電極接合方法を説明する図であり、図9は、実施形態4の方法により形成された電極接合構造を示す図である。なお、図8(a),(b)および図9において、図1〜5と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示す。
この実施形態4にかかる電極接合構造は、図8(a),(b)、図9に示すように、一方側電極3の環状の所定領域3aと、他方側電極13の環状の所定領域13aとが、平面形状が環状の銅粒子焼結体41により接合され、一方側電極3の他の領域3bと、他方側電極13の他の領域13bとは、環状の銅粒子焼結体41の内側に位置する柱状のはんだ接合体31により接合された構造を有している。
なお、上記実施形態2では、金属(銀)粒子ペーストを用いて、環状の金属粒子焼結体を形成するようにしたが、この実施形態4の電極接合構造を形成するにあたっては、粒径ピークが0.1〜5.0μmの範囲にあり、かつ凝集を抑制する分散剤を表面に有していない銅粒子と、銅粒子の焼結温度で還元性を奏する有機化合物(還元剤)とを含む銅粒子ペーストを用いて環状の銅粒子焼結体21を形成した。
図9に示すような、実施形態4の電極接合構造を形成する場合、まず、図8(a),(b)に示すように、一方側電極3の環状の所定領域3aに銅粒子ペースト41Pを配置するとともに、一方側電極3の他の領域3bにはんだ材料(はんだペースト)31Pを配置する。
それから、所定領域13aと、他の領域13bを備えた他方側電極13を、上記銅粒子ペースト41Pおよびはんだペースト31Pを介して一方側電極3と対向するように位置させる(図8(a),(b)参照)。そして、上記実施形態3の場合と同様の方法で熱処理を行い、銅粒子ペースト41Pを熱処理することにより、銅粒子ペースト41P中の金属(銅)粒子を焼結させて環状の銅粒子焼結体41を形成するとともに、はんだペースト31Pを熱処理することにより、環状の銅粒子焼結体41の内側に位置するはんだ接合体31を形成する。これにより、図9に示すような電極接合構造が得られる。
その他の構成は、上述の実施形態2の電極接合構造の場合と同じであることから、説明を省略する。
その他の構成は、上述の実施形態2の電極接合構造の場合と同じであることから、説明を省略する。
この実施形態4では、実施形態2で用いた上述の金属(銀)粒子ペーストに代えて、粒径ピークが0.1〜5.0μmで、分散剤を含まず、銅粒子の焼結温度で還元性を奏する還元剤を含む銅粒子ペーストを用いるようにしているので、熱処理は、上記実施形態3の場合と同様に、特に還元性雰囲気を用いることを必要とせず、不活性雰囲気下で、かつ、互いに対向する一方側電極3と他方側電極13とを相手側に向かって加圧することなく実施することができる。
また、この実施形態4の場合も、1つの熱処理工程で、銅粒子焼結体とはんだ接合体を形成することが可能であることから、プロセス時間を短縮して、生産性の向上を図ることができる。
また、この実施形態4の電極接合構造においては、環状の銅粒子焼結体に囲まれるようにはんだ接合体が存在することになるため、例えば他の工程で用いられた溶融はんだが接合部に流入した場合にも、接合部を構成するはんだ接合体が、溶融したリフロー用はんだに接触することはなく、接合部を構成するはんだ接合体が再溶融することを防止することができる。
なお、実施形態4の電極接合構造の場合、その他の点においても、上述の各実施形態の場合と同様の効果を得ることができる。
また、この実施形態4の電極接合構造の場合にも、上述の各実施形態において説明したような種々の変形を加えることが可能である。
なお、上記実施形態1〜4では、セラミック基板が備える電極(一方側電極)と金属キャップが備える電極(他方側電極)を接合する場合を例にとって説明したが、一方側電極と他方側電極の種類に特別の制約はなく、例えば、セラミック基板の実装用ランド電極を一方側電極とし、表面実装型の積層セラミック電子部品の外部電極を他方側電極とするような態様をはじめ、種々の態様で一方側電極と他方側電極とを接合する場合に本発明を適用することが可能である。
本発明はさらにその他の点においても上記の各実施形態に限定されるものではなく、発明の範囲内において種々の応用、変形を加えることが可能である。
1 セラミック基板
2 セラミック基板の段差部
3 一方側電極
3a 一方側電極の所定領域
3b 一方側電極の他の領域
4 ギャップ
11 金属キャップ
12 突起
13 他方側電極
13a 他方側電極の所定領域
13b 他方側電極の他の領域
14 ギャップ
21 金属(銀)粒子焼結体
21P 金属(銀)粒子ペースト
31 はんだ接合体
31P はんだペースト
41 銅粒子焼結体
41P 銅粒子ペースト
2 セラミック基板の段差部
3 一方側電極
3a 一方側電極の所定領域
3b 一方側電極の他の領域
4 ギャップ
11 金属キャップ
12 突起
13 他方側電極
13a 他方側電極の所定領域
13b 他方側電極の他の領域
14 ギャップ
21 金属(銀)粒子焼結体
21P 金属(銀)粒子ペースト
31 はんだ接合体
31P はんだペースト
41 銅粒子焼結体
41P 銅粒子ペースト
Claims (8)
- 互いに対向する一方側電極と他方側電極とを、金属粒子焼結体と、はんだ接合体を介して接合するための電極接合方法であって、
前記一方側電極と前記他方側電極のそれぞれを、ギャップを介して位置する複数の領域に分割し、
複数に分割された前記一方側電極の所定領域と、複数に分割された前記他方側電極の所定領域との間に、粒径が0.1μm以下の金属粒子を含む金属粒子ペーストを配置するとともに、
複数に分割された前記一方側電極の前記所定領域とは異なる他の領域と、複数に分割された前記他方側電極の前記所定領域とは異なる他の領域との間にはんだ材料を配置し、
前記金属粒子ペーストと前記はんだ材料を熱処理することにより、前記金属粒子ペースト中の金属粒子が焼結してなる金属粒子焼結体と、前記はんだ材料中のはんだが溶融、凝固してなるはんだ接合体を形成し、
前記金属粒子焼結体により、前記一方側電極と前記他方側電極の前記所定領域どうしを接合し、前記はんだ接合体により、前記一方側電極と前記他方側電極の前記他の領域どうしを接合すること
を特徴とする電極接合方法。 - 互いに対向する一方側電極と他方側電極とを、金属粒子焼結体と、はんだ接合体を介して接合するための電極接合方法であって、
前記一方側電極と前記他方側電極のそれぞれを、ギャップを介して位置する複数の領域に分割し、
複数に分割された前記一方側電極の所定領域と、複数に分割された前記他方側電極の所定領域との間に、粒径ピークが0.1〜5.0μmの範囲にあり、かつ凝集を抑制する分散剤を表面に有していない銅粒子と、前記銅粒子の焼結温度で還元性を奏する有機化合物とを含む銅粒子ペーストを配置するとともに、
複数に分割された前記一方側電極の前記所定領域とは異なる他の領域と、複数に分割された前記他方側電極の前記所定領域とは異なる他の領域との間にはんだ材料を配置し、
前記銅粒子ペーストと前記はんだ材料を熱処理することにより、前記銅粒子ペースト中の銅粒子が焼結してなる銅粒子焼結体と、前記はんだ材料中のはんだが溶融、凝固してなるはんだ接合体を形成し、
前記銅粒子焼結体により、前記一方側電極と前記他方側電極の前記所定領域どうしを接合し、前記はんだ接合体により、前記一方側電極と前記他方側電極の前記他の領域どうしを接合すること
を特徴とする電極接合方法。 - 前記銅粒子ペーストの熱処理を、不活性雰囲気下で、かつ、互いに対向する前記一方側電極と前記他方側電極とを相手側に向かって加圧することなく実施することを特徴とする請求項2記載の電極接合方法。
- 複数に分割された前記一方側電極の前記所定領域と、複数に分割された前記他方側電極の前記所定領域を、平面形状が環状の領域とし、かつ、複数に分割された前記一方側電極の前記他の領域を、前記一方側電極の平面形状が環状の前記所定領域の内側に位置する領域とし、複数に分割された前記他方側電極の前記他の領域を、前記他方側電極の平面形状が環状の前記所定領域の内側に位置する領域とし、
前記一方側電極の前記所定領域と、前記他方側電極の前記所定領域との間に前記金属粒子ペーストまたは前記銅粒子ペーストを配置するとともに、前記一方側電極の前記他の領域と、前記他方側電極の前記他の領域との間に前記はんだ材料を配置するようにしたこと
を特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の電極接合方法。 - 前記銅粒子ペーストと前記はんだ材料の熱処理を1つの熱処理工程で行うことを特徴とする請求項2〜4のいずれかに記載の電極接合方法。
- 請求項1記載の電極接合方法により形成された、前記一方側電極と前記他方側電極との電極接合構造であって、
前記一方側電極と前記他方側電極はそれぞれ、ギャップを介して位置する複数の領域に分割され、
(a)複数に分割された前記一方側電極の所定領域と、複数に分割された前記他方側電極の前記所定領域とが、前記金属粒子ペースト中の金属粒子が焼結してなる金属粒子焼結体により接合され、
(b)複数に分割された前記一方側電極の前記他の領域と、複数に分割された前記他方側電極の前記他の領域とが、前記はんだ材料中のはんだが溶融、凝固してなるはんだ接合体により接合されていること、
を特徴とする電極接合構造。 - 請求項2記載の電極接合方法により形成された、前記一方側電極と前記他方側電極との電極接合構造であって、
前記一方側電極と前記他方側電極はそれぞれ、ギャップを介して位置する複数の領域に分割され、
(a)複数に分割された前記一方側電極の所定領域と、複数に分割された前記他方側電極の前記所定領域とが、前記銅粒子ペースト中の銅粒子が焼結してなる銅粒子焼結体により接合され、
(b)複数に分割された前記一方側電極の前記他の領域と、複数に分割された前記他方側電極の前記他の領域とが、前記はんだ材料中のはんだが溶融、凝固してなるはんだ接合体により接合されていること、
を特徴とする電極接合構造。 - 複数に分割された前記一方側電極の前記所定領域と、複数に分割された前記他方側電極の前記所定領域が、平面形状が環状の領域であり、かつ、複数に分割された前記一方側電極の前記他の領域が、前記一方側電極の平面形状が環状の前記所定領域の内側に位置する領域であり、複数に分割された前記他方側電極の前記他の領域が、前記他方側電極の平面形状が環状の前記所定領域の内側に位置する領域であって、前記一方側電極の前記所定領域と、前記他方側電極の前記所定領域とを接合する前記金属粒子焼結体または前記銅粒子焼結体が環状の平面形状を有し、その内側に、前記一方側電極の前記他の領域と、前記他方側電極の前記他の領域とを接合するはんだ接合体が位置するように構成されていることを特徴とする請求項6または7記載の電極接合構造。
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