JP2016003907A5 - - Google Patents

Description

実施形態に係る放射線検出器は、基板と、前記基板の一方の面側に設けられた複数の光電変換素子と、を有するアレイ基板と、前記複数の光電変換素子の上に設けられ、周縁部の膜厚が外側に向かって薄くなるテーパ形状を呈し、放射線を蛍光に変換するシンチレータ層と、前記基板の一方の面側に前記シンチレータ層の周縁部と近接させて設けられ、前記シンチレータ層を囲む壁体と、前記シンチレータ層と、前記壁体との間に設けられ、前記壁体の内側とは密着し、前記テーパ形状を呈した前記シンチレータ層の周縁部とは近接又は密着し、前記シンチレータ層の周縁部の上方にある空間を埋め、上面の位置が前記壁体の上面の位置の近傍にある充填部と、前記シンチレータ層の上方を覆い、少なくとも周縁部が前記充填部の上面に接合された防湿体と、を備えている。

ただし、壁体９を形成するための材料の粘度は、充填部８を形成するための材料の粘度よりも高くなっている。
壁体９を形成するための材料の粘度は、例えば、室温で３４０Ｐａ・ｓｅｃ程度となるようにすることができる。
また、壁体９は、例えば、アルミニウムなどの金属やガラスなどの無機材料から形成することもできる。
実際の製造過程においては、壁体９を先に形成して、その後に充填部８の材料を壁体９と、シンチレータ層５及び反射層６の側面との間の隙間に充填して硬化させ、充填部８を形成することができる。

Claims (9)

1. 基板と、前記基板の一方の面側に設けられた複数の光電変換素子と、を有するアレイ基板と、
   前記複数の光電変換素子の上に設けられ、周縁部の膜厚が外側に向かって薄くなるテーパ形状を呈し、放射線を蛍光に変換するシンチレータ層と、
   前記基板の一方の面側に前記シンチレータ層の周縁部と近接させて設けられ、前記シンチレータ層を囲む壁体と、
   前記シンチレータ層と、前記壁体との間に設けられ、前記壁体の内側とは密着し、前記テーパ形状を呈した前記シンチレータ層の周縁部とは近接又は密着し、前記シンチレータ層の周縁部の上方にある空間を埋め、上面の位置が前記壁体の上面の位置の近傍にある充填部と、
   前記シンチレータ層の上方を覆い、少なくとも周縁部が前記充填部の上面に接合された防湿体と、
   を備えた放射線検出器。
2. 前記充填部の上面と、前記防湿体の周縁部の下面と、を接合する接合層と、
   前記シンチレータ層と、前記防湿体と、の間に設けられた反射層と、
   をさらに備え、
   前記接合層は、前記壁体の上面、前記反射層の上面、および前記シンチレータ層の上面の少なくともいずれかと、前記防湿体の周縁部の下面と、をも接合している請求項１記載の放射線検出器。
3. 前記壁体は、無機材料からなるフィラーと、樹脂と、を含む請求項１または２に記載の放射線検出器。
4. 前記充填部は、無機材料からなるフィラーと、樹脂と、を含む請求項１〜３のいずれか１つに記載の放射線検出器。
5. 前記充填部は、吸湿材と、樹脂と、を含む請求項１〜４のいずれか１つに記載の放射線検出器。
6. 前記防湿体は、アルミニウム、およびアルミニウム合金の少なくともいずれかのみからなるか、または、アルミニウム、およびアルミニウム合金の少なくともいずれかを含む請求項１〜５のいずれか１つに記載の放射線検出器。
7. 複数の光電変換素子を有するアレイ基板の上に、シンチレータ層を設ける工程と、
   前記アレイ基板の上に、前記シンチレータ層を囲み、フィラーと、樹脂と、を含む壁体を設ける工程と、
   前記シンチレータ層と、前記壁体との間に、フィラーおよび吸湿材の少なくともいずれかと、樹脂と、を含む材料を充填して充填部を設ける工程と、
   前記シンチレータ層の上方を覆う防湿体の周縁部を、前記充填部の上面に接合する工程と、
   を備えた放射線検出器の製造方法。
8. 前記防湿体の周縁部を前記充填部の上面に接合する工程において、遅延硬化型接着剤、自然硬化型接着剤、および加熱硬化型接着剤のいずれかを用いて、前記防湿体の周縁部を前記充填部の上面に接合する請求項７記載の放射線検出器の製造方法。
9. 前記防湿体の周縁部を前記充填部の上面に接合する工程は、大気圧よりも減圧された環境において行われる請求項７または８に記載の放射線検出器の製造方法。