JP2014238271A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014238271A5 JP2014238271A5 JP2013119455A JP2013119455A JP2014238271A5 JP 2014238271 A5 JP2014238271 A5 JP 2014238271A5 JP 2013119455 A JP2013119455 A JP 2013119455A JP 2013119455 A JP2013119455 A JP 2013119455A JP 2014238271 A5 JP2014238271 A5 JP 2014238271A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- array substrate
- adhesive
- substrate
- scintillator layer
- photoelectric conversion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 34
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 13
- 230000001070 adhesive Effects 0.000 claims description 13
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 238000010538 cationic polymerization reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Description
上述の目的を達成するため、実施形態によれば、放射線検出器の製造方法において、基板上に光電変換素子を二次元配列したアレイ基板を形成するアレイ基板形成工程と、前記アレイ基板の前記光電変換素子が配列された領域を覆い放射線を蛍光に変換するシンチレータ層を形成するシンチレータ層形成工程と、前記アレイ基板の前記シンチレータ層を囲む部分に対向する鍔部を備えた防湿体を形成する防湿体形成工程と、接着剤が前記鍔部と前記アレイ基板との間の対向接着部およびその対向接着部の前記鍔部の外縁から外側にはみ出す領域で底面が前記アレイ基板に密着し前記鍔部よりも高く突出する食み出し部を形成するように、前記鍔部の前記対向接着部の反対側の面に対向する加圧面が形成された額縁部を持つ加圧治具で前記鍔部を加圧して前記防湿体と前記アレイ基板とを接着させる接着工程と、を具備することを特徴とする。
また、実施形態によれば、放射線検出器において、基板上に光電変換素子を二次元配列したアレイ基板と、前記アレイ基板の前記光電変換素子が配列された領域を覆い放射線を蛍光に変換するシンチレータ層と、前記シンチレータ層を覆う金属の成形体であって前記アレイ基板の前記シンチレータ層を囲む部分に対向する鍔部を備えた防湿体と、前記鍔部と前記アレイ基板との間の対向接着部およびその対向接着部の前記鍔部の外縁から外側にはみ出す領域で底面が前記アレイ基板に密着し前記鍔部よりも高く突出する食み出し部を有して前記防湿体と前記アレイ基板とを接着させる接着層と、を具備することを特徴とする。
Claims (4)
- 基板上に光電変換素子を二次元配列したアレイ基板を形成するアレイ基板形成工程と、
前記アレイ基板の前記光電変換素子が配列された領域を覆い放射線を蛍光に変換するシンチレータ層を形成するシンチレータ層形成工程と、
前記アレイ基板の前記シンチレータ層を囲む部分に対向する鍔部を備えた防湿体を形成する防湿体形成工程と、
接着剤が前記鍔部と前記アレイ基板との間の対向接着部およびその対向接着部の前記鍔部の外縁から外側にはみ出す領域で底面が前記アレイ基板に密着し前記鍔部よりも高く突出する食み出し部を形成するように、前記鍔部の前記対向接着部の反対側の面に対向する加圧面が形成された額縁部を持つ加圧治具で前記鍔部を加圧して前記防湿体と前記アレイ基板とを接着させる接着工程と、
を具備することを特徴とする放射線検出器の製造方法。 - 前記食み出し部は前記鍔部の前記対向接着部の反対側の面に回り込んで形成されることを特徴とする請求項２に記載の放射線検出器の製造方法。
- 前記接着剤はカチオン重合により硬化反応が進む紫外線硬化型接着剤であって、前記アレイ基板の回路配線を有する領域に配置され、前記アレイ基板の防湿体の反対側の面から照射され、前記アレイ基板を透過した紫外線で硬化することを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の放射線検出器の製造方法。
- 基板上に光電変換素子を二次元配列したアレイ基板と、
前記アレイ基板の前記光電変換素子が配列された領域を覆い放射線を蛍光に変換するシンチレータ層と、
前記シンチレータ層を覆う成形体であって前記アレイ基板の前記シンチレータ層を囲む部分に対向する鍔部を備えた防湿体と、
前記鍔部と前記アレイ基板との間の対向接着部およびその対向接着部の前記鍔部の外縁から外側にはみ出す領域で底面が前記アレイ基板に密着し前記鍔部よりも高く突出する食み出し部を有して前記防湿体と前記アレイ基板とを接着させる接着層と、
を具備することを特徴とする放射線検出器。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013119455A JP6114635B2 (ja) | 2013-06-06 | 2013-06-06 | 放射線検出器およびその製造方法 |
| TW103119813A TWI591368B (zh) | 2013-06-06 | 2014-06-06 | Radiation detector and manufacturing method thereof |
| CN201410250430.9A CN104241199B (zh) | 2013-06-06 | 2014-06-06 | 放射线检测器的制造方法以及放射线检测器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013119455A JP6114635B2 (ja) | 2013-06-06 | 2013-06-06 | 放射線検出器およびその製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014238271A JP2014238271A (ja) | 2014-12-18 |
| JP2014238271A5 true JP2014238271A5 (ja) | 2016-07-07 |
| JP6114635B2 JP6114635B2 (ja) | 2017-04-12 |
Family
ID=52135537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013119455A Active JP6114635B2 (ja) | 2013-06-06 | 2013-06-06 | 放射線検出器およびその製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6114635B2 (ja) |
| CN (1) | CN104241199B (ja) |
| TW (1) | TWI591368B (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016128779A (ja) * | 2015-01-09 | 2016-07-14 | 株式会社東芝 | 放射線検出器及びその製造方法 |
| JP6749038B2 (ja) * | 2016-04-07 | 2020-09-02 | キヤノン電子管デバイス株式会社 | 放射線検出器、及びその製造方法 |
| JP2017192090A (ja) * | 2016-04-15 | 2017-10-19 | 東芝電子管デバイス株式会社 | 放射線検出器 |
| JP2017203672A (ja) * | 2016-05-11 | 2017-11-16 | 東芝電子管デバイス株式会社 | 放射線検出器 |
| JP6818617B2 (ja) * | 2017-04-03 | 2021-01-20 | キヤノン電子管デバイス株式会社 | 放射線検出器、放射線検出器の製造装置、および放射線検出器の製造方法 |
| CN111801599B (zh) * | 2018-02-28 | 2023-06-06 | 富士胶片株式会社 | 放射线检测器、放射线图像摄影装置及放射线检测器的制造方法 |
| JPWO2019244610A1 (ja) * | 2018-06-22 | 2021-07-08 | 富士フイルム株式会社 | 放射線検出器及び放射線画像撮影装置 |
| CN110849918B (zh) * | 2019-10-31 | 2021-11-09 | 北京时代民芯科技有限公司 | 一种倒装焊器件焊点缺陷无损检测方法和系统 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2260041C (en) * | 1997-02-14 | 2001-10-09 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation detection device and method of producing the same |
| JP3405706B2 (ja) * | 1997-02-14 | 2003-05-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出素子 |
| JP2002181949A (ja) * | 2000-12-08 | 2002-06-26 | Canon Inc | 放射線検出装置及びそれを用いた放射線撮像システム |
| JP4612876B2 (ja) * | 2004-08-10 | 2011-01-12 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置、シンチレータパネル、これらの製造方法及び放射線検出システム |
| JP2006058171A (ja) * | 2004-08-20 | 2006-03-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | マンモグラフィ用放射線画像変換パネルおよびその製造方法 |
| JP4819344B2 (ja) * | 2004-11-24 | 2011-11-24 | キヤノン株式会社 | 半導体装置、放射線撮像装置、及びその製造方法 |
| JP4764407B2 (ja) * | 2007-11-20 | 2011-09-07 | 東芝電子管デバイス株式会社 | 放射線検出器及びその製造方法 |
| CN101900824B (zh) * | 2010-06-24 | 2012-05-09 | 江苏康众数字医疗设备有限公司 | 闪烁体封装薄膜及封装方法 |
| JP2012052965A (ja) * | 2010-09-02 | 2012-03-15 | Toshiba Corp | 放射線検出器及びその製造方法 |
| JP2012088152A (ja) * | 2010-10-19 | 2012-05-10 | Toshiba Electron Tubes & Devices Co Ltd | 放射線検出装置 |
| JP5728250B2 (ja) * | 2011-03-01 | 2015-06-03 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置、シンチレータパネル、それらの製造方法、および放射線検出システム |
| JP5905672B2 (ja) * | 2011-06-28 | 2016-04-20 | 株式会社東芝 | 放射線検出器及びその製造方法 |
| JP2013038346A (ja) * | 2011-08-10 | 2013-02-21 | Olympus Corp | 光学装置 |
-
2013
- 2013-06-06 JP JP2013119455A patent/JP6114635B2/ja active Active
-
2014
- 2014-06-06 CN CN201410250430.9A patent/CN104241199B/zh active Active
- 2014-06-06 TW TW103119813A patent/TWI591368B/zh active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2014238271A5 (ja) | ||
| JP2016003907A5 (ja) | ||
| WO2009066732A1 (ja) | 放射線検出器及びその製造方法 | |
| JP6392654B2 (ja) | 光センサ装置 | |
| JP2018078333A5 (ja) | ||
| JP2013004534A5 (ja) | ||
| JP2012253014A5 (ja) | 発光装置および発光装置の作製方法 | |
| JP2011505071A5 (ja) | ||
| TWI456242B (zh) | 放射線檢測器 | |
| JP2014212329A5 (ja) | ||
| WO2011113008A3 (en) | Multilayer film for photovoltaic applications | |
| JP2017501589A5 (ja) | ||
| JP2012195417A5 (ja) | ||
| TWI560912B (en) | Light emitting diode chip having wavelength converting layer and method of fabricating the same, and package having the light emitting diode chip and method of fabricating the same | |
| WO2013171272A3 (en) | Multilayer encapsulant film for photovoltaic modules | |
| MY160731A (en) | Method for manufacturing electronic parts | |
| ATE517324T1 (de) | Vorrichtung zur erkennung und/oder ausstrahlung von elektromagnetischen strahlen, und herstellungsverfahren einer solchen vorrichtung | |
| MX346992B (es) | Unidad de módulo para paneles solares delgados. | |
| JP2014165267A5 (ja) | ||
| JP2016504567A5 (ja) | ||
| JP2016521013A5 (ja) | ||
| JP2014150253A5 (ja) | ||
| JP2014017334A5 (ja) | ||
| JP2013002887A5 (ja) | 放射線検出パネル、放射線撮影装置および放射線検出装置の製造方法 | |
| JP2015008237A5 (ja) |