JP2014238271A - 放射線検出器およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】放射線検出器11に、アレイ基板12とシンチレータ層13と防湿体15と接着層90とを備える。アレイ基板12は、ガラス基板16上に光電変換素子を二次元配列したものである。シンチレータ層13は、アレイ基板12の光電変換素子が配列された領域を覆い、放射線を蛍光に変換する。防湿体15は、シンチレータ層13を覆う成形体であって、アレイ基板12のシンチレータ層13を囲む部分に対向する鍔部50を備える。接着層90は、防湿体と前記アレイ基板とを接着させる。接着層90は、鍔部50とアレイ基板12との間の対向接着部91およびその対向接着部91から鍔部50の外縁から外側にはみ出す領域でアレイ基板12から鍔部50よりも高く突出する食み出し部92を有する。
【選択図】図7
Description
Claims (8)
- 基板上に光電変換素子を二次元配列したアレイ基板を形成するアレイ基板形成工程と、
前記アレイ基板の前記光電変換素子が配列された領域を覆い放射線を蛍光に変換するシンチレータ層を形成するシンチレータ層形成工程と、
前記アレイ基板の前記シンチレータ層を囲む部分に対向する接着面を備えた防湿体を形成する防湿体形成工程と、
接着剤が前記鍔部と前記アレイ基板との間の対向接着部およびその対向接着部から前記鍔部の外縁から外側にはみ出す領域で前記アレイ基板から前記鍔部よりも高く突出する食み出し部を形成するように、前記鍔部の前記対向接着部の反対側の面に対向する加圧面が形成された額縁部を持つ加圧治具で前記鍔部を加圧して前記防湿体と前記アレイ基板とを接着させる接着工程と、
を具備することを特徴とする放射線検出器の製造方法。 - 前記額縁部の外縁は前記鍔部の外縁よりも内側に位置することを特徴とする請求項1に記載の放射線検出器の製造方法。
- 前記食み出し部は前記鍔部の前記対向接着部の反対側の面に回り込んで形成されることを特徴とする請求項2に記載の放射線検出器。
- 前記接着工程では前記防湿体は鉛直下方から前記アレイ基板に向かって押し付けられることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の放射線検出器の製造方法。
- 前記額縁部の前記接着剤に接する表面は室温での表面エネルギーが30mN/m以下の材料で被覆されていることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の放射線検出器の製造方法。
- 前記接着工程は大気圧より低い減圧雰囲気下で行われることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の放射線検出器の製造方法。
- 前記接着剤はカチオン重合により硬化反応が進む紫外線硬化型接着剤であって、前記アレイ基板の回路配線を有する領域に配置され、前記アレイ基板の防湿体の反対側の面から照射された紫外線で硬化することを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の放射線検出器の製造方法。
- 基板上に光電変換素子を二次元配列したアレイ基板と、
前記アレイ基板の前記光電変換素子が配列された領域を覆い放射線を蛍光に変換するシンチレータ層と、
前記シンチレータ層を覆う成形体であって前記アレイ基板の前記シンチレータ層を囲む部分に対向する鍔部を備えた防湿体と、
前記鍔部と前記アレイ基板との間の対向接着部およびその対向接着部から前記鍔部の外縁から外側にはみ出す領域で前記アレイ基板から前記鍔部よりも高く突出する食み出し部を有して前記防湿体と前記アレイ基板とを接着させる接着層と、
を具備することを特徴とする放射線検出器。
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