JP2015527616A - 偏光分離素子の製造方法及び偏光分離素子 - Google Patents
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Abstract
Description
また、上記触媒は、溶液内で反応を促進させ、且つ塗布されたサイトで金属結晶が成長することができるようにする単結晶の断片、すなわちシード(seed)に変化することができる。本明細書で用語「シード(seed)」というのは、溶液内で結晶を成長させる場合、核となる小さい単結晶の断片を意味することができ、本発明では、具体的にアルミニウムシード、白金シード、銀シードなどの物質であることができる。
金属前駆体溶液の製造
金属前駆体としてアルミニウム前駆体であるH3AlO(C4H9)2を含む溶液を製造した。塩化アルミニウム(AlCl3)0.266g及び過水素化アルミニウムリチウム(LiAlH4)0.224gをフラスコに入れ、ジブチルエーテル(dibutyl ether)100mlを溶媒として使用し、アルゴンの存在下で1時間70℃の温度で加熱すると同時に撹拌して反応させ、反応後に沈澱されたLiClを濾過除去し、アルミニウム前駆体として、H3AlO(C4H9)2を含む透明な溶液を製造した。
偏光分離素子Aの製造
5mm厚さの石英基板上にアクリルレジスト(製造社:Microresist社、製品名:MR8010R)を塗布し、約100nm厚さのレジスト層を形成した。上記レジスト層上にあらかじめ製作された所定のパターンが形成されたステンパーを接触させた状態で約20分間160℃の温度で加熱しながら40barの圧力で加圧し、上記レジスト層にステンパーのパターンを転移した。その後、インプリントされたパターンの凹部に存在するレジスト層の残膜を除去した。このように製造された樹脂層は、図1及び図2に示された凸部2の形状が転写された凹部を有する凹凸形状を有し、そのピッチ(図2のPに対応)は、約150nm、凹部の幅(図2のWに対応)は、約75nm、凹部の深さ(図1のHに対応)は、約150nm程度であった。
偏光分離素子Bの製造
製造されたアルミニウム前駆体溶液をバーコーター(bar coater)を利用して約3〜4μmの厚さで第1基板にコーティングした後、溶媒を乾燥させる。その後、実施例1と同一の方式で凹凸層を形成した第2基板にチタン−イソプロポキサイド(Ti−isopropoxide)をエタノールで約0.001重量%に希釈した溶液を約2,000rpmでスピンコーティングし、60℃の温度で約3分間乾燥させる。その後、アルミニウム前駆体溶液がコーティングされた第1基板をあらかじめ100℃に加熱された触媒コーティングされた上記第2基板と対向するように載置し、3分間反応させて、アルミニウムが触媒層に沿って均一に成長するようにして、偏光分離素子Bを製造した。
平均直径60nmのサイズを有するアルミニウムナノ粒子を3重量%の含量で溶媒エタノールに分散させ、コーティング向上剤であるGlide 410を0.05重量%添加し、アルミニウムナノ粒子が分散したコーティング溶液を製造した。この溶液を凹凸層が形成された基板に1,000rpmでコーティングし、常温で乾燥した。凹凸層の上部に突出したナノ粒子は、ラビング(rubbing)工程を通じて除去した後、アルミニウムナノ粒子が満たされた偏光分離素子を製造した。
Axo−scan偏光透過反射スペクトル測定装置を利用して、400nm、550nm及び800nmの波長の光に対して実施例及び比較例の偏光分離素子のTp(s偏光の透過度)及びTc(p偏光の透過度)を測定し、その結果を上記数式2に代入して偏光度Dを測定した後、その結果を下記表1に記載した。
2b 凹部
1、10、11、12、100、200 基板、基材層
15 樹脂層
20 金属前駆体溶液の層
25 金属凸部
30 触媒層
Claims (19)
- 金属の前駆体を含む溶液を使用してストライプ形状を有し且つ互いに平行に配置されている2個以上の金属凸部を形成することを含む偏光分離素子の製造方法。
- 前記金属の前駆体は、アルミニウム前駆体、白金前駆体または銀前駆体である、 請求項1に記載の偏光分離素子の製造方法。
- 前記金属の前駆体は、金属水素化物である、 請求項1に記載の偏光分離素子の製造方法。
- 前記金属の前駆体を含む溶液内の前記金属の前駆体の濃度が0.1〜30重量%である、 請求項1に記載の偏光分離素子の製造方法。
- 前記金属の前駆体を含む溶液は、エーテルまたはアルコールを含む、 請求項1に記載の偏光分離素子の製造方法。
- 前記金属凸部は、平行に配置されている金属凸部のピッチが80nm〜400nmとなるように形成する、 請求項1に記載の偏光分離素子の製造方法。
- 前記金属凸部は、その高さHとピッチPの比率H/Pが0.2〜1.5となるように形成する、請求項7に記載の偏光分離素子の製造方法。
- 前記金属凸部の形成は、凹凸層の凹部に充填された前記金属の前駆体を含む溶液の前記金属の前駆体を金属に転換させることを含む、請求項1に記載の偏光分離素子の製造方法。
- 前記金属凸部の形成は、一面に金属の前駆体を含む溶液の層が形成されている第1基板と一面に凹凸層が形成されている第2基板を前記金属の前駆体を含む溶液の層と前記凹凸層が対向するように積層した状態で前記金属の前駆体を金属へ転換させることを含む、請求項1に記載の偏光分離素子の製造方法。
- 前記金属の前駆体の金属への転換は、前記金属の前駆体を熱処理して行う、請求項9または10に記載の偏光分離素子の製造方法。
- 前記凹凸層の凹部には、触媒がコーティングされている、請求項9または10に記載の偏光分離素子の製造方法。
- 前記触媒が、チタンアルコキシド、チタンハライド、チタンハライドのキレート化合物、鉄アルコキシド、ケイ素ハライド、バナジウムオキシハライド、チタンホウ素水素化物またはチタンホウ素水素化物のキレート化合物である、請求項12に記載の偏光分離素子の製造方法。
- 前記触媒は、金属または金属複合物である、請求項12に記載の偏光分離素子の製造方法。
- 前記金属または金属複合物は、Ti、Pd、Pt、Al、Cu、Si、Au及びFeから選択された1つ以上の金属を含む、請求項14に記載の偏光分離素子の製造方法。
- 前記金属凸部の形成後に前記凹凸層を除去することをさらに行う、請求項9または10に記載の偏光分離素子の製造方法。
- 前記金属凸部は、金属の前駆体から形成されたものである、請求項17に記載の偏光分離素子。
- 金属の前駆体を含む溶液を用いた溶液工程によって製造された、請求項17に記載の偏光分離素子。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2012-0095099 | 2012-08-29 | ||
KR20120095099 | 2012-08-29 | ||
KR1020130103455A KR101737668B1 (ko) | 2012-08-29 | 2013-08-29 | 편광 분리 소자의 제조 방법 및 편광 분리 소자 |
PCT/KR2013/007795 WO2014035173A1 (ko) | 2012-08-29 | 2013-08-29 | 편광 분리 소자의 제조 방법 및 편광 분리 소자 |
KR10-2013-0103455 | 2013-08-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015527616A true JP2015527616A (ja) | 2015-09-17 |
JP6201223B2 JP6201223B2 (ja) | 2017-09-27 |
Family
ID=50642403
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015528408A Active JP6201223B2 (ja) | 2012-08-29 | 2013-08-29 | 偏光分離素子の製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9551819B2 (ja) |
EP (1) | EP2891909B1 (ja) |
JP (1) | JP6201223B2 (ja) |
KR (1) | KR101737668B1 (ja) |
CN (1) | CN104583822B (ja) |
WO (1) | WO2014035173A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6811549B2 (ja) * | 2016-05-23 | 2021-01-13 | 日東電工株式会社 | 積層フィルム、及び画像表示装置 |
CN106950636A (zh) * | 2017-04-20 | 2017-07-14 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种金属线栅偏振片基板及其制备方法 |
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-
2013
- 2013-08-29 EP EP13834155.7A patent/EP2891909B1/en active Active
- 2013-08-29 WO PCT/KR2013/007795 patent/WO2014035173A1/ko active Application Filing
- 2013-08-29 US US14/421,611 patent/US9551819B2/en active Active
- 2013-08-29 KR KR1020130103455A patent/KR101737668B1/ko active IP Right Grant
- 2013-08-29 CN CN201380045158.4A patent/CN104583822B/zh active Active
- 2013-08-29 JP JP2015528408A patent/JP6201223B2/ja active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104583822B (zh) | 2017-12-12 |
US20150205026A1 (en) | 2015-07-23 |
KR101737668B1 (ko) | 2017-05-29 |
WO2014035173A1 (ko) | 2014-03-06 |
CN104583822A (zh) | 2015-04-29 |
KR20140029309A (ko) | 2014-03-10 |
US9551819B2 (en) | 2017-01-24 |
JP6201223B2 (ja) | 2017-09-27 |
EP2891909A4 (en) | 2016-04-27 |
EP2891909A1 (en) | 2015-07-08 |
EP2891909B1 (en) | 2020-12-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160118 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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