JP2015526902A - 複数の装置を集積するモノリシック集積回路チップ - Google Patents
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- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 40
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 38
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 27
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 24
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 claims description 39
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N aluminum gallium Chemical compound [Al].[Ga] RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- MSNOMDLPLDYDME-UHFFFAOYSA-N gold nickel Chemical compound [Ni].[Au] MSNOMDLPLDYDME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- RGGPNXQUMRMPRA-UHFFFAOYSA-N triethylgallium Chemical compound CC[Ga](CC)CC RGGPNXQUMRMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
- H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
- H01L21/8258—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being a semiconductor, using a combination of technologies covered by H01L21/8206, H01L21/8213, H01L21/822, H01L21/8252, H01L21/8254 or H01L21/8256
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/02—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S13/00
- G01S7/03—Details of HF subsystems specially adapted therefor, e.g. common to transmitter and receiver
- G01S7/032—Constructional details for solid-state radar subsystems
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- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/06—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration
- H01L27/0605—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration integrated circuits made of compound material, e.g. AIIIBV
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- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/06—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration
- H01L27/0611—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration integrated circuits having a two-dimensional layout of components without a common active region
- H01L27/0617—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration integrated circuits having a two-dimensional layout of components without a common active region comprising components of the field-effect type
- H01L27/0623—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration integrated circuits having a two-dimensional layout of components without a common active region comprising components of the field-effect type in combination with bipolar transistors
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- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/08—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
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- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
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Abstract
【課題】モノリシック集積回路(IC)チップは、複数のトランジスタを有するモノリシックICチップであって、基板と、基板の上の第1のトランジスタと、第1のトランジスタとともに基板の上に集積して形成された第2のトランジスタであって、第2のトランジスタは、第1のトランジスタと異なる構造を有する第2のトランジスタと、を備え、第1のトランジスタは、第1の材料系を含み、第2のトランジスタは、第1の材料系とは異なる第2の材料系を含む。【解決手段】モノリシックICチップは、第1のトランジスタ及び第2のトランジスタとともに基板の上に集積して形成された第3のトランジスタを更に備えることができる。第1のトランジスタは、ガリウムナイトライド(GaN)を含むことができ、第2のトランジスタ及び第3のトランジスタは、シリコンカーバイトを含むことができる。【選択図】図3
Description
本発明の実施の形態の一つ以上の態様は、半導体接続形態に関し、更に詳しくは、異なるタイプ(例えば、異なる構造及び異なる材料系)の複数のトランジスタを単一のチップに集積(例えば、モノリシックに集積)するモノリシック集積回路(IC)チップに関する。
シリコン(Si)及びシリコンカーバイド(SiC)を含む種々の半導体材料を、IC素子を形成するために用いることができる。
Siが電子機器に対して一般的に用いられるのに対し、SiCは、高温及び高電圧に耐えることができるので高出力電子機器に対して用いることができる。バイポーラ接合トランジスタ(BJT)、接合ゲート電界効果トランジスタ(JFET)及び金属酸化物半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)のような異なる構造を有する異なるタイプのトランジスタを、SiCによって構成することができる。したがって、SiCによって構成した横型BJT,JFET又はMOSFETを、高出力電子機器のICに用いることができる。それに対し、SiC以外の材料によって構成したMOSFETを用いる標準的な相補型金属酸化物半導体(CMOS)回路は、高電圧に耐えることができない。したがって、CMOS技術を利用するモノリシックICチップは、高電圧に対して高い耐性を有するSiC MOSFETを用いることなく実現することができない。
複数の装置を単一のチップに集積(例えば、モノリシックに集積)する半導体接続形態を提供することが望ましい。したがって、本発明の実施の形態の態様は、異なる構造及び異なる材料系の複数の装置(例えば、トランジスタ)を単一基板に互いに結合させることができる単一のモノリシックICチップを提供する。本発明の実施の形態の他の態様によれば、高い歩留りを有する単一のモノリシックICチップが、Xバンドパネルレーダのユニットセルのような小スペース内に適合することができる。
本発明による例示的な実施の形態において、モノリシック集積回路(IC)チップは、複数のトランジスタを有するモノリシックICチップであって、基板と、基板の上の第1のトランジスタと、第1のトランジスタとともに基板の上に集積して形成された第2のトランジスタであって、第2のトランジスタは、第1のトランジスタと異なる構造を有する第2のトランジスタと、を備え、第1のトランジスタは、第1の材料系を含み、第2のトランジスタは、第1の材料系とは異なる第2の材料系を含む。
モノリシックICチップは、第1のトランジスタ及び第2のトランジスタとともに基板の上に集積して形成された第3のトランジスタを更に備えることができる。
第1のトランジスタは、ガリウムナイトライド(GaN)を含むことができ、第2のトランジスタ及び第3のトランジスタは、シリコンカーバイトを含むことができる。
第1のトランジスタは、GaNを含む第1の層と、第1の層の上に配置され、窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)を含む第2の層と、を有することができる。
第1の層は、約1〜3μmの厚さを有することができる。
第2の層は、約25nmの厚さを有することができる。
第1のトランジスタを、GaN無線又はマイクロ波周波数電力増幅器とすることができ、第2のトランジスタは、電力増幅器をオン及びオフに切り替えるように構成されたドレインモジュレータとすることができる。
第2のトランジスタは、pチャネルFET及びnチャネルFETを有することができる。
第1のトランジスタを、ヘテロ構造電界効果トランジスタ(HFET)とすることができる。
第3のトランジスタを、バイポーラ接合トランジスタ(BJT)とすることができる。
基板を、Si基板又はSiC基板とすることができる。
本発明による他の例示的な実施の形態において、モノリシック集積回路(IC)チップは、複数の装置を有するモノリシック集積回路(IC)チップであって、電力増幅器と、レーダコントローラからの電圧をチップの差動電圧まで増大するレベルシフタと、増大した電圧をレベルシフタから受信するとともにFETを駆動する高速ゲートドライバであって、FETは、電力増幅器をオン及びオフに切り替えるように構成された高速ゲートドライバと、電力増幅器がオンであるときにレーダコントローラに信号を送信する検出回路と、を備える。
電力増幅器は、GaNを含むことができる。
レベルシフタ、高速ゲートドライバ及びFETの少なくとも一つは、SiCを含むことができる。
FETを、pチャネルFET又はnチャネルFETとすることができる。
レベルシフタ、高速ゲートドライバ及びFETの少なくとも一つは、pチャネルFET又はnチャネルFETを有することができる。
本発明の上記及び他の形態は、その詳細な例示的な実施の形態を添付図面を参照しながら説明することによって明らかになるであろう。
本発明による実施の形態において、単一のモノリシックICチップは、同一基板に集積された異なる構造及び異なる材料系の複数の装置を有する。本発明の実施の形態は、添付図面と併用される以下の詳細な説明から明確に理解される。図面は必ずしも一定の縮尺で描かれていない。図面の相対的な寸法及び比を、便宜上増大又は減少することができる。図面の寸法及び比を、任意にすることができ、それに限定しない。
BJT,JFET又はMOSFETに加えて、ヘテロ構造電界効果トランジスタ(HFET)として知られている他のタイプのトランジスタを、ICを形成するために用いることができる。高周波用途に用いられるHFETを、高電力及び高周波装置に用いられる半導体材料であるガリウムナイトライド(GaN)によって構成することができる。例えば、GaNから構成されるトランジスタは、他の半導体材料から構成されるトランジスタより高い温度及び高い電圧で動作することができる。したがって、GaNトランジスタを、例えば、高出力アクティブ電子走査アレイ(AESA)の電力増幅器として用いることができる。AESAは、ユニットセル(例えば、モジュール)のアレイ内に適合する複数の小さい固体送信/受信ブロックによって送信器機能及び受信器機能が実行される一種のフェーズドアレイレーダである。AEASは、アンテナの前の所定の角度での建設的干渉及び非建設的干渉によって「ビーム」を誘導する。
各ユニットセルは、送信機能及び受信機能を実行するためのそれ自体の回路を有する。ユニットセルを、1/2インチ×1/2インチまで小さくすることができ、又は周波数に応じてそれより小さくすることができる。周波数が高くなるに従ってユニットセルが小さくなり、更に小さいスペースが利用可能になる。その理由は、波長が高周波数では減少するとともにユニットセルの間隔が波長の関数であるからである。例えば、Cバンドパネルレーダは、1インチ×1インチサイズのユニットセルを有することができ、それに対し、Xバンドパネルレーダは、1/2インチ×1/2インチサイズのユニットセルを有することができる。したがって、送信/受信回路の全てを小さいユニットセル内に適合させるのは困難となり得る。
図1は、Xバンドパネルレーダ100のレイアウトを示す線形的な断面図である。図1に示すように、各送信/受信ユニットセル102は、共通のレッグ回路(common leg circuit)104と、SiドレインモジュレータIC106(例えば、ドレインモジュレータパルサー)と、リミッタ108と、低雑音増幅器110と、電力増幅器112と、を有することができる。電力及び論理コネクタをユニットセル間に接続することができる。各ユニットセル102内の電力増幅器112は、高電圧、例えば、28〜50Vで動作することができる。SiドレインモジュレータIC106は、電力増幅器112に対するオンオフスイッチ(例えば、高速オンオフスイッチ)の役割を果たす。
図2は、ドレイン変調回路206及びXバンドパネルレーダ100のレイアウトを含むCバンドユニットセル202を示す線形的な平面図である。Cバンドユニットセル202のドレイン変調回路206は、Xバンドパネルレーダ100のSiドレインモジュレータIC106より高い電力で動作することができるが、低電力ドレインモジュレータより回路が大きくなる。したがって、図2に示すように、Cバンドパネルレーダユニットセル202のドレイン変調回路206は、Xバンドパネルレーダ100の小さいユニットセル102内に適合しない。したがって、高電力装置を含む複数の装置を集積(例えば、モノリシックに集積)するとともに小さいスペース内に適合することができる高い歩留りのICチップが必要となる。
高電力GaN装置を、Si又はSiC基板を用いて形成することができる。しかしながら、ICのGaN装置は、一般的には他のGaN装置とともに同一のチップに集積される。したがって、複数のタイプの装置(例えば、異なる構造及び異なる材料系を有する複数のタイプのトランジスタ)を単一のチップに集積(例えば、モノリシックに集積)するICチップが必要となる。
本発明の一態様によれば、単一にモノリシックICチップは、異なる構造及び異なる材料系の複数の装置を単一のチップ上で組み合わせ(例えば、集積して組み合せ)、したがって、高い歩留りを有し、高周波AESAの小さいユニットセル内に適合することができる。
図3〜6は、ここで説明する限定されない例示的な実施の形態を示す。例えば、本発明の実施の形態を、SiC基板に集積されたGaNトランジスタ及びSiCトランジスタを参照しながら主に説明するが、本発明は、それに限定されない。当業者は、他の適切な材料及び製造方法を本発明の開示した実施の形態を実施するのに用いることができることをここでの開示に基づいて理解するであろう。例えば、異なる材料系の装置を用いることができ、異なる構造を有する装置(例えば、異なる構造を有するトランジスタ)を用いることもできる。さらに、基板を、サファイア基板又はSi基板のような任意の複数の材料から構成することができる。
図3は、本発明の実施の形態による基板上に形成した集積構造の線形的な断面図である。実施の形態によれば、集積基板300は、同一チップ上に共同配置したBJT装置302、GaN装置304及びCMOS装置306を有する。
一実施の形態によれば、GaN装置304において、GaN層301が、例えば、約1〜3μmの厚さで基板314(例えば、SiC基板)上に形成される。窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)層303は、例えば、約25nmの厚さでGaN層301上に形成される。例えば、一実施の形態において、Gaソースをトリエチルガリウムとすることができ、Nソースをアンモニアとすることができるが、本発明はそれに限定されない。ソースコンタクト308、ゲートコンタクト310及びドレインコンタクト312を、AlGaN層303の上に形成することができ、これらはそれぞれ、GaN装置304のソース領域、ゲート領域及びドレイン領域に対応する。
CMOS装置306及びBJT装置302は、SiCを含むことができる。CMOS装置306は、nチャネルFET(nFET)及びpチャネルFET(pFET)を有することができる。さらに、当業者は、CMOS装置306及びGaN装置304によって要求される異なる作動電圧の観点から、CMOS装置306とGaN装置304との間をつなぎ合わせるために一つ以上のレベルシフタ(図示せず)を用いることができることを理解するであろう。
基板314は、4H又は6H結晶構造を有することができ、例えば、4インチ又は6インチの直径を有することができる。基板314を、SiC、サファイア又はSiのような種々の材料によって構成することができる。一実施の形態において、基板を、(例えば、10kΩ−cmより大きい)高い抵抗率を有するとともに半絶縁性である4−H SiC基板とする。
図4は、実施の形態による図3に示す集積構造300のGaN装置304及びCMOS装置306の線形的な断面図である。一実施の形態において、GaN装置304を、層305,307,309,311,313及び315、ソースコンタクト308、ゲートコンタクト310及びドレインコンタクト312を有するショットキーゲートGaN HFETとすることができる。層305を、窒化アルミニウム(AlN)によって構成することができる。層307を、例えば、約500nmの厚さで形成した炭素ドープGaNによって構成することができる。層309を、例えば、約150nmの厚さで形成したGaNによって構成することができる。層311を、例えば、約22nmの厚さで形成した約26%のAl含有量のAlGaNによって構成することができる。層313を、例えば、約50nmの厚さで形成した窒化ケイ素によって構成することができる。ゲートコンタクト310を、ニッケル−金(Ni/Au)によって構成することができる。層315を、例えば、約250nmの厚さで形成したSiNによって構成することができる。しかしながら、図4に示す実施の形態は、上述した任意の特定の材料、構造又は厚さに限定されない。
一実施の形態において、CMOS装置306は、pFET317及びnFET319を有する。図4に示すように、pFET317は、nウェル321及びp型領域323を有する。nFET319は、pウェル325及びn型領域327を有する。抵抗接点金属層329が、p型領域323及びn型領域327のそれぞれに形成される。pFET317及びnFET319はそれぞれ、ゲート誘電体スタック331と、p型領域323の間又はn型領域327の間のゲート誘電体スタック331の上のゲート電極333と、を有する。酸化層335が、pFET317とnFET319との間に形成され、相互接続金属層337によって被覆される。相互接続金属層337は、ゲート電極333のそれぞれの上にも形成される。
図5は、実施の形態による図3に示す集積構造300のBJT装置302、GaN装置304及びCMOS装置306の線形的な断面図である。GaN装置304、CMOS装置306及び基板314は、図4に示す構造とほぼ類似する構造を有する。一実施の形態において、BJT装置302は、エミッタ領域339、ベース領域341及びコレクタ領域343を有する。BJT装置302を、エミッタ領域339がn型領域であり、ベース領域341がp型領域であり、コレクタ領域343がn型領域であるNPNトランジスタとする。しかしながら、本発明の実施の形態はそれに限定されず、BJT装置302を、PNPトランジスタとすることができ、又は、JFET又はMOSFETのような異なる構造を有する装置とすることができる。しかしながら、図5に示す実施の形態において、上述した任意の特定の材料、構造又は厚さに限定されない。
図6は、本発明の実施の形態による単一のモノリシックICチップ400の機能ブロック図である。例示的な実施の形態において、単一のモノリシックICチップ400は、Xバンドパネルレーダのような高周波AESAのユニットセル内に配置される。単一のモノリシックICチップ400は、GaN無線又はマイクロ波周波数電力増幅器408と、GaN電力増幅器408をオン及びオフに切り替える(例えば、迅速に切り替える)SiCドレイン変調回路と、を有する。一実施の形態において、電力増幅器408に対してGaNを用いるとともにドレイン変調回路に対してSiCを用いることによって、単一のモノリシックICチップ400は、レーダによって要求される高電圧(例えば、28〜50V)で動作することができる。一実施の形態において、GaN電力増幅器408を、GaN HFETを用いて実現する。ドレイン変調回路を、SiC MOSFETのようなSiC装置を用いて実現することができる。
図6に示すように、ドレイン変調回路は、レベルシフタ402と、高速ゲートドライバ404と、FET406と、検出回路410と、を有する。一実施の形態において、3.3Vのような電圧は、外部のレーダコントローラからチップ400のレベルシフタ402に送信される。レベルシフタ402は、電圧レベルを、28Vのようなチップの作動電圧レベルまで増大する。その後、増大した電圧レベルは、チップの高速ゲートドライバ404に送信され、オンに切り替えるときに低い(例えば、非常に低い)抵抗を有するノーマリーオフトランジスタであるFET406を駆動する。レベルシフタ402及び高速ゲートドライバ404の各々を、nFETとpFETの両方を有する図4に示すようなCMOS装置306のようなSiC CMOSベースFETとして実現することができる。nFETとpFETのいずれかとすることができるFET406は、オンに切り替えられたときに28VパルスをGaN電力増幅器408に送信する。ドレイン変調回路は、GaN電力増幅器408がオンであることを表す信号を外部のレーダコントローラに送信する検出回路410を更に有することができる。
したがって、本発明の例示的な実施の形態において、CMOS装置とGaN装置の両方を同一のSiC基板の上にモノリシックに集積することができる。Si基板上の同様な集積の例は、例えば、「共通基板にIII−V族トランジスタを有するシリコンCMOSトランジスタを有する構造」(Structure Having Silicon CMOS Transistors with Column III-V Transistors on a Common Substrate)の表題の付与前の米国特許出願公開第2011/0180857号明細書において提供される。
したがって、異なる構造及び異なる材料系を有する装置の種々の組合せを、単一のチップに集積(例えば、モノリシックに集積)することができる。さらに、チップは、レーダによって要求される電圧のような高電圧で動作することができ、送信/受信回路は、高周波レーダの小さいユニットセル内に適合することができる。
本発明を、その例示的な実施の形態を参照しながら特に示し及び説明したが、形態及び詳細の種々の変更が以下の特許請求の範囲及びその等価物によって規定されるような本発明の精神及び範囲から逸脱することなくできることが当業者によって理解されるであろう。
Claims (16)
- 複数のトランジスタを有するモノリシック集積回路(IC)チップであって、
基板と、
前記基板の上の第1のトランジスタと、
前記第1のトランジスタとともに前記基板の上に集積して形成された第2のトランジスタであって、前記第2のトランジスタは、前記第1のトランジスタと異なる構造を有する第2のトランジスタと、
を備え、前記第1のトランジスタは、第1の材料系を含み、前記第2のトランジスタは、前記第1の材料系とは異なる第2の材料系を含むモノリシックICチップ。 - 前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタとともに前記基板の上に集積して形成された第3のトランジスタを更に備える請求項1に記載のモノリシックICチップ。
- 前記第1のトランジスタは、ガリウムナイトライド(GaN)を含み、前記第2のトランジスタ及び前記第3のトランジスタは、シリコンカーバイトを含む請求項2に記載のモノリシックICチップ。
- 前記第1のトランジスタは、GaNを含む第1の層と、前記第1の層の上に配置され、窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)を含む第2の層と、を備える請求項3に記載のモノリシックICチップ。
- 前記第1の層は、約1〜3μmの厚さを有する請求項4に記載のモノリシックICチップ。
- 前記第2の層は、約25nmの厚さを有する請求項4に記載のモノリシックICチップ。
- 前記第1のトランジスタは、GaN無線又はマイクロ波周波数電力増幅器であり、前記第2のトランジスタは、前記電力増幅器をオン及びオフに切り替えるように構成されたドレインモジュレータである請求項3に記載のモノリシックICチップ。
- 前記第2のトランジスタは、pチャネルFET及びnチャネルFETを備える請求項3に記載のモノリシックICチップ。
- 前記第1のトランジスタは、ヘテロ構造電界効果トランジスタ(HFET)である請求項8に記載のモノリシックICチップ。
- 前記第3のトランジスタは、バイポーラ接合トランジスタ(BJT)である請求項9に記載のモノリシックICチップ。
- 前記基板は、Si基板又はSiC基板である請求項1に記載のモノリシックICチップ。
- 複数の装置を有するモノリシック集積回路(IC)チップであって、
電力増幅器と、
レーダコントローラからの電圧を前記チップの差動電圧まで増大するレベルシフタと、
増大した電圧を前記レベルシフタから受信するとともにFETを駆動する高速ゲートドライバであって、前記FETは、前記電力増幅器をオン及びオフに切り替えるように構成された高速ゲートドライバと、
前記電力増幅器がオンであるときに前記レーダコントローラに信号を送信する検出回路と、
を備えるモノリシックICチップ。 - 前記電力増幅器は、GaNを含む請求項12に記載のモノリシックICチップ。
- 前記レベルシフタ、前記高速ゲートドライバ及び前記FETの少なくとも一つは、SiCを含む請求項13に記載のモノリシックICチップ。
- 前記FETは、pチャネルFET又はnチャネルFETである請求項14に記載のモノリシックICチップ。
- 前記レベルシフタ、前記高速ゲートドライバ及び前記FETの少なくとも一つは、pチャネルFET又はnチャネルFETを備える請求項14に記載のモノリシックICチップ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/558,255 | 2012-07-25 | ||
US13/558,255 US8665013B2 (en) | 2012-07-25 | 2012-07-25 | Monolithic integrated circuit chip integrating multiple devices |
PCT/US2013/042760 WO2014018156A1 (en) | 2012-07-25 | 2013-05-24 | Monolithic integrated circuit chip integrating multiple devices |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015526902A true JP2015526902A (ja) | 2015-09-10 |
Family
ID=48692639
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015524258A Pending JP2015526902A (ja) | 2012-07-25 | 2013-05-24 | 複数の装置を集積するモノリシック集積回路チップ |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8665013B2 (ja) |
EP (1) | EP2878009B1 (ja) |
JP (1) | JP2015526902A (ja) |
KR (1) | KR101613187B1 (ja) |
CN (1) | CN104520986A (ja) |
IN (1) | IN2015DN00478A (ja) |
TW (1) | TWI565031B (ja) |
WO (1) | WO2014018156A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9287357B2 (en) | 2014-06-16 | 2016-03-15 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Integrated circuits with Si and non-Si nanosheet FET co-integration with low band-to-band tunneling and methods of fabricating the same |
US9461114B2 (en) | 2014-12-05 | 2016-10-04 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor devices with structures for suppression of parasitic bipolar effect in stacked nanosheet FETs and methods of fabricating the same |
US9997476B2 (en) * | 2015-10-30 | 2018-06-12 | Infineon Technologies Ag | Multi-die package having different types of semiconductor dies attached to the same thermally conductive flange |
GB2561391B (en) * | 2017-04-13 | 2020-03-11 | Raytheon Systems Ltd | Silicon carbide transistor with UV Sensitivity |
GB2561390B (en) | 2017-04-13 | 2020-03-11 | Raytheon Systems Ltd | Silicon carbide transistor |
GB2561388B (en) | 2017-04-13 | 2019-11-06 | Raytheon Systems Ltd | Silicon carbide integrated circuit |
US10468454B1 (en) | 2018-04-25 | 2019-11-05 | Globalfoundries Singapore Pte. Ltd. | GaN stack acoustic reflector and method for producing the same |
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-
2012
- 2012-07-25 US US13/558,255 patent/US8665013B2/en active Active
-
2013
- 2013-05-24 WO PCT/US2013/042760 patent/WO2014018156A1/en active Application Filing
- 2013-05-24 KR KR1020157004679A patent/KR101613187B1/ko active IP Right Grant
- 2013-05-24 EP EP13731186.6A patent/EP2878009B1/en active Active
- 2013-05-24 JP JP2015524258A patent/JP2015526902A/ja active Pending
- 2013-05-24 TW TW102118432A patent/TWI565031B/zh active
- 2013-05-24 CN CN201380039418.7A patent/CN104520986A/zh active Pending
-
2015
- 2015-01-20 IN IN478DEN2015 patent/IN2015DN00478A/en unknown
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2878009B1 (en) | 2019-09-11 |
IN2015DN00478A (ja) | 2015-06-26 |
KR101613187B1 (ko) | 2016-04-18 |
WO2014018156A1 (en) | 2014-01-30 |
US20140028387A1 (en) | 2014-01-30 |
US8665013B2 (en) | 2014-03-04 |
WO2014018156A8 (en) | 2015-02-26 |
KR20150038274A (ko) | 2015-04-08 |
EP2878009A1 (en) | 2015-06-03 |
TW201405771A (zh) | 2014-02-01 |
TWI565031B (zh) | 2017-01-01 |
CN104520986A (zh) | 2015-04-15 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160510 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20160809 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170404 |