JP2008211083A - 高周波スイッチ - Google Patents
高周波スイッチ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008211083A JP2008211083A JP2007048015A JP2007048015A JP2008211083A JP 2008211083 A JP2008211083 A JP 2008211083A JP 2007048015 A JP2007048015 A JP 2007048015A JP 2007048015 A JP2007048015 A JP 2007048015A JP 2008211083 A JP2008211083 A JP 2008211083A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mosfet
- terminal
- shunt
- frequency switch
- transistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Waveguide Switches, Polarizers, And Phase Shifters (AREA)
Abstract
【課題】外部からの不要信号を吸収しつつ、小型化が可能な高周波スイッチを提供する。
【解決手段】第1の端子と第2の端子との間に接続されたスルートランジスタと、前記第2の端子と接地との間に接続されたシャントトランジスタと、を備え、前記シャントトランジスタのゲート幅は、前記スルートランジスタのゲート幅に比して狭いことを特徴とする高周波スイッチが提供される。
【選択図】図1
【解決手段】第1の端子と第2の端子との間に接続されたスルートランジスタと、前記第2の端子と接地との間に接続されたシャントトランジスタと、を備え、前記シャントトランジスタのゲート幅は、前記スルートランジスタのゲート幅に比して狭いことを特徴とする高周波スイッチが提供される。
【選択図】図1
Description
本発明は、高周波スイッチに関する。
携帯電話など携帯電子機器における送受信切り替えスイッチとして、化合物半導体素子が使用されてきた。しかし、シリコンMOSFET(Metal Oxide Field Effect Transisitor)の高周波特性の改善が目覚ましく、携帯電子機器の高周波スイッチとして応用が拡大している。
MOSFETで構成されたSPDT(Single Pole Double Throw)型の高周波スイッチは、第1の端子と第2の端子との間、及び第1の端子と第3の端子と間にスルーMOSFETがそれぞれ接続される。第1の端子は、例えばアンテナへさらに接続される。MOSFETのゲート電圧を制御することにより、いずれかのMOSFETを導通させ、第2の端子または第3の端子とアンテナとを接続させることができる。
また、非導通のMOSFETから漏れてくる信号を第2または第3の端子へ流出させないように第2及び第3の端子と接地との間にはシャントMOSFETが接続される(例えば、特許文献1)。この場合、非導通のスルーMOSFETと接続されるシャントMOSFETは導通とされ漏れてきた信号を接地へ逃す。
特開2002−368193号公報
しかし、このような高周波スイッチにおいて、非導通側の端子を介して外部から流入する不要な信号がシャントMOSFETで反射されると外部の高周波回路を不安定とする。このため、この不要な信号を吸収する回路を設けることが好ましい。ここで、シャントFETは、導通側の端子と接地との間に接続される。シャントFETの導通状態のインピーダンスが小さい場合、50Ωの抵抗を介してシャントFETを接地すると、SPDT型スイッチが使用される50Ω系回路と整合が取れて不要な信号を吸収できる。しかしながら、50Ωの抵抗はSPDTを構成する他の抵抗と比較してサイズが大きくなり1チップ化が困難となる。
本発明は、かかる課題の認識に基づいてなされたものであり、小型化が可能な高周波スイッチを提供する。
本発明は、かかる課題の認識に基づいてなされたものであり、小型化が可能な高周波スイッチを提供する。
本発明の一態様によれば、第1の端子と第2の端子との間に接続されたスルートランジスタと、前記第2の端子と接地との間に接続されたシャントトランジスタと、を備え、前記シャントトランジスタのゲート幅は、前記スルートランジスタのゲート幅に比して狭いことを特徴とする高周波スイッチが提供される。
また、本発明の他の一態様によれば、第1の端子と第2の端子との間に接続された第1のスルートランジスタと、前記第1の端子と第3の端子との間に接続された第2のスルートランジスタと、前記第2の端子と接地との間に接続された第1のシャントトランジスタと、前記第3の端子と接地との間に接続された第2のシャントトランジスタと、を備え、 前記第1及び第2のシャントトランジスタの導通状態のインピーダンスが50Ωになるように設定されていることを特徴とする高周波スイッチが提供される。
本発明により、外部からの不要信号を吸収しつつ、小型化が可能な高周波スイッチが提供される。
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態にかかる高周波スイッチを表し、同図(a)はnチャネル型MOSFETの模式断面図、同図(b)は高周波スイッチの回路図である。
図1(a)に表したように、p型ウェル領域12がp型基板11に設けられている。p型ウェル領域12は、2乃至3Ω・cm程度の抵抗率を有し約1μmの厚みとする。また、p型基板11は、p型ウェル領域12以上の抵抗率とする。
図1は、本発明の第1の実施形態にかかる高周波スイッチを表し、同図(a)はnチャネル型MOSFETの模式断面図、同図(b)は高周波スイッチの回路図である。
図1(a)に表したように、p型ウェル領域12がp型基板11に設けられている。p型ウェル領域12は、2乃至3Ω・cm程度の抵抗率を有し約1μmの厚みとする。また、p型基板11は、p型ウェル領域12以上の抵抗率とする。
p型ウェル領域12には、深さ0.3μm以下のn+層が拡散またはイオン注入法を用いて選択的に形成され、ソース領域14及びドレイン領域16とされる。ソース領域14、ドレイン領域16、p型ウェル領域12の表面を選択的に覆うようにゲート絶縁膜18が、例えば10nmの厚みで形成される。ゲート絶縁膜としては、SiO2及びSiNなどとする。
ゲート絶縁膜18の上には、タングステンなどからなるゲート電極24を形成する。また、ソース領域14及びドレイン領域16の上に、W/Al/TiNをこの順に積層して、それぞれソース電極20,ドレイン電極22とする。なお、ソース、ドレイン、ゲートは、多数の領域に分散配置され、それぞれの電極により接続されている。
また、抵抗60は10kΩ程度としそれぞれのゲートに接続され、このために配線層64が形成される。
また、抵抗60は10kΩ程度としそれぞれのゲートに接続され、このために配線層64が形成される。
ここで、図1(a)において、例えば、ゲート電極長L1を0.3μm、ソース電極L2を0.2μm、ドレイン電極L3を0.2μm、ドレイン・ソース間隔Sを0.6μmとする。このような短いチャネル長により動作周波数1GHzが可能となる。
ソース電極20に対してプラスの電圧をゲート電極18に印加すると、ゲート絶縁膜18とp型ウェル領域12との界面にnチャネルを生じる。ゲート・ソース間電圧がしきい値以上となるとMOSFETは導通する。このようしてMOSFETを導通−非導通状態に切り替えることができる。
次に、図1(a)のMOSFETを組み合わせたSPDT型高周波スイッチの作用について、図1(b)を参照しつつ説明する。
第1の端子30と第2の端子32との間には第1のスルーMOSFET40が、第1の端子30と第3の端子34と間には第2のスルーMOSFET42が接続される。さらに、第2の端子32と接地との間には第1のシャントMOSFET44が、第3の端子34と接地との間には第2のシャントMOSFET46が接続されている。ここで、MOSFETが接続されるとは、半導体スイッチの両端子を構成するドレイン及びソースが接続されることを表す。
第1の端子30と第2の端子32との間には第1のスルーMOSFET40が、第1の端子30と第3の端子34と間には第2のスルーMOSFET42が接続される。さらに、第2の端子32と接地との間には第1のシャントMOSFET44が、第3の端子34と接地との間には第2のシャントMOSFET46が接続されている。ここで、MOSFETが接続されるとは、半導体スイッチの両端子を構成するドレイン及びソースが接続されることを表す。
第1の端子30は、プルダウン抵抗62を介して接地されている。4つのMOSFETのゲートには抵抗60がそれぞれ接続されている。第1のスルーMOSFET40及び第2のシャントMOSFET46のゲートは、同一電源V1へ接続され、第2のスルーMOSFET42及び第1のシャントMOSFET44のゲートは同一電源V2とそれぞれ接続される。第1のスルーMOSFET40及び第2のシャントMOSFET46を同時に導通させるようにV1≧Vth(但しVthはMOSFETのゲート電圧のしきい値)とした場合、第2のスルーMOSFET42及び第1のシャントMOSFET44を非導通とするようにV2<Vthとする。SiからなるnチャネルMOSFETにおけるしきい値Vthは、通常0.5乃至2.0Vの範囲である。
携帯電話などの電子機器において、第1に端子30はアンテナへ接続される。第2の端子32及び第3の端子34のうち、いずれか一方には受信器が、いずれか他方には送信器が接続される。
ここで、第2の端子32に受信器、第3の端子に送信器が接続された場合についてスイッチの作用をより詳細に説明する。V1≧Vthにより、第1のスルーMOSFET40及び第2のシャントMOSFET46を導通とし、V2<Vthにより、第2のスルーMOSFET42及び第1のシャントMOSFET44を非導通とする。
アンテナからの受信信号は、第1の端子30、導通している第1のスルーMOSFET40、第2の端子32を経由して受信器へ伝送される。この場合、第2のスルーMOSFET42は非導通なので高いインピーダンスとなり、また第2のシャントMOSFET46は導通であり接地されているので受信信号が第3の端子34を経由して送信器へ漏れることを抑制できる。すなわち、第2のシャントMOSFET46は、第1の端子30と第3の端子34との間のアイソレーションを改善する作用を有している。
この場合、第2のシャントMOSFET46の導通状態のインピーダンスが送信器104の出力インピーダンス(Zout)に対して不整合であると、送信器104からの不要信号が第2のシャントMOSFET46により反射されて送信器104へ戻る。また第1のスルーMOSFET40が非導通状態の場合、第1のシャントMOSFET44の導通状態のインピーダンスが受信器102の入力インピーダンス(Zin)に対して不整合であると、受信器102からの不要信号が第1のシャントMOSFET44により反射されて受信器102に戻る。このような反射波は、例えば送信器または受信器を構成する増幅器に不要な発振を生じるなど回路を不安定とする。しかし、本具体例においては、送信器102または受信器104などからの不要な信号が反射されることなく、第1または第2のシャントMOSFET46に吸収される。
一般的に送信器や受信器の入力及び出力インピーダンスは50Ωや75Ωなどに標準化されており、第1及び第2シャントMOSFET44、46のインピーダンスは例えば50Ωと設定される。なお、高周波回路の特性インピーダンスが、50Ω以外である場合、シャントMOSFETの導通状態のインピーダンスが高周波器回路の特性インピーダンスに合わされている高周波スイッチを用いることとなる。
一般的に送信器や受信器の入力及び出力インピーダンスは50Ωや75Ωなどに標準化されており、第1及び第2シャントMOSFET44、46のインピーダンスは例えば50Ωと設定される。なお、高周波回路の特性インピーダンスが、50Ω以外である場合、シャントMOSFETの導通状態のインピーダンスが高周波器回路の特性インピーダンスに合わされている高周波スイッチを用いることとなる。
図2は、抵抗の周波数特性を表し、縦軸は抵抗(Ω)、横軸は周波数(GHz)である。実線は導通の場合でオン抵抗を表し、オン抵抗は0.95GHzまでほぼ50Ωで一定となる。一方、破線は非導通の場合であり、抵抗は200〜300kΩの範囲と高い。
図3は、0.1〜1.1GHzの周波数帯における第3の端子34から見たインピーダンスの測定値を表すスミス図であり、50Ωに良く整合がとれていることを表している。
図3は、0.1〜1.1GHzの周波数帯における第3の端子34から見たインピーダンスの測定値を表すスミス図であり、50Ωに良く整合がとれていることを表している。
図4は、比較例にかかる高周波スイッチを表し、同図(a)はMOSFETの模式断面図、同図(b)は回路図である。第3及び第4のシャントMOSFET44、46には信号吸収用抵抗70が直列に接続されている。
図5は、第1の実施形態における第1及び第2スルーMOSFET40、42のMOSFETの抵抗の周波数依存性を表すグラフ図である。
また、このMOSFETは、比較例においてスルーMOSFETのみならずシャントMOSFETにも用いられる。このMOSFETは、導通状態でのオン抵抗を低くして伝送損失を低減している。すなわち、実線で表すオン抵抗は3乃至5Ωと低くする。この導通状態のMOSFETは低抵抗であるので50Ωに対して整合は取れず信号を反射する。従ってこのMOSFETを信号吸収に用いる比較例では、信号吸収用抵抗70を設けて50Ωに整合させることが必要である。
また、このMOSFETは、比較例においてスルーMOSFETのみならずシャントMOSFETにも用いられる。このMOSFETは、導通状態でのオン抵抗を低くして伝送損失を低減している。すなわち、実線で表すオン抵抗は3乃至5Ωと低くする。この導通状態のMOSFETは低抵抗であるので50Ωに対して整合は取れず信号を反射する。従ってこのMOSFETを信号吸収に用いる比較例では、信号吸収用抵抗70を設けて50Ωに整合させることが必要である。
比較例の場合、ゲートに接続する10kΩの抵抗60と、50Ω程度の信号吸収用抵抗70との2種類が必要となる。IC製造工程において2種類の抵抗形成プロセスを行うことは生産性を低下させ、また50Ωの抵抗はチップサイズを大きくする。
図6は、高周波スイッチのチップのレイアウトを表す模式平面図であり、同図(a)は比較例、同図(b)は本具体例をそれぞれ表す。
図5の比較例において、第1のスルーMOSFET40、第2のスルーMOSFET42、第1のシャントMOSFET、第2のシャントMOSFET46は、500μmとほぼ同一のゲート幅を有している。
図5の比較例において、第1のスルーMOSFET40、第2のスルーMOSFET42、第1のシャントMOSFET、第2のシャントMOSFET46は、500μmとほぼ同一のゲート幅を有している。
図4に例示される信号吸収用抵抗70は、第1のシャントMOSFET44及び第2のシャントMOSFET46のソース電極20と配線層70により接続される。シャントMOSFET44及び46は、スルーMOSFET40及び42とほぼ同様の大きなゲート幅を有しているのでオン抵抗は3乃至5Ωと低く、信号吸収用抵抗70を50Ω近傍とすることにより第2及び第3の端子32、34から見たインピーダンスを50Ω近傍としている。この抵抗値はゲートに接続される10kΩと比べ小さいので、抵抗形成は別プロセスとする場合が生じる。このような別プロセスを用いても図6(a)のように大きな形状となる。
図6(a)において、チップの外周部には第1の端子39、第2の端子32、第3の端子34、ゲート電圧端子V1、V2、2つのGND端子が、配置されている。さらに、チップ中央部には、4つのゲート抵抗60、プルダウン抵抗62が配置され、それぞれの端子、接地、MOSFETと配線層により、図4(b)のように接続されている。
図6(b)は、本具体例のレイアウト図である。第1にスルーMOSFET40及び第2のスルーMOSFET42は、500μmのゲート幅である。一方、第1のシャントMOSFET44及び第2のシャントMOSFET46のゲート幅は約50μmと狭い。MOSFETのゲート幅は、図6(b)の第1のシャントMOSFET44のA−A線に沿った断面図である図1(a)において、長さL1のゲート電極24と直交する方向の電極幅の総和である。通常MOSFETのゲートは複数で構成されており、MOSFETのサイズはゲート幅とほぼ比例する。この結果、本実施形態の第1及び第2のシャントMOSFET44、46のサイズも図6(b)に例示されるように小さい。
このようにすることによりほぼ50Ωのオン抵抗とできて、信号吸収用抵抗を省略することができるので、チップサイズを縮小でき、高周波スイッチの小型化が可能となる。なお、シャントMOSFETの導通状態では、スルーMOSFETを経由した漏れ信号または外部からの不要信号が主として入射するのみであり、オン抵抗が高くても伝送損失の増加は生じない。
図6(b)は、本具体例のレイアウト図である。第1にスルーMOSFET40及び第2のスルーMOSFET42は、500μmのゲート幅である。一方、第1のシャントMOSFET44及び第2のシャントMOSFET46のゲート幅は約50μmと狭い。MOSFETのゲート幅は、図6(b)の第1のシャントMOSFET44のA−A線に沿った断面図である図1(a)において、長さL1のゲート電極24と直交する方向の電極幅の総和である。通常MOSFETのゲートは複数で構成されており、MOSFETのサイズはゲート幅とほぼ比例する。この結果、本実施形態の第1及び第2のシャントMOSFET44、46のサイズも図6(b)に例示されるように小さい。
このようにすることによりほぼ50Ωのオン抵抗とできて、信号吸収用抵抗を省略することができるので、チップサイズを縮小でき、高周波スイッチの小型化が可能となる。なお、シャントMOSFETの導通状態では、スルーMOSFETを経由した漏れ信号または外部からの不要信号が主として入射するのみであり、オン抵抗が高くても伝送損失の増加は生じない。
この場合にも、チップの外周部には第1の端子39、第2の端子32、第3の端子34、ゲート電圧端子V1、V2、2つのGND(接地)端子が配置され、チップ中央部には、4つのゲート抵抗60、プルダウン抵抗62が配置され、それぞれの端子、接地、MOSFETと配線層により、図1(b)のように接続されている。
以上の実施形態においては、SPDTについて説明した。しかし、本発明はこれに限定されず、SPnT(n≧2)スイッチや多入力多出力スイッチにも適用できる。図7は、本実施形態の変形例であるSPDTスイッチ回路を表す等価回路図である。第1の端子30は、アンテナへ接続される。第1の端子30は、第1のスルーMOSFET40、第2のスルーMOSFET42、第1のスルーMOSFET242、第2のスルーMOSFET240へそれぞれ接続され、スルーMOSFETの他方の端子は、第2の端子32、第3の端子34、第4の端子204、第5の端子208へこの順序でそれぞれ接続される。
以上の実施形態においては、SPDTについて説明した。しかし、本発明はこれに限定されず、SPnT(n≧2)スイッチや多入力多出力スイッチにも適用できる。図7は、本実施形態の変形例であるSPDTスイッチ回路を表す等価回路図である。第1の端子30は、アンテナへ接続される。第1の端子30は、第1のスルーMOSFET40、第2のスルーMOSFET42、第1のスルーMOSFET242、第2のスルーMOSFET240へそれぞれ接続され、スルーMOSFETの他方の端子は、第2の端子32、第3の端子34、第4の端子204、第5の端子208へこの順序でそれぞれ接続される。
また、第2の端子32と接地との間には第1のシャントMOSFET44、第3の端子34と接地との間には第2のシャントMOSFET46、第4の端子204と接地との間には第3のシャントMOSFET246、第5の端子と接地との間には第4のシャントMOSFET244、がそれぞれに接続される。この4つのシャントMOSFETのそれぞれは、図1(a)の構造を有し、図2及び図3の特性を有し、図6(b)の基本レイアウトを有するMOSFETとする。
さらに、ゲートは、抵抗を介してV3、V4、V5、V6の端子から電源へ接続され、MOSFETを導通または非導通とし、4つのスルーMOSFETのうちいずれか一つを導通とする。第1の端子30と接地との間にはプルダウン抵抗62が接続される。本変形例により、第2、第3、第4、第5の端子32、34、204、208から流入する不要信号を反射せずに吸収でき、外部回路へ反射の影響を与えないSPDTスイッチが実現する。
以上、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明はこれらの具体例に限定されない。例えば、高周波スイッチを構成する半導体スイッチング素子としては、MOSFETに限定されず、HEMT(High Electron Mobility Transistor)、GaAs MESFET(Metal-Semiconductor Field Effect Transistor)であっても良い。さらに、高周波スイッチを構成する半導体スイッチング素子、プルダウン抵抗、ゲートへ接続される抵抗などのサイズ、材質、形状などに関して、当業者が各種設計変更を行ったものであっても本発明の主旨を逸脱しない限り本発明の範囲に包含される。
30 第1の端子、32 第2の端子、34 第3の端子、40 第1のスルーMOSFET、42 第2のスルーMOSFET、44 第1のシャントMOSFET、46 第2のシャントMOSFET、60 抵抗、102 受信器、104 送信器
Claims (3)
- 第1の端子と第2の端子との間に接続されたスルートランジスタと、
前記第2の端子と接地との間に接続されたシャントトランジスタと、
を備え、
前記シャントトランジスタのゲート幅は、前記スルートランジスタのゲート幅に比して狭いことを特徴とする高周波スイッチ。 - 第1の端子と第2の端子との間に接続された第1のスルートランジスタと、
前記第1の端子と第3の端子との間に接続された第2のスルートランジスタと、
前記第2の端子と接地との間に接続された第1のシャントトランジスタと、
前記第3の端子と接地との間に接続された第2のシャントトランジスタと、
を備え、
前記第1及び第2のシャントトランジスタの導通状態のインピーダンスが50Ωになるように設定されていることを特徴とする高周波スイッチ。 - 前記第1のスルートランジスタ及び前記第2のシャントトランジスタは、第1のゲート電圧の変化により導通または非導通とされ、
前記第2のスルートランジスタ及び前記第1のシャントトランジスタは、第2のゲート電圧の変化により相補的に非導通または導通とされることを特徴とする請求項2記載の高周波スイッチ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007048015A JP2008211083A (ja) | 2007-02-27 | 2007-02-27 | 高周波スイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007048015A JP2008211083A (ja) | 2007-02-27 | 2007-02-27 | 高周波スイッチ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008211083A true JP2008211083A (ja) | 2008-09-11 |
Family
ID=39787115
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007048015A Pending JP2008211083A (ja) | 2007-02-27 | 2007-02-27 | 高周波スイッチ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008211083A (ja) |
-
2007
- 2007-02-27 JP JP2007048015A patent/JP2008211083A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10298222B2 (en) | High performance radio frequency switch | |
JP5735268B2 (ja) | 高周波半導体スイッチ | |
US9065164B2 (en) | High frequency switch | |
US20120112832A1 (en) | Radio frequency switch and radio frequency module | |
JP2010081250A (ja) | 高周波スイッチ回路 | |
JP5661448B2 (ja) | 高周波スイッチ | |
US8731485B2 (en) | RF switches | |
US20080290928A1 (en) | Switching circuit | |
JP2007110469A (ja) | 高周波スイッチ装置 | |
Im et al. | A stacked-FET linear SOI CMOS cellular antenna switch with an extremely low-power biasing strategy | |
KR20090122965A (ko) | 저손실, 저고조파 및 향상된 선형성 성능을 가진 고주파 스위치 | |
KR101406401B1 (ko) | 선형성 성능이 개선된 콤팩트 저손실 고주파수 스위치 | |
JP2008181911A (ja) | 半導体装置 | |
JP4870644B2 (ja) | ミリメートル波帯域制御回路用高隔離度スイッチ素子 | |
JP5652946B2 (ja) | 高周波スイッチ | |
US9035716B2 (en) | High frequency switch | |
JP5714886B2 (ja) | 高周波スイッチ | |
JP3891443B2 (ja) | 高周波スイッチ回路及び半導体装置 | |
JP2008211083A (ja) | 高周波スイッチ | |
JP2016174240A (ja) | 半導体スイッチ | |
JP2007006179A (ja) | アンテナスイッチ回路装置 | |
JP2010028361A (ja) | 高周波信号用スイッチ回路 | |
Lee et al. | A Sub-GHz CMOS SPDT Antenna Switch Employing Linearity-Enhanced Biasing Strategy for Second-Order Harmonic Reduction | |
JP2008153880A (ja) | 高周波スイッチ | |
JP2008153385A (ja) | 高周波スイッチ |